一種混酸溶液的電位滴定方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及對(duì)混酸中各酸組分含量的測(cè)定【技術(shù)領(lǐng)域】，這種混酸溶液的電位滴定方法，包括如下步驟：步驟一：配制濃度為0.1～0.2mol/L的強(qiáng)堿-乙二醇溶液，利用基準(zhǔn)試劑在自動(dòng)電位滴定儀中標(biāo)定出所述強(qiáng)堿-乙二醇溶液的實(shí)際濃度；步驟二：在所述混酸溶液加入第一溶劑及第二溶劑，攪拌均勻形成混合體系叫，利用強(qiáng)堿-乙二醇溶液在自動(dòng)電位滴定儀中滴定出所述混合體系中三個(gè)酸濃度等當(dāng)點(diǎn)；其中，所述第一溶劑與所述第二溶劑的體積比為8～16：1；所述第一溶劑為乙醇，所述第二溶劑為乙二胺或丁胺；步驟三：根據(jù)質(zhì)量守恒原理，利用步驟二獲得的酸濃度等當(dāng)點(diǎn)計(jì)算所述混酸溶液中各酸的含量。本發(fā)明可快速準(zhǔn)確地測(cè)試混酸中各酸濃度。
【專利說(shuō)明】一種混酸溶液的電位滴定方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及蝕刻過(guò)程中混合溶液的處理方法，尤其是對(duì)混酸溶液中各組分含量的測(cè)定方法。
【背景技術(shù)】
[0002]濕刻是TFT制造過(guò)程中用酸性腐蝕液對(duì)金屬膜層進(jìn)行圖形化，進(jìn)而形成柵極(Gate Mol Al)、源、漏極(Source-Drain Cr)像素(ITO)電極的核心工藝。其中，招和鑰常作為導(dǎo)電材料來(lái)形成柵極，其濕刻液可使用多種不同的酸，但最普及的是利用混酸(磷酸、硝酸和冰醋酸)對(duì)其進(jìn)行溶解和氧化還原過(guò)程，從而實(shí)現(xiàn)柵極膜層的圖形化。
[0003]鋁蝕刻液混酸的組成大概為磷酸(70~72%)、硝酸(1.8%~2.0%)、冰醋酸(9.5%~10.5%)，各酸和鋁、鑰反應(yīng)的原理如下所示:
[0004]
【權(quán)利要求】
1.一種混酸溶液的電位滴定方法，其特征在于，包括如下步驟: 步驟一:配制濃度為0.1~0.2mol/L的強(qiáng)堿-醇溶液，利用基準(zhǔn)試劑在自動(dòng)電位滴定儀中標(biāo)定出所述強(qiáng)堿-醇溶液的實(shí)際濃度； 步驟二:在所述混酸溶液即硝酸、磷酸、醋酸混合液中，加入第一溶劑及第二溶劑，攪拌均勻形成混合體系，利用步驟一標(biāo)定后的強(qiáng)堿-醇溶液在自動(dòng)電位滴定儀中滴定出所述混合體系中三個(gè)酸濃度等當(dāng)點(diǎn)；其中， 所述第一溶劑與所述第二溶劑的體積比為8~16:1 ;所述第一溶劑為乙醇，所述第二溶劑為乙二胺或丁胺； 步驟三:根據(jù)質(zhì)量守恒原理，利用步驟二獲得的酸濃度等當(dāng)點(diǎn)計(jì)算所述混酸溶液中各酸的含量。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述混酸溶液的電位滴定方法，其特征在于，所述步驟二中還包括:利用步驟一標(biāo)定后的強(qiáng)堿-醇溶液在自動(dòng)電位滴定儀中滴定出所述第一溶劑及第二溶劑混合后的背景酸濃度等當(dāng)點(diǎn)；用于消除背景酸度對(duì)所述醋酸含量計(jì)算的影響。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述混酸溶液的電位滴定方法，其特征在于，所述第一溶劑、第二溶劑總體積與所述混酸溶液的質(zhì)量比為200~400ml:lg。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述混酸溶液的電位滴定方法，其特征在于，所述強(qiáng)堿為分析純的氫氧化鉀或氫氧化鈉；所述強(qiáng)堿-醇溶液中溶劑為乙醇或乙二醇。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述混酸溶液的電位滴定方法，其特征在于，所述基準(zhǔn)試劑為苯甲酸或鄰苯二甲酸氫鉀。`
【文檔編號(hào)】G01N27/44GK103604856SQ201310576348
【公開(kāi)日】2014年2月26日 申請(qǐng)日期:2013年11月15日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月15日
【發(fā)明者】徐蕊 申請(qǐng)人:深圳市華星光電技術(shù)有限公司