光學(xué)器件、檢測(cè)裝置、電子設(shè)備及光學(xué)器件的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種能夠形成規(guī)定物質(zhì)的捕捉空間、進(jìn)一步提高檢測(cè)靈敏度的光學(xué)器件、檢測(cè)裝置、電子設(shè)備以及光學(xué)器件的制造方法。光學(xué)器件（10）具有：具有電介質(zhì)層（16）和多個(gè)金屬粒子（18）的基板（12），以及自組裝形成于電介質(zhì)層以及金屬粒子的至少一方的表面的有機(jī)分子層（30）。有機(jī)分子層（30）中，第一有機(jī)分子（40B）和第二有機(jī)分子（42A）在第一方向交替配置，第一有機(jī)分子（40B）的有機(jī)基團(tuán)的鏈長(zhǎng)r1與第二有機(jī)分子（42A）的有機(jī)基團(tuán)的鏈長(zhǎng)r2彼此不同。
【專利說明】光學(xué)器件、檢測(cè)裝置、電子設(shè)備及光學(xué)器件的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及光學(xué)器件、檢測(cè)裝置、電子設(shè)備以及光學(xué)器件的制造方法等。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，用于醫(yī)療診斷和飲食檢查等的傳感器芯片的需求增大，要求開發(fā)高靈敏度且小型的傳感器芯片。為了滿足這樣的要求，以電化學(xué)方法為代表探討了各種類型的傳感器芯片。其中，從能夠集成化、低成本、不選擇測(cè)定環(huán)境等理由考慮，對(duì)利用表面等離子共振(SPR:Surface Plasmon Resonance)的分光分析、特別對(duì)使用表面增強(qiáng)拉曼散射分光(SERS:Surface Enhanced Raman Scattering)的傳感器芯片的關(guān)注提高。
[0003]在此，所謂表面等離子是指根據(jù)表面固有的邊界條件而與光發(fā)生耦合的電子波的振動(dòng)模式。作為激發(fā)表面等離子的方法有在金屬表面蝕刻衍射光柵、將等離子與光結(jié)合的方法和利用衰減波的方法。例如，作為利用SPR的傳感器是具備全反射型棱鏡、與形成于該棱鏡的表面的靶物質(zhì)接觸的金屬層而構(gòu)成的。根據(jù)這樣的構(gòu)成，檢測(cè)在抗原抗體反應(yīng)中有無抗原的吸附等、有無靶物質(zhì)的吸附。
[0004]然而，在金屬表面存在傳播型的表面等離子的另一方面，金屬微粒子中存在局域型的表面等離子。已知局域型的表面等離子、即在表面的金屬微細(xì)構(gòu)造上局部存在的表面等離子被激發(fā)時(shí)引起顯著增強(qiáng)的電場(chǎng)。
[0005]并且，已知如果對(duì)由使用金屬納米粒子的局域表面等離子共振(LSPR localizedSurface Plasmon Resonance)形成的增強(qiáng)電場(chǎng)照射拉曼散射光,則由于表面增強(qiáng)拉曼散射現(xiàn)象而增強(qiáng)拉曼散射光，從而提出高靈敏度的傳感器(檢測(cè)裝置)。通過使用該原理，能夠檢測(cè)各種微量物質(zhì)。
[0006]增強(qiáng)電場(chǎng)在金屬粒子的周圍特別是在相鄰金屬粒子間的間隙處大，需要使流體樣本中的靶分子停在金屬粒子間的間隙。例如，專利文獻(xiàn)I或者非專利文獻(xiàn)I中，如圖1(A)(B)示意性示出的，在傳感器基板200的金屬表面上形成自組裝單分子(SAM:Self-AssembledMonolayer) 201的層，吸附靶分子202、203而使SERS的檢測(cè)靈敏度提高。另外，在專利文獻(xiàn)2中通過反復(fù)進(jìn)行形成工序，形成缺陷少的自組裝單分子膜。
[0007]在非專利文獻(xiàn)2中，如圖2示意性示出的，通過形成并混合有機(jī)基團(tuán)的長(zhǎng)度不同的兩種SAM210、211，形成具有親水基團(tuán)和疏水基團(tuán)的捕捉空間212，在捕捉空間212內(nèi)吸附靶分子213，從而使SERS的檢測(cè)靈敏度提高。
[0008]在形成一種SAM201時(shí)，圖1 (A)所示的蛋白質(zhì)這樣大的靶分子202與SAM210的表面之間存在許多吸附點(diǎn)，為多點(diǎn)吸附。然而，圖1 (B)所示的靶分子203為低分子(例如甲苯或二甲苯、丙酮、異戊二烯等揮發(fā)性有機(jī)化合物V0C)的情況下，由于分子小，因此吸附點(diǎn)為一處的程度，由于吸附力弱，無法獲得充分的檢測(cè)靈敏度。
[0009]另一方面，形成圖2所示的兩種SAM210、211的方法有如下兩種。一種是通過在以一定比例混合不同的SAM構(gòu)成分子的溶液中浸潰基板而制成的方法。另外一種是在比較短的形成時(shí)間內(nèi)先形成一個(gè)SAM、接著再形成一個(gè)SAM的方法。[0010]然而，在上述方法中存在同種類的SAM分子彼此凝聚、或者容易形成的SAM優(yōu)先形成等的問題，難以按照?qǐng)D2規(guī)則正確地排列形成捕捉空間212。并且，無法按照?qǐng)D2控制捕捉空間212的大小(排列方向的寬度)。
[0011]在先技術(shù)文獻(xiàn)
[0012]專利文獻(xiàn)
[0013]專利文獻(xiàn)1:日本專利特開2009-222401號(hào)公報(bào)
[0014]專利文獻(xiàn)2:日本專利特開2008-177283號(hào)公報(bào)
[0015]非專利文獻(xiàn)
[0016]非專利文獻(xiàn) 1:P.Freunscht et al., “Surface-enhanced Raman spect roscopyof trans—stilbene adsorbed on platinum or self-assembled monolayer-modifiedsilverfilm over nanosphere surfaces，，， Chemical Physics Letters，281 (1997)，372-378
[0017]非專利文獻(xiàn)2:01ga Lyandres et al.，“Real-Time Glucose Sensing bySurface-Enhanced Raman Spectroscopy in Bovine Plasma Facilitated by a MixedDecanethio 1/MercaptohexanoI Partition Layer，，，Anal.Chem.，77 (2005)，6134-6139

【發(fā)明內(nèi)容】

[0018]本發(fā)明的幾個(gè)實(shí)施方式目的在于提供能夠通過由至少兩種有機(jī)分子形成的捕捉空間捕捉靶分子等物質(zhì)而進(jìn)一步使檢測(cè)靈敏度提高的的光學(xué)器件、檢測(cè)裝置、電子設(shè)備以及光學(xué)器件的制造方法。
[0019]本發(fā)明的其他幾個(gè)實(shí)施方式目的在于提供能夠規(guī)則地排列符合靶分子等物資的大小的捕捉空間而進(jìn)一步提高檢測(cè)靈敏度的光學(xué)器件、檢測(cè)裝置、電子設(shè)備以及光學(xué)器件的制造方法。
[0020](I)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式涉及一種光學(xué)器件，該光學(xué)器件具有:
[0021]基板，該基板具有電介質(zhì)層和金屬粒子；以及
[0022]有機(jī)分子層，該有機(jī)分子層自組裝形成于所述電介質(zhì)層以及所述金屬粒子的至少一方的表面，
[0023]所述有機(jī)分子層中，第一有機(jī)分子和第二有機(jī)分子在第一方向交替配置，
[0024]所述第一有機(jī)分子的有機(jī)基團(tuán)的鏈長(zhǎng)和所述第二有機(jī)分子的有機(jī)基團(tuán)的鏈長(zhǎng)彼此不同。
[0025]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式，有機(jī)分子層中第一有機(jī)分子和第二有機(jī)分子在第一方向交替配置，即在沿著第一方向排列的鏈長(zhǎng)長(zhǎng)的例如兩個(gè)第一有機(jī)分子之間配置第二有機(jī)分子，在沿著與第一方向交叉的第二方向排列的鏈長(zhǎng)長(zhǎng)的例如兩個(gè)第一有機(jī)分子之間配置第二有機(jī)分子。由于第一、第二有機(jī)基團(tuán)的各鏈長(zhǎng)不同，因此利用其鏈長(zhǎng)差規(guī)則地形成凹部。凹部能夠作為多點(diǎn)吸附規(guī)定物質(zhì)例如靶分子的捕捉區(qū)域進(jìn)行利用。
[0026](2)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，有機(jī)分子層中第一有機(jī)分子和第二有機(jī)分子為格子配置，即在沿著第一方向排列的鏈長(zhǎng)長(zhǎng)的例如兩個(gè)第一有機(jī)分子之間配置第二有機(jī)分子，在沿著與第一方向交叉的第二方向排列的鏈長(zhǎng)長(zhǎng)的例如兩個(gè)第一有機(jī)分子之間配置第二有機(jī)分子。[0027](3)在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，
[0028]所述有機(jī)分子層在所述表面具備捕捉規(guī)定物質(zhì)的捕捉區(qū)域，
[0029]所述捕捉區(qū)域根據(jù)所述第一、第二有機(jī)分子的各有機(jī)基團(tuán)的鏈長(zhǎng)差、及鏈長(zhǎng)長(zhǎng)于所述第二有機(jī)分子的所述第一有機(jī)分子的排列間隔進(jìn)行劃分，
[0030]所述自組裝是指利用在溶液或者蒸汽中在所述表面發(fā)生化學(xué)吸附的所述第一、第二有機(jī)分子彼此之間的相互作用，在所述表面上能夠形成分子的取向性一致的所述有機(jī)分子層的方法。
[0031]規(guī)則地形成以第一、第二有機(jī)基團(tuán)的鏈長(zhǎng)差為深度、以第一、第二有機(jī)分子中鏈長(zhǎng)長(zhǎng)的第一有機(jī)分子的排列間隔為寬度的捕捉區(qū)域。這樣，能夠多點(diǎn)吸附規(guī)定物質(zhì)、例如靶分子的捕捉區(qū)域的密度提高，能夠增大靶分子等的檢測(cè)信號(hào)電平。
[0032](4)在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，
[0033]設(shè)定所述第一、第二有機(jī)分子的各有機(jī)基團(tuán)的所述鏈長(zhǎng)差為r、所述第一有機(jī)分子的所述排列間隔為W、限定所述靶分子在正交三軸方向的各投影面積中最大面積的兩軸的長(zhǎng)度為 A1、A2 (Al ( A2)時(shí)，可以使 Al〈w ( 2XA1 且 A2 ^ r ^ 2XA2 成立。
[0034]這樣，限定規(guī)定物質(zhì)例如靶分子的最大投影面積的一軸的長(zhǎng)度Al收容在捕捉區(qū)域的寬度w內(nèi)，限定靶分子的最大投影面積的另一軸的長(zhǎng)度A2納入靶分子空間的深度r內(nèi)，從而能夠在適合靶分子的尺寸的捕捉區(qū)域內(nèi)吸附靶分子。特別是在A1〈A2的情況下，靶分子在縱向長(zhǎng)狀態(tài)下納入捕捉區(qū)域的寬度w內(nèi)。由此，可以根據(jù)捕捉區(qū)域進(jìn)行靶分子的選擇。即，比靶分子尺寸大的噪音分子在捕捉區(qū)域不能被捕捉。這樣，由于噪音分子不占有捕捉區(qū)域，因此能夠增大靶分子的檢測(cè)信號(hào)電平。另外，由于靶空間的尺寸并不過大，因此捕捉區(qū)域的密度進(jìn)一步提高。
[0035](5)在本發(fā) 明的一個(gè)實(shí)施方式中，
[0036]設(shè)定所述第一、第二有機(jī)分子的各有機(jī)基團(tuán)的所述鏈長(zhǎng)差為r、所述第一有機(jī)分子的所述排列間隔為W、限定所述規(guī)定物質(zhì)在正交三軸方向的各投影面積中最大面積的兩軸的長(zhǎng)度為A1、A2 (Al ( A2)時(shí)，可以使A2〈w ( 2XA2且Al ^ r ^ 2XA1成立。
[0037]這樣，限定規(guī)定物質(zhì)例如靶分子的最大投影面積的一軸的長(zhǎng)度Al以橫向長(zhǎng)狀態(tài)下納入捕捉區(qū)域的深度r內(nèi)，限定靶分子的最大投影面積的另一軸的長(zhǎng)度A2納入靶空間的寬度w內(nèi)，從而能夠在適合靶分子的尺寸的捕捉區(qū)域內(nèi)吸附靶分子。此時(shí)，與(3)同樣，可以增大靶分子的檢測(cè)信號(hào)電平。但是，捕捉區(qū)域的密度比(3)差。
[0038](6)在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，設(shè)定連接所述規(guī)定物質(zhì)中相隔最遠(yuǎn)的兩個(gè)原子的第一軸的長(zhǎng)度為al、連接所述規(guī)定物質(zhì)在與所述主軸正交的面的正投影中相隔最遠(yuǎn)的兩個(gè)原子的第二軸的長(zhǎng)度為a2時(shí)，所述長(zhǎng)度Al以及所述長(zhǎng)度A2可以根據(jù)所述第一軸的長(zhǎng)度al以及所述第二軸的長(zhǎng)度a2分別進(jìn)行設(shè)定。
[0039]這樣，可以根據(jù)規(guī)定物質(zhì)中原子間的長(zhǎng)度al、a2設(shè)定上述長(zhǎng)度Al、A2。
[0040](7)本發(fā)明的其他實(shí)施方式定義了一種檢測(cè)裝置，
[0041]該檢測(cè)裝置具有:
[0042]光源；
[0043]射入來自所述光源的光的(I)~(5)中任一項(xiàng)所述的光學(xué)器件；以及
[0044]檢測(cè)從所述光學(xué)器件射出的光的光檢測(cè)器。[0045]該檢測(cè)裝置通過使用上述光學(xué)器件，提高檢測(cè)靈敏度。
[0046](8)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施方式定義了一種電子設(shè)備，該電子設(shè)備具備上述(6)所述的檢測(cè)裝置、根據(jù)來自所述檢測(cè)裝置的檢測(cè)信息運(yùn)算健康醫(yī)療信息的運(yùn)算部、存儲(chǔ)健康醫(yī)療信息的存儲(chǔ)部、以及顯示所述健康醫(yī)療信息的顯示部。該電子設(shè)備有益于醫(yī)療診斷和飲食的檢查等。
[0047](9)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施方式涉及一種光學(xué)器件的制造方法，
[0048]該光學(xué)器件的制造方法具有:
[0049]在形成于基板的電介質(zhì)層以及金屬粒子的至少一方的表面，使含有第一有機(jī)基團(tuán)的第一有機(jī)分子在保持規(guī)定間隔的排列方向上自組裝而形成有機(jī)分子層的工序；
[0050]將限制所述間隔的所述第一有機(jī)分子中的空間位阻基團(tuán)加水分解并除去的工序；以及
[0051]在所述表面相鄰的所述第一有機(jī)分子之間，使含有與所述第一有機(jī)基團(tuán)鏈長(zhǎng)不同的第二有機(jī)基團(tuán)的第二有機(jī)分子自組裝并形成有機(jī)分子層的工序。
[0052]根據(jù)該制造方法，在第一有機(jī)分子的自組裝工序中，利用與基板結(jié)合的相鄰的兩個(gè)第一有機(jī)分子中向排列方向突出的空間位阻基團(tuán)之間的干擾，限制在排列方向上的間隔。因而，第一有機(jī)分子規(guī)則地排列。接著，通過將限制排列方向上的排列間隔的第一有機(jī)分子中的空間位阻基團(tuán)加水分解，空間位阻基團(tuán)形成OH基。然后，在排列方向相鄰的兩個(gè)第一有機(jī)分子之間，使第二有機(jī)分子自組裝并與基板結(jié)合。此時(shí)，由于第一有機(jī)分子的空間位阻基團(tuán)被加水分解，因此不構(gòu)成第二有機(jī)分子進(jìn)入兩個(gè)第一有機(jī)分子之間時(shí)的阻礙。由此，規(guī)則地形成以第一、第二有機(jī)基團(tuán)的鏈長(zhǎng)差為深度、以第一有機(jī)分子的排列間隔為寬度的捕捉區(qū)域。
[0053](10)在本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施方式中，
[0054]設(shè)定骨架原子為S1、所述第一有機(jī)基團(tuán)為R1、所述空間位阻基團(tuán)為Y1、與所述基板結(jié)合的第一官能團(tuán)為Xi時(shí)，以化學(xué)式(I)表示所述第一有機(jī)分子，
[0055]所述空間位阻基團(tuán)Yl是烷氧基(碳原子數(shù)為I~10)、苯氧基或者鹵基中的任一個(gè)，通過加水分解可以具備OH基。
[0056]化學(xué)式I
[0057]
【權(quán)利要求】
1.一種光學(xué)器件，其特征在于， 具有: 基板，所述基板具有電介質(zhì)層和金屬粒子；以及 有機(jī)分子層，所述有機(jī)分子層自組裝形成于所述電介質(zhì)層以及所述金屬粒子的至少一方的表面， 所述有機(jī)分子層中，第一有機(jī)分子和第二有機(jī)分子在第一方向交替配置， 所述第一有機(jī)分子的有機(jī)基團(tuán)的鏈長(zhǎng)和所述第二有機(jī)分子的有機(jī)基團(tuán)的鏈長(zhǎng)彼此不同。
2.一種光學(xué)器件，其特征在于， 具有: 基板，所述基板具有電介質(zhì)層和金屬粒子；以及 有機(jī)分子層，所述有機(jī)分子層自組裝形成于所述電介質(zhì)層以及所述金屬粒子的至少一方的表面， 所述有機(jī)分子層中，第一有機(jī)分子和第二有機(jī)分子為格子配置， 所述第一有機(jī)分子的有機(jī)基團(tuán)的鏈長(zhǎng)和所述第二有機(jī)分子的有機(jī)基團(tuán)的鏈長(zhǎng)彼此不同。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或者 2所述的光學(xué)器件，其特征在于， 所述有機(jī)分子層在所述表面具備捕捉規(guī)定物質(zhì)的捕捉區(qū)域， 所述捕捉區(qū)域根據(jù)所述第一有機(jī)分子和所述第二有機(jī)分子的各有機(jī)基團(tuán)的鏈長(zhǎng)差、及鏈長(zhǎng)長(zhǎng)于所述第二有機(jī)分子的所述第一有機(jī)分子的排列間隔進(jìn)行劃分， 所述自組裝是指利用在溶液或者蒸汽中在所述表面上發(fā)生化學(xué)吸附的所述第一、第二有機(jī)分子彼此之間的相互作用，在所述表面上形成分子的取向性一致的所述有機(jī)分子層的方法。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光學(xué)器件，其特征在于， 設(shè)定所述第一、第二有機(jī)分子的各有機(jī)基團(tuán)的所述鏈長(zhǎng)差為r、 所述第一有機(jī)分子的所述排列間隔為《、限定所述規(guī)定物質(zhì)在正交 三軸方向的各投影面積中最大面積的兩軸的長(zhǎng)度為A1、A2時(shí)， AKw ( 2XA1 且 A2 ≤ r ≤ 2XA2 成立，其中，Al ( A2。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光學(xué)器件，其特征在于， 設(shè)定所述第一、第二有機(jī)分子的各有機(jī)基團(tuán)的所述鏈長(zhǎng)差為r、所述第一有機(jī)分子的所述排列間隔為W、限定所述規(guī)定物質(zhì)在正交三軸方向的各投影面積中最大面積的兩軸的長(zhǎng)度為 A1、A2 時(shí)，A2〈w ( 2XA2 且 Al ^ r ^ 2XA1 成立，其中，Al ( A2。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或者5所述的光學(xué)器件，其特征在于， 設(shè)連接所述規(guī)定物質(zhì)中相隔最遠(yuǎn)的兩個(gè)原子的第一軸的長(zhǎng)度為al、連接在與所述主軸正交的面的所述規(guī)定物質(zhì)的正投影中相距最遠(yuǎn)的兩個(gè)原子的第二軸的長(zhǎng)度為a2時(shí)，根據(jù)所述第一軸的長(zhǎng)度al以及所述第二軸的長(zhǎng)度a2分別設(shè)定所述長(zhǎng)度Al以及所述長(zhǎng)度A2。
7.—種檢測(cè)裝置，其特征在于， 具有: 光源；來自所述光源的光射入的權(quán)利要求3至6中任一項(xiàng)所述的光學(xué)器件；以及 光檢測(cè)器，檢測(cè)從所述光學(xué)器件射出的光。
8.—種電子設(shè)備,其特征在于， 具備權(quán)利要求7所述的檢測(cè)裝置、根據(jù)來自所述檢測(cè)裝置的檢測(cè)信息運(yùn)算健康醫(yī)療信息的運(yùn)算部、存儲(chǔ)健康醫(yī)療信息的存儲(chǔ)部、以及顯示所述健康醫(yī)療信息的顯示部。
9.一種光學(xué)器件的制造方法，其特征在于， 具有: 在形成于基板的電介質(zhì)層以及金屬粒子的至少一方的表面上，使含有第一有機(jī)基團(tuán)的第一有機(jī)分子在保持規(guī)定的間隔的排列方向自組裝而形成有機(jī)分子層的工序； 將限制所述間隔的所述第一有機(jī)分子中的空間位阻基團(tuán)加水分解并除去的工序；以及 在所述表面相鄰的所述第一有機(jī)分子之間，使含有與所述第一有機(jī)基團(tuán)鏈長(zhǎng)不同的第二有機(jī)基團(tuán)的第二有機(jī)分子自組裝而形成有機(jī)分子層的工序。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光學(xué)器件的制造方法，其特征在于， 設(shè)定骨架原子為S1、所述第一有機(jī)基團(tuán)為R1、所述空間位阻基團(tuán)為Y1、與所述基板結(jié)合的第一官能團(tuán)為Xl時(shí)，所述第一有機(jī)分子由化學(xué)式(I)表示， 所述空間位阻基團(tuán)Yi是烷氧基(碳原子數(shù)為I~10)、苯氧基或者鹵基中的任一個(gè)，所述空間位阻基團(tuán)Yl通過加水分解具備OH基。` 化學(xué)式5
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的光學(xué)器件的制造方法，其特征在于， 設(shè)定骨架原子為S1、所述第二有機(jī)基團(tuán)為R2、與所述基板結(jié)合的第二官能團(tuán)為X2、剩余基團(tuán)為Y2、Y3時(shí)，所述第二有機(jī)分子由化學(xué)式(2)表示， 所述基團(tuán)Υ2以及所述基團(tuán)Υ3分別是烷氧基(碳原子數(shù)為I~10)、苯氧基、羥基或者鹵基中的任一個(gè)。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的光學(xué)器件的制造方法，其特征在于， 所述第一有機(jī)基團(tuán)Rl以及所述第二有機(jī)基團(tuán)R2分別是具有選自由烷基、乙烯基、芳基、羥基、醒基、擬基、駿基、硝基、氣基、橫基、釀鍵、醋鍵、酸胺鍵、氰!基、亞氣基、環(huán)烷基、稀基、炔基、環(huán)氧基、疏基、橫基、鹵代基組成的組中的一種或者兩種以上官能團(tuán)的直鏈狀、支鏈狀或者環(huán)狀的構(gòu)造。
13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的光學(xué)器件的制造方法，其特征在于，在所述第一有機(jī)分子以及所述第二有機(jī)分子形成于所述電介質(zhì)層的時(shí)候，所述第一官能團(tuán)Xl以及所述第二官能團(tuán)X2分別是烷氧基(碳原子數(shù)為I~10)、苯氧基、羥基或者鹵基中的任一個(gè)。
14.根據(jù)權(quán)利要求11至13中任一項(xiàng)所述的光學(xué)器件的制造方法，其特征在于， 在所述第一有機(jī)分子以及所述第二有機(jī)分子形成于所述多個(gè)金屬粒子時(shí)，所述第一官能團(tuán)Xl以及所述第二官能團(tuán)X2分別是硫醇基、異硫氰酸酯或者異腈基中的任一個(gè)。
15.根據(jù)權(quán)利要求10至14中任一項(xiàng)所述的光學(xué)器件的制造方法，其特征在于， 所述骨架原子使用T1、Zr、Al`原子中的任一個(gè)代替Si。
【文檔編號(hào)】G01N21/65GK103868905SQ201310670675
【公開日】2014年6月18日 申請(qǐng)日期:2013年12月10日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月13日
【發(fā)明者】山田明子, 山田耕平 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社