顆粒驗測裝置及顆粒驗測系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種顆粒驗測裝置及一種顆粒驗測系統(tǒng)，顆粒驗測裝置包括底座、采樣管、采樣頭和過濾器，其中，采樣管的底端與底座固定連接，采樣管的頂端與采樣頭固定連接，過濾器通過密封環(huán)與采樣頭的上端密封連接，從而在工藝需求進(jìn)行顆粒驗測時，能夠方便快捷的確定橡膠管路的狀態(tài)，且該過濾器和密封環(huán)的成本較低，進(jìn)而在保證了產(chǎn)品良率的同時，又降低了器件的生產(chǎn)成本。
【專利說明】顆粒驗測裝置及顆粒驗測系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體測試【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種顆粒驗測裝置及一種顆粒驗測系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]眾所周知，半導(dǎo)體無塵室內(nèi)的潔凈度對產(chǎn)品的良率有著至關(guān)重要的影響，因此實時監(jiān)測半導(dǎo)體無塵室內(nèi)的潔凈度對保證器件的良好性能是必不可少的技術(shù)手段。
[0003]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中的顆粒在線監(jiān)測系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；如圖所示，目前業(yè)界所使用的顆粒在線監(jiān)測系統(tǒng)包括:顆粒測試儀103、采樣管切換盤102和采樣管101，該顆粒在線監(jiān)測系統(tǒng)還包括:連接采樣管切換盤和采樣管的橡膠管路104以及連接采樣管切換盤和顆粒測試儀的橡膠管路105 ;這些橡膠管路104和105通常布于潔凈室地板的下方，長度達(dá)到數(shù)十米。
[0004]上述橡膠管路外層沒有額外的保護(hù)層，時間一長，由于空氣中存在著氧氣，橡膠管道中便存在大量氧氣，氧在橡膠管道中與橡膠分子發(fā)生游離基鏈鎖反應(yīng)，分子鏈發(fā)生斷裂或過度交聯(lián)，引起橡膠性能的改變，同時，由于潔凈室地板下方的空間通常不透氣，存儲有大量的半導(dǎo)體設(shè)備的電源和供氣管路等，熱量較大，從而進(jìn)一步的加快了橡膠氧化速度，進(jìn)而導(dǎo)致橡膠管路極易老化，而老化的橡膠管路容易破損，這會導(dǎo)致顆粒監(jiān)測數(shù)據(jù)的不準(zhǔn)確。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)中，針對顆粒監(jiān)測數(shù)據(jù)出現(xiàn)異常的情況，通常使用移動式顆粒測試儀進(jìn)行驗測，若移動式顆粒測試儀驗測區(qū)域顆粒正常，則可判斷該監(jiān)測點下方的橡膠管路已出現(xiàn)破損，但是當(dāng)移動式顆粒測試儀驗測該區(qū)域的顆粒不正常時，由于可能存在橡膠管路破損造成一定程度的影響，所說義不能斷定該監(jiān)測點下方的橡膠管路肯定完好，且移動式顆粒測試儀的成本較大，從而既難以斷定橡膠管路是否完好，又增加了半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)成本。
實用新型內(nèi)容
[0006]針對上述存在的問題，本實用新型提供一種顆粒驗測裝置及一種顆粒驗測系統(tǒng)，以克服現(xiàn)有技術(shù)中不能斷定橡膠管路是否完好，從而增大了生產(chǎn)隱患的問題，也克服現(xiàn)有技術(shù)中使用移動式顆粒測試儀，成本較大，導(dǎo)致增加半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)成本的問題，從而在能方便快捷的確定橡膠管路的狀態(tài)的同時，又降低了使用成本，進(jìn)而在保證了產(chǎn)品良率的同時，又降低了器件的生產(chǎn)成本。
[0007]為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采取的技術(shù)方案為:
[0008]一種顆粒驗測裝置，包括底座、采樣管和采樣頭，所述采樣管的底端與所述底座固定連接，所述采樣頭與采樣管的頂端固定連接，其中，所述顆粒驗測裝置還包括:過濾器和密封環(huán)；
[0009]所述過濾器通過所述密封環(huán)與所述采樣頭頂端密封連接。
[0010]上述的顆粒驗測裝置，其中，所述過濾器包括過濾殼體和過濾材料；[0011 ] 所述過濾材料置于所述過濾殼體內(nèi)。
[0012]上述的顆粒驗測裝置，其中，所述過濾殼體為一筒狀結(jié)構(gòu)，且所述筒狀結(jié)構(gòu)的上下表面均向內(nèi)形成一折邊結(jié)構(gòu)。
[0013]上述的顆粒驗測裝置，其中，由所述折邊結(jié)構(gòu)形成的開口處覆蓋有一層過濾網(wǎng)。
[0014]上述的顆粒驗測裝置，其中，所述過濾殼體的材質(zhì)為金屬。
[0015]上述的顆粒驗測裝置，其中，所述過濾殼體的材質(zhì)為合金。
[0016]上述的顆粒驗測裝置，其中，所述過濾材料為高效過濾填充材料。
[0017]上述的顆粒驗測裝置，其中，所述密封環(huán)的材質(zhì)為橡膠。
[0018]上述的顆粒驗測裝置，其中，所述密封環(huán)的材質(zhì)為硅膠。
[0019]一種顆粒驗測系統(tǒng)，包括顆粒測試儀、采樣管切換盤、采樣管和兩根橡膠管路，且所述采樣管包括一采樣頭，所述顆粒測試儀通過一根所述橡膠管路與所述采樣管切換盤貫通連接，所述采樣管切換盤通過另一根所述橡膠管路與所述采樣管貫通連接，其中，所述顆粒驗測系統(tǒng)還包括過濾器和密封環(huán)；
[0020]所述過濾器通過所述密封環(huán)固定設(shè)置在所述采樣頭上，以過濾進(jìn)入所述采樣頭中的氣體中的顆粒。
[0021]上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點或者有益效果:
[0022]本實用新型提供的顆粒驗測裝置及顆粒驗測系統(tǒng)，顆粒驗測裝置包括底座、采樣管、采樣頭和過濾器，其中，采樣管的底端與底座固定連接，采樣管的頂端與采樣頭固定連接，過濾器通過密封環(huán)與采樣頭的上端密封連接，從而在工藝需求進(jìn)行顆粒驗測時，能夠方便快捷的確定橡膠管路的狀態(tài)，且該過濾器和密封環(huán)的成本較低，進(jìn)而在保證了產(chǎn)品良率的同時，又降低了器件的生產(chǎn)成本。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0023]通過閱讀參照以下附圖對非限制性實施例所作的詳細(xì)描述，本實用新型及其特征、外形和優(yōu)點將會變得更加明顯。在全部附圖中相同的標(biāo)記指示相同的部分。并未刻意按照比例繪制附圖，重點在于示出本實用新型的主旨。
[0024]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中的顆粒在線監(jiān)測系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖2是本實用新型實施例1提供的顆粒驗測裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖3是本實用新型實施例1提供的顆粒驗測裝置中的過濾器的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖4是本實用新型實施例2提供的顆粒驗測系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0028]下面結(jié)合附圖和具體的實施例對本實用新型作進(jìn)一步的說明，但是不作為本實用新型的限定。
[0029]實施例1:
[0030]圖2是本實用新型實施例1提供的顆粒驗測裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實用新型實施例1提供的顆粒驗測裝置中的過濾器的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；如圖所示，本實用新型實施例I提供的顆粒驗測裝置，包括底座200、采樣管201、采樣頭202、過濾器204和密封環(huán)203，其中，采樣管201的底端與底座200固定連接，采樣頭202與采樣管201的頂端固定連接，過濾器204通過密封環(huán)203與采樣頭202頂端密封連接。
[0031]其中，過濾器204包括過濾殼體01和過濾材料04，過濾材料04置于過濾殼體01內(nèi)，該過濾殼體01為一筒狀結(jié)構(gòu),且該筒狀結(jié)構(gòu)的上下表面均向內(nèi)形成一折邊結(jié)構(gòu)02,而由折邊結(jié)構(gòu)02形成的開口處覆蓋有一層過濾網(wǎng)03，由此，便可將過濾材料04放置于過濾殼體中。
[0032]另外，過濾殼體01的材質(zhì)為金屬，在本實用新型實施例中，該過濾殼體01的材質(zhì)優(yōu)選為為合金；而過濾材料04為高效過濾填充材料。
[0033]密封環(huán)203將采樣頭202與過濾器204密封連接，該密封環(huán)203的材質(zhì)為橡膠或者為硅膠。
[0034]所以，本實用新型實施例1提供的顆粒驗測裝置，包括底座、采樣管、采樣頭和過濾器，其中，采樣管的底端與底座固定連接，采樣管的頂端與采樣頭固定連接，過濾器通過密封環(huán)與采樣頭的上端密封連接，從而在工藝需求進(jìn)行顆粒驗測時，能夠方便快捷的確定橡膠管路的狀態(tài)，且該過濾器和密封環(huán)的成本較低，進(jìn)而在保證了產(chǎn)品良率的同時，又降低了器件的生產(chǎn)成本。
[0035]實施例2:
[0036]圖4是本實用新型實施例2提供的顆粒驗測系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；如圖所示，本實用新型實施例2提供的顆粒在線驗測系統(tǒng)包括:顆粒驗測裝置301、采樣管切換盤302和顆粒測試儀303，該顆粒驗測裝置301包括底座、采樣管、采樣頭和過濾器，采樣管固定設(shè)置在底座上，采樣頭固定安裝在采樣管上，過濾器通過一密封環(huán)與采樣頭密封連接，另外，顆粒驗測裝置301與采樣管切換盤302通過橡膠管路304貫通連接，顆粒測試儀303與采樣管切換盤302通過橡膠管路305貫通連接。
[0037]在顆粒測試時，當(dāng)監(jiān)測到某區(qū)域的數(shù)據(jù)出現(xiàn)異常時，只需要在原來的顆粒監(jiān)測裝置頂端的采樣頭上通過密封環(huán)套設(shè)一過濾器，即可得到本實用新型提供的顆粒驗測裝置301，通過該顆粒驗測裝置301即可快速便捷的檢測出該監(jiān)測點下方的橡膠管路是否發(fā)生破損。原因在于，由于本實用新型提供的顆粒驗測裝置301的頂端設(shè)置有過濾器，過濾器過濾掉無塵室中的顆粒等，從而使得進(jìn)入到顆粒在線驗測系統(tǒng)的管路中氣體為純凈的氣體，而當(dāng)顆粒測試儀仍然可以檢測到該區(qū)域的數(shù)據(jù)異常時，則可得出結(jié)論:該監(jiān)測點下方的橡膠管路已經(jīng)出現(xiàn)破損，如此提醒工作人員進(jìn)行更換，從而保證了無塵室的潔凈度，也就保證了廣品的良率。
[0038]另一種情況是，當(dāng)顆粒測試儀檢測到該區(qū)域的數(shù)據(jù)正常時，足以說明該監(jiān)測點下方的橡膠管路完好無損，其之前測出的異常屬于無塵室中的潔凈度存在問題，如此提醒工作人員，該區(qū)域需要進(jìn)行維護(hù)，以使該區(qū)域的潔凈度達(dá)到正常狀況，保證在此區(qū)域附近的產(chǎn)品不會受到污染，從而保證了產(chǎn)品的良率。
[0039]所以，本實用新型實施例2提供的顆粒驗測系統(tǒng)，通過一密封環(huán)使采樣頭與過濾器密封連接，從而獲得本實用新型提供的顆粒驗測裝置，通過該顆粒驗測裝置在工藝需求進(jìn)行顆粒驗測時，能夠方便快捷的確定橡膠管路的狀態(tài)，且該過濾器和密封環(huán)的成本較低，進(jìn)而在保證了產(chǎn)品良率的同時，又降低了器件的生產(chǎn)成本。
[0040]綜上所述，本實用新型提供的顆粒驗測裝置及顆粒驗測系統(tǒng)，顆粒驗測裝置包括底座、采樣管、采樣頭和過濾器，其中，采樣管的底端與底座固定連接，采樣管的頂端與采樣頭固定連接，過濾器通過密封環(huán)與采樣頭的上端密封連接，從而在工藝需求進(jìn)行顆粒驗測時，能夠方便快捷的確定橡膠管路的狀態(tài)，且該過濾器和密封環(huán)的成本較低，進(jìn)而在保證了產(chǎn)品良率的同時，又降低了器件的生產(chǎn)成本。
[0041 ] 本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該理解，本領(lǐng)域技術(shù)人員結(jié)合現(xiàn)有技術(shù)以及上述實施例可以實現(xiàn)所述變化例，在此不予贅述。這樣的變化例并不影響本實用新型的實質(zhì)內(nèi)容，在此不予贅述。
[0042] 以上對本實用新型的較佳實施例進(jìn)行了描述。需要理解的是，本實用新型并不局限于上述特定實施方式，其中未盡詳細(xì)描述的設(shè)備和結(jié)構(gòu)應(yīng)該理解為用本領(lǐng)域中的普通方式予以實施；任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本實用新型技術(shù)方案范圍情況下，都可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容對本實用新型方案作出許多可能的變動和修飾，或修改為等同變化的等效實施例，這并不影響本實用新型的實質(zhì)內(nèi)容。因此，凡是未脫離本實用新型技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本實用新型的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所做的任何簡單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本實用新型技術(shù)方案保護(hù)的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種顆粒驗測裝置，包括底座、采樣管和采樣頭，所述采樣管的底端與所述底座固定連接，所述采樣頭與采樣管的頂端固定連接，其特征在于，所述顆粒驗測裝置還包括:過濾器和密封環(huán)； 所述過濾器通過所述密封環(huán)與所述采樣頭頂端密封連接。
2.如權(quán)利要求1所述的顆粒驗測裝置，其特征在于，所述過濾器包括過濾殼體和過濾材料； 所述過濾材料置于所述過濾殼體內(nèi)。
3.如權(quán)利要求2所述的顆粒驗測裝置，其特征在于，所述過濾殼體為一筒狀結(jié)構(gòu)，且所述筒狀結(jié)構(gòu)的上下表面均向內(nèi)形成一折邊結(jié)構(gòu)。
4.如權(quán)利要求3所述的顆粒驗測裝置，其特征在于，由所述折邊結(jié)構(gòu)形成的開口處覆蓋有一層過濾網(wǎng)。
5.如權(quán)利要求2所述的顆粒驗測裝置，其特征在于，所述過濾殼體的材質(zhì)為金屬。
6.如權(quán)利要求2所述的顆粒驗測裝置，其特征在于，所述過濾殼體的材質(zhì)為合金。
7.如權(quán)利要求2所述的顆粒驗測裝置，其特征在于，所述過濾材料為高效過濾填充材料。
8.如權(quán)利要求1所述的顆粒驗測裝置，其特征在于，所述密封環(huán)的材質(zhì)為橡膠。
9.如權(quán)利要求1所述的顆粒驗測裝置，其特征在于，所述密封環(huán)的材質(zhì)為硅膠。
10.一種顆粒驗測系統(tǒng)，包括顆粒測試儀、采樣管切換盤、采樣管和兩根橡膠管路，且所述采樣管包括一采樣頭，所述顆粒測試儀通過一根所述橡膠管路與所述采樣管切換盤貫通連接，所述采樣管切換盤通過另一根所述橡膠管路與所述采樣管貫通連接，其特征在于，所述顆粒驗測系統(tǒng)還包括過濾器和密封環(huán)； 所述過濾器通過所述密封環(huán)固定設(shè)置在所述采樣頭上，以過濾進(jìn)入所述采樣頭中的氣體中的顆粒。
【文檔編號】G01N15/00GK203479667SQ201320475981
【公開日】2014年3月12日 申請日期:2013年8月5日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月5日
【發(fā)明者】王祺, 潘軍花 申請人:上海華力微電子有限公司