測(cè)試板和測(cè)試盒的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提出了一種測(cè)試板和測(cè)試盒，包括：托盤、托盤蓋、設(shè)置在托盤上的器件卡，設(shè)置在托盤蓋上的固定部件，器件卡包括外壁和內(nèi)壁，內(nèi)壁通過(guò)若干擴(kuò)展彈簧與外壁固定在一起；在將待測(cè)器件固定在器件卡內(nèi)時(shí)，由于有擴(kuò)展彈簧的存在，可以固定不同尺寸的待測(cè)器件，由器件卡的固定作用，可以完全避免不同待測(cè)器件之間發(fā)生碰撞的問(wèn)題，徹底解決因碰撞而產(chǎn)生的ESD問(wèn)題，同時(shí)，操作簡(jiǎn)單，方便使用。
【專利說(shuō)明】測(cè)試板和測(cè)試盒
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種測(cè)試板和測(cè)試盒。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體芯片制造完成后，通常都需要對(duì)半導(dǎo)體芯片進(jìn)行相應(yīng)的可靠性測(cè)試。可靠性測(cè)試包括很多項(xiàng)目，其中較為重要的測(cè)試項(xiàng)目之一是熱沖擊(Thermal Shock, TS)測(cè)試，TS測(cè)試是將待測(cè)器件放置在測(cè)試設(shè)備之中，測(cè)試設(shè)備提供溫度最低有-55°最高有125°，使待測(cè)器件溫度在-55°和125°之間遭受大溫差的沖擊，并實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)待測(cè)器件的電阻是否會(huì)發(fā)生突變。通常，TS測(cè)試會(huì)對(duì)待測(cè)器件進(jìn)行成百甚至上千次的溫度循環(huán)測(cè)試，即將待測(cè)器件從溫度為-55°的測(cè)試腔室移至溫度為125°的腔室中，循環(huán)成百上千次，以便達(dá)到測(cè)試效果。在測(cè)試時(shí)，待測(cè)器件在-55°或者125°溫度下暴露的時(shí)間一般較短，通常約2分鐘，待測(cè)器件從-55°移至125°后，再恢復(fù)至常溫是一個(gè)循環(huán)。在執(zhí)行完溫差沖擊的循環(huán)之后，會(huì)對(duì)待測(cè)器件進(jìn)行外觀檢驗(yàn)(External Visual Examination),接著，對(duì)待測(cè)器件進(jìn)行相應(yīng)的功能測(cè)試，以監(jiān)測(cè)待測(cè)器件的性能是否出現(xiàn)損傷。
[0003]在進(jìn)行TS測(cè)試時(shí)，通常將多個(gè)待測(cè)器件隨機(jī)放入子容器中，子容器包括一個(gè)蓋子，可以將待測(cè)器件蓋入子容器之中，之后將所述子容器放置母容器之中，母容器也包括一個(gè)蓋子，合上母容器的蓋子之后將所述母容器放入與之尺寸相適配的測(cè)試設(shè)備的測(cè)試腔室之中，開始進(jìn)行TS測(cè)試。
[0004]然而，現(xiàn)有技術(shù)中的待測(cè)器件均堆放在所述子容器中，在將所述母容器由溫度為-55°的測(cè)試腔室移至溫度為125°的腔室之中的過(guò)程中，待測(cè)器件易發(fā)生碰撞，并引發(fā)靜電放電(Electro-Static Discharge，ESD)，從而干擾了 TS測(cè)試的效果；為了解決待測(cè)器件易發(fā)生碰撞的問(wèn)題，現(xiàn)有技術(shù)使用若干小托盤代替子容器，將待測(cè)器件分別放入小托盤中，并使用線將小托盤捆綁在一起，然后再放入所述母容器之中，再合上母容器的蓋子，將所述母容器放入測(cè)試腔室之中，開始進(jìn)行TS測(cè)試。
[0005]然而，每次測(cè)試均需要人工手動(dòng)捆綁小托盤，造成了人力的浪費(fèi)；并且不同的待測(cè)器件尺寸不盡相同，需要使用不同的小托盤，增加了生產(chǎn)成本。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0006]本實(shí)用新型的目的在于提供一種測(cè)試板和測(cè)試盒，能夠適用不同待測(cè)器件的尺寸，且方便使用。
[0007]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提出了一種測(cè)試板，用于固定待測(cè)器件，所述測(cè)試板包括:
[0008]托盤、多個(gè)器件卡、托盤蓋以及多個(gè)固定部件，其中，所述器件卡設(shè)置在所述托盤上，所述固定部件設(shè)置在所述托盤蓋上，所述托盤的尺寸與所述托盤蓋的尺寸一致，所述器件卡與所述固定部件的位置和個(gè)數(shù)均一一對(duì)應(yīng)，所述器件卡包括外壁和內(nèi)壁，所述內(nèi)壁通過(guò)若干擴(kuò)展彈簧與所述外壁固定在一起。[0009]進(jìn)一步的，在所述的測(cè)試板中，所述器件卡還包括一限位部件，所述限位部件位于所述器件卡底部，所述內(nèi)壁位于所述限位部件上。
[0010]進(jìn)一步的，在所述的測(cè)試板中，所述限位部件為正方形，寬度小于等于31mm。
[0011]進(jìn)一步的，在所述的測(cè)試板中，所述器件卡內(nèi)壁的高度小于等于3mm。
[0012]進(jìn)一步的，在所述的測(cè)試板中，所述器件卡的個(gè)數(shù)是5?30個(gè)，所述器件卡均勻的分布在所述托盤上。
[0013]進(jìn)一步的，在所述的測(cè)試板中，所述固定部件包括一固定彈簧和固定頭，所述固定頭通過(guò)固定彈簧設(shè)置在所述托盤蓋上。
[0014]進(jìn)一步的，在所述的測(cè)試板中，所述固定部件的個(gè)數(shù)是5?30個(gè)，所述固定部件均勻的分布在所述托盤蓋上。
[0015]進(jìn)一步的，在所述的測(cè)試板中，所述測(cè)試板還包括連接所述托盤和托盤蓋的翻卡以及位于所述托盤和托盤蓋兩邊角的緊鎖。
[0016]進(jìn)一步的，本實(shí)用新型提出了一種測(cè)試盒，用于如上文所述的任意一種的測(cè)試板，所述測(cè)試盒包括:
[0017]盒體、多個(gè)固定架、測(cè)試盒蓋子，其中，所述固定架設(shè)置在所述盒體相對(duì)的兩個(gè)內(nèi)壁上，所述測(cè)試盒蓋子與所述盒體相固定。
[0018]進(jìn)一步的，在所述的測(cè)試盒中，所述測(cè)試盒還包括手柄，所述手柄固定于所述盒體的頂端。
[0019]進(jìn)一步的，在所述的測(cè)試盒中，所述測(cè)試盒蓋子上設(shè)有鎖扣，所述盒體上設(shè)有鎖孔。
[0020]進(jìn)一步的，在所述的測(cè)試盒中，所述固定架的個(gè)數(shù)為2至6個(gè)。
[0021]進(jìn)一步的，在所述的測(cè)試盒中，所述測(cè)試盒的長(zhǎng)度范圍是IlOnrni?150mm，寬度范圍是IlOnrni?150謹(jǐn)，高度范圍是120臟?18(Mm。
[0022]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果主要體現(xiàn)在:在器件卡的內(nèi)壁和外壁之間設(shè)有擴(kuò)展彈簧，在將待測(cè)器件固定在器件卡內(nèi)時(shí)，由于有擴(kuò)展彈簧的存在，可以固定不同尺寸的待測(cè)器件，由器件卡的固定作用，可以完全避免不同待測(cè)器件之間發(fā)生碰撞的問(wèn)題，徹底解決因碰撞而產(chǎn)生的ESD問(wèn)題，同時(shí)，操作簡(jiǎn)單，方便使用。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0023]圖1為本實(shí)用新型一實(shí)施例中測(cè)試版的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例中器件卡和固定部件的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖3為本實(shí)用新型一實(shí)施例中器件卡的俯視圖；
[0026]圖4為本實(shí)用新型一實(shí)施例中測(cè)試盒的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0027]下面將結(jié)合示意圖對(duì)本實(shí)用新型的測(cè)試板和測(cè)試盒進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型，而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本實(shí)用新型的限制。[0028]為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本實(shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開發(fā)中，必須做出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)僅僅是常規(guī)工作。
[0029]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實(shí)用新型。根據(jù)下面說(shuō)明和權(quán)利要求書，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。
[0030]請(qǐng)參考圖1，在本實(shí)施例中提出了一種測(cè)試板，用于固定待測(cè)器件，所述測(cè)試板包括:
[0031]托盤10、多個(gè)器件卡40、托盤蓋20以及多個(gè)固定部件50，其中，所述器件卡40設(shè)置在所述托盤10上，所述固定部件50設(shè)置在所述托盤蓋20上，所述托盤10的尺寸與所述托盤蓋20的尺寸一致，使所述托盤蓋20能夠完全蓋住所述托盤10，所述器件卡40與所述固定部件50的位置和個(gè)數(shù)均一一對(duì)應(yīng)，當(dāng)所述托盤蓋20蓋在所述托盤10上時(shí)，所述固定部件50能夠頂住所述器件卡40，所述器件卡40包括外壁41和內(nèi)壁42，所述內(nèi)壁42通過(guò)若干擴(kuò)展彈簧43與所述外壁41固定在一起(如圖2所示)。
[0032]在本實(shí)施例中，所述測(cè)試板還包括連接所述托盤10和托盤蓋20的翻卡30以及位于所述托盤10和托盤蓋20兩邊角的緊鎖60 ;所述托盤蓋20通過(guò)所述翻卡30與所述托盤10相固定，并能夠翻起來(lái)蓋住所述托盤10 ;所述緊鎖60用于鎖住所述托盤蓋20和托盤10。
[0033]請(qǐng)參考圖2和圖3，在本實(shí)施例中，所述器件卡40還包括一限位部件44，所述限位部件44位于所述器件卡40的底部，所述內(nèi)壁42位于所述限位部件44上，并能夠在所述限位部件44上移動(dòng)，但由于限位部件44的兩端突起，從而能夠阻擋住所述內(nèi)壁42移出所述限位部件44的表面，對(duì)所述內(nèi)壁42有著限制位移的作用；所述限位部件44為正方形，寬度L小于等于31皿1;所述器件卡40的內(nèi)壁42的高度小于等于3皿1 ;所述器件卡40的個(gè)數(shù)是5?30個(gè)，例如是20個(gè)，所述器件卡40均勻的分布在所述托盤10上；同樣的，所述固定部件50的個(gè)數(shù)是5?30個(gè)，例如是20個(gè)，所述固定部件50均勻的分布在所述托盤蓋20上，與所述器件卡40 —一對(duì)應(yīng)；所述固定部件50包括一固定彈簧52和固定頭51，所述固定頭51通過(guò)固定彈簧52設(shè)置在所述托盤蓋20上。
[0034]將待測(cè)器件70固定在所述器件卡40內(nèi)時(shí)，是將所述待測(cè)器件70固定在所述內(nèi)壁42之間，由所述內(nèi)壁42將所述待測(cè)器件70夾住，再由所述固定部件50將其頂住，從而防止所述待測(cè)器件70與別的部件發(fā)生碰撞，減少ESD問(wèn)題的發(fā)生。
[0035]請(qǐng)參考圖4，在本實(shí)施例中，還提出了一種測(cè)試盒100，用于固定如上文所述的測(cè)試板，所述測(cè)試盒100包括:
[0036]盒體110、多個(gè)固定架140、測(cè)試盒蓋子120，其中，所述固定架140設(shè)置在所述盒體110相對(duì)的兩個(gè)內(nèi)壁上，所述測(cè)試盒蓋子120與所述盒體110相固定，并且尺寸一致，能夠蓋住所述盒體110。
[0037]在本實(shí)施例中，所述測(cè)試盒100還包括手柄160，所述手柄160固定于所述盒體110的頂端，方便拿起所述測(cè)試盒100 ;所述測(cè)試盒蓋子120上設(shè)有鎖扣131，所述盒體110上設(shè)有鎖孔132，用于鎖緊所述測(cè)試盒蓋子120和盒體110 ;所述固定架140的個(gè)數(shù)為2至6個(gè)，例如是4個(gè)，所述固定架140用于盛放所述測(cè)試板。
[0038]在本實(shí)施例中，所述測(cè)試盒100的材質(zhì)為含有18%的Cr、含有8%的Ni的不銹鋼，所述測(cè)試盒100的長(zhǎng)度范圍是110臟?150皿1，例如是130皿1;寬度范圍是110臟?150mm，例如是130mm ;高度范圍是120mm?180mm，例如是150mm。
[0039]綜上，在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的測(cè)試板和測(cè)試盒中，在器件卡的內(nèi)壁和外壁之間設(shè)有擴(kuò)展彈簧，在將待測(cè)器件固定在器件卡內(nèi)時(shí)，由于有擴(kuò)展彈簧的存在，可以固定不同尺寸的待測(cè)器件，由器件卡的固定作用，可以完全避免不同待測(cè)器件之間發(fā)生碰撞的問(wèn)題，徹底解決因碰撞而產(chǎn)生的ESD問(wèn)題，同時(shí)，操作簡(jiǎn)單，方便使用。
[0040]上述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不對(duì)本實(shí)用新型起到任何限制作用。任何所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的技術(shù)方案的范圍內(nèi)，對(duì)本實(shí)用新型揭露的技術(shù)方案和技術(shù)內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動(dòng)，均屬未脫離本實(shí)用新型的技術(shù)方案的內(nèi)容，仍屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種測(cè)試板，用于固定待測(cè)器件，其特征在于，所述測(cè)試板包括: 托盤、多個(gè)器件卡、托盤蓋以及多個(gè)固定部件，其中，所述器件卡設(shè)置在所述托盤上，所述固定部件設(shè)置在所述托盤蓋上，所述托盤的尺寸與所述托盤蓋的尺寸一致，所述器件卡與所述固定部件的位置和個(gè)數(shù)均一一對(duì)應(yīng)，所述器件卡包括外壁和內(nèi)壁，所述內(nèi)壁通過(guò)若干擴(kuò)展彈簧與所述外壁固定在一起。
2.如權(quán)利要求1所述的測(cè)試板，其特征在于，所述器件卡還包括一限位部件，所述限位部件位于所述器件卡底部，所述內(nèi)壁位于所述限位部件上。
3.如權(quán)利要求2所述的測(cè)試版，其特征在于，所述限位部件為正方形，寬度小于等于31臟。
4.如權(quán)利要求1所述的測(cè)試板，其特征在于，所述器件卡內(nèi)壁的高度小于等于3mm。
5.如權(quán)利要求1所述的測(cè)試板，其特征在于，所述器件卡的個(gè)數(shù)是5?30個(gè)，所述器件卡均勻的分布在所述托盤上。
6.如權(quán)利要求1所述的測(cè)試板，其特征在于，所述固定部件包括一固定彈簧和固定頭，所述固定頭通過(guò)固定彈簧設(shè)置在所述托盤蓋上。
7.如權(quán)利要求5所述的測(cè)試板，其特征在于，所述固定部件的個(gè)數(shù)是5?30個(gè)，所述固定部件均勻的分布在所述托盤蓋上。
8.如權(quán)利要求1所述的測(cè)試板，其特征在于，所述測(cè)試板還包括連接所述托盤和托盤蓋的翻卡以及位于所述托盤和托盤蓋兩邊角的緊鎖。
9.一種測(cè)試盒，用于固定如權(quán)利要求1至8中任意一種的測(cè)試板，其特征在于，所述測(cè)試盒包括: 盒體、多個(gè)固定架、測(cè)試盒蓋子，其中，所述固定架設(shè)置在所述盒體相對(duì)的兩個(gè)內(nèi)壁上，所述測(cè)試盒蓋子與所述盒體相固定。
10.如權(quán)利要求9所述的測(cè)試盒，其特征在于，所述測(cè)試盒還包括手柄，所述手柄固定于所述盒體的頂端。
11.如權(quán)利要求9所述的測(cè)試盒，其特征在于，所述測(cè)試盒蓋子上設(shè)有鎖扣，所述盒體上設(shè)有鎖孔。
12.如權(quán)利要求9所述的測(cè)試盒，其特征在于，所述固定架的個(gè)數(shù)為2至6個(gè)。
13.如權(quán)利要求9所述的測(cè)試盒，其特征在于，所述測(cè)試盒的長(zhǎng)度范圍是IlOmm?150mm,寬度范圍是110mm?150_，高度范圍是120mm?180mm。
【文檔編號(hào)】G01R1/04GK203606396SQ201320717903
【公開日】2014年5月21日 申請(qǐng)日期:2013年11月14日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月14日
【發(fā)明者】鄒春梅, 徐孝景 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司