光學(xué)干涉儀和具有這種光學(xué)干涉儀的振動(dòng)計(jì)的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明涉及一種光學(xué)干涉儀，其具有用于射入輸出光束的輸出光束-光束輸入端和將輸出光束分成至少一束第一部分光束和第二部分光束的分光裝置，其中，干涉儀被設(shè)計(jì)外差干涉儀，具體而言，在干涉儀光路內(nèi)設(shè)置至少一個(gè)光學(xué)頻移器；和其中，干涉儀具有一個(gè)或多個(gè)光波導(dǎo)元件，利用光波導(dǎo)元件至少在輸出光束-光束輸入端、分光裝置和頻移器之間形成光波導(dǎo)。本發(fā)明特征在于，頻移器設(shè)置在第一或第二部分光束的光路內(nèi)。
【專(zhuān)利說(shuō)明】光學(xué)干涉儀和具有這種光學(xué)干涉儀的振動(dòng)計(jì)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及根據(jù)權(quán)利要求1的前序部分的光學(xué)干涉儀以及具有這種光學(xué)干涉儀的振動(dòng)計(jì)。

【背景技術(shù)】
[0002]借助于干涉儀，輸出光束利用分光裝置分成至少一束第一和第二部分光束，這兩束部分光束至少局部通過(guò)分開(kāi)的光道引導(dǎo)，最后，這兩束部分光束又疊加形成干涉。干涉儀已知被實(shí)施為例如馬赫曾德?tīng)柛缮鎯x或邁克爾遜干涉儀。
[0003]在此本發(fā)明涉及被設(shè)計(jì)成外差干涉儀的干涉儀。這種外差干涉儀在干涉儀光路內(nèi)具有至少一個(gè)光學(xué)頻移器，按照典型方式在至少兩束部分光束的其中一束的光路內(nèi)。
[0004]這種干涉儀尤其應(yīng)用于精確確定物體長(zhǎng)度、運(yùn)動(dòng)或振動(dòng)的測(cè)量技術(shù)。
[0005]由EP O 448 751 BI已知一種具有鈮酸鋰晶體的外差干涉儀。該干涉儀具有偏振旋轉(zhuǎn)和頻率偏移的變頻器。在此，輸出光束尤其利用兩個(gè)聲光構(gòu)件分成兩束偏振不同、強(qiáng)度大約相同的部分光束，這些部分光束通過(guò)偏振分光器分開(kāi)。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明任務(wù)在于進(jìn)一步改進(jìn)前面已知的光學(xué)干涉儀，尤其是提高干涉儀的構(gòu)件的可靠性和可復(fù)制性。
[0007]該任務(wù)通過(guò)根據(jù)權(quán)利要求1的光學(xué)干涉儀解決。在權(quán)利要求2至7中以及尤其是針對(duì)包括本發(fā)明干涉儀的本發(fā)明振動(dòng)計(jì)的權(quán)利要求8至14中，可以找到本發(fā)明干涉儀的有利實(shí)施方式。就此，全部權(quán)利要求的文字明確地通過(guò)參引而納入本說(shuō)明書(shū)。
[0008]本發(fā)明干涉儀具有用于射入輸出光束的輸出光束-光束輸入端以及用于將輸出光束分成至少第一部分光束和第二部分光束的分光裝置。通過(guò)在所述干涉儀的光路內(nèi)設(shè)置至少一個(gè)光學(xué)頻移器，使得所述干涉儀被設(shè)計(jì)成外差干涉儀(heterodynesInterferometer)。第一部分光束的頻率可以因此利用頻移器至少相對(duì)于第二部分光束的頻率而移位，從而干涉信號(hào)具有載波頻率。
[0009]所述干涉儀包括一個(gè)或多個(gè)光波導(dǎo)元件，利用所述光波導(dǎo)元件至少在輸出光束-光束輸入端、分光裝置和頻移器之間形成光波導(dǎo)。
[0010]重要的是，頻移器設(shè)置在第一或第二部分光束的光路內(nèi)。
[0011]由于在從輸出光束-光束輸入端出發(fā)的光路內(nèi)，分光裝置設(shè)置在頻移器前方，所以本發(fā)明干涉儀在結(jié)構(gòu)方面原則上不同于前面已知的干涉儀，尤其是由EP O 448 751 BI已知的干涉儀。
[0012]由此得到包括前面已述結(jié)構(gòu)優(yōu)點(diǎn)的波導(dǎo)元件，其中可以形成僅少量且尤其是完全沒(méi)有自由光束分量的緊湊和堅(jiān)固實(shí)施方式，此外通過(guò)在第一或第二部分光束的光路內(nèi)設(shè)置頻移器使得對(duì)分光裝置和頻移器的構(gòu)造提出的要求更少:尤其不重要的是，頻移器和分光器被設(shè)計(jì)成彼此協(xié)調(diào)一致的光偏振器件。
[0013]因而在分光裝置和頻移器的設(shè)計(jì)和參數(shù)化中，在保留應(yīng)用波導(dǎo)元件優(yōu)點(diǎn)的情況下，相對(duì)于已知干涉儀得到了更大的設(shè)計(jì)范圍。此外， 申請(qǐng)人:的研究表明，根據(jù)前述現(xiàn)有技術(shù)構(gòu)造彼此協(xié)調(diào)一致的偏振分光裝置和頻移器對(duì)這種光學(xué)器件的生產(chǎn)提出非常高的要求，從而可以獲得的可復(fù)制性較低，因而在制造過(guò)程中次品率和成本較高。本發(fā)明干涉儀避免了這些缺點(diǎn)。
[0014]本發(fā)明基于這樣的認(rèn)識(shí)，S卩，在聲光頻移器中總會(huì)保留未移位的頻率部分，存在朝向相反移位方向的分量和更高階的諧波分量。這些干擾光線分量對(duì)干涉儀的信號(hào)特性產(chǎn)生極其負(fù)面的影響。本發(fā)明目的是由此降低干擾分量，即，在頻移器前利用附加的分光器，尤其是非偏振分光器得到干涉儀臂的光線。這些分光器按照特別有利的方式可在集成LiNbO3光學(xué)器件中制成，比偏振分光器更為可靠。因此，可給干涉儀臂提供噪聲和干擾非常少的光線。干擾光線分量可能僅出現(xiàn)在帶頻移器的臂中。為此可以在頻移器后通過(guò)偏振濾波器將錯(cuò)誤偏振的干擾光線降至最低。在EP O 448 751 BI所述的解決方案中，在基準(zhǔn)光線中不可避免地用到這些分量，而此處所述解決方案允許通過(guò)偏振濾波來(lái)進(jìn)行降低。EP O 448 751 BI中的偏振分光器結(jié)構(gòu)的任務(wù)還包括能夠調(diào)節(jié)兩個(gè)臂中的輻射功率分配。本發(fā)明在此基于這樣的認(rèn)識(shí)，即，在非偏振波導(dǎo)分光器中，在頻移器之前就可以通過(guò)固定或可調(diào)節(jié)的尤其是可電子調(diào)節(jié)的分光比例進(jìn)行分光。因而具有偏振分光器的、根據(jù)自由光束光學(xué)系統(tǒng)已知的系統(tǒng)現(xiàn)在也可以利用非偏振波導(dǎo)分光器轉(zhuǎn)用于波導(dǎo)系統(tǒng)。
[0015]優(yōu)選至少在輸出光束-光束輸入端、分光裝置和頻移器之間的光路僅被設(shè)計(jì)成中間連接了或尤其優(yōu)選沒(méi)有連接其他光學(xué)器件的波導(dǎo)。由此得到堅(jiān)固結(jié)構(gòu)并且避免了自由光束射入波導(dǎo)元件或從波導(dǎo)元件射出時(shí)的強(qiáng)度損失。因而尤其有利的是，至少在輸出光束-光束輸入端、分光裝置和頻移器之間，按照一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方式的本發(fā)明干涉儀不具有自由光束，即，在波導(dǎo)之外沒(méi)有光路，尤其沒(méi)有自由光束作為在外部環(huán)境中的光路。
[0016]本發(fā)明干涉儀的波導(dǎo)元件優(yōu)選被設(shè)計(jì)成平面波導(dǎo)和/或光纖。尤其優(yōu)選的是，本發(fā)明干涉儀的所有波導(dǎo)元件優(yōu)選被設(shè)計(jì)成平面波導(dǎo)和/或光纖。
[0017]在本發(fā)明范圍內(nèi)，干涉儀的光路局部利用平面波導(dǎo)以及局部利用光纖構(gòu)成。如此得到特別堅(jiān)固的結(jié)構(gòu)，即，至少在輸出光束-光束輸入端、分光裝置和頻移器之間，整個(gè)光路僅利用平面波導(dǎo)構(gòu)成。應(yīng)用光纖情況下尤其可以應(yīng)用自身已知的玻璃纖維。
[0018]應(yīng)用光纖尤其可以實(shí)現(xiàn)利用光纖的商業(yè)標(biāo)準(zhǔn)插頭尤其是FC/APC插頭來(lái)連接光學(xué)干涉儀與其他器件，如光源或測(cè)量光學(xué)器件。
[0019]在本發(fā)明干涉儀的另一優(yōu)選實(shí)施方式中，分光裝置是非偏振的。 申請(qǐng)人:研究表明，由此與根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)已知的利用波導(dǎo)構(gòu)造的干涉儀相比干擾頻率得到抑制(如前已述)。
[0020]在另一優(yōu)選實(shí)施方式中，頻移器被設(shè)計(jì)成雙折射波導(dǎo)。由此，一方面頻移器直接與干涉儀的光學(xué)波導(dǎo)元件相連，從而避免強(qiáng)度損失。另外通過(guò)被設(shè)計(jì)為雙折射波導(dǎo)避免了根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)已知的頻移器(例如布拉格盒)尤其由于溫度依賴(lài)性而顯示出的缺點(diǎn)。
[0021]因而頻移器優(yōu)選被設(shè)計(jì)成聲光頻移器。
[0022]尤其有利的是，頻移器尤其被設(shè)計(jì)成可受到壓電影響的波導(dǎo)。由此可以其自身已知的方式利用相應(yīng)構(gòu)造的電子控制單元簡(jiǎn)單操控頻移器。按照有利方式，頻移器如此構(gòu)造，即，利用電聲轉(zhuǎn)換器的幫助生成表面聲波，之后在波導(dǎo)的選定范圍內(nèi)與光線如此相互作用，即，一部分光線朝向另一偏振方向頻移地轉(zhuǎn)換。尤其有利的是，頻移器被設(shè)計(jì)成鈮酸鋰頻移器，尤其是LiNbO3頻移器，例如由EP O 448 751 BI已知。
[0023]通過(guò)將頻移器設(shè)計(jì)成雙折射波導(dǎo)，利用頻移器使偏振頻移地朝向第二偏振方向轉(zhuǎn)移。對(duì)此，優(yōu)選利用溫度(影響與波長(zhǎng)有關(guān)的折射指數(shù))的幫助，將波長(zhǎng)和/或移頻準(zhǔn)確設(shè)定為用于頻移的脈沖和能量條件。
[0024]因而，干涉儀優(yōu)選具有至少一個(gè)偏振濾波器，在其中設(shè)有頻移器的部分光束內(nèi)，偏振濾波器設(shè)置在頻移器下游，從而頻移器設(shè)置在偏振濾波器和分光裝置之間。偏振濾波器與頻移器相互作用，從而偏振濾波器僅可透過(guò)下述光線，所述光線具有通過(guò)頻移器頻移后的光線的偏振。由于偏振濾波器中可能出現(xiàn)的具有其他偏振的其他光束分量被吸收，所以頻移后的光束利用偏振濾波器得到了 “清潔”。
[0025]在另一有利實(shí)施方式中，光學(xué)干涉儀具有至少一個(gè)附加頻移器。頻移器設(shè)置在部分光束的光路內(nèi)，而附加頻移器設(shè)置在兩束部分光束的另一部分光束的光路內(nèi)。附加頻移器如此構(gòu)造，即，其產(chǎn)生“對(duì)立于頻移器的頻率變化”的頻率變化。因而在該有利實(shí)施方式中通過(guò)附加頻移器產(chǎn)生了第一和第二部分光束之間的增大的頻率差。此外，與頻率影響相對(duì)較大地應(yīng)用僅一個(gè)頻移器相比，應(yīng)用頻移器和附加頻移器的優(yōu)點(diǎn)在于形成干涉信號(hào)的更小載波頻率。
[0026]在本發(fā)明干涉儀的另一有利實(shí)施方式中，分光器用于分開(kāi)至少兩束強(qiáng)度不同的部分光束。該優(yōu)選實(shí)施方式基于 申請(qǐng)人:這樣的認(rèn)識(shí)，即，針對(duì)典型應(yīng)用和尤其在將本發(fā)明干涉儀集成到振動(dòng)計(jì)內(nèi)時(shí)(如下所述)有利的是:一束部分光束具有更強(qiáng)的強(qiáng)度。第一部分光束的強(qiáng)度優(yōu)選大于等于兩束部分光束的總強(qiáng)度的60%，優(yōu)選大于等于70%，進(jìn)一步優(yōu)選大于等于80%,尤其是大約為85%。因而尤其有利的是,第一部分光束與第二部分光束的劃分比例為60:40至90:10優(yōu)選70:30至85:15。
[0027]按照有利方式，分光器被設(shè)計(jì)成能夠生成可選預(yù)定的強(qiáng)度比例，尤其是根據(jù)前面作為有利方式所述的強(qiáng)度比例。從而第一和第二測(cè)量光束之間的強(qiáng)度比例可以適用于測(cè)量條件。尤其有利的是可電子控制的分光器。
[0028]本發(fā)明干涉儀適用于單光束以及多通道振動(dòng)計(jì)的多種應(yīng)用，例如適用于所有裝有1550nm紅外線的外差干涉儀。通過(guò)該結(jié)構(gòu)可以實(shí)現(xiàn)的與外差相關(guān)聯(lián)的增強(qiáng)允許通過(guò)強(qiáng)度振幅調(diào)制按照最大限度限制散粒噪聲的方式檢測(cè)相位。因此，移位器也可以有利地用于電信、LIDAR和生成頻率室。
[0029]本發(fā)明干涉儀尤其適于集成到振動(dòng)計(jì)中:
[0030]因而，本發(fā)明包括一種用于干涉儀式測(cè)量物體的振動(dòng)計(jì)，其包括輻射源、本發(fā)明干涉儀或與此有關(guān)的優(yōu)選實(shí)施方式、光學(xué)疊加裝置和至少一個(gè)第一檢測(cè)器。輻射源和干涉儀如此相互作用，即，由輻射源生成的光束作為輸出光束可以射入干涉儀的輸出光束-光束輸入端。
[0031]干涉儀以其自身已知的方式構(gòu)造，S卩，第一部分光束可以作為測(cè)量光束成像到要測(cè)量物體上，而疊加裝置和第一檢測(cè)器如此相互作用，即，作為接收光束的、由物體至少部分反射的測(cè)量光束與基準(zhǔn)光束在第一檢測(cè)器的至少一個(gè)檢測(cè)器表面上至少部分疊加以形成干涉。本發(fā)明振動(dòng)計(jì)因而原則上可以對(duì)應(yīng)于此前已知的外差干涉儀的結(jié)構(gòu)。然而重要的是，振動(dòng)計(jì)的干涉儀被設(shè)計(jì)成本發(fā)明干涉儀或者與此相關(guān)的優(yōu)選實(shí)施方式。
[0032]利用本發(fā)明振動(dòng)計(jì)可以其自身已知的方式確定要測(cè)量物體在測(cè)量光束的光軸方向上的物體表面運(yùn)動(dòng)以及基于外差結(jié)構(gòu)也確定物體表面的運(yùn)動(dòng)方向。
[0033]在此，本發(fā)明振動(dòng)計(jì)可以如此構(gòu)造，即，第一部分光束是測(cè)量光束。
[0034]優(yōu)選地，振動(dòng)計(jì)具有成像光學(xué)器件，其用于將測(cè)量光束成像到要測(cè)量物體表面的對(duì)應(yīng)測(cè)量點(diǎn)上。尤其是，成像光學(xué)器件按照有利方式用于將測(cè)量光束聚焦到遠(yuǎn)離的測(cè)量物體上，尤其是超過(guò)5m，超過(guò)10m，尤其是超過(guò)10m遠(yuǎn)的測(cè)量物體上。
[0035]在此優(yōu)選的是，在成像光學(xué)器件和干涉儀之間，測(cè)量光束和接收光束的光路利用波導(dǎo)元件尤其是利用光纖形成。由此得到這樣的優(yōu)點(diǎn)，即，獲得堅(jiān)固結(jié)構(gòu)，并且在成像光學(xué)器件和干涉儀之間不需要空間調(diào)整，而是僅在波導(dǎo)元件的射入點(diǎn)與成像光學(xué)器件之間需要。
[0036]在本發(fā)明振動(dòng)計(jì)中有利的是，如前述，分光器被構(gòu)造用于分開(kāi)至少兩束強(qiáng)度不同的部分光束。在此，測(cè)量光束與基準(zhǔn)光束相比優(yōu)選具有更強(qiáng)的強(qiáng)度，尤其是大于等于測(cè)量光束和基準(zhǔn)光束的總強(qiáng)度的60%，優(yōu)選大于等于70%，進(jìn)一步優(yōu)選大于等于80%。
[0037]此優(yōu)選實(shí)施方式的優(yōu)點(diǎn)是，按照典型方式，基準(zhǔn)光線的相對(duì)較弱的強(qiáng)度足以實(shí)現(xiàn)利用檢測(cè)器充分分析干涉信號(hào)，尤其是得到散粒噪聲閾值。相反，在測(cè)量光束中期望一個(gè)盡量強(qiáng)的強(qiáng)度，尤其是假如待測(cè)量物體不具有鏡反射和/或散射的表面。
[0038]因而尤其有利的是，頻移器設(shè)置在基準(zhǔn)光束的光路內(nèi)，這是因?yàn)榻?jīng)過(guò)頻移器時(shí)通過(guò)轉(zhuǎn)換產(chǎn)生的損失至少略微降低，強(qiáng)度也至少略微削弱。
[0039]本發(fā)明振動(dòng)計(jì)優(yōu)選被設(shè)計(jì)成多通道振動(dòng)計(jì)。在此設(shè)置附加的測(cè)量光束-分光器和附加的基準(zhǔn)光束-分光器。利用測(cè)量光束-分光器生成大量測(cè)量部分光束，它們相應(yīng)成像到要測(cè)量物體，優(yōu)選成像到要測(cè)量物體表面的不同位置點(diǎn)，由物體反射和/或漫射的測(cè)量部分光束作為接收部分光束又進(jìn)入振動(dòng)計(jì)的光路。相應(yīng)地，利用基準(zhǔn)光束分光器將基準(zhǔn)光束分為多束基準(zhǔn)部分光束。振動(dòng)計(jì)至少針對(duì)各個(gè)測(cè)量部分光束包括檢測(cè)器，在所述檢測(cè)器上，對(duì)應(yīng)于測(cè)量部分光束的接收部分光束與基準(zhǔn)部分光束疊加。
[0040]因而在該有利實(shí)施方式中尤其可以按照位置解析的方式測(cè)量物體，不必非要應(yīng)用掃描方法。同樣在本發(fā)明范圍內(nèi)的是，除了按照位置解析的方式測(cè)量之外，還執(zhí)行掃描方法以便執(zhí)行多個(gè)彼此并行的按照位置解析方式的測(cè)量。
[0041]振動(dòng)計(jì)的檢測(cè)器優(yōu)選被設(shè)計(jì)成“平衡檢測(cè)器”。在檢測(cè)器的這種其自身已知的構(gòu)造方式中，檢測(cè)器具有至少兩個(gè)部分檢測(cè)器，其中，在各個(gè)部分檢測(cè)器上，相應(yīng)一對(duì)測(cè)量部分光束和基準(zhǔn)部分光束疊加。根據(jù)兩個(gè)部分檢測(cè)器的測(cè)量信號(hào)以其自身已知的方式算出總測(cè)量信號(hào)。這種平衡檢測(cè)器也被稱(chēng)為差分檢測(cè)器。尤其是在振動(dòng)計(jì)被設(shè)計(jì)成多通道振動(dòng)計(jì)中有利的是，所有部分光束的檢測(cè)器均被設(shè)計(jì)成平衡檢測(cè)器。
[0042]在另一有利實(shí)施方式中，本發(fā)明振動(dòng)計(jì)尤其根據(jù)DE102012211549作為“分集振動(dòng)計(jì)”構(gòu)成并根據(jù)接收分集原理分析測(cè)量信號(hào):
[0043]為此,分光裝置用于將輸出光束分成測(cè)量光束、第一基準(zhǔn)部分光束和至少一個(gè)第二基準(zhǔn)部分光束，并且用于將接收光束分成第一接收部分光束和至少一個(gè)第二接收部分光束。振動(dòng)計(jì)具有至少一個(gè)第二檢測(cè)器并且是如此構(gòu)造的，即，相應(yīng)在形成光學(xué)干涉情況下，第一接收部分光束與第一基準(zhǔn)部分光束在第一檢測(cè)器的檢測(cè)表面上疊加，第二接收部分光束與第二基準(zhǔn)部分光束在第二檢測(cè)器的檢測(cè)表面上疊加。振動(dòng)計(jì)包括分析單元，其用于分析第一和第二檢測(cè)器的測(cè)量信號(hào)。所述分析單元被構(gòu)成為按照接收分集原理分析兩個(gè)檢測(cè)器的測(cè)量信號(hào)。在此有利的是，頻移器設(shè)置在測(cè)量光束的光路內(nèi)，這是因?yàn)樵诨鶞?zhǔn)光束的光路內(nèi)已經(jīng)設(shè)有旨在將基準(zhǔn)光束分為至少兩束基準(zhǔn)部分光束的分光裝置。
[0044]這種作為分集振動(dòng)計(jì)的優(yōu)選實(shí)施方式基于 申請(qǐng)人:這樣的認(rèn)識(shí)，S卩，物體表面往往如此影響測(cè)量光束，即，導(dǎo)致測(cè)量精度降低或者甚至測(cè)量失敗:
[0045]干涉儀式測(cè)量物體的裝置以及尤其是振動(dòng)計(jì)的廣泛使用性歸功于，這些裝置不僅用于測(cè)量具有被認(rèn)為理想的光學(xué)反射表面的測(cè)量物體，而且用于測(cè)量具有不配合且尤其粗糙的表面的物體。測(cè)量光束按照典型方式從粗糙表面漫射，因而接收光束的強(qiáng)度分布出現(xiàn)散斑。散斑源于測(cè)量光束的相位差，其基于測(cè)量物體表面粗糙度而在與裝置保持間距的不同物體點(diǎn)上被散射，由此導(dǎo)致在各個(gè)方向上與產(chǎn)生的總強(qiáng)度無(wú)關(guān)地得到彼此明顯不同的值。因而視測(cè)量物體的特性和取向而定可以得到非常強(qiáng)的總強(qiáng)度；然而同樣可能的是，基于相位區(qū)別得到非常弱或者甚至為O的強(qiáng)度。在檢測(cè)器的檢測(cè)器表面上，具有不同相位的許多漫射光線量值的干涉導(dǎo)致總強(qiáng)度出現(xiàn)強(qiáng)烈波動(dòng)。
[0046]因?yàn)槲矬w上待測(cè)位置或速度的噪聲級(jí)隨著信號(hào)強(qiáng)度的下降而增大，所以測(cè)量質(zhì)量與散斑圖案有關(guān)。然而散斑圖案是可變的，并且尤其是與物體表面的當(dāng)前測(cè)量點(diǎn)和取向有關(guān)地波動(dòng)。
[0047]此外，散斑之間的前述相位差作為“虛假”的運(yùn)動(dòng)而被測(cè)量:基于散斑之間的相位差可以在測(cè)量信號(hào)強(qiáng)度內(nèi)形成深的丟失(所謂的“信號(hào)失落”)，這是因?yàn)楣饩€量值可能會(huì)完全相互抵消。檢測(cè)器測(cè)量信號(hào)的分析在物體測(cè)量表面位置處得到“虛假”的跳變，該跳變大約相當(dāng)于測(cè)量光束所用波長(zhǎng)的四分之一。由此相應(yīng)例如在所分析的速度中得到較高峰值，然而該峰值在物體真實(shí)運(yùn)動(dòng)中未找到對(duì)應(yīng)。
[0048]如果還執(zhí)行掃描測(cè)量(其中測(cè)量光束移動(dòng)經(jīng)過(guò)物體的多個(gè)測(cè)量點(diǎn))和/或當(dāng)裝置的輻射源和物體表面未彼此最優(yōu)固定和/或當(dāng)通過(guò)大氣環(huán)境的紋影效果得到測(cè)量光束的偏轉(zhuǎn)，那么接收的散斑圖案發(fā)生變化，可分析信號(hào)失真并且尤其是暫時(shí)具有深的信號(hào)丟失。
[0049]分集振動(dòng)計(jì)現(xiàn)在利用這樣的認(rèn)識(shí)，即前述信號(hào)丟失按照典型方式偶爾(然而在統(tǒng)計(jì)學(xué)上可說(shuō)明)出現(xiàn)，在常見(jiàn)測(cè)量條件下僅涉及測(cè)量時(shí)間或物體表面上要測(cè)量的測(cè)量點(diǎn)的較低百分比。如果現(xiàn)在兩個(gè)或多個(gè)無(wú)關(guān)原始信號(hào)在不同時(shí)間點(diǎn)具有前述信號(hào)失落，而原始信號(hào)在統(tǒng)計(jì)學(xué)上是獨(dú)立的或者至少大約或優(yōu)選大致在統(tǒng)計(jì)學(xué)上是獨(dú)立的，那么在兩個(gè)測(cè)量信道中同時(shí)出現(xiàn)丟失的概率等于各個(gè)單獨(dú)信道其概率的乘積。組合概率與針對(duì)單獨(dú)信道相比非常低。因此，這意味著，可以明顯降低前述信號(hào)失落的概率。
[0050]接收分集原理在無(wú)線電傳輸【技術(shù)領(lǐng)域】是已知的，在那里也稱(chēng)為天線分集。在天線分集中，無(wú)線信號(hào)接收器至少具有兩個(gè)天線，相應(yīng)地在電平或最優(yōu)信噪比方面評(píng)估這兩個(gè)天線的信號(hào)并基于此評(píng)估將其中一個(gè)信號(hào)用于分析。
[0051]現(xiàn)在分集振動(dòng)計(jì)將接收分集原理轉(zhuǎn)用于干涉儀式測(cè)量物體:
[0052]通過(guò)將基準(zhǔn)光束分成第一和第二基準(zhǔn)部分光束以及將接收光束分為第一和第二接收部分光束并且通過(guò)在第一和第二檢測(cè)器的檢測(cè)器表面上相應(yīng)如前所述的疊加而提供了至少兩個(gè)檢測(cè)器的獨(dú)立測(cè)量信號(hào)，它們可以類(lèi)似于天線分集中的兩個(gè)接收器進(jìn)行比較。
[0053]在分集振動(dòng)計(jì)中還重要的是，結(jié)合質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行分析，該質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)可以實(shí)現(xiàn)第一檢測(cè)器測(cè)量數(shù)據(jù)質(zhì)量與第二檢測(cè)器測(cè)量數(shù)據(jù)質(zhì)量的比較分析，根據(jù)相應(yīng)算出的質(zhì)量，這種分析或者基于兩個(gè)檢測(cè)器之一的僅一個(gè)測(cè)量信號(hào)或者基于兩個(gè)檢測(cè)器的組合測(cè)量信號(hào)，其中，上述組合也可以視當(dāng)前質(zhì)量而定地包括加權(quán)。
[0054]因而，對(duì)于分集振動(dòng)計(jì)而言重要的不僅是利用兩個(gè)檢測(cè)器分析接收光束的數(shù)據(jù)，而且還有利用兩個(gè)檢測(cè)器關(guān)于不同標(biāo)準(zhǔn)分析接收光束。因此，利用第一檢測(cè)器至少局部分析接收光束內(nèi)所含的其他信息，與(至少局部)利用第二檢測(cè)器分析的接收光束信息相比較。
[0055] 申請(qǐng)人:的研究表明，優(yōu)選關(guān)于至少其中一個(gè)下列標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行接收光束內(nèi)所含信息的前述信息分開(kāi)以及分配給第一檢測(cè)器(一方面)和分配給第二檢測(cè)器(另一方面):
[0056]a)關(guān)于偏振的分開(kāi)
[0057]在此接收光束的不同偏振分量成像到第一和第二檢測(cè)器上。這尤其對(duì)具有漫射表面的要測(cè)量物體是有利的。尤其是非金屬表面按照典型方式是漫射面。已知的是，在非金屬表面上漫射的光線喪失其預(yù)先定義的偏振，因而是隨機(jī)偏振的，參見(jiàn)Goodman, Jospeh W.的“Speckle phenomena in optics，，,第 47 頁(yè)，2007Roberts and Company Publishers。
[0058]尤其是在這種漫射表面上，關(guān)于偏振的拆分提供了可廉價(jià)實(shí)現(xiàn)的在第一和第二檢測(cè)器上生成測(cè)量信號(hào)的可能性，其中，第一測(cè)量檢測(cè)器測(cè)量信號(hào)的信號(hào)丟失與第二測(cè)量檢測(cè)器測(cè)量信號(hào)的信號(hào)丟失在統(tǒng)計(jì)學(xué)上是無(wú)關(guān)的或至少大致在統(tǒng)計(jì)學(xué)上無(wú)關(guān)的。
[0059]b)空間分開(kāi)
[0060]在此，接收光束在空間上分成光束橫截面的至少第一和第二子區(qū)域，第一子區(qū)域傳輸至第一檢測(cè)器，第二子區(qū)域傳輸至第二檢測(cè)器。
[0061]因而如此實(shí)施空間分開(kāi)，S卩，光束橫截面的子區(qū)域或者傳輸至檢測(cè)器I或者傳輸至檢測(cè)器2。在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方式中，接收光束分成右半部分作為第一子區(qū)域和左半部分作為第二子區(qū)域，即，光束橫截面一半屬于第一子區(qū)域，一半屬于第二子區(qū)域。
[0062]在該變形方式中，接收光束的空間信息因此而被分開(kāi)。 申請(qǐng)人:研究表明，尤其在金屬表面情況下，這種接收光束的空間分開(kāi)同樣使得第一檢測(cè)器信號(hào)的信號(hào)丟失與第二檢測(cè)器測(cè)量信號(hào)的信號(hào)丟失按照期望在統(tǒng)計(jì)學(xué)上無(wú)關(guān)或至少大致在統(tǒng)計(jì)學(xué)上無(wú)關(guān)。
[0063]c)模分開(kāi)
[0064]在此如此分開(kāi)接收光束，即，相對(duì)于檢測(cè)器2，至少局部不同的光束模尤其是光束橫模傳導(dǎo)至檢測(cè)器I。例如可以僅將接收光束的高斯基模傳導(dǎo)至檢測(cè)器1，僅將接收光束的其他分量傳導(dǎo)至檢測(cè)器2，尤其是無(wú)高斯基模的更高光束模。
[0065]關(guān)于接收光束的不同光束模的分開(kāi)，使得第一檢測(cè)器測(cè)量信號(hào)的信號(hào)丟失與第二檢測(cè)器測(cè)量信號(hào)的信號(hào)丟失在統(tǒng)計(jì)學(xué)上無(wú)關(guān)或者至少在統(tǒng)計(jì)學(xué)上幾乎無(wú)關(guān)。
[0066]分集振動(dòng)計(jì)在此可以類(lèi)似于根據(jù)DE102012211549.8的實(shí)施方式來(lái)實(shí)施。DE102012211549.8明確地通過(guò)參引納入本說(shuō)明書(shū)。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0067]以下結(jié)合【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】其他優(yōu)選特征和實(shí)施方式。圖中:
[0068]圖1是本發(fā)明干涉儀的一個(gè)實(shí)施例；
[0069]圖2是本發(fā)明振動(dòng)計(jì)的一個(gè)實(shí)施例，其被設(shè)計(jì)成多通道振動(dòng)計(jì)；以及
[0070]圖3是本發(fā)明振動(dòng)計(jì)的一個(gè)實(shí)施例，其可以根據(jù)接收分集原理進(jìn)行測(cè)量。

【具體實(shí)施方式】
[0071]圖1至圖3示出示意性視圖。在圖中,相同附圖標(biāo)記表示相同或作用相同的元件。
[0072]圖1示出本發(fā)明干涉儀的一個(gè)實(shí)施例。該光學(xué)干涉儀具有被設(shè)計(jì)成光纖輸入端的輸出光束-光束輸入端I。設(shè)有第一光纖Fl,以便福射源的光線能夠射入第一光纖F1。光學(xué)干涉儀具有平面波導(dǎo)結(jié)構(gòu)2。在該平面波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中，全部光路被設(shè)計(jì)成平面波導(dǎo)。
[0073]該平面波導(dǎo)結(jié)構(gòu)被設(shè)計(jì)成LiNbO3波導(dǎo)結(jié)構(gòu)。
[0074]第一光纖Fl將輸出光束-光束輸入端的輸出光束射入平面波導(dǎo)結(jié)構(gòu)2。將輸出光束利用分光裝置3分成第一部分光束4和第二部分光束5。
[0075]該干涉儀被設(shè)計(jì)成外差干涉儀，其中，在第一部分光束4的光路中設(shè)置被設(shè)計(jì)成LiNbO3頻移器的光學(xué)頻移器6。
[0076]第一部分光束在經(jīng)過(guò)頻移器6之后射入第二光纖F2,第二部分光束5射入第三光纖F3。
[0077]由于利用光纖或平面波導(dǎo)形成全部光路并且由于應(yīng)用了 LiNbO3頻移器，所以獲得了極其堅(jiān)固和可良好再現(xiàn)的結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)還可以緊湊地構(gòu)造。
[0078]此外，分光裝置3被設(shè)計(jì)成非偏振分光器，從而進(jìn)一步提高可再現(xiàn)性。
[0079]分光裝置3還如此構(gòu)造，即，輸出光束以約20:80的強(qiáng)度比分開(kāi)，從而第一部分光束4的強(qiáng)度與第二部分光束5的強(qiáng)度相比更弱。頻移器6也可以設(shè)置在其強(qiáng)度與第一部分光束4相比更弱的第二部分光束5的光路內(nèi)。
[0080]此外，在其中設(shè)置頻移器6的那些部分光束的光路內(nèi)，根據(jù)圖1因而在此可以在第一部分光束4光路內(nèi)，在平面波導(dǎo)結(jié)構(gòu)2和第二光纖F2之間的過(guò)渡部上設(shè)置偏振濾波器(附圖標(biāo)記Pl)，偏振濾波器匹配于利用頻移器6頻移的光束的偏振，從而利用偏振濾波器Pl濾出第一部分光束4的其他分量光束(它們不具有由頻移器6規(guī)定的偏振)，第一部分光束4由此“得到清潔”。
[0081]根據(jù)圖1的干涉儀還具有未示出的光學(xué)元件，以便將第一部分光束與第二部分光束疊加以形成干涉。
[0082]圖2示出本發(fā)明振動(dòng)計(jì)的第一實(shí)施例，其被設(shè)計(jì)成多通道振動(dòng)計(jì)。
[0083]振動(dòng)計(jì)包括輻射源7用于在紅外線范圍內(nèi)生成例如波長(zhǎng)為1550nm的輸出光束。輻射源7的輸出光束直接射入光纖，輻射源7利用商用標(biāo)準(zhǔn)FC/APC插頭與振動(dòng)計(jì)的干涉儀8 (虛線圈內(nèi))的第一光纖Fl相連。
[0084]干涉儀8具有平面波導(dǎo)結(jié)構(gòu)2，其與根據(jù)圖1的平面波導(dǎo)結(jié)構(gòu)2相同并且具有圖1示出而圖2未示出的元件:
[0085]利用第一光纖Fl射入平面波導(dǎo)結(jié)構(gòu)2的輸出光束利用設(shè)計(jì)成非偏振分光器的分光裝置3被分成第一部分光束4和第二部分光束5。在第一部分光束4的光路內(nèi)設(shè)置被設(shè)計(jì)成LiNbO3頻移器的頻移器。第一部分光束4射入第二光纖F2，第二部分光束5射入第三光纖F3。
[0086]分光裝置3如此構(gòu)造，即，第一部分光束具有第一和第二部分光束的總強(qiáng)度的大約 80%。
[0087]第一部分光束4在根據(jù)圖2的振動(dòng)計(jì)中充當(dāng)測(cè)量光束:通過(guò)多束光纖將第一部分光束4傳導(dǎo)至測(cè)量光束分光器9并利用測(cè)量光束分光器將其分成強(qiáng)度大約相同的五束測(cè)量光束。這五束測(cè)量光束同樣利用光纖傳導(dǎo)至測(cè)量光束-光束輸出端(參見(jiàn)第一測(cè)量光束-光束輸出端的示例性附圖標(biāo)記MSA)。在那里連接了其他光纖，它們將相應(yīng)的部分測(cè)量光束傳導(dǎo)至成像光學(xué)器件(圖2中示例性示出第一測(cè)量部分光束的成像光學(xué)器件AO)。利用成像光學(xué)器件將該部分測(cè)量光束成像到要測(cè)量物體MO表面上的對(duì)應(yīng)測(cè)量點(diǎn)上。至少局部反射和/或漫射的部分測(cè)量光束作為接收光束通過(guò)成像光學(xué)器件AO又射入光纖并且傳導(dǎo)至振動(dòng)計(jì)的接收光束-光束輸入端(圖2中附圖標(biāo)記ESE示例性表示第一接收部分光束的接收光束-光束輸入端)。在各個(gè)接收部分光束-光束輸入端上均設(shè)有光纖(示例性示出第一接收部分光束的第四光纖F4)。利用第四光纖F4將第一接收部分光束傳導(dǎo)至第一平衡分光器10。
[0088]射入第三光纖F3的第二部分光束5充當(dāng)基準(zhǔn)光束:
[0089]基準(zhǔn)光束利用光纖傳導(dǎo)至基準(zhǔn)光束分光器10并且分成強(qiáng)度大約相同的五束基準(zhǔn)部分光束。
[0090]如示例性針對(duì)第一基準(zhǔn)部分光束所述的那樣，第一基準(zhǔn)部分光束利用第五光纖F5和其他光纖同樣傳導(dǎo)至平衡分光器10。利用平衡分光器10使得第一基準(zhǔn)部分光束和第一接收部分光束疊加，該疊加光束在此利用偏振分光器按照已知的平衡檢測(cè)器的方式分成兩束部分光束。
[0091]第一檢測(cè)器12a相應(yīng)具有兩個(gè)部分檢測(cè)器，兩個(gè)平衡部分光束的其中一個(gè)相應(yīng)成像在它們的檢測(cè)表面上，從而可以按照平衡檢測(cè)器自身已知的方式進(jìn)行信號(hào)分析。
[0092]四個(gè)其他平衡檢測(cè)器12b至12e的光束引導(dǎo)以類(lèi)似方式構(gòu)成。
[0093]因而利用根據(jù)圖2的振動(dòng)計(jì)可以非掃描地且按照位置解析的方式測(cè)量物體MO上的位置不同的五個(gè)測(cè)量點(diǎn)，其中，針對(duì)各個(gè)測(cè)量點(diǎn)分別執(zhí)行根據(jù)平衡檢測(cè)器分析的分析。
[0094]就許多應(yīng)用而言，能夠看到測(cè)量光束對(duì)于使用者是重要的。因而在本實(shí)施例中規(guī)定，測(cè)量光線通過(guò)WDM(波分復(fù)用:Wave length Devis1n Multiplexing)稱(chēng)合器將附加可見(jiàn)的光線(其在此利用LED100生成)射入紅外激光光束的成像光學(xué)器件。然而因?yàn)檫@種耦合器非常昂貴，所以另選可以將用于發(fā)射光線的FC/APC光纖接口連接在可見(jiàn)光線的接口上。
[0095]除了成像光學(xué)器件A0，振動(dòng)計(jì)的組件設(shè)置在殼體101內(nèi)，從而測(cè)量部分光束的取向調(diào)整可以僅通過(guò)調(diào)準(zhǔn)成像光學(xué)器件來(lái)實(shí)施，而不需要移動(dòng)殼體。
[0096]圖3示出本發(fā)明振動(dòng)計(jì)的第二實(shí)施例，其可以按照分集原理進(jìn)行分析:
[0097]基本結(jié)構(gòu)與根據(jù)圖2的振動(dòng)計(jì)結(jié)構(gòu)相同:
[0098]利用輻射源7生成紅外線范圍內(nèi)的輸出光束(例如波長(zhǎng)為1550nm)，其通過(guò)分光裝置3分成第一部分光束4和第二部分光束5。第一部分光束4充當(dāng)測(cè)量光束并且經(jīng)過(guò)其光束輸出端上設(shè)有偏振濾波器Pl的頻移器6。利用光纖將測(cè)量光束傳導(dǎo)至成像光學(xué)器件A0，以便成像到測(cè)量物體MO表面的測(cè)量點(diǎn)上。
[0099]由測(cè)量物體表面至少局部反射和/或漫射的測(cè)量光束作為接收光束再次通過(guò)成像光學(xué)器件AO進(jìn)入振動(dòng)計(jì)光路。
[0100]現(xiàn)在重要的是，通過(guò)偏振分光器PBS將接收光束分成兩束接收部分光束。
[0101]在根據(jù)圖2的振動(dòng)計(jì)中同樣存在多束接收部分光束，然而在這里，在根據(jù)圖2的振動(dòng)計(jì)中，各束接收部分光束分別被分配給測(cè)量物體表面上的另一位置點(diǎn)。
[0102]相反，在根據(jù)圖3的振動(dòng)計(jì)中，兩束接收部分光束被分配給測(cè)量物體表面的相同位置點(diǎn)，然而基于通過(guò)偏振分光器PBS的劃分，關(guān)于它們的偏振彼此區(qū)別開(kāi)來(lái)。
[0103]由此生成兩束接收部分光束，它們可以按照分集接收方式分析兩個(gè)在統(tǒng)計(jì)學(xué)方面不相關(guān)的檢測(cè)信號(hào):
[0104]振動(dòng)計(jì)包括第一檢測(cè)器12A以及第二檢測(cè)器12B。這兩個(gè)檢測(cè)器以其自身已知的方式被設(shè)計(jì)成平衡檢測(cè)器。
[0105]此外，振動(dòng)計(jì)還包括基準(zhǔn)光束分光器11，利用基準(zhǔn)光束分光器將基準(zhǔn)光束分成強(qiáng)度大約相同的兩束部分光束。
[0106]利用第一檢測(cè)器12A分析第一基準(zhǔn)部分光束和第一接收部分光束之間的干涉信號(hào)。類(lèi)似地利用第二檢測(cè)器12B分析第二基準(zhǔn)部分光束和第二接收部分光束的干涉信號(hào)，相應(yīng)按照平衡檢測(cè)器分析方式。
[0107]現(xiàn)在重要的是，檢測(cè)器12A和檢測(cè)器12B的干涉信號(hào)分配給測(cè)量物體MO表面上的相同測(cè)量點(diǎn)，然而基于不同偏振而在統(tǒng)計(jì)學(xué)方面彼此不相關(guān)。
[0108]因而可以按照分集接收方式形成總干涉信號(hào)，例如相應(yīng)應(yīng)用兩個(gè)信號(hào)中的更強(qiáng)信號(hào)進(jìn)行分析，或者與它們信號(hào)強(qiáng)度成比例地加權(quán)兩個(gè)信號(hào)形成總干涉信號(hào)。
【權(quán)利要求】
1.一種光學(xué)干涉儀， 其具有用于射入輸出光束的輸出光束-光束輸入端(I)和用于將所述輸出光束分成至少第一部分光束(4)和第二部分光束(5)的分光裝置(3), 其中，所述干涉儀通過(guò)在所述干涉儀的光路內(nèi)設(shè)置至少一個(gè)光學(xué)頻移器(6)而被構(gòu)成為外差干涉儀，并且 其中，所述干涉儀具有一個(gè)或多個(gè)光波導(dǎo)元件(2、F2、F3、F4)，利用所述光波導(dǎo)元件至少在所述輸出光束-光束輸入端(I)、所述分光裝置(3)和所述頻移器(6)之間形成光波導(dǎo)， 其特征在于， 所述頻移器(6)設(shè)置在其中一束部分光束的光路內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干涉儀，其特征在于， 至少在所述輸出光束-光束輸入端(I)、所述分光裝置(3)和所述頻移器(6)之間的光路無(wú)自由光束地且優(yōu)選僅被構(gòu)成為波導(dǎo)，尤其是至少在所述輸出光束-光束輸入端、所述分光裝置和所述頻移器之間的光路不具有自由光束。
3.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的干涉儀，其特征在于， 所述分光裝置(3)是按照非偏振的方式構(gòu)成的。
4.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的干涉儀，其特征在于， 所述頻移器(6)被設(shè)計(jì)成雙折射波導(dǎo)，尤其是可按壓電方式受到影響的波導(dǎo)，優(yōu)選的是，所述頻移器被設(shè)計(jì)成聲光鈮酸鋰頻移器，尤其是LiNbO3頻移器。
5.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的干涉儀，其特征在于， 所述干涉儀具有至少一個(gè)偏振濾波器(P1)，在其中布置有所述頻移器的部分光束內(nèi)，所述頻移器(6)設(shè)置在所述偏振濾波器(Pl)和所述分光裝置(3)之間。
6.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的干涉儀，其特征在于， 所述分光裝置(3)被構(gòu)造用于分開(kāi)至少兩束強(qiáng)度不同的部分光束，尤其是，第一部分光束的強(qiáng)度大于等于兩束部分光束的總強(qiáng)度的60%，優(yōu)選大于等于70 %，進(jìn)一步優(yōu)選大于等于80%。
7.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的干涉儀，其特征在于， 一個(gè)或多個(gè)光波導(dǎo)元件被設(shè)計(jì)成平面波導(dǎo)道和/或光纖，尤其是，至少在所述光束輸入端、所述分光裝置和所述頻移器之間的光路利用平面波導(dǎo)道構(gòu)成。
8.一種用于干涉儀式測(cè)量物體(MO)的振動(dòng)計(jì)，其包括輻射源(7)、根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的干涉儀和至少一個(gè)第一檢測(cè)器(12a)，其中，所述輻射源和所述干涉儀如此協(xié)同工作，即，由所述輻射源(7)生成的光束能夠作為輸出光束射入所述輸出光束-光束輸入端， 其中，所述干涉儀被構(gòu)成用于將作為測(cè)量光束的所述第一部分光束成像到所述物體(MO)上；并且 其中，所述干涉儀和所述第一檢測(cè)器如此協(xié)同工作，即，作為接收光束的、由所述物體(MO)至少部分反射的測(cè)量光束與基準(zhǔn)光束在所述第一檢測(cè)器(12a)的至少一個(gè)檢測(cè)器表面上至少部分疊加。
9.根據(jù)至少根據(jù)權(quán)利要求6的權(quán)利要求8所述的振動(dòng)計(jì)，其特征在于， 所述第一部分光束(4)是測(cè)量光束。
10.根據(jù)權(quán)利要求8至9之一所述的振動(dòng)計(jì)，其特征在于， 所述振動(dòng)計(jì)具有成像光學(xué)器件(AO)，其用于將測(cè)量光束成像到要測(cè)量物體(MO)表面的對(duì)應(yīng)測(cè)量點(diǎn)上。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的振動(dòng)計(jì)，其特征在于， 在所述成像光學(xué)器件(AO)和所述干涉儀之間，測(cè)量光束和接收光束的光路是利用波導(dǎo)元件、尤其是利用光纖形成的。
12.根據(jù)權(quán)利要求8至11之一所述的振動(dòng)計(jì)，其特征在于， 所述分光裝置被構(gòu)造用于將輸出光束分成測(cè)量光束、第一基準(zhǔn)部分光束和至少一束第二基準(zhǔn)部分光束以及用于將接收光束分成第一接收部分光束和至少一束第二接收部分光束， 所述振動(dòng)計(jì)具有至少一個(gè)第二檢測(cè)器(12b)并且如此構(gòu)造，即，在形成光學(xué)干涉情況下，所述第一接收光束與第一基準(zhǔn)部分光束在所述第一檢測(cè)器(12a)的檢測(cè)表面上疊加，并且所述第二接收部分光束與第二基準(zhǔn)部分光束在所述第二檢測(cè)器(12b)的檢測(cè)表面上疊加，并且 所述振動(dòng)計(jì)具有分析單元，其用于分析所述第一檢測(cè)器(12a)和所述第二檢測(cè)器(12b)的測(cè)量信號(hào)，所述分析單元被構(gòu)成為按照接收分集原理分析兩個(gè)檢測(cè)器的測(cè)量信號(hào)，尤其是所述頻移器(6)設(shè)置在測(cè)量光束的光路內(nèi)。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的振動(dòng)計(jì)，其特征在于， 所述裝置包括至少一個(gè)分光單元(PBS)，所述分光單元設(shè)置在接收光束和/或第一和/或第二接收部分光束的光路內(nèi)并且如此構(gòu)造，即，利用第一檢測(cè)器和第二檢測(cè)器能夠分析接收光束的不同偏振分量和/或不同光束橫截面分量和/或不同的模。
【文檔編號(hào)】G01H9/00GK104180892SQ201410228112
【公開(kāi)日】2014年12月3日 申請(qǐng)日期:2014年5月27日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月27日
【發(fā)明者】邁克爾·沃爾特格, 克里斯蒂安·倫貝, 亞歷山大·德雷本施泰特, 托比亞斯·布勞恩 申請(qǐng)人:綜合工藝有限公司