一種用于高溫爐內(nèi)單晶硅棒進行尺寸測量的裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種用于高溫爐內(nèi)單晶硅棒進行尺寸測量的裝置，包括底板和控制柜；所述底板上固定連接有液壓伸縮桿；所述液壓伸縮桿上端固定連接有相機；所述相機前端設置有鏡頭；所述鏡頭前端設置有濾光片；所述液壓伸縮桿一側固定連接有主支撐桿；所述主支撐桿上鉸接有副支撐桿；所述主支撐桿和副支撐桿通過鉚釘鉸接；所述副支撐桿前端固定連接有激光器組；所述控制柜內(nèi)部設置有液壓泵；所述液壓伸縮桿通過導管與液壓泵相連；所述控制柜上還設置有控制按鈕組；本實用新型很大程度上提高了產(chǎn)品邊緣取像的清晰度和測量精度，同時降低了工作人員的工作強度，提高了自動化程度，給企業(yè)帶來了良好的效益。
【專利說明】—種用于高溫爐內(nèi)單晶硅棒進行尺寸測量的裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種用于高溫爐內(nèi)單晶硅棒進行尺寸測量的裝置。
【背景技術】
[0002]傳統(tǒng)的單晶硅棒生產(chǎn)過程采用的是人工測量、人工數(shù)據(jù)統(tǒng)計和人工調(diào)整生產(chǎn)參數(shù)的方式，這樣的方式存在尺寸測量精度低，耗用人工，難以與其他機械設備融合，難以實現(xiàn)生產(chǎn)自動化的缺點；同時由于爐內(nèi)通過火焰對產(chǎn)品加熱呈高溫狀態(tài)，且爐內(nèi)粉塵較大，普通的視覺傳感難以對產(chǎn)品的邊緣進行取像，可見光光源甚至達不到爐內(nèi)自身火焰的亮度，造成傳統(tǒng)的視覺檢測無法實現(xiàn)檢測。
實用新型內(nèi)容
[0003](一)要解決的技術問題
[0004]為解決上述問題，本實用新型提出了一種尺寸測量精度高、人工資源利用少、自動化程度高和易于對產(chǎn)品邊緣進行取像的用于高溫爐內(nèi)單晶硅棒進行尺寸測量的裝置。
[0005]( 二 )技術方案
[0006]本實用新型的用于高溫爐內(nèi)單晶硅棒進行尺寸測量的裝置，包括底板和控制柜；所述底板上固定連接有液壓伸縮桿；所述液壓伸縮桿上端固定連接有相機；所述相機前端設置有鏡頭；所述鏡頭前端設置有濾光片；所述液壓伸縮桿一側固定連接有主支撐桿；所述主支撐桿上鉸接有副支撐桿；所述主支撐桿和副支撐桿通過鉚釘鉸接；所述副支撐桿前端固定連接有激光器組；所述控制柜內(nèi)部設置有液壓泵；所述液壓伸縮桿通過導管與液壓泵相連；所述控制柜上還設置有控制按鈕組。
[0007]進一步地，所述相機為近紅外相機。
[0008]進一步地，所述濾光片為紅外濾光片。
[0009]進一步地，所述激光器組為近紅外固體激光器組。
[0010]進一步地，所述液壓泵為柱塞泵。
[0011 ] 進一步地，所述導管為橡膠軟管。
[0012](三)有益效果
[0013]本實用新型與現(xiàn)有技術相比較，其具有以下有益效果:本實用新型的一種尺寸測量精度高、人工資源利用少、自動化程度高和易于對產(chǎn)品邊緣進行取像的用于高溫爐內(nèi)單晶硅棒進行尺寸測量的裝置；本實用新型采用激光器組作為輔助光源對產(chǎn)品進行照射，由于激光具有良好的方向性，且激光的亮度遠遠高于火焰產(chǎn)生的亮度，易于在產(chǎn)品上產(chǎn)生光斑，然后通過濾光片將爐內(nèi)火焰產(chǎn)生的可見光以及部分近紅外線過濾掉后，再通過相機對產(chǎn)品進行捕捉，從而實現(xiàn)了對產(chǎn)品邊緣的取像；本實用新型很大程度上提高了產(chǎn)品邊緣取像的清晰度和測量精度，同時降低了工作人員的工作強度，提高了自動化程度，給企業(yè)帶來了良好的效益。【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1為本實用新型的主視結構示意圖；
[0015]圖2為本實用新型實際應用示意圖。
[0016]其中:1、底板；2、液壓伸縮桿；3、相機；4、鏡頭；5、濾光片；6、主支撐桿；7、副支撐桿；8、激光器組；9、控制柜；10、控制按鈕組；11、導管；12、鉚釘；13、高溫爐；14、觀察鏡；15、產(chǎn)品。
【具體實施方式】
[0017]如圖1和圖2所示的一種用于高溫爐內(nèi)單晶硅棒進行尺寸測量的裝置，包括底板I和控制柜9 ;所述底板I上固定連接有液壓伸縮桿2 ;所述液壓伸縮桿2上端固定連接有相機3 ;所述相機3前端設置有鏡頭4 ;所述鏡頭4前端設置有濾光片5 ;所述液壓伸縮桿2一側固定連接有主支撐桿6 ;所述主支撐桿6上鉸接有副支撐桿7 ;所述主支撐桿6和副支撐桿7通過鉚釘12鉸接；所述副支撐桿7前端固定連接有激光器組8 ;所述控制柜9內(nèi)部設置有液壓泵；所述液壓伸縮桿2通過導管11與液壓泵相連；所述控制柜9上還設置有控制按鈕組10。
[0018]其中，所述相機3為近紅外相機；所述濾光片5為紅外濾光片；所述激光器組8為近紅外固體激光器組；所述液壓泵為柱塞泵；所述導管11為橡膠軟管。
[0019]本實用新型的一種尺寸測量精度高、人工資源利用少、自動化程度高和易于對產(chǎn)品邊緣進行取像的用于高溫爐內(nèi)單晶硅棒進行尺寸測量的裝置；在使用本實用新型時，通過調(diào)整液壓伸縮桿的高度來調(diào)整相機的高度，使相機的軸向與產(chǎn)品的軸向呈90度垂直狀態(tài)，再通過調(diào)整激光器組的角度，使激光器組的投射方向與產(chǎn)品的軸向呈70度左右的夾角，以此作為輔助光源；由于激光具有良好的方向性，激光的光束會在圓柱形的產(chǎn)品表面產(chǎn)生一個圓弧形連續(xù)的光斑，由于產(chǎn)品處于懸空狀態(tài)，其他的光束將投射到高溫爐的爐壁上，產(chǎn)生視覺上光纖的斷層；由于激光的亮度遠遠高于火焰產(chǎn)生的亮度，通過濾光片將爐內(nèi)產(chǎn)生的可見光以及部分近紅外光線過濾掉，再通過相機進行取像，從而相機能夠采集到一個準確反映產(chǎn)品邊緣的圖像；本實用新型很大程度上提高了產(chǎn)品邊緣取像的清晰度和測量精度，同時降低了工作人員的工作強度，提高了自動化程度，給企業(yè)帶來了良好的效益。
[0020]以上所述，僅為本實用新型的【具體實施方式】，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本【技術領域】的技術人員在本實用新型揭露的技術范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。因此，本實用新型的保護范圍應所述以權利要求的保護范圍為準。
【權利要求】
1.一種用于高溫爐內(nèi)單晶硅棒進行尺寸測量的裝置，其特征在于:包括底板和控制柜；所述底板上固定連接有液壓伸縮桿；所述液壓伸縮桿上端固定連接有相機；所述相機前端設置有鏡頭；所述鏡頭前端設置有濾光片；所述液壓伸縮桿一側固定連接有主支撐桿；所述主支撐桿上鉸接有副支撐桿；所述主支撐桿和副支撐桿通過鉚釘鉸接；所述副支撐桿前端固定連接有激光器組；所述控制柜內(nèi)部設置有液壓泵；所述液壓伸縮桿通過導管與液壓泵相連；所述控制柜上還設置有控制按鈕組。
2.根據(jù)權利要求1所述的用于高溫爐內(nèi)單晶硅棒進行尺寸測量的裝置，其特征在于:所述相機為近紅外相機。
3.根據(jù)權利要求1所述的用于高溫爐內(nèi)單晶硅棒進行尺寸測量的裝置，其特征在于:所述濾光片為紅外濾光片。
4.根據(jù)權利要求1所述的用于高溫爐內(nèi)單晶硅棒進行尺寸測量的裝置，其特征在于:所述激光器組為近紅外固體激光器組。
5.根據(jù)權利要求1所述的用于高溫爐內(nèi)單晶硅棒進行尺寸測量的裝置，其特征在于:所述液壓泵為柱塞泵。
6.根據(jù)權利要求1所述的用于高溫爐內(nèi)單晶硅棒進行尺寸測量的裝置，其特征在于:所述導管為橡膠軟管。
【文檔編號】G01B11/00GK203687875SQ201420045357
【公開日】2014年7月2日 申請日期:2014年1月24日 優(yōu)先權日:2014年1月24日
【發(fā)明者】陳沖, 潘新運, 李洪軍 申請人:上海波創(chuàng)電氣有限公司