一種流量測(cè)量工具的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型提供一種流量測(cè)量工具，所述流量測(cè)量工具包括測(cè)量槽、插板、蓋體、卡扣、密封圈、凹槽和卡口凸起。所述測(cè)量槽采用塑料材質(zhì)，大大減輕了其本身的重量，且可視性強(qiáng)；將所述測(cè)量槽通過(guò)一插板均等地分割為兩部分，且兩部分側(cè)板上均設(shè)有刻度，可以在顯影液噴灑完畢后直接讀取刻度，可以直觀地發(fā)現(xiàn)兩根顯影液輸送管流量的差異，通過(guò)微調(diào)節(jié)就可以達(dá)到兩顯影液輸送管流量平衡的最終目的，大大簡(jiǎn)化了操作步驟，且提高了測(cè)量的精確度；將所述測(cè)量槽與所述蓋體、密封圈配合使用，測(cè)量讀數(shù)時(shí)，可以將密封好的測(cè)量槽豎立起來(lái)讀數(shù)，進(jìn)一步提高了測(cè)量的精確度。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
一種流量測(cè)量工具

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是涉及一種流量測(cè)量工具。

【背景技術(shù)】
[0002]目前，電子器件的制造往往用到光刻工藝，其主要步驟包括:清洗、涂膠、前烘、曝光、顯影、后烘、刻蝕和去膠等工序。顯影是將感光部分的光刻膠通過(guò)顯影液去掉，一般采用與光刻膠相配套的顯影液。
[0003]現(xiàn)有的顯影裝置為T(mén)rack(光刻顯影機(jī))，如圖1所示，所述光刻顯影機(jī)包括兩根顯影液輸送管11、若干個(gè)顯影液噴嘴12和用于連接所述顯影液輸送管11和顯影液噴嘴12的固定裝置13，所述固定裝置13內(nèi)設(shè)有空腔131，所述空腔131用于連通所述顯影液輸送管11和顯影液噴嘴12。在顯影的過(guò)程中，所述顯影液噴嘴12將所述顯影液輸送管11輸送來(lái)的顯影液噴灑在待顯影晶圓上。在整個(gè)顯影過(guò)程中，為了使得整個(gè)晶圓上顯影完全，一般需要控制顯影液噴嘴12噴涂的均勻性。由于所述顯影液噴嘴12是通過(guò)所述固定裝置13的空腔131與所述兩個(gè)顯影液輸送管11相連通的，因此，在日常的機(jī)臺(tái)維護(hù)過(guò)程中，只要控制所述兩根顯影液輸送管11的流量相同，即可保證所述顯影液噴嘴12的均勻性。
[0004]在現(xiàn)有工藝中，在對(duì)所述顯影液輸送管進(jìn)行流量調(diào)整時(shí)，需要分別對(duì)兩根顯影液輸送管的流量均勻性進(jìn)行測(cè)量，具體的方法為:將一個(gè)不銹鋼船型容器置于顯影液噴嘴下方，關(guān)閉一根顯影液輸送管，打開(kāi)另一個(gè)顯影液輸送管，待顯影液噴嘴噴灑完畢后，將所述不銹鋼船型容器內(nèi)的顯影液倒入量筒中進(jìn)行測(cè)量，即可得到所打開(kāi)顯影液輸送管的流量；使用同樣的方法，可以測(cè)試另一根顯影液輸送管的流量。整個(gè)過(guò)程中，若兩根顯影液輸送管的流量不一致，需要不斷調(diào)節(jié)兩根顯影液輸送管的流量并分別進(jìn)行測(cè)量。由于在測(cè)量過(guò)程中，盛放噴灑顯影液的容器為不銹鋼船型容器，所述不銹鋼船型容器本身較重且可視性差，對(duì)于拿取并保持平衡難以控制，加大了操作的難度；同時(shí)，待顯影液噴嘴噴灑完畢后，還需要將不銹鋼船型容器內(nèi)的顯影液倒入量筒中進(jìn)行測(cè)量，在這個(gè)過(guò)程中容易導(dǎo)致顯影液的少量溢出，影響測(cè)量的精準(zhǔn)度，甚至導(dǎo)致必須重新測(cè)量一次。在整個(gè)過(guò)程中，兩根顯影液輸送管的平衡只能靠不斷分別調(diào)節(jié)兩根顯影液輸送管來(lái)找到最終的平衡點(diǎn)，且還需要測(cè)量的步驟，這個(gè)過(guò)程步驟較多且繁瑣，耗時(shí)較長(zhǎng)，可操作性差。
[0005]鑒于此，有必要設(shè)計(jì)一種新的流量測(cè)量工具用以解決上述技術(shù)問(wèn)題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0006]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種流量測(cè)量工具，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中由于在顯影液噴嘴噴灑完畢后，需要將所噴灑的顯影液倒入量筒中測(cè)量，而盛放顯影液噴嘴噴灑的顯影液的容器自身較重且可視性差，在測(cè)量的過(guò)程中容易導(dǎo)致顯影液少量溢出而影響測(cè)量的精準(zhǔn)度，甚至導(dǎo)致重新測(cè)量，使得整個(gè)過(guò)程步驟較多繁瑣，耗時(shí)較長(zhǎng)的問(wèn)題。
[0007]為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種流量測(cè)量工具，所述流量測(cè)量工具適于對(duì)涂膠顯影機(jī)中顯影液流量均勻性進(jìn)行測(cè)量，所述涂膠顯影機(jī)包括顯影液噴嘴和固定所述顯影液噴嘴的固定裝置，所述固定裝置底部分布設(shè)有顯影液噴嘴，所述流量測(cè)量工具至少包括:測(cè)量槽和插板；所述測(cè)量槽至少包括兩塊與所述插板垂直連接的第一側(cè)板、一塊與所述插板垂直連接的底板和兩塊與所述插板平行的第二側(cè)板，所述第一側(cè)板、底板和第二側(cè)板相互垂直連接；所述插板固定于所述第一側(cè)板的中部，將所述測(cè)量槽均等地分割為第一子測(cè)量槽和第二子測(cè)量槽兩部分；所述第一子測(cè)量槽和第二子測(cè)量槽對(duì)應(yīng)的第一側(cè)板上均標(biāo)示有刻度。
[0008]作為本實(shí)用新型的流量測(cè)量工具的一種優(yōu)選方案，所述流量測(cè)量工具還包括:蓋體，所述蓋體與所述底板的大小相同；所述蓋體四周設(shè)置有一端固定于所述蓋體上的卡扣；凹槽，位于所述第一側(cè)板和第二側(cè)板的頂部和插板頂部；密封圈，置于所述凹槽內(nèi)，適于密封所述測(cè)量槽；且所述第一側(cè)板和第二側(cè)板上設(shè)置有與所述卡扣配合使用的卡扣凸起。
[0009]作為本實(shí)用新型的流量測(cè)量工具的一種優(yōu)選方案，所述刻度沿垂直于所述底板的方向設(shè)置，零刻度與所述底板相平齊。
[0010]作為本實(shí)用新型的流量測(cè)量工具的一種優(yōu)選方案，所述刻度沿平行于所述底板的方向設(shè)置，所述第一子測(cè)量槽的零刻度與一所述第二側(cè)板相平齊，所述第二子測(cè)量槽的零刻度與所述插板相平齊。
[0011]作為本實(shí)用新型的流量測(cè)量工具的一種優(yōu)選方案，所述插板的高度等于所述測(cè)量槽的深度。
[0012]作為本實(shí)用新型的流量測(cè)量工具的一種優(yōu)選方案，所述測(cè)量槽為透明測(cè)量槽。
[0013]作為本實(shí)用新型的流量測(cè)量工具的一種優(yōu)選方案，所述測(cè)量槽為塑料測(cè)量槽。
[0014]作為本實(shí)用新型的流量測(cè)量工具的一種優(yōu)選方案，所述密封圈為橡膠密封圈。
[0015]作為本實(shí)用新型的流量測(cè)量工具的一種優(yōu)選方案，所述底板的大小大于或等于所述顯影液噴嘴所分布區(qū)域的大小。
[0016]如上所述，本實(shí)用新型的流量測(cè)量工具，具有以下有益效果:所述測(cè)量槽采用塑料材質(zhì)，大大減輕了其本身的重量，且可視性強(qiáng)；將所述測(cè)量槽通過(guò)一插板均等地分割為兩部分，且兩部分側(cè)板上均設(shè)有刻度，可以在顯影液噴灑完畢后直接讀取刻度，可以直觀地發(fā)現(xiàn)兩根顯影液輸送管流量的差異，通過(guò)微調(diào)節(jié)就可以達(dá)到兩顯影液輸送管流量平衡的最終目的，大大簡(jiǎn)化了操作步驟，且提高了測(cè)量的精確度；將所述測(cè)量槽與所述蓋體、密封圈配合使用，測(cè)量讀數(shù)時(shí)，可以將密封好的測(cè)量槽豎立起來(lái)讀數(shù)，進(jìn)一步提高了測(cè)量的精確度。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0017]圖1顯示為現(xiàn)有技術(shù)中光刻顯影機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖2顯示為本實(shí)用新型實(shí)施例一中提供的測(cè)量工具的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]圖3顯示為本實(shí)用新型實(shí)施例一中提供的測(cè)量工具與涂膠顯影機(jī)配合使用的示意圖。
[0020]圖4顯示為本實(shí)用新型實(shí)施例二中提供的測(cè)量工具的結(jié)構(gòu)分解示意圖。
[0021]圖5顯示為本實(shí)用新型實(shí)施例二中提供的測(cè)量槽與涂膠顯影機(jī)配合使用的示意圖。
[0022]圖6顯示為本實(shí)用新型實(shí)施例二中提供的測(cè)量工具各部分組合后的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023]圖7顯示為本實(shí)用新型中圖6沿aa’方向的截面示意圖。
[0024]圖8顯示為本實(shí)用新型中圖6沿bb’方向的截面示意圖。
[0025]圖9顯示為本實(shí)用新型實(shí)施例二中提供的測(cè)量工具進(jìn)行讀數(shù)時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0026]元件標(biāo)號(hào)說(shuō)明
[0027]11顯影液輸送管
[0028]12顯影液噴嘴
[0029]13固定裝置
[0030]131空腔
[0031]21測(cè)量槽
[0032]211第一側(cè)板
[0033]212第二側(cè)板
[0034]213底板
[0035]214刻度
[0036]22插板
[0037]23蓋體
[0038]24卡扣
[0039]25凹槽
[0040]26密封圈
[0041]27卡口凸起
[0042]28顯影液輸送管
[0043]29顯影液噴嘴
[0044]20固定裝置

【具體實(shí)施方式】
[0045]以下通過(guò)特定的具體實(shí)例說(shuō)明本實(shí)用新型的實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說(shuō)明書(shū)所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)與功效。本實(shí)用新型還可以通過(guò)另外不同的【具體實(shí)施方式】加以實(shí)施或應(yīng)用，本說(shuō)明書(shū)中的各項(xiàng)細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點(diǎn)與應(yīng)用，在沒(méi)有背離本實(shí)用新型的精神下進(jìn)行各種修飾或改變。
[0046]請(qǐng)參閱圖2至圖9。須知，本說(shuō)明書(shū)所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說(shuō)明書(shū)所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的限定條件，故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實(shí)用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本實(shí)用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時(shí)，本說(shuō)明書(shū)中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語(yǔ)，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的范圍，其相對(duì)關(guān)系的改變或調(diào)整，在無(wú)實(shí)質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)亦視為本實(shí)用新型可實(shí)施的范疇。
[0047]實(shí)施例一
[0048]請(qǐng)參閱圖2，本實(shí)用新型提供一種流量測(cè)量工具，所述流量測(cè)量工具至少包括流量槽21和插板22，其中，所述測(cè)量槽21至少包括兩塊與所述插板22垂直連接的第一側(cè)板211、一塊與所述插板22垂直連接的底板213和兩塊與所述插板22平行的第二側(cè)板212，所述第一側(cè)板211、底板213和第二側(cè)板212相互垂直連接；所述插板22固定于所述第一側(cè)板211的中部，將所述測(cè)量槽21均等地分割為第一子測(cè)量槽和第二子測(cè)量槽兩部分；所述第一子測(cè)量槽和第二子測(cè)量槽對(duì)應(yīng)的第一側(cè)板211上均標(biāo)示有刻度214。
[0049]具體的，所述測(cè)量槽21為透明槽，以便于在讀數(shù)時(shí)可以看到液面的具體高度；優(yōu)選地，本實(shí)施例中，所述測(cè)量槽21為塑料測(cè)量槽。所述測(cè)量槽21選用塑料測(cè)量槽，減輕了測(cè)量工具自身的重量，且使得測(cè)量工具具有較強(qiáng)的可視性。
[0050]具體的，所述刻度214沿垂直于所述底板213的方向設(shè)置，零刻度與所述底板213相平齊。
[0051]具體的，所述插板22的高度可以根據(jù)待檢測(cè)顯影液的量進(jìn)行設(shè)定，優(yōu)選地，本實(shí)施例中，所述插板22的高度等于所述測(cè)量槽21的深度。
[0052]請(qǐng)參閱圖3，所述流量測(cè)量工具適于對(duì)涂膠顯影機(jī)中顯影液流量均勻性進(jìn)行測(cè)量，所述涂膠顯影機(jī)包括若干個(gè)顯影液噴嘴29和固定所述顯影液噴嘴29的固定裝置20，所述固定裝置20底部分布設(shè)有顯影液噴嘴29。在使用的過(guò)程中，將所述測(cè)量槽21置于所述顯影液噴嘴29的下方，打開(kāi)顯影液輸送管28，待顯影液噴嘴29噴灑完畢，即可根據(jù)測(cè)量槽21上的刻度214直觀地讀取出噴灑的顯影液的量，可以根據(jù)第一子測(cè)量槽和第二子測(cè)量槽中讀數(shù)的差異，進(jìn)行調(diào)節(jié)兩根顯影液輸送管28的流量，以達(dá)到最終的平衡。
[0053]具體的，為了防止顯影液噴嘴29噴灑的顯影液能被準(zhǔn)確的測(cè)量，所述底板213的大小大于或等于所述顯影液噴嘴所分布區(qū)域的大小。
[0054]實(shí)施例二
[0055]請(qǐng)參閱圖4，本實(shí)用新型提供一種流量測(cè)量工具，所述流量測(cè)量工具不僅如實(shí)施例一所述包括流量槽21和插板22，其中，所述測(cè)量槽21至少包括兩塊與所述插板22垂直連接的第一側(cè)板211、一塊與所述插板22垂直連接的底板213和兩塊與所述插板22平行的第二側(cè)板212，所述第一側(cè)板211、底板213和第二側(cè)板212相互垂直連接；所述插板22固定于所述第一側(cè)板211的中部，將所述測(cè)量槽21均等地分割為第一子測(cè)量槽和第二子測(cè)量槽兩部分；所述第一子測(cè)量槽和第二子測(cè)量槽對(duì)應(yīng)的第一側(cè)板211上均標(biāo)示有刻度214。本實(shí)施例中，所述流量測(cè)量工具還包括:蓋體23，所述蓋體23與所述底板213的大小相同；所述蓋23四周設(shè)置有一端固定于所述蓋體23上的卡扣24 ;凹槽25，位于所述第一側(cè)板211和第二側(cè)板212的頂部和插板22頂部；密封圈26，可置于所述凹槽25內(nèi)，適于密封所述測(cè)量槽21 ;且所述第一側(cè)板211和第二側(cè)板212上設(shè)置有與所述卡扣24配合使用的卡扣凸起27。
[0056]具體的，所述測(cè)量槽21為透明槽，以便于在讀數(shù)時(shí)可以看到液面的具體高度；優(yōu)選地，本實(shí)施例中，所述測(cè)量槽21為塑料測(cè)量槽。所述測(cè)量槽21選用塑料測(cè)量槽，減輕了測(cè)量工具自身的重量，且使得測(cè)量工具具有較強(qiáng)的可視性。
[0057]具體的，所述刻度214沿平行于所述底板213的方向設(shè)置，所述第一子測(cè)量槽的零刻度與一所述第二側(cè)板212相平齊，所述第二子測(cè)量槽的零刻度與所述插板22相平齊。
[0058]具體的，所述插板22的高度可以根據(jù)待檢測(cè)顯影液的量進(jìn)行設(shè)定，優(yōu)選地，本實(shí)施例中，所述插板22的高度等于所述測(cè)量槽21的深度。
[0059]請(qǐng)參閱圖5，所述流量測(cè)量工具適于對(duì)涂膠顯影機(jī)中顯影液流量均勻性進(jìn)行測(cè)量，所述涂膠顯影機(jī)包括顯影液噴嘴29和固定所述顯影液噴嘴29的固定裝置20，所述固定裝置20底部分布設(shè)有顯影液噴嘴29。在使用的過(guò)程中，將所述測(cè)量槽21置于所述顯影液噴嘴29的下方，打開(kāi)顯影液輸送管28，顯影液經(jīng)所述顯影液噴嘴29噴灑至所述測(cè)量槽21內(nèi)。待顯影液噴嘴29噴灑完畢，將所述測(cè)量槽21從所述顯影液噴嘴29下取出。
[0060]具體的，為了防止顯影液噴嘴29噴灑的顯影液能被準(zhǔn)確的測(cè)量，所述底板213的大小大于或等于所述顯影液噴嘴所分布區(qū)域的大小。
[0061]請(qǐng)參閱圖6至圖8，其中，圖7為圖6沿aa’方向的截面示意圖，圖8為圖6沿bb’方向的截面示意圖。將圖5之后得到的已盛放有顯影液的測(cè)量槽21的凹槽25內(nèi)放入密封圈26，并將所述蓋體23蓋在所述測(cè)量槽21上，通過(guò)卡扣24和卡口凸起27的配合使用，所述蓋體23被固定在所述測(cè)量槽21上并壓緊所述凹槽25內(nèi)的密封圈26，從而使得密封圈26起到很好的密封效果。
[0062]具體的，所述密封圈26為橡膠密封圈。
[0063]請(qǐng)參閱圖9，將所述測(cè)量槽21密封好以后，將其豎立起來(lái)，使所述刻度214呈正立，此時(shí)，即可以根據(jù)所述刻度214來(lái)讀取出第一子測(cè)量槽和第二子測(cè)量槽內(nèi)顯影液的量。如果所述第一子測(cè)量槽和第二子測(cè)量槽中讀數(shù)存在差異，根據(jù)差異對(duì)所示兩根顯影液輸送管進(jìn)行調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)完畢后繼續(xù)進(jìn)行測(cè)量。如此循環(huán)，直至達(dá)到兩根顯影液輸送管流量最終的平衡。
[0064]在所述測(cè)量槽21與所述密封圈26和蓋體23配合使用，讀取所述刻度214的度數(shù)時(shí)，將所述測(cè)量槽21密封好并豎立起來(lái)進(jìn)行讀取，由于測(cè)量槽21的第二側(cè)板212的面積小于所述底板213的面積，可以更加精確地量測(cè)到所述第一子測(cè)量槽和第二子測(cè)量槽內(nèi)度數(shù)的不同。
[0065]綜上所述，本實(shí)用新型提供一種流量測(cè)量工具，所述測(cè)量槽采用塑料材質(zhì)，大大減輕了其本身的重量，且可視性強(qiáng)；將所述測(cè)量槽通過(guò)一插板均等地分割為兩部分，且兩部分側(cè)板上均設(shè)有刻度，可以在顯影液噴灑完畢后直接讀取刻度，可以直觀地發(fā)現(xiàn)兩根顯影液輸送管流量的差異，通過(guò)微調(diào)節(jié)就可以達(dá)到兩顯影液輸送管流量平衡的最終目的，大大簡(jiǎn)化了操作步驟，且提高了測(cè)量的精確度；將所述測(cè)量槽與所述蓋體、密封圈配合使用，測(cè)量讀數(shù)時(shí)，可以將密封好的測(cè)量槽豎立起來(lái)讀數(shù)，進(jìn)一步提高了測(cè)量的精確度。
[0066]上述實(shí)施例僅例示性說(shuō)明本實(shí)用新型的原理及其功效，而非用于限制本實(shí)用新型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實(shí)用新型的精神及范疇下，對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此，舉凡所屬【技術(shù)領(lǐng)域】中具有通常知識(shí)者在未脫離本實(shí)用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本實(shí)用新型的權(quán)利要求所涵蓋。
【權(quán)利要求】
1.一種流量測(cè)量工具，適于對(duì)涂膠顯影機(jī)中顯影液流量均勻性進(jìn)行測(cè)量，所述涂膠顯影機(jī)包括顯影液噴嘴和固定所述顯影液噴嘴的固定裝置，所述固定裝置底部分布設(shè)有顯影液噴嘴，其特征在于，至少包括:測(cè)量槽和插板； 所述測(cè)量槽至少包括兩塊與所述插板垂直連接的第一側(cè)板、一塊與所述插板垂直連接的底板和兩塊與所述插板平行的第二側(cè)板，所述第一側(cè)板、底板和第二側(cè)板相互垂直連接； 所述插板固定于所述第一側(cè)板的中部，將所述測(cè)量槽均等地分割為第一子測(cè)量槽和第二子測(cè)量槽兩部分； 所述第一子測(cè)量槽和第二子測(cè)量槽對(duì)應(yīng)的第一側(cè)板上均標(biāo)示有刻度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流量測(cè)量工具，其特征在于:還包括: 蓋體，所述蓋體與所述底板的大小相同；所述蓋體四周設(shè)置有一端固定于所述蓋體上的卡扣； 凹槽，位于所述第一側(cè)板和第二側(cè)板的頂部和插板頂部； 密封圈，置于所述凹槽內(nèi)，適于密封所述測(cè)量槽； 且所述第一側(cè)板和第二側(cè)板上設(shè)置有與所述卡扣配合使用的卡扣凸起。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的流量測(cè)量工具，其特征在于:所述刻度沿垂直于所述底板的方向設(shè)置，零刻度與所述底板相平齊。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的流量測(cè)量工具，其特征在于:所述刻度沿平行于所述底板的方向設(shè)置，所述第一子測(cè)量槽的零刻度與一所述第二側(cè)板相平齊，所述第二子測(cè)量槽的零刻度與所述插板相平齊。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的流量測(cè)量工具，其特征在于:所述插板的高度等于所述測(cè)量槽的深度。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的流量測(cè)量工具，其特征在于:所述測(cè)量槽為透明測(cè)量槽。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的流量測(cè)量工具，其特征在于:所述測(cè)量槽為塑料測(cè)量槽。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的流量測(cè)量工具，其特征在于:所述密封圈為橡膠密封圈。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流量測(cè)量工具，其特征在于:所述底板的大小大于或等于所述顯影液噴嘴所分布區(qū)域的大小。
【文檔編號(hào)】G01F11/00GK204007749SQ201420470378
【公開(kāi)日】2014年12月10日 申請(qǐng)日期:2014年8月20日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月20日
【發(fā)明者】鄒迎慶, 阮春軍 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司