本發(fā)明涉及力學試驗夾具領(lǐng)域，具體地說就是具有一種用于微電子器件的力學試驗具有面心壓緊-互鎖防松-落差自適應(yīng)的夾具。

背景技術(shù)：

1、微電子器件的力學試驗（諸如：恒定加速度、機械沖擊、振動噪聲、掃頻振動、隨機振動等）要求被試器件需要牢固地固定在設(shè)備臺面上，業(yè)內(nèi)普遍采用的方法為將被試器件裝配入金屬夾具，以金屬夾具為媒介，將被試器件與試驗設(shè)備臺面建立剛性聯(lián)接。夾具通常包括載物臺、壓板、螺釘三部分，裝配方法為：將被試器件置入載物臺上，使壓板覆蓋被試器件，使螺釘均布在被試器件周圍并穿過壓板安裝孔，擰緊螺釘將被試器件與夾具裝配為一體。

2、夾具“硬碰硬”的裝配方式，引申出諸多問題例如：單個器件的壓緊需要兩顆及以上的螺釘，螺釘?shù)臄Q緊次序?qū)Ρ辉嚻骷氖芰顩r影響較大；螺釘擰緊會對被試器件產(chǎn)生較大的預應(yīng)力，螺釘擰松在試驗過程中又容易松動；在實際振動試驗中，螺栓預緊后，夾具邊緣與振動臺面會出現(xiàn)間隙，導致邊緣振動失真，邊緣翹起導致夾具平整度變差，進一步影響被試產(chǎn)品的安裝；被試器件由于客觀存在的尺寸公差導致其與金屬夾具機械兼容性差。以上三條為力學夾具普遍存在的問題。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明就是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種用于微電子器件的力學試驗夾具。

2、本申請?zhí)峁┮韵录夹g(shù)方案：

3、一種用于微電子器件的力學試驗夾具，其特征在于：它包括從上到下依次相連的頂板、壓板定位板和載物臺，在載物臺上設(shè)置一組器件安裝槽，在壓板定位板上設(shè)有與器件安裝槽對應(yīng)分布的壓板定位孔，在每個壓板定位孔內(nèi)均設(shè)有可移動的器件壓板，在頂板上穿設(shè)有與每塊器件壓板對應(yīng)配合的壓緊裝置，所述的壓緊裝置包括：穿套在頂板上的螺套，在螺套上旋入有與器件壓板對應(yīng)配合的壓緊螺釘，在壓緊螺釘一端設(shè)有孔，在螺套一端端部設(shè)有與頂板內(nèi)側(cè)對應(yīng)配合的直徑放大部。

4、在上述技術(shù)發(fā)案的基礎(chǔ)上，還可以有以下進一步的技術(shù)方案：

5、在所述壓緊裝置上還設(shè)有自鎖裝置，自鎖裝置包括在直徑放大部的外圓面上設(shè)有一組棘輪，在頂板內(nèi)側(cè)壁上與一組棘輪對應(yīng)配合的安裝槽，在安裝槽內(nèi)設(shè)有與棘輪對應(yīng)配合棘爪，在每個棘抓一側(cè)的安裝槽內(nèi)還設(shè)有與棘爪對應(yīng)配合的彈性件。

6、在所述螺套上設(shè)有插桿孔,設(shè)置一根與插桿孔對應(yīng)配合的插桿。

7、設(shè)置一根與孔對應(yīng)配合的插銷桿，在插銷桿兩端端部分別設(shè)有可拆卸的防脫銷。

8、所述壓緊螺釘與器件壓板的接觸端為圓頭。

9、發(fā)明優(yōu)點：

10、本發(fā)明可適應(yīng)被試器件本身的尺寸落差，提高被試器件與夾具之間的機械兼容性；該夾具本身的結(jié)構(gòu)可實現(xiàn)物理防松，避免螺釘在試驗過程中出現(xiàn)松動，規(guī)避夾具因素對試驗量級產(chǎn)生的不利影響；夾具螺釘在擰緊時不需要施加較大的扭矩，以此減小夾具對被試器件產(chǎn)生的額外應(yīng)力，通過該夾具可彌補現(xiàn)行力學試驗夾具普遍存在的結(jié)構(gòu)缺陷。

技術(shù)特征：

1.一種用于微電子器件的力學試驗夾具，其特征在于：它包括從上到下依次相連的頂板（1）、壓板定位板（2）和載物臺（3），在載物臺（3）上設(shè)置一組器件安裝槽（3a），在壓板定位板（2）上設(shè)有與器件安裝槽（3a）對應(yīng)分布的壓板定位孔（2a），在每個壓板定位孔（2a）內(nèi)均設(shè)有可移動的器件壓板（4），在頂板（1）上穿設(shè)有與每塊器件壓板（4）對應(yīng)配合的壓緊裝置（5），所述的壓緊裝置（5）包括：穿套在頂板（1）上的螺套（5a），在螺套（5a）上旋入有與器件壓板（4）對應(yīng)配合的壓緊螺釘（5b），在壓緊螺釘（5b）一端設(shè)有孔（5c），在螺套（5a）一端端部設(shè)有與頂板（1）內(nèi)側(cè)對應(yīng)配合的直徑放大部（5d）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的一種用于微電子器件的力學試驗夾具，其特征在于：在所述壓緊裝置（5）上還設(shè)有自鎖裝置，自鎖裝置包括在直徑放大部（5d）的外圓面上設(shè)有一組棘輪（6），在頂板（1）內(nèi)側(cè)壁上與一組棘輪（6）對應(yīng)配合的安裝槽（8），在安裝槽（8）內(nèi)設(shè)有與棘輪（6）對應(yīng)配合棘爪（7），在每個棘抓（7）一側(cè)的安裝槽（8）內(nèi)還設(shè)有與棘爪（7）對應(yīng)配合的彈性件（9）。

3.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的一種用于微電子器件的力學試驗夾具，其特征在于：在所述螺套（5a）上設(shè)有插桿孔（5e）,設(shè)置一根與插桿孔（5e）對應(yīng)配合的插桿（10）。

4.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的一種用于微電子器件的力學試驗夾具，其特征在于：設(shè)置一根與孔（5c）對應(yīng)配合的插銷桿（11），在插銷桿（11）兩端端部分別設(shè)有可拆卸的防脫銷（11a）。

5.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的一種用于微電子器件的力學試驗夾具，其特征在于：所述壓緊螺釘（5b）與器件壓板（4）的接觸端為圓頭。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種用于微電子器件的力學試驗夾具，其特征在于：它包括從上到下依次相連的頂板（1）、壓板定位板（2）和載物臺（3），在載物臺（3）上設(shè)置一組器件安裝槽（3a），在壓板定位板（2）上設(shè)有與器件安裝槽（3a）對應(yīng)分布的壓板定位孔（2a），在壓板定位孔（2a）內(nèi)設(shè)有可移動的器件壓板（4），在頂板（1）上穿設(shè)有與器件壓板（4）對應(yīng)配合的壓緊裝置（5）。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，可適應(yīng)被試器件本身的尺寸落差，提高被試器件與夾具之間的機械兼容性彌補現(xiàn)行力學試驗夾具普遍存在的結(jié)構(gòu)缺陷。

技術(shù)研發(fā)人員：楊凱,高思鵬,李依帆
受保護的技術(shù)使用者：華東光電集成器件研究所
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/10