本技術(shù)涉及掃描電鏡配件，具體涉及一種掃描電鏡原位電化學(xué)樣品臺(tái)。

背景技術(shù)：

1、掃描電子顯微鏡作為一種應(yīng)用非常普遍的材料分析表征設(shè)備，可以直接在微觀尺度獲取材料的形貌結(jié)構(gòu)、元素價(jià)態(tài)、元素分布等信息，現(xiàn)已成為材料表征非常重要并有效的工具，在材料、生物、化學(xué)、物理等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。隨著原位測(cè)試技術(shù)的發(fā)展，開始在掃描電鏡中額外引入熱、電、光、力等外場(chǎng)，實(shí)時(shí)監(jiān)控樣品反應(yīng)過(guò)程中發(fā)生的微觀結(jié)構(gòu)變化，將材料的結(jié)構(gòu)與性能演變結(jié)合起來(lái)。掃描電鏡原位電化學(xué)觀測(cè)技術(shù)作為一種新型的表征手段，通過(guò)對(duì)掃描電鏡中的樣品引入電信號(hào)，能夠動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)和記錄電極和電解液的微觀結(jié)構(gòu)變化、相變、表/界面處的結(jié)構(gòu)和成分演化等信息，以挖掘問題和探尋機(jī)理，相比于傳統(tǒng)的非原位表征方法有許多優(yōu)點(diǎn)。

2、目前，掃描電子顯微鏡會(huì)搭配一個(gè)樣品臺(tái)，但是，目前樣品臺(tái)普遍只能適配一種掃描電鏡，通用性不強(qiáng)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為此，本實(shí)用新型為解決上述問題，提供一種掃描電鏡原位電化學(xué)樣品臺(tái)。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案如下：

3、一種掃描電鏡原位電化學(xué)樣品臺(tái)，包括轉(zhuǎn)接底座、翻轉(zhuǎn)式芯片載臺(tái)、法蘭和電學(xué)傳輸線，所述轉(zhuǎn)接底座的頂部開設(shè)有載臺(tái)安裝槽，所述轉(zhuǎn)接底座的底部可拆卸的裝配有定位桿，所述轉(zhuǎn)接底座內(nèi)設(shè)置有用于與翻轉(zhuǎn)式芯片載臺(tái)進(jìn)行電學(xué)連接和傳輸?shù)娜嵝噪娐钒?，所述法蘭通過(guò)所述電學(xué)傳輸線連接所述轉(zhuǎn)接底座的柔性電路板并設(shè)有外接口；所述翻轉(zhuǎn)式芯片載臺(tái)可拆卸的裝配在轉(zhuǎn)接底座的載臺(tái)安裝槽內(nèi)，并與柔性電路板相連。

4、進(jìn)一步的，所述轉(zhuǎn)接底座的底部設(shè)置有定位桿安裝孔，所述轉(zhuǎn)接底座的側(cè)邊開設(shè)有貫通至定位桿安裝孔的螺孔，所述螺孔內(nèi)裝配有頂絲，所述定位桿插設(shè)于定位桿安裝孔內(nèi)，并通過(guò)頂絲頂緊固定。

5、進(jìn)一步的，所述翻轉(zhuǎn)式芯片載臺(tái)包括主體支架和壓蓋，所述主體支架具有線路板槽和芯片槽，所述線路板槽內(nèi)裝配有線路板，所述線路板與所述柔性電路板相連，所述芯片槽的底部開設(shè)有第一觀察窗口；所述壓蓋可拆卸的蓋合于主體支架上，所述壓蓋上設(shè)置有電極觸針和第二觀察窗口，所述第二觀察窗口與第一觀察窗口相對(duì)應(yīng)，所述電極觸針用于連接線路板和裝配在芯片槽上的芯片。

6、進(jìn)一步的，所述芯片槽為長(zhǎng)8-16mm、寬4-8mm的方形槽。

7、進(jìn)一步的，所述轉(zhuǎn)接底座的側(cè)邊還開設(shè)有延伸至載臺(tái)安裝槽的中部位置的鏤空區(qū)。

8、進(jìn)一步的，所述轉(zhuǎn)接底座上設(shè)置有兩個(gè)載臺(tái)安裝槽，兩個(gè)載臺(tái)安裝槽呈左右分布，且所述轉(zhuǎn)接底座的左右兩側(cè)均開設(shè)有所述鏤空區(qū)，從而形成一個(gè)“工”字形結(jié)構(gòu)。

9、進(jìn)一步的，所述轉(zhuǎn)接底座上設(shè)置有連接柔性電路板的接口，所述法蘭上還設(shè)有內(nèi)接口，所述電學(xué)傳輸線的一端連接轉(zhuǎn)接底座的接口，另一端連接法蘭上的內(nèi)接口。

10、進(jìn)一步的，所述法蘭上還設(shè)有用于固定在掃描電鏡倉(cāng)門上的多個(gè)螺紋孔、以及用于與掃描電鏡的倉(cāng)門進(jìn)行密封連接的密封圈。

11、進(jìn)一步的，所述法蘭上還設(shè)置有用于與外部液體供入設(shè)備連接的液體輸送接口，所述翻轉(zhuǎn)式芯片載臺(tái)設(shè)置有液體輸送管道，所述芯片槽內(nèi)設(shè)置進(jìn)液口和出液口，芯片槽內(nèi)的進(jìn)液口和出液口通過(guò)液體輸送管道與法蘭上的液體輸送接口連接。

12、通過(guò)本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案，具有如下有益效果：

13、1.樣品臺(tái)通過(guò)定位桿裝配在掃描電鏡上，定位桿可拆卸的設(shè)置，通過(guò)更換不同的長(zhǎng)度或直徑的定位桿來(lái)實(shí)現(xiàn)適配不同型號(hào)的掃描電鏡，使得該樣品臺(tái)的通用性更強(qiáng)。

14、2.翻轉(zhuǎn)式芯片載臺(tái)可拆卸的裝配在轉(zhuǎn)接底座的載臺(tái)安裝槽內(nèi)，翻轉(zhuǎn)式芯片載臺(tái)拆卸并翻轉(zhuǎn)后能夠從正面和反面兩個(gè)視角對(duì)反應(yīng)體系進(jìn)行觀察，擴(kuò)充了反應(yīng)體系的觀察視角和信息。

技術(shù)特征：

1.一種掃描電鏡原位電化學(xué)樣品臺(tái)，包括轉(zhuǎn)接底座、翻轉(zhuǎn)式芯片載臺(tái)、法蘭和電學(xué)傳輸線，其特征在于：所述轉(zhuǎn)接底座的頂部開設(shè)有載臺(tái)安裝槽，所述轉(zhuǎn)接底座的底部可拆卸的裝配有定位桿，所述轉(zhuǎn)接底座內(nèi)設(shè)置有用于與翻轉(zhuǎn)式芯片載臺(tái)進(jìn)行電學(xué)連接和傳輸?shù)娜嵝噪娐钒澹龇ㄌm通過(guò)所述電學(xué)傳輸線連接所述轉(zhuǎn)接底座的柔性電路板并設(shè)置有外接口；所述翻轉(zhuǎn)式芯片載臺(tái)可拆卸的裝配在轉(zhuǎn)接底座的載臺(tái)安裝槽內(nèi)，并與柔性電路板相連。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電鏡原位電化學(xué)樣品臺(tái)，其特征在于：所述轉(zhuǎn)接底座的底部設(shè)置有定位桿安裝孔，所述轉(zhuǎn)接底座的側(cè)邊開設(shè)有貫通至定位桿安裝孔的螺孔，所述螺孔內(nèi)裝配有頂絲，所述定位桿插設(shè)于定位桿安裝孔內(nèi)，并通過(guò)頂絲頂緊固定。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電鏡原位電化學(xué)樣品臺(tái)，其特征在于：所述翻轉(zhuǎn)式芯片載臺(tái)包括主體支架和壓蓋，所述主體支架具有線路板槽和芯片槽，所述線路板槽內(nèi)裝配有線路板，所述線路板與所述柔性電路板相連，所述芯片槽的底部開設(shè)有第一觀察窗口；所述壓蓋可拆卸的蓋合于主體支架上，所述壓蓋上設(shè)置有電極觸針和第二觀察窗口，所述第二觀察窗口與第一觀察窗口相對(duì)應(yīng)，所述電極觸針用于連接線路板和裝配在芯片槽上的芯片。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掃描電鏡原位電化學(xué)樣品臺(tái)，其特征在于：所述芯片槽為長(zhǎng)8-16mm、寬4-8mm的方形槽。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電鏡原位電化學(xué)樣品臺(tái)，其特征在于：所述轉(zhuǎn)接底座的側(cè)邊還開設(shè)有延伸至載臺(tái)安裝槽的中部位置的鏤空區(qū)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的掃描電鏡原位電化學(xué)樣品臺(tái)，其特征在于：所述轉(zhuǎn)接底座上設(shè)置有兩個(gè)載臺(tái)安裝槽，兩個(gè)載臺(tái)安裝槽呈左右分布，且所述轉(zhuǎn)接底座的左右兩側(cè)均開設(shè)有所述鏤空區(qū)，從而形成一個(gè)“工”字形結(jié)構(gòu)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電鏡原位電化學(xué)樣品臺(tái)，其特征在于：所述轉(zhuǎn)接底座上設(shè)置有連接柔性電路板的接口，所述法蘭上還設(shè)有內(nèi)接口，所述電學(xué)傳輸線的一端連接轉(zhuǎn)接底座的接口，另一端連接法蘭上的內(nèi)接口。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電鏡原位電化學(xué)樣品臺(tái)，其特征在于：所述法蘭上還設(shè)有用于固定在掃描電鏡倉(cāng)門上的多個(gè)螺紋孔、以及用于與掃描電鏡的倉(cāng)門進(jìn)行密封連接的密封圈。

9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掃描電鏡原位電化學(xué)樣品臺(tái)，其特征在于：所述法蘭上還設(shè)置有用于與外部液體供入設(shè)備連接的液體輸送接口，所述翻轉(zhuǎn)式芯片載臺(tái)設(shè)置有液體輸送管道，所述芯片槽內(nèi)設(shè)置進(jìn)液口和出液口，芯片槽內(nèi)的進(jìn)液口和出液口通過(guò)液體輸送管道與法蘭上的液體輸送接口連接。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供一種掃描電鏡原位電化學(xué)樣品臺(tái)，包括轉(zhuǎn)接底座、翻轉(zhuǎn)式芯片載臺(tái)、法蘭和電學(xué)傳輸線，所述轉(zhuǎn)接底座的頂部開設(shè)有載臺(tái)安裝槽，所述轉(zhuǎn)接底座的底部可拆卸的裝配有定位桿，所述轉(zhuǎn)接底座內(nèi)設(shè)置有用于與翻轉(zhuǎn)式芯片載臺(tái)進(jìn)行電學(xué)連接和傳輸?shù)娜嵝噪娐钒澹ㄌm上設(shè)有外接口，所述法蘭通過(guò)所述電學(xué)傳輸線連接所述轉(zhuǎn)接底座的柔性電路板；所述翻轉(zhuǎn)式芯片載臺(tái)可拆卸的裝配在轉(zhuǎn)接底座的載臺(tái)安裝槽內(nèi)，并與柔性電路板相連。該樣品臺(tái)的通用性更強(qiáng)。

技術(shù)研發(fā)人員：廖洪鋼
受保護(hù)的技術(shù)使用者：廈門超新芯科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240112
技術(shù)公布日：2024/12/19