專利名稱：用于真空管的排氣分析器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于真空管的排氣分析器，特別是一種對(duì)從真空管排出的排氣進(jìn)行分析的設(shè)備，這種設(shè)備允許分析工作在諸如陰極射線管、電燈泡和真空熒光顯示器等那樣的真空管的制造工序中的排氣工序中的同樣條件下進(jìn)行。
滯留在真空管內(nèi)的氣體曾經(jīng)通過使用一個(gè)磁性錘將真空管的一個(gè)制成品的一部分破壞而進(jìn)行分析。然而，由于排氣的分析是限于制成品，因此根據(jù)一種材料的變性和特性所得數(shù)據(jù)會(huì)顯示出不同。這樣，根據(jù)一個(gè)單獨(dú)的真空管制造過程的排氣分析是不可能獲得的。
根據(jù)另一種常規(guī)的技術(shù)，氣體分析是在真空管密封步驟之前在多個(gè)步驟中進(jìn)行的。然而，在這種情況下，在低真空區(qū)域進(jìn)行氣體分析是不可能的而且作為一個(gè)在生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)的排氣爐很難顯示出真空特性。因此，氣體的熱特性根據(jù)爐中的大氣壓和溫度是不能進(jìn)行分析的。
為解決上述問題，本發(fā)明的目的是提供一種用于真空管的排氣分析器，這種分析器能夠在如在與真空管制造工序中的排氣工序中同樣條件下進(jìn)行氣體分析。
本發(fā)明另一個(gè)目的是提供一種用于真空管的排氣分析器，這種分析器能夠在與在一個(gè)排氣爐中同樣的溫度和直空狀態(tài)下進(jìn)行氣體分析。
因此，為了達(dá)到上述目的，所提供的用于真空管的排氣分析器包括一個(gè)簡(jiǎn)化爐，真空管即裝在其中；一個(gè)連接在真空管排氣出口上的模擬氣室；一個(gè)連接在模擬氣室上以備氣體從中通過的第一主氣室；一個(gè)通過一個(gè)第一銳孔連接在第一主氣室上以備氣體從中通過的第二主氣室；一個(gè)通過一個(gè)第二銳孔連接在第二主氣室上以備氣體從中通過的第三主氣室；至少一個(gè)連接在至少一個(gè)氣室上用以抽空第一、第二和第三主氣室中每一個(gè)主氣室內(nèi)部的渦輪分子泵；和一個(gè)連接在第三主氣室上用以分析排氣的遺留氣體分析器。
本發(fā)明的上述目的和優(yōu)點(diǎn)通過結(jié)合附圖對(duì)其一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例詳細(xì)描述將更加明顯清晰。


圖1是本發(fā)明的用于真空管的排氣分析器的前視圖。
參看圖1，根據(jù)本發(fā)明的用于真空管的排氣分析器包括一個(gè)簡(jiǎn)化爐1，該簡(jiǎn)化爐裝在一個(gè)壓縮頭11上用以烘焙和激活一個(gè)真空管100內(nèi)部的氣體分子，一個(gè)泵吸系統(tǒng)用以抽空真空管100內(nèi)的氣體，和一個(gè)遺留氣體分析器(RGA)10用以分析排氣。
連接在簡(jiǎn)化爐1上的泵吸系統(tǒng)包括一個(gè)作為壓力調(diào)節(jié)室的模擬氣室21和第一、第二和第三主氣室22，23和24。模擬氣室21連接在真空管100的一個(gè)排氣出口100C上。
一個(gè)第一閘閥25裝在模擬氣室21和第一主氣室22之間，而一個(gè)第二閘閥26裝在第二主氣室23和第三主氣室24之間。第二閘閥26，即一個(gè)泵吸系統(tǒng)保護(hù)裝置是在氣體泄漏或爆炸的情況下用于自動(dòng)地阻塞氣體流。還有，為了維持各個(gè)氣室中的不同壓力，一個(gè)第一銳孔27被裝在第一和第二氣室22和23之間而一個(gè)第二銳孔28被裝在第二和第三氣室23和24之間。
一個(gè)用以輸入或排出氣體的閥21a裝在模擬氣室21上，而分別顯示第一和第二主氣室22和23內(nèi)壓力的壓力表22a和23a各裝在相應(yīng)的氣室上。另外，真空泵29和30例如渦輪分子泵(TMP)分別裝在第二和第三氣室23和24上以便減小各個(gè)氣室22，23和24內(nèi)的壓力。
下面將參照?qǐng)D1對(duì)具有本發(fā)明這樣結(jié)構(gòu)的用于真空管的排氣分析器的操作予以描述。
一塊頂板100a和一個(gè)漏斗100b被放在簡(jiǎn)化爐1內(nèi)以密封真空管100，于是遺留氣體分析器10就被開動(dòng)。由于遺留氣體分析器10應(yīng)當(dāng)在比較低的壓力下操作以避免對(duì)其造成損傷，連接到遺留氣體分析器10上的第三主氣室24內(nèi)的壓力需通過在第二閘閥26關(guān)閉的情況下操動(dòng)渦輪分子泵30予以減小。下一步，通過檢測(cè)遺留在第三主氣室24內(nèi)的氣體而使遺留氣體分析器10啟動(dòng)和進(jìn)行操作。
在遺留氣體分析器10的啟動(dòng)工作完成之后，頂板100a和漏斗100b使用一個(gè)加熱器(未顯示)予以密封。在此時(shí)，在頂板100a和漏斗100b的密封過程中所產(chǎn)生的氣體通過預(yù)先打開的閥21a經(jīng)由模擬氣室21被排出。
在足夠數(shù)量的氣體通過閥21a排出后，直空管100內(nèi)的氣體分子被簡(jiǎn)化爐1的操作所激活以便排出真空管100內(nèi)的氣體。于是，渦輪分子泵29在閥21a關(guān)閉和第一閘閥25打開之后開始操作。因此，真空管100內(nèi)的氣體從其中經(jīng)由模擬氣室21，第一主氣室22和第二主氣室23排出。這里，第一主氣室22的壓力P1由于第一銳孔27的原因較第二主氣室23的壓力P2要低很多。第一和第二主氣室22和23的壓力P1和P2分別由壓力表22a和23a所測(cè)出。
下一步，當(dāng)?shù)诙鳉馐?3的壓力達(dá)到一個(gè)基準(zhǔn)值，例如10-5托或更少一些時(shí)，真空管100內(nèi)的氣體通過打開第二閘閥26和操動(dòng)渦輪分子泵30而排出。由于第二銳孔28是裝在第二主氣室23和第三主氣室24之間，壓力P3就較壓力P2低很多。因此，就可以就地對(duì)到達(dá)遺留氣體分析器10的排氣進(jìn)行分析。
本發(fā)明的一個(gè)特征在于可以對(duì)與真空管100的密封相應(yīng)的排氣進(jìn)行分析。也就是說，氣體可以在真空管100的密封過程中通過操作渦輪分子泵29和30和遺留氣體分析器10而予以分析。
另外，與溫度的變化相應(yīng)的真空管100的排氣可以通過適當(dāng)?shù)卣{(diào)整簡(jiǎn)化爐1的溫度而予以分析。
根據(jù)目前這個(gè)用于真空管的排氣分析器，可以對(duì)與各個(gè)氣室22、23和24內(nèi)的壓力變化相應(yīng)的真空管100內(nèi)的排氣進(jìn)行分析。也就是說，由于模擬室21的壓力可以通過將如N2的氣體經(jīng)由閥21a輸入其內(nèi)而改變，因此氣室22、23和24內(nèi)的壓力也可以調(diào)整。這樣，與不同壓力相應(yīng)的遺留氣體的分析也就可能了。
此外，本發(fā)明的用于真空管的排氣分析器可以通過使用一個(gè)所謂的泵速罩對(duì)流動(dòng)的排氣量予以測(cè)量，該泵速罩包括第一主氣室22，第二主氣室23和在二者之間的第一銳孔27。當(dāng)?shù)谝恢鳉馐?2和第二主氣室23的壓力分別為P1和P2時(shí)，每單位時(shí)間通過第一銳孔27的流量Q由下式表示Q＝C(P1-P2)式中，C代表銳孔系數(shù)。
此外，排氣可以根據(jù)排氣時(shí)間通過適當(dāng)?shù)卣{(diào)整渦輪分子泵29和30的泵速予以分析。
如上所述，本發(fā)明的用于真空管的排氣分析器可以在與制造真空管工序中相同的條件下分析排氣。還有，排氣的特征可以通過在真空管排氣過程中調(diào)節(jié)溫度而得知，另外，與壓力變化相應(yīng)的排氣的分析工作可以通過調(diào)節(jié)氣室內(nèi)的壓力而完成。因此，本發(fā)明能夠根據(jù)制造方法和溫度，壓力和時(shí)間定出最佳的排氣條件。
應(yīng)當(dāng)注意到本發(fā)明并不局限于上述的優(yōu)選實(shí)施例，顯然，熟悉本專業(yè)的人員都能夠在附屬的權(quán)利要求所限定的本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)作出各種變異和變更。
權(quán)利要求
1.一種用于真空管的排氣分析器，它包括一個(gè)簡(jiǎn)化爐其中裝有一個(gè)真空管；一個(gè)連接在所述真空管的一個(gè)排氣出口上的模擬氣室；一個(gè)連接在所述模擬氣室上允許氣體從中通過的第一主氣室；一個(gè)通過一個(gè)第一銳孔連接在所述第一主氣室上以允許氣體從中通過的第二主氣室；一個(gè)通過一個(gè)第二銳孔連接在所述第二主氣室上以允許氣體從中通過的第三主氣室；至少一個(gè)連接在所述氣室中至少一個(gè)上的渦輪分子泵用以抽空每個(gè)所述第一、第二和第三主氣室；和一個(gè)連接在所述第三主氣室上的遺留氣體分析器用以分析排氣。
2.如權(quán)利要求1中所述的用于真空管的排氣分析器，其特征在于其中一個(gè)用于輸入或排出氣體的閥裝在所述模擬氣室上。
3.如權(quán)利要求1中所述的用于真空管的排氣分析器，其特征在于其中一個(gè)用于堵塞氣體流動(dòng)的第一閘閥裝在所述模擬氣室和所述第一主氣室之間。
4.如權(quán)利要求2中所述的用于真空管的排氣分析器，其特征在于其中一個(gè)在氣體泄漏或爆炸時(shí)用以堵塞氣流以避免損傷所述遺留氣體分析器的第二閘閥裝在所述第二主氣室和所述第三主氣室之間。
5.如權(quán)利要求1中所述的用于真空管的排氣分析器，其特征在于其中用于顯示每個(gè)所述氣室內(nèi)壓力的壓力表分別裝在相應(yīng)的所述氣室上。
全文摘要
一種用于真空管的排氣分析器，包括一個(gè)其中裝有一真空管的簡(jiǎn)化爐；一個(gè)接在真空管的一排氣出口上的模擬氣室；一個(gè)接在該氣室上允許氣體通過的第一主氣室；一個(gè)通過一第一銳孔接在第一主氣室上允許氣體通過的第二主氣室；一個(gè)通過一第二銳孔接在第二主氣室上允許氣體通過的第三主氣室；至少一個(gè)接在氣室中至少一個(gè)上的渦輪分子泵用以抽空第一、第二和第三主氣室；和一個(gè)接在第三主氣室上用以分析排氣的遺留氣體分析器。
文檔編號(hào)G01N33/00GK1163400SQ9710458
公開日1997年10月29日 申請(qǐng)日期1997年3月28日 優(yōu)先權(quán)日1997年3月28日
發(fā)明者文成周, 金都永 申請(qǐng)人:三星電管株式會(huì)社