專利名稱：延遲時間測定方法及延遲時間測定用脈沖發(fā)生裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種適用于測定在具有多個信號路徑的裝置中的各信號路徑中傳送的信號的延遲時間時的延遲時間測定方法，尤其涉及一種使各信號路徑處于與實際工作狀態(tài)完全相同的狀態(tài)或與其相近的狀態(tài)而測定該信號路徑的延遲實際的延遲時間測定方法及為實施該方法而使用的延遲時間測定用脈沖發(fā)生裝置。
在例如對各種半導體集成電路(以下稱為IC)進行試驗的IC試驗裝置(稱為IC測試器)中，向接受試驗的IC(被試驗IC)的各輸入端子加規(guī)定模式的試驗信號，并將其響應輸出信號同期望值信號比較，每當兩信號不一致時產(chǎn)生不良(FAIL)信號，基于產(chǎn)生的不良信號判斷被試驗IC是否為次品。因此，在IC試驗裝置上設有至少與被試驗IC的輸入端子的數(shù)目相同的試驗信號的供給路徑，即信號路徑。IC試驗裝置具有可同時實施對16個、32個、64個等多個被試驗IC的試驗的結構，可在短時間內對大量的IC進行試驗。所以，實際上在IC試驗裝置中設有數(shù)百個通道的信號路徑。
但是，提供給被試驗IC的各輸入端子的規(guī)定的模式的試驗信號的相位，需要根據(jù)試驗目的調整為所期望的相位。為此，各試驗信號的信號路徑中的延遲時間必須以已知值提供。并且，要求最好是所有試驗信號的信號路徑具有一致的延遲時間(是相同的)。因此，與從前相比，在IC試驗裝置領域定期地進行著對各試驗信號供給路徑的延遲時間的測定、并基于測定結果消除延遲時間的誤差而成為相同延遲時間的調整作業(yè)。
不僅僅限于IC試驗裝置，在具有通過多個信號路徑的每個路徑而向后級的電路或元件(部件)通過例如時鐘信號等的信號(脈沖)的結構的電子裝置或集成電路中，或在對同樣具有多個信號路徑的IC之外的其它電子部件或元件進行試驗的試驗裝置或各種測定裝置中，也需要進行測定在各信號路徑中傳送的信號的延遲時間、并基于測定結果消除延遲時間的誤差而成為相同延遲時間的調整作業(yè)，或使信號以規(guī)定的相位提供給后級的電路或元件的調整延遲時間的作業(yè)。
如此地，消除各信號路徑的延遲時間的誤差而調整為相同延遲時間的作業(yè)或調整延遲時間以便按規(guī)定的相位提供信號的作業(yè)，一般被稱為斜調整。
參照圖3說明現(xiàn)有的延遲時間測定方法的一個實施例。圖3表示將為實施該延遲時間測定方法而使用的延遲時間測定裝置20連接在一個信號路徑10上的電路結構。通常，各信號路徑10是由串聯(lián)多個邏輯元件的信號通路11和插入于所述信號一路中的可變延遲器12構成?？勺冄舆t器12是為調整信號路徑10的延遲時間而設置的。在各種測定裝置中，所述信號路徑10可看作是例如從時標信號產(chǎn)生部向被測定裝置提供時鐘信號(時標信號)的多個信號路徑中的一個。并且，在IC試驗裝置中，可看作是從模式發(fā)生器向被試驗IC提供規(guī)定模式的試驗信號的多個信號路徑中的一個。
為測定信號路徑10的延遲時間將延遲時間測定裝置20連接到信號路徑10的輸入端14。信號路徑10的輸出端13通過連接通路21連接到延遲時間測定裝置20上，形成如下的回路信號路徑10→其輸出端13→連接通路21→延遲時間測定裝置20→信號路徑10的輸入端14。延遲時間測定裝置20由向信號路徑10提供回路振蕩用開始脈沖ST的開始脈沖發(fā)生器22和測量在所述回路中傳送的脈沖的周期的計數(shù)器23構成。
下面說明延遲時間測定方法。若從開始脈沖發(fā)生器22向信號路徑10的輸入端14輸入一個開始脈沖ST，則經(jīng)過由信號路徑10產(chǎn)生的延遲時間τ秒鐘后，所述開始脈沖ST被輸出給輸出端13。若連接通路2 1的延遲時間與信號路徑10的延遲時間相比較為充分小而可忽略，則τ秒鐘后，在信號路徑10傳送的脈沖會被反饋給輸入端14。被反饋的脈沖又經(jīng)過τ秒鐘后輸出至信號路徑10的輸出端13，再反饋給輸入端14。如圖4所示，包含信號路徑10的回路通過如此的反復，成為周期為信號路徑10具有的延遲時間τ的回路振蕩狀態(tài)。計數(shù)器23測量回路振蕩信號PLO的周期并求出信號路徑10的延遲時間τ。
在所述現(xiàn)有的延遲時間測定方法中，若信號路徑10的延遲時間τ較短且回路振蕩信號PLO的頻率近似于信號路徑10的實際工作(以下稱為實工作)時的頻率，則能夠測定與實工作時信號路徑的延遲時間最相近的延遲時間。但是，由于最近傾向于要求小型化和低消耗功率化，因此在各種測定裝置、試驗裝置等的電路中傾向于使用MOS結構的IC(MOS·IC)、尤其是CMOS(相補型MOS)結構的IC。由于CMOS結構的IC消耗功率很小且可實現(xiàn)高集成度，因此具有可實現(xiàn)小型化的優(yōu)點。
但是，由于由CMOS結構的IC構成的消耗通路或電路中的信號的傳送延遲時間比較長，因此由CMOS結構的IC構成如上所述的信號路徑10的時候，如果為測量延遲時間τ而利用所述現(xiàn)有的延遲時間測定方法使包含該信號路徑10的回路進行回路振蕩，則其回路振蕩頻率是較低的頻率。
舉一個例子來說，在IC試驗裝置中從規(guī)定模式的試驗信號的波形產(chǎn)生到將其試驗信號提供給被試驗IC的端子的電路是由CMOS結構的IC構成的時候，其延遲時間約為100ns。若延遲時間為100ns，則回路振蕩頻率為1/100ns＝10MHz。另一方面，在IC試驗裝置中將試驗信號的頻率設定為約100MHz的高頻率。因此，在回路振蕩的頻率與實工作時的頻率數(shù)之間產(chǎn)生較大差別。
在各種測定裝置或電子裝置中，在例如使用高頻率的時標(時鐘)信號時，若由CMOS結構的IC構成被提供所述時標信號的信號路徑，則在回路振蕩的頻率與實工作的頻率之間也產(chǎn)生較大差別。
CMOS結構的IC另一個缺點是，由于具有只在有源元件的狀態(tài)反轉時才消耗功率的特性，因此消耗功率隨工作速度而變化。例如，在實工作時對以100MHz工作的信號路徑10，按其頻率的1/10即10MHz進行回路振蕩而測定其延遲時間的時候，由于100MHz與10MHz時的消耗功率有差別，所以IC內部的溫度是和實工作時不同的溫度。由于CMOS結構的IC的延遲時間τ隨IC內部的溫度而變化，因此，產(chǎn)生不能測定實工作時的準確的延遲時間的缺點。
本發(fā)明的第一目的在于提供一種能夠測定與處于實工作狀態(tài)的信號路徑的延遲時間實質上相同的延遲時間的延遲時間測定方法。
本發(fā)明的第二目的在于提供一種為實施所述本發(fā)明的延遲時間測定方法而使用的延遲時間測定用脈沖發(fā)生裝置。
為實現(xiàn)上述的第一個目的，根據(jù)本發(fā)明的延遲時間測定方法，構成包含應測定延遲時間的信號路徑的回路振蕩電路，在所述回路振蕩電路的振蕩信號的周期內，插入與在所述信號路徑處于實工作狀態(tài)下、在所述信號路徑中傳送的信號的頻率相等或與其相近頻率的信號，并將所述振蕩信號和插入于所述振蕩信號的周期內的信號在所述信號路徑中傳送而使所述信號路徑處于實質上與實工作狀態(tài)相同的狀態(tài)，取出所述回路振蕩電路的振蕩信號并測量其周期，將測得的所述周期作為所述信號路徑的延遲時間。
在最佳實施例中，所述信號路徑是由CMOS結構的IC構成的，并在所述回路振蕩信號的周期內插入與在所述信號路徑處于實工作狀態(tài)下在所述信號路徑中傳送的信號的頻率設置上相等的插入脈沖。
并且，將插入在所述回路振蕩信號的周期內的插入脈沖的數(shù)量預先設定在存儲器中，如果計數(shù)器計數(shù)比所述設定的數(shù)量的插入脈沖多一個的插入脈沖，則所述計數(shù)器產(chǎn)生輸出信號，并通過所述計數(shù)器的輸出信號的周期而測量所述信號路徑的延遲時間。
為實現(xiàn)上述的第二目的，根據(jù)本發(fā)明的為實施所述延遲時間測定方法而使用的延遲時間測定用脈沖發(fā)生裝置包括開始脈沖發(fā)生器，產(chǎn)生用于使包含應測定延遲時間的信號路徑的回路振蕩電路進行回路振蕩的開始脈沖；同步振蕩電路，同步于所述回路振蕩電路的回路振蕩信號而振蕩，且使與在所述信號路徑處于實工作狀態(tài)下、在所述信號路徑中傳送的脈沖信號的頻率相等或與其相近頻率的脈沖信號在所述回路振蕩信號的周期內振蕩；存儲器，存儲所述同步振蕩電路在所述回路振蕩信號的周期內振蕩的脈沖信號的數(shù)量；計數(shù)器，對所述同步振蕩電路在所述回路振蕩信號的周期內振蕩的脈沖信號的數(shù)量進行計數(shù)；門電路，所述計數(shù)器對只以存儲于所述存儲器中的數(shù)值在所述回路振蕩信號的周期內振蕩的脈沖信號的數(shù)量進行計數(shù)之后，如果再計數(shù)一個脈沖信號，則停止所述同步振蕩電路的振蕩；脈沖取出器，從由在所述信號路徑中傳送而反饋的所述回路振蕩信號和在所述回路振蕩信號的周期內振蕩的所述脈沖信號所組成的脈沖串中，只取出所述回路振蕩信號；控制器，由通過所述脈沖取出器取出的所述回路振蕩信號使所述計數(shù)器返回到初始狀態(tài)，并重新開始所述同步振蕩電路的振蕩。
根據(jù)本發(fā)明的所述延遲時間測定方法，應測定延遲時間的信號路徑處于與實工作狀態(tài)實質上相同的狀態(tài)，在與所述實工作狀態(tài)相同的工作狀態(tài)下測定信號路徑的延遲時間。因此，能夠求出信號路徑的與實工作狀態(tài)下的延遲時間實質上相等的準確的延遲時間。
并且，根據(jù)本發(fā)明的延遲時間測定用脈沖發(fā)生裝置，可通過較簡單的電路而使信號路徑處于與實工作狀態(tài)相同的狀態(tài)。因此，容易地實現(xiàn)根據(jù)本發(fā)明的延遲時間測定方法。
附圖的簡要說明


圖1是表示為實施本發(fā)明的延遲時間測定方法而使用的延遲時間測定用脈沖發(fā)生裝置的電路結構的框圖；圖2是用于說明圖1所示的延遲時間測定用脈沖發(fā)生裝置的工作的時序圖；圖3是表示為實施現(xiàn)有的延遲時間測定方法而使用的延遲時間測定裝置電路結構的框圖；圖4是用于說明圖3所示的延遲時間測定裝置的工作的時序圖。
下面，參照圖1和圖2詳細說明本發(fā)明的實施例。
圖1表示為實施本發(fā)明的延遲時間測定方法而使用的延遲時間測定用脈沖發(fā)生裝置30連接在一個信號路徑10上的電路結構。在該實施例中，也和圖3所示的信號路徑10相同地，各信號路徑10由串聯(lián)多個邏輯元件的信號通路和插入在該信號通路中的可變延遲器所構成。而且，在各種測定電路中，各信號路徑10可看作是例如從時標信號產(chǎn)生部向被測定裝置提供時標信號(時標信號)的多個信號路徑中的一個，并且，在IC試驗裝置中，可看作是從模式發(fā)生器向被試驗IC提供規(guī)定模式的試驗信號的多個信號路徑中的一個。
為實施根據(jù)本發(fā)明的延遲時間測定方法，將延遲時間測定用脈沖發(fā)生裝置30連接到信號路徑10的輸入端14，并向信號路徑10提供與實動作時傳送的信號的頻率相同或與其相近頻率的脈沖。
由于信號路徑10的輸出端13是通過連接通路21而連接到延遲時間測定用脈沖發(fā)生裝置30上，因此形成如下的回路信號路徑10→其輸出端13→連接通路21→延遲時間測定用脈沖發(fā)生裝置20→信號路徑10的輸入端14。
延遲時間測定用脈沖發(fā)生裝置30包括開始脈沖發(fā)生器35，產(chǎn)生回路振蕩用開始脈沖ST；計數(shù)器41，向其輸入通過連接通路而反饋的回路振蕩信號PLO；控制器42，控制所述計數(shù)器41；與門電路31，將通過連接通路21反饋的回路振蕩信號PLO提供給非反轉輸入端，將計數(shù)器41的輸出提供給反轉輸入端；存儲器38，存儲可插入在回路振蕩周期內的插入脈沖PI的個數(shù)；同步振蕩電路36，向其提供與門電路31的輸出和開始脈沖發(fā)生器35的輸出；計數(shù)器39，向其提供所述同步振蕩電路36的輸出；控制器40，用于向所述計數(shù)器預置存儲于存儲器38中的插入脈沖PI的數(shù)值。
同步振蕩電路36包括或門電路32，向其提供與門電路31的輸出、開始脈沖發(fā)生器35的輸出、以及同步振蕩電路36的輸出；脈沖整形電路33，對所述或門電路32的輸出進行波形整形；與門電路34，向其輸入所述脈沖整形電路33的輸出和計數(shù)器39的輸出。與門電路34的輸出被提供給信號路徑10的輸入端14。由此，與門電路31和同步振蕩電路36構成反饋回路的一部分，從而，信號路徑10、連接通路21、與門電路31和同步振蕩電路36(或門電路32、脈沖整形電路33和與門電路34)構成回路振蕩電路。
因此，若從開始脈沖發(fā)生器35向同步振蕩電路36提供開始脈沖ST，則開始進行回路振蕩，如圖2中的A所示地，成為回路振蕩信號PLO以由信號路徑10的延遲時間τ決定的周期在所述回路中反復傳送的回路振蕩狀態(tài)。
在根據(jù)本發(fā)明的延遲時間測定方法中，如圖2中的B所示，在回路振蕩信號PLO的周期τ內(在相鄰的兩個回路振蕩信號PLO之間)插入插入脈沖PI。所述插入脈沖PI的頻率選定為，與在工作狀態(tài)的某一信號路徑10中傳送的信號的頻率相等或與其相近的頻率。因此，插入脈沖PI的頻率或許因裝置的不同而不同，但它是已知的值。
如果將具有與在實工作狀態(tài)的信號路徑10中傳送的信號的頻率相等或與其相近的頻率的插入脈沖PI插入到回路振蕩信號PLO的周期τ內，則所述插入脈沖PI和回路振蕩信號PLO一起在信號路徑10中傳送。因此，信號路徑10處于與實工作狀態(tài)相同或與其相近的狀態(tài)。其結果，在信號路徑10中消耗的功率實質上與實工作時消耗的功率相同，因此信號路徑10的溫度變化實質上也和實工作時相同。所以，根據(jù)本發(fā)明的延遲時間測定方法，能夠在與實工作狀態(tài)的信號路徑10的溫度變動實質上相同的溫度變動狀態(tài)下，測定信號路徑10的延遲時間，因此，如果信號路徑10即使由CMOS結構的IC構成，也能夠測定與實工作時的信號路徑10的延遲時間實質上相同的正確的延遲時間。
所述同步振蕩電路36表示的是由回路構成同步振蕩電路的情況，所述回路由將從與門電路34的輸出獲得的脈沖直接反饋給或門電路32的反饋通路37、或門電路32、脈沖整形電路33、以及與門電路34。從而，通過包含反饋通路37的短回路，產(chǎn)生與在實工作狀態(tài)的信號路徑10中傳送的信號的頻率相等或與其相近的頻率的插入脈沖PI。并且，脈沖整形電路33將被輸入的脈沖的波形整形為規(guī)定振幅的脈沖，同時進行將該脈沖的峰值放大為規(guī)定值的工作。通過該振幅放大工作而維持回路振蕩工作。
在所述延遲時間測定用脈沖發(fā)生裝置30的存儲器38中存儲插入到包含信號路徑10的回路振蕩電路的振蕩周期τ內的插入脈沖PI的數(shù)量。雖然回路振蕩電路的振蕩周期τ是由測量而求得，擔該測量值也可以是大概值。如果插入到振蕩周期τ內的插入脈沖PI的數(shù)量為N，則向存儲器38設定數(shù)值N。所述數(shù)值N在控制器40的控制下由開始脈沖ST最初地預置到計數(shù)器39中。計數(shù)器39對作為同步振蕩電路36的振蕩輸出的插入脈沖PI進行計數(shù)，每當輸入插入脈沖PI，就從預置值中減1(-1)。若計數(shù)器39的預置值成為0、并在計數(shù)的插入脈沖PI的數(shù)值同在存儲器中設定的數(shù)值N一致之后計數(shù)后面的一個脈沖，則計數(shù)器39的輸出下降為L(低電平)邏輯。其結果，與門34成為關(OFF)狀態(tài)，因此同步振蕩電路36的振蕩工作暫時停止。
從信號路徑10經(jīng)過連接通路21而反饋的回路振蕩信號PLO，經(jīng)過與門電路31而輸入到控制器40，并由所述控制器40的控制存儲于存儲器38中的數(shù)值N再度被預置到計數(shù)器39中。通過該數(shù)值N的預置，計數(shù)器39的輸出恢復到H(高電平)邏輯，因此與門電路34成為開(ON)狀態(tài)(允許狀態(tài))，使回路振蕩信號PLO通過。由此，重新開始同步振蕩電路36的振蕩工作。與門電路31同計數(shù)器和控制器42合作，進行從經(jīng)過連接通路21而反饋的脈沖串中只取出回路振蕩信號PLO的工作。即，進行從由一個回路振蕩信號PLO和接在此后的插入脈沖PI串組成的脈沖串中取出第一個脈沖的工作。與計數(shù)器39相同地，計數(shù)器41在控制器38的控制下，由開始脈沖ST和和振蕩信號PLO的數(shù)值預置成存儲于存儲器38中的數(shù)值N。如果計數(shù)器41被預置成存儲器38中的數(shù)值，計數(shù)器41成為H邏輯，因此作為其反轉輸出的L邏輯被提供給與門電路31的一個輸入端子。由此，與門電路31處于關狀態(tài)，阻止接在回路振蕩信號PLO后面的脈沖串的通過。
每當被輸入經(jīng)過連接通路21而反饋的插入脈沖PI的時候，計數(shù)器41從預置值N減1(-1)。如果在所述預置值N成為0后計數(shù)下一個插入脈沖PI，則計數(shù)器41的輸出下降為L邏輯，因此與門電路31處于開狀態(tài)。由此，反饋的回路振蕩信號PLO經(jīng)過與門31而輸入到控制器40及42，由此計數(shù)器39和41被預置。由所述預置與門31返回到開狀態(tài)，結果與門31只使回路振蕩信號PLO通過。所以，通過計測計數(shù)器39或41的輸出信號的周期τ(圖2中的C)，可測定信號路徑10的延遲時間。由于在信號路徑10中傳送著回路振蕩信號PLO和插入脈沖PI，由此信號路徑10成為實質上與實工作時相同的狀態(tài)，從而圖2中的C所示的回路振蕩信號PLO的周期τ實質上與實工作時的信號路徑10的延遲時間相同。即，能夠測定信號路徑10的準確的延遲時間。
并且，在所述延遲時間測定用脈沖發(fā)生裝置中，通過計數(shù)器39和控制器40控制與門34，另外設置計數(shù)器41和控制器42以控制與門31，但也可不另外設置計數(shù)器41和控制器42，而兼用計數(shù)器39和控制器40。而且，是將同步振蕩電路36作為回路振蕩電路，但毋庸置疑，也可使用其它形式或結構的同步振蕩器。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明，即使在信號路徑的傳送延遲時間較長、且包含所述信號路徑的回路振蕩電路的振蕩頻率較低的情況下，也能將與其信號路徑的實工作時傳送的信號的頻率相等或與其相近頻率的插入脈沖，插入到回路振蕩周期內而測定信號路徑的延遲時間，因此信號路徑以與實工作時大致相等的消耗功率工作，溫度變化實質上也相等。其結果，即使是像由CMOS結構的IC構成信號路徑時那樣的延遲時間受溫度變化的影響較大的信號路徑，也可測定與實工作時大致相同的溫度狀態(tài)下的信號路徑(IC芯片)的延遲時間，因此，具有可測定無誤差的準確的延遲時間的顯著優(yōu)點。
權利要求
1.一種延遲時間測定方法，構成包含應測定延遲時間的信號路徑的回路振蕩電路，并通過測量所述回路振蕩電路的振蕩信號的周期而測定所述信號路徑的延遲時間，其特征在于，所述延遲時間測定方法，在所述回路振蕩電路的振蕩信號的周期內，插入與在所述信號路徑處于實工作狀態(tài)下、在所述信號路徑中傳送的信號的頻率相等或與其相近頻率的信號，并將所述振蕩信號和插入于所述振蕩信號的周期內的信號在所述信號路徑中傳送而使所述信號路徑處于實質上與實工作狀態(tài)相同的狀態(tài)，取出所述回路振蕩電路的振蕩信號并測量其周期，將測得的所述周期作為所述信號路徑的延遲時間。
2.如權利要求1所述的延遲時間測定方法，其特征在于，所述信號路徑是由CMOS結構的IC構成。
3.如權利要求1所述的延遲時間測定方法，其特征在于，插入于所述振蕩信號的周期內的信號是脈沖信號，將插入的所述脈沖信號的數(shù)量預先設定在存儲器中，當計數(shù)到比所述設定的數(shù)量的脈沖信號多一個的脈沖信號時，測量從計數(shù)器輸出的信號的周期作為所述信號路徑的延遲時間。
4.如權利要求1所述的延遲時間測定方法，其特征在于，在各種測定裝置中，所述信號路徑是從時標信號發(fā)生部向被測定芯片提供時標信號的多個信號路徑中的一個。
5.如權利要求1所述的延遲時間測定方法，其特征在于，在IC試驗裝置中，所述信號路徑是從模式發(fā)生器向被試驗IC提供模式試驗信號的多個信號路徑中的一個。
6.一種延遲時間測定用脈沖發(fā)生裝置，其特征在于，所述延遲時間測定用脈沖發(fā)生裝置是為實施權利要求1至5的任一項中所述的延遲時間測定方法而使用，包括開始脈沖發(fā)生器，產(chǎn)生用于使包含應測定延遲時間的信號路徑的回路振蕩電路進行回路振蕩的開始脈沖；同步振蕩電路，同步于所述回路振蕩電路的回路振蕩信號而振蕩，且使與在所述信號路徑處于實工作狀態(tài)下、在所述信號路徑中傳送的脈沖信號的頻率相等或與其相近頻率的脈沖信號在所述回路振蕩信號的周期內振蕩；存儲器，存儲所述同步振蕩電路在所述回路振蕩信號的周期內振蕩的脈沖信號的數(shù)量；計數(shù)器，對所述同步振蕩電路在所述回路振蕩信號的周期內振蕩的脈沖信號的數(shù)量進行計數(shù)；門電路，所述計數(shù)器對只以存儲于所述存儲器中的數(shù)值在所述回路振蕩信號的周期內振蕩的脈沖信號的數(shù)量進行計數(shù)之后，如果再計數(shù)一個脈沖信號，則停止所述同步振蕩電路的振蕩；脈沖取出器，從由在所述信號路徑中傳送而反饋的所述回路振蕩信號和在所述回路振蕩信號的周期內振蕩的所述脈沖信號所組成的脈沖串中，只取出所述回路振蕩信號；控制器，由通過所述脈沖取出器取出的所述回路振蕩信號使所述計數(shù)器返回到初始狀態(tài)，并重新開始所述同步振蕩電路的振蕩。
全文摘要
一種在與實工作狀態(tài)相同或相近的狀態(tài)下準確地測定由CMOS結構的IC構成的信號路徑(10)的延遲時間的方法。構成包含由CMOS結構的IC構成的信號路徑(10)回路振蕩電路,向該回路振蕩電路通過開始脈沖(ST)而使其處于回路振蕩狀態(tài),在通過測量該回路振蕩電路的回路振蕩信號(P
文檔編號G01R31/28GK1178009SQ97190033
公開日1998年4月1日 申請日期1997年1月24日 優(yōu)先權日1997年1月24日
發(fā)明者馬場忠彥 申請人:株式會社愛德萬測試