一種半導(dǎo)體器件短路測(cè)試裝置及測(cè)試方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件測(cè)試領(lǐng)域,特別地涉及一種半導(dǎo)體器件短路測(cè)試裝置及測(cè)試方法。
【背景技術(shù)】
[0002]封裝微電子器件(半導(dǎo)體芯片、集成電路晶片等)是一種全包封塑封功率型半導(dǎo)體器件,對(duì)器件塑封體的絕緣性有較高的要求,一般要求塑封體的擊穿電壓多DC2500V。因此,塑封體絕緣測(cè)試是產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中的一道必備工序,以別除不良的封裝體,來(lái)確保封裝體的出貨品質(zhì)。但是,目前市場(chǎng)上沒(méi)有性能良好的專(zhuān)用測(cè)試設(shè)備。
[0003]與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明測(cè)試裝置測(cè)試頭與測(cè)試點(diǎn)少、可以保證全部與所要測(cè)試的半導(dǎo)體器件接觸良好,測(cè)試效率高等,并且該測(cè)試裝置能夠保證測(cè)量電極和塑封體全面接觸,測(cè)量面完全,尤其是頂針孔等微小異形部位的接觸可靠,從而使測(cè)量結(jié)果差錯(cuò)率降低。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004]本發(fā)明目的之一是:克服現(xiàn)有技術(shù)中塑封微電子器件的絕緣性測(cè)試設(shè)備差錯(cuò)率較高的缺陷,提供一種利用介質(zhì)水為導(dǎo)電媒介、測(cè)試效率高的便半導(dǎo)體器件短路測(cè)試裝置。
[0005]本發(fā)明目的之二是,完善現(xiàn)在技術(shù)中短路測(cè)試設(shè)備差錯(cuò)率較高的缺陷,提供一種半導(dǎo)體器件短路測(cè)試裝置的測(cè)試方法。
[0006]本發(fā)明目的之一通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體器件短路測(cè)試裝置,該塑封微電子器件的一端是裸露電極或還有引線框架,另一端是包裹的電子器件的塑封體,該塑封體上有頂針孔和安裝孔。該設(shè)備含有上電極連接座、上電極固定座、限程螺絲、壓簧、上電極、下電極連接座、下電極、水槽、底座、異常報(bào)警器;
所述的水槽中有能夠?qū)щ姷慕橘|(zhì)水,優(yōu)選30°C -70°C的介質(zhì)水;所述的上電極連接座固定連接在上電極固定座上,上電極固定座能夠上下移動(dòng),一個(gè)或多個(gè)上電極分別通過(guò)限程螺絲和壓簧連接在上電極固定座上;
所述的下電極一端連接在下電極連接座上,下電極另一端伸入水槽中的介質(zhì)水中;所述的上電極與下電極之間的連通的導(dǎo)線中連接有異常報(bào)警器。頂針孔和安裝孔易導(dǎo)致塑封體漏電。測(cè)試塑封微電子器件絕緣性時(shí),電子器件塑封體置于介質(zhì)水中,當(dāng)上電極固定座下移時(shí),塑封微電子器件的裸露電極與上電極接觸,塑封微電子器件絕緣性合格時(shí),電路不能導(dǎo)通,異常報(bào)警器不報(bào)警;當(dāng)有塑封微電子器件絕緣性不合格時(shí),塑封體漏電,電路會(huì)導(dǎo)通,異常報(bào)警器報(bào)警,操作人員可以快速地剔除不合格器件。
[0007]所述的上電極連接座通常連接有1000-3000V的高壓電源,以測(cè)試高壓絕緣性;導(dǎo)線中還可以連接有延時(shí)繼電器,電路導(dǎo)通后延時(shí)1-5秒自動(dòng)斷電,保證操作人員的用電安全。
[0008]所述的水槽下面還可以連接有底座、底座連接有水平調(diào)節(jié)螺絲,保證水槽水平。
[0009]所述的水槽中最好有一個(gè)或多個(gè)便于放置電子器件的塑封體的凹槽,下電極另一端伸入各自凹槽中的介質(zhì)水中,所有凹槽中的介質(zhì)水與水槽是連通的。
[0010]所述的水槽上最好具有補(bǔ)水口和溢流口,以保證水槽中水位恒定。
[0011]本發(fā)明的目的之二通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
所述的半導(dǎo)體器件短路測(cè)試裝置的測(cè)試方法通過(guò)以下步驟來(lái)實(shí)現(xiàn):
步驟一,導(dǎo)體器件短路測(cè)試裝置在測(cè)試塑封微電子器件絕緣性時(shí),電子器件塑封體置于介質(zhì)水中,當(dāng)上電極固定座下移時(shí),塑封微電子器件的裸露電極與上電極接觸,塑封微電子器件絕緣性合格時(shí),電路不能導(dǎo)通,異常報(bào)警器不報(bào)警;
步驟二,當(dāng)有塑封微電子器件絕緣性不合格時(shí),塑封體漏電,電路會(huì)導(dǎo)通,異常報(bào)警器報(bào)警,操作人員可以據(jù)此快速地剔除不合格器件。
[0012]本發(fā)明有益效果:本發(fā)明作為一種專(zhuān)用電子器件絕緣測(cè)試設(shè)備,適合多種尺寸的封裝半導(dǎo)體器件的絕緣性檢測(cè)。而且結(jié)構(gòu)合理,利用介質(zhì)水作為導(dǎo)電測(cè)媒介,介質(zhì)水能夠充分浸潤(rùn)塑封體,使測(cè)量電極和塑封體全面接觸,具有接觸好,測(cè)試靈敏,尤其保證了頂針孔等特殊異形部位的可靠接觸,解決了干式測(cè)量帶來(lái)的測(cè)量面不完全導(dǎo)致誤報(bào)警的問(wèn)題。
[0013]采用了多工位夾具結(jié)構(gòu),可以同時(shí)測(cè)試多個(gè)器件,有效地提高設(shè)備測(cè)試效率高和測(cè)試產(chǎn)能。同時(shí),上電極固定座上可以上下移動(dòng),取放器件方便,壓簧具有彈性,器件與電極接觸力量可控,不易損壞器件。
【附圖說(shuō)明】
[0014]圖1是本發(fā)明中的一個(gè)塑封微電子器件的正視圖。
[0015]圖2是本發(fā)明中的一個(gè)塑封微電子器件的側(cè)視圖。
[0016]圖3是本發(fā)明的一個(gè)結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖中:1、裸露電極;2、塑封體;3、頂針孔;4、安裝孔;5、限程螺絲;6、壓簧;7、上電極固定座;8、上電極;9、水槽;10、溢流口 ;11、凹槽;12、底座;13、水平調(diào)節(jié)螺絲;14、下電極;15、補(bǔ)水口 ;16、下電極連接座;17、異常報(bào)警器;18、上電極連接座。
【具體實(shí)施方式】
[0018]實(shí)施例1
如附圖1、2中所示,一個(gè)塑封微電子器件,其一端為裸露電極1,另一端是包裹的電子器件的塑封體2,該塑封體2上有頂針孔3和安裝孔4。
[0019]如附圖3中所示,含有上電極連接座18、上電極固定座7、限程螺絲5、壓簧6、多只上電極8、下電極連接座16、多只下電極14、水槽9、底座12、異常報(bào)警器17的半導(dǎo)體器件短路測(cè)試裝置。
[0020]所述的水槽9中有40°C的能夠?qū)щ姷慕橘|(zhì)水;所述的上電極連接座18固定連接在上電極固定座7上,上電極固定座7能夠上下移動(dòng),多個(gè)上電極8分別通過(guò)限程螺絲5和壓簧6連接在上電極固定座7上;所述的多個(gè)下電極14 一端連接在下電極連接座16上,所述的水槽9中有多個(gè)便于放置電子器件的塑封體2的凹槽11,下電極14另一端伸入各自凹槽11中的介質(zhì)水中。所述的水槽9上具有補(bǔ)水口 15和溢流口 10。所述的水槽9下面連接有底座12,底座12有水平調(diào)節(jié)螺絲,所述的上電極8與下電極14之間連通有異常報(bào)警器17。所述的上電極連接座18連接有2000V的高壓電源,導(dǎo)線中連接有延時(shí)繼電器。
[0021]實(shí)施例2
本發(fā)明所述的半導(dǎo)體器件短路測(cè)試裝置的測(cè)試方法通過(guò)以下步驟來(lái)實(shí)現(xiàn):
步驟一,測(cè)試塑封微電子器件絕緣性時(shí),電子器件塑封體2置于介質(zhì)水中,當(dāng)上電極固定座7下移時(shí),塑封微電子器件的裸露電極I與上電極8接觸,塑封微電子器件絕緣性合格時(shí),電路不能導(dǎo)通,異常報(bào)警器不報(bào)警;
步驟二,當(dāng)有塑封微電子器件絕緣性不合格時(shí),塑封體2漏電,電路會(huì)導(dǎo)通,異常報(bào)警器17報(bào)警,操作人員可以據(jù)此快速地剔除不合格器件。
[0022]最后應(yīng)當(dāng)說(shuō)明的是,以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案,而非對(duì)本發(fā)明保護(hù)范圍的限制,盡管參照較佳實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作了詳細(xì)地說(shuō)明,本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解,可以對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行修改或者等同替換,而不脫離本發(fā)明技術(shù)方案的實(shí)質(zhì)和范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種半導(dǎo)體器件短路測(cè)試裝置,該塑封微電子器件的一端是裸露電極(I)或還有引線框架,另一端是包裹的電子器件的塑封體(2),該塑封體(2)上有頂針孔(3)和安裝孔(4),其特征在于:含有上電極連接座(18)、上電極固定座(7)、限程螺絲(5)、壓簧(6)、一個(gè)或多個(gè)上電極⑶、下電極連接座(16)、下電極(14)、水槽(9)、異常報(bào)警器(17); 所述的水槽(9)中有30°C _70°C的能夠?qū)щ姷慕橘|(zhì)水; 所述的上電極連接座(18)固定連接在上電極固定座(X)上,上電極固定座(X)能夠上下移動(dòng),上電極(8)分別通過(guò)限程螺絲(5)和壓簧(6)連接在上電極固定座(7)上;所述的下電極(14) 一端連接在下電極連接座(16)上,另一端伸入水槽(9)中的介質(zhì)水中; 所述的上電極(8)與下電極(14)之間連通的導(dǎo)線中連接有異常報(bào)警器(17)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件短路測(cè)試裝置,其特征在于:所述的上電極連接座(18)連接有1000-3000V的高壓電源,導(dǎo)線中或連接有延時(shí)繼電器。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件短路測(cè)試裝置,其特征在于:所述的水槽(9)下面連接有底座(12)、底座(12)連接有水平調(diào)節(jié)螺絲(13)。4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的半導(dǎo)體器件短路測(cè)試裝置,其特征在于:所述的水槽(9)中有一個(gè)或多個(gè)便于放置電子器件的塑封體(2)的凹槽(11),凹槽中的介質(zhì)水相互連通。5.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的半導(dǎo)體器件短路測(cè)試裝置,其特征在于:所述的水槽(9)上具有補(bǔ)水口(15)和溢流口(10)。6.一種采用I至5任意一項(xiàng)權(quán)利要求所述的半導(dǎo)體器件短路測(cè)試裝置的測(cè)試方法,其特征在于:包括以下步驟: 步驟一,測(cè)試塑封微電子器件絕緣性時(shí),電子器件塑封體(2)置于介質(zhì)水中,當(dāng)上電極固定座(7)下移時(shí),塑封微電子器件的裸露電極(I)與上電極(8)接觸,塑封微電子器件絕緣性合格時(shí),電路不能導(dǎo)通,異常報(bào)警器不報(bào)警; 步驟二,當(dāng)有塑封微電子器件絕緣性不合格時(shí),塑封體(2)漏電,電路會(huì)導(dǎo)通,異常報(bào)警器(17)報(bào)警,操作人員可以據(jù)此快速地剔除不合格器件。
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體器件短路測(cè)試裝置及測(cè)試方法,含有上電極固定座、限程螺絲、壓簧、上電極、下電極連接座、下電極、水槽、底座、異常報(bào)警器。水槽中有30℃-70℃的介質(zhì)水。上電極連接座固定連接在上電極固定座上,上電極固定座上可以上下移動(dòng),多個(gè)上電極分別通過(guò)限程螺絲和壓簧連接在上電極固定座上。下電極一端連接在下電極連接座上,下電極另一端伸入水槽中的介質(zhì)水中。上電極與下電極之間連通有異常報(bào)警器。測(cè)試塑封微電子器件絕緣性合格時(shí),異常報(bào)警器不報(bào)警;不合格時(shí),異常報(bào)警器報(bào)警。本發(fā)明利用介質(zhì)水作為導(dǎo)電測(cè)媒介,介質(zhì)水能夠充分浸潤(rùn)塑封體,具有接觸好,測(cè)試靈敏,解決了干式測(cè)量帶來(lái)的測(cè)量面不完全導(dǎo)致誤報(bào)警的問(wèn)題。
【IPC分類(lèi)】G01R31/02
【公開(kāi)號(hào)】CN104965145
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510313502
【發(fā)明人】劉振華, 殷國(guó)海
【申請(qǐng)人】江蘇杰進(jìn)微電子科技有限公司
【公開(kāi)日】2015年10月7日
【申請(qǐng)日】2015年6月10日