皮秒級窄脈寬測試裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種皮秒級窄脈寬測試裝置，包括第一分光耦合器、第二分光耦合器、第三分光耦合器、第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺、第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺、第一光纖放大器、第二光纖放大器、合束裝置、第一測量裝置、第二測量裝置和第三測量裝置。第一分光耦合器連接第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺和第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺，第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺、第一光纖放大器和第二分光耦合器依次連接，第二分光耦合器連接第一測量裝置和合束裝置。第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺、第二光纖放大器和第三分光耦合器依次連接，第三分光耦合器連接第二測量裝置和合束裝置，合束裝置連接第三測量裝置。利用受激拉曼散射原理來測量皮秒級脈沖，結(jié)構(gòu)直觀、操作簡單且成本低，降低了皮秒級窄脈寬的測試成本。
【專利說明】
皮秒級窄脈寬測試裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及激光技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種皮秒級窄脈寬測試裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展，皮秒激光技術(shù)取得了令人矚目的進(jìn)展，使其成為工業(yè)微細(xì)加工的可靠工具。皮秒脈沖寬度相當(dāng)短，與電光弛豫時間相當(dāng)，并且皮秒脈沖往往具有很高的峰值功率，使它在加工時能夠利用高峰值將材料表面擊成離子態(tài)來完成加工且對加工點周圍的熱效應(yīng)很小，這種特性即是所謂的“冷加工”和微加工，是納秒級的激光器所無法實現(xiàn)的。皮秒激光器適應(yīng)于幾乎所有材料的微尺寸加工，包括金屬、半導(dǎo)體、寶石、陶瓷、聚合物等等。
[0003]由于皮秒激光器在材料加工上的廣泛應(yīng)用，開發(fā)和使用皮秒激光器的機構(gòu)越來越多，對皮秒級窄脈寬的測試需求也越來越大。傳統(tǒng)的皮秒級別窄脈寬的測試裝置一般需要使用自相關(guān)儀或者高速響應(yīng)的光電探測器加高速示波器，這兩種測試方法對設(shè)備要求都很高，自相關(guān)儀需要幾十萬元，高速示波器需要上百萬元的高購買價格，大大增加了測試成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]基于此，有必要針對上述問題，提供一種可降低測試成本的皮秒級窄脈寬測試裝置。
[0005]—種皮秒級窄脈寬測試裝置，包括第一分光親合器、第二分光親合器、第三分光親合器、第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺、第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺、第一光纖放大器、第二光纖放大器、合束裝置、第一測量裝置、第二測量裝置和第三測量裝置，所述第一分光耦合器連接所述第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺和所述第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺；所述第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺、第一光纖放大器和所述第二分光耦合器依次連接，所述第二分光耦合器連接所述第一測量裝置和所述合束裝置;所述第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺、所述第二光纖放大器和所述第三分光耦合器依次連接，所述第三分光耦合器連接所述第二測量裝置和所述合束裝置;所述合束裝置連接所述第三測量裝置；
[0006]所述第一分光耦合器接收待測皮秒光，將所述待測皮秒光分為兩路光束后分別輸送至所述第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺和所述第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺，所述第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺將接收的光束經(jīng)所述第一光纖放大器傳輸至所述第二分光耦合器，所述第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺將接收的光束經(jīng)所述第二光纖放大器傳輸至所述第三分光耦合器;所述第二分光耦合器將接收的光束分為兩路后分別傳輸至所述第一測量裝置和所述合束裝置，所述第三分光耦合器將接收的光束分為兩路后分別傳輸至所述第二測量裝置和所述合束裝置;所述合束裝置將接收的兩路光束傳輸至所述第三測量裝置；
[0007]所述第一光纖放大器和所述第二光纖放大器分別用于將傳輸?shù)墓馐糯笾廉a(chǎn)生受激拉曼散射的臨界點;所述第一測量裝置和所述第二測量裝置分別用于檢測對應(yīng)光束的受激拉曼散射光；
[0008]所述第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺和所述第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺用于在所述第一光纖放大器和所述第二光纖放大器將傳輸?shù)墓馐糯笾廉a(chǎn)生受激拉曼散射的臨界點之后，調(diào)節(jié)傳輸?shù)墓馐g的路程差;所述第三測量裝置用于在所述第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺和所述第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺調(diào)節(jié)傳輸?shù)墓馐g的路程差時，檢測接入的兩路光束疊加產(chǎn)生受激拉曼散射光的起始時刻和結(jié)束時刻，得到脈寬測試結(jié)果并顯示。
[0009]上述皮秒級窄脈寬測試裝置，第一光纖放大器和第二光纖放大器分別將傳輸?shù)墓馐糯笾廉a(chǎn)生受激拉曼散射的臨界點，第一測量裝置和第二測量裝置分別檢測對應(yīng)光束的受激拉曼散射光。第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺和第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺在第一光纖放大器和第二光纖放大器將傳輸?shù)墓馐糯笾廉a(chǎn)生受激拉曼散射的臨界點之后，調(diào)節(jié)傳輸?shù)墓馐g的路程差。第三測量裝置檢測接入的兩路光束疊加產(chǎn)生受激拉曼散射光的起始時刻和結(jié)束時刻，得到脈寬測試結(jié)果并顯示。利用受激拉曼散射原理來測量皮秒級脈沖，結(jié)構(gòu)直觀、操作簡單且成本低，降低了皮秒級窄脈寬的測試成本。
【附圖說明】
[0010]圖1為一實施例中皮秒級窄脈寬測試裝置的原理圖；
[0011]圖2為一實施例中皮秒級窄脈寬測試的原理示意圖；
[0012]圖3為一實施例中第一光纖放大器的結(jié)構(gòu)圖。
【具體實施方式】
[0013]—種皮秒級窄脈寬測試裝置，如圖1所不，包括第一分光親合器102、第二分光親合器104、第三分光耦合器106、第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺108、第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺110、第一光纖放大器112、第二光纖放大器114、合束裝置116、第一測量裝置118、第二測量裝置120和第三測量裝置122。第一分光耦合器102連接第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺108和第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺110，第一分光耦合器102還可連接待測皮秒光源300，接收待測皮秒光源300輸出的待測皮秒光。第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺108、第一光纖放大器112和第二分光親合器104依次連接，第二分光親合器104連接第一測量裝置118和合束裝置116。第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺110、第二光纖放大器114和第三分光耦合器106依次連接，第三分光耦合器106連接第二測量裝置120和合束裝置116，合束裝置116連接第三測量裝置122。具體地，第一分光親合器102、第二分光親合器104、第三分光親合器106、第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺108、第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺110、第一光纖放大器112、第二光纖放大器114、合束裝置116、第一測量裝置118、第二測量裝置120和第三測量裝置122之間均可通過光纖連接。
[0014]第一分光親合器102接收待測皮秒光，將待測皮秒光分為兩路光束后分別輸送至第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺108和第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺110，第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺108將接收的光束經(jīng)第一光纖放大器112傳輸至第二分光耦合器104，第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺110將接收的光束經(jīng)第二光纖放大器114傳輸至第三分光親合器106。第二分光親合器104將接收的光束分為兩路后分別傳輸至第一測量裝置118和合束裝置116，第三分光親合器106將接收的光束分為兩路后分別傳輸至第二測量裝置120和合束裝置116。合束裝置116將接收的兩路光束傳輸至第三測量裝置 122。
[0015]第一光纖放大器112和第二光纖放大器114分別用于將傳輸?shù)墓馐糯笾廉a(chǎn)生受激拉曼散射的臨界點。第一測量裝置118和第二測量裝置120分別用于檢測對應(yīng)光束的受激拉曼散射光。
[0016]第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺108和第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺110用于在第一光纖放大器112和第二光纖放大器114將傳輸?shù)墓馐糯笾廉a(chǎn)生受激拉曼散射的臨界點之后，調(diào)節(jié)傳輸?shù)墓馐g的路程差。第三測量裝置122用于在第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺108和第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺110調(diào)節(jié)傳輸?shù)墓馐g的路程差時，檢測接入的兩路光束疊加產(chǎn)生受激拉曼散射光的起始時刻和結(jié)束時亥IJ，得到脈寬測試結(jié)果并顯示。
[0017]第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺108、第一光纖放大器112和第二分光耦合器104組成第一支路，第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺110、第二光纖放大器114和第三分光親合器106組成第二支路。第一分光親合器102將待測皮秒光分為兩路光束，分別經(jīng)過第一支路和第二支路傳輸后再次被分為兩路輸出。第一分光親合器102、第二分光親合器104和第三分光親合器106都用作進(jìn)行分光處理，將光束分為兩路后輸出，具體的分光比并不唯一。本實施例中，第一分光親合器102的分光比為50%，將待測皮秒光分為兩路相等的光束后輸出，以便后續(xù)測試觀察，提高了測試便利性。第二分光親合器104和第三分光親合器106的分光比為1:999，分別將光束的千分之一部分發(fā)送至對應(yīng)的第一測量裝置118和第二測量裝置120。具體地，第二分光耦合器104對接收的光束進(jìn)行分光處理，將光束的1/1000部分發(fā)送至第一測量裝置118用作進(jìn)行測試，將光束的999/1000部分接入合束裝置116。第三分光耦合器106對接收的光束進(jìn)行分光處理，將光束的1/1000部分發(fā)送至第二測量裝置120用作進(jìn)行測試，將光束的999/1000部分接入合束裝置116。第二分光親合器104和第三分光親合器106提取光束的千分之一部分輸出以供進(jìn)行測試，便于進(jìn)行測試觀察。
[0018]通過調(diào)節(jié)第一光纖放大器112和第二光纖放大器114，使對應(yīng)光束放大到產(chǎn)生受激拉曼散射的臨界點。受激拉曼散射是強激光的光電場與原子中的電子激發(fā)、分子中的振動或與晶體中的晶格相耦合產(chǎn)生的，有很強的受激特性，受激拉曼散射存在閾值，當(dāng)光路峰值功率較小，處于這個閾值之下時，發(fā)生的只是普通的散射，功率很小，而一旦峰值功率提高至達(dá)到閾值，散射光就表現(xiàn)出明顯的激光特性，具有很好的單色性、相干性和方向性，同時散射光功率將呈指數(shù)的急劇增加。第一光纖放大器112和第二光纖放大器114結(jié)構(gòu)及規(guī)格可一致也可不一致，本實施例中，第一光纖放大器112和第二光纖放大器114結(jié)構(gòu)及規(guī)格一致，避免因放大器規(guī)格不一致而影響測試，提高測試準(zhǔn)確性。此外，由于待測皮秒光源300、第一光纖放大器112和第二光纖放大器114的參數(shù)一致，第一分光耦合器102分光得到的兩路光束的參數(shù)一致，使得兩路放大后的光束的參數(shù)也是一致的，確保后續(xù)的測試準(zhǔn)確可靠。
[0019]在第一光纖放大器112和第二光纖放大器114對對應(yīng)光束放大時，通過第一測量裝置118和第二測量裝置120檢測放大光的受激拉曼散射光。具體地，逐步增大第一光纖放大器112和第二光纖放大器114的功率以提高放大倍率，當(dāng)放大光峰值功率處于受激拉曼散射閾值之下時，第一測量裝置118和第二測量裝置120基本探測不到散射光，但放大光峰值功率達(dá)到受激拉曼散射閾值時，散射光量急劇增加變得明顯可測，此時再將第一光纖放大器112和第二光纖放大器114的功率調(diào)小至觀察不到散射光，這時放大光達(dá)到了受激拉曼散射的臨界點。
[0020]完成放大光調(diào)節(jié)后將兩束放大光合束，并進(jìn)行脈寬測試。通過第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺108和第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺110改變兩束光之間的路程差，第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺108和第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺110的調(diào)節(jié)精度可根據(jù)實際情況選擇，本實施例中調(diào)節(jié)精度均為1mm，按光束3*10~ 8m/s計算，測試的脈沖寬度精度為3.3ps，可以精確的完成皮秒級的脈寬測試，確保測試準(zhǔn)確性。
[0021]皮秒級窄脈寬測試原理如圖2所示，將兩束放大光分別稱作光束I和光束2，使光束I的光程保持不變，調(diào)節(jié)光束2對應(yīng)的光學(xué)調(diào)節(jié)臺，使其與光束I在時間上的相對位置按圖2中箭頭所示方向變化。因為兩束光均處于發(fā)生受激拉曼散射的臨界點，使得在合束后兩束光波峰開始疊加的時刻(Tl)峰值功率足夠高，開始探測到受激拉曼散射光，此后一段范圍內(nèi)(T1-T2)散射光一直存在，直至T2兩束光波峰錯開，受激拉曼光消失，測得T1-T2的范圍即可得到待測光的脈沖寬度。
[0022]第一測量裝置118、第二測量裝置120和第三測量裝置122均用作檢測受激拉曼散射光，第三測量裝置122具體檢測兩路光束疊加產(chǎn)生受激拉曼散射光的起始時刻和結(jié)束時亥IJ，得到脈寬測試結(jié)果并顯示。本實施例中第一測量裝置118、第二測量裝置120和第三測量裝置122均為光譜儀，操作簡便且測試可靠性高?？梢岳斫?，在其他實施例中，第一測量裝置118、第二測量裝置120和第三測量裝置122也可用帶通濾波器加功率計來代替。
[0023]第三測量裝置122顯示脈寬測試結(jié)果的方式并不唯一，具體可以是直接將兩路光束疊加產(chǎn)生受激拉曼散射光的起始時刻和結(jié)束時刻作為脈寬測試結(jié)果進(jìn)行顯示，測試人員根據(jù)起始時刻和結(jié)束時刻即可計算得到待測皮秒光的脈寬;也可以是計算起始時刻和結(jié)束時刻的差值作為脈寬測試結(jié)果顯示，測試人員可直接查看待測皮秒光的脈寬。
[0024]上述皮秒級窄脈寬測試裝置，第一光纖放大器112和第二光纖放大器114分別將傳輸?shù)墓馐糯笾廉a(chǎn)生受激拉曼散射的臨界點，第一測量裝置118和第二測量裝置120分別檢測對應(yīng)光束的受激拉曼散射光。第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺108和第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺110在第一光纖放大器112和第二光纖放大器114將傳輸?shù)墓馐糯笾廉a(chǎn)生受激拉曼散射的臨界點之后，調(diào)節(jié)傳輸?shù)墓馐g的路程差，第三測量裝置122檢測接入的兩路光束疊加產(chǎn)生受激拉曼散射光的起始時刻和結(jié)束時刻，得到脈寬測試結(jié)果并顯示。利用受激拉曼散射原理來測量皮秒級脈沖，結(jié)構(gòu)直觀、操作簡單且成本低，降低了皮秒級窄脈寬的測試成本。
[0025]上述皮秒級窄脈寬測試裝置，與傳統(tǒng)的基于自相關(guān)儀及高速示波器的測試方法相比，將幾十萬或者百萬以上的測試成本降低到了2萬元以下。同時，由于使用的裝置在結(jié)構(gòu)上較為簡明，大大降低了皮秒級窄脈寬測試的門檻。
[0026]在其中一個實施例中，第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺108包括第一調(diào)節(jié)座架和設(shè)置于第一調(diào)節(jié)座架的第一輸出頭、第一準(zhǔn)直透鏡、第一耦合透鏡和第一輸入頭，第一輸出頭連接第一分光耦合器102，第一輸入頭連接第一光纖放大器112，第一調(diào)節(jié)座架用于調(diào)節(jié)第一輸出頭和第一輸入頭之間的距離。光束從第一輸出頭經(jīng)過第一準(zhǔn)直透鏡、第一親合透鏡再從第一輸入頭重新進(jìn)入光纖，通過第一調(diào)節(jié)座架調(diào)節(jié)第一輸出頭與第一輸入頭之間的距離以改變光束的路程。可以理解，第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺108的具體結(jié)構(gòu)并不唯一，只需滿足可調(diào)節(jié)光束的路程即可。
[0027]在其中一個實施例中，第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺110包括第二調(diào)節(jié)座架和設(shè)置于第二調(diào)節(jié)座架的第二輸出頭、第二準(zhǔn)直透鏡、第二耦合透鏡和第二輸入頭，第二輸出頭連接第一分光耦合器102，第二輸入頭連接第二光纖放大器114，第二調(diào)節(jié)座架用于調(diào)節(jié)第二輸出頭和第二輸入頭之間的距離。第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺110的具體結(jié)果和工作原理與第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺108類似，在此不再贅述。
[0028]在其中一個實施例中，如圖3所示，第一光纖放大器112包括第一有源光纖240、第一合束器260和第一激光器280，第一有源光纖240連接第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺108和第一合束器260，第一合束器260連接第一激光器280和第二分光親合器104。第一有源光纖240用于對第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺108輸出的光束進(jìn)行放大，第一合束器260將放大后的光束輸送至第二分光親合器104。
[0029]通過第一有源光纖240對光進(jìn)行傳輸和放大處理，技術(shù)簡單且易于實現(xiàn)。第一激光器280用于對第一有源光纖240進(jìn)行供能，第一激光器280具體可為半導(dǎo)體激光器。第一激光器280的數(shù)量可以是一個也可以是多個，本實施例中第一激光器280的數(shù)量為兩個，提高對第一有源光纖240的供能穩(wěn)定性。以第一有源光纖240作為增益介質(zhì)，第一合束器260親合第一激光器280的輸出光作為栗浦源，通過控制第一激光器280的輸出光大小，來調(diào)節(jié)第一光纖放大器112的放大倍率。可以理解，第一光纖放大器112的具體結(jié)構(gòu)并不唯一，只需滿足可對光束進(jìn)行放大即可。
[°03°] 進(jìn)一步地，第一光纖放大器112還可包括第一模式匹配器220，第一有源光纖240通過第一模式匹配器220連接第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺108。第一模式匹配器220用于不同芯徑光纖的耦合對接過渡，便于光束傳輸。
[0031 ]在其中一個實施例中，第二光纖放大器114包括第二有源光纖、第二合束器和第二激光器，第二有源光纖連接第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺110和第二合束器，第二合束器連接第二激光器和第三分光耦合器106 ο進(jìn)一步地，第二光纖放大器114還包括第二模式匹配器，第二有源光纖通過第二模式匹配器連接第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺110。第二光纖放大器114的具體結(jié)構(gòu)和工作原理與第一光纖放大器112類似，在此不再贅述。
[0032]以上所述實施例僅表達(dá)了本發(fā)明的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護范圍。因此，本發(fā)明專利的保護范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
【主權(quán)項】
1.一種皮秒級窄脈寬測試裝置，其特征在于，包括第一分光親合器、第二分光親合器、第三分光耦合器、第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺、第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺、第一光纖放大器、第二光纖放大器、合束裝置、第一測量裝置、第二測量裝置和第三測量裝置，所述第一分光耦合器連接所述第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺和所述第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺；所述第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺、所述第一光纖放大器和所述第二分光耦合器依次連接，所述第二分光耦合器連接所述第一測量裝置和所述合束裝置;所述第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺、所述第二光纖放大器和所述第三分光耦合器依次連接，所述第三分光耦合器連接所述第二測量裝置和所述合束裝置;所述合束裝置連接所述第三測量裝置； 所述第一分光耦合器接收待測皮秒光，將所述待測皮秒光分為兩路光束后分別輸送至所述第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺和所述第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺，所述第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺將接收的光束經(jīng)所述第一光纖放大器傳輸至所述第二分光耦合器，所述第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺將接收的光束經(jīng)所述第二光纖放大器傳輸至所述第三分光親合器;所述第二分光親合器將接收的光束分為兩路后分別傳輸至所述第一測量裝置和所述合束裝置，所述第三分光耦合器將接收的光束分為兩路后分別傳輸至所述第二測量裝置和所述合束裝置;所述合束裝置將接收的兩路光束傳輸至所述第三測量裝置； 所述第一光纖放大器和所述第二光纖放大器分別用于將傳輸?shù)墓馐糯笾廉a(chǎn)生受激拉曼散射的臨界點;所述第一測量裝置和所述第二測量裝置分別用于檢測對應(yīng)光束的受激拉曼散射光； 所述第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺和所述第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺用于在所述第一光纖放大器和所述第二光纖放大器將傳輸?shù)墓馐糯笾廉a(chǎn)生受激拉曼散射的臨界點之后，調(diào)節(jié)傳輸?shù)墓馐g的路程差;所述第三測量裝置用于在所述第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺和所述第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺調(diào)節(jié)傳輸?shù)墓馐g的路程差時，檢測接入的兩路光束疊加產(chǎn)生受激拉曼散射光的起始時刻和結(jié)束時亥IJ，得到脈寬測試結(jié)果并顯示。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺包括第一調(diào)節(jié)座架和設(shè)置于所述第一調(diào)節(jié)座架的第一輸出頭、第一準(zhǔn)直透鏡、第一耦合透鏡和第一輸入頭，所述第一輸出頭連接所述第一分光耦合器，所述第一輸入頭連接所述第一光纖放大器，所述第一調(diào)節(jié)座架用于調(diào)節(jié)所述第一輸出頭和所述第一輸入頭之間的距離。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺包括第二調(diào)節(jié)座架和設(shè)置于所述第二調(diào)節(jié)座架的第二輸出頭、第二準(zhǔn)直透鏡、第二耦合透鏡和第二輸入頭，所述第二輸出頭連接所述第一分光耦合器，所述第二輸入頭連接所述第二光纖放大器，所述第二調(diào)節(jié)座架用于調(diào)節(jié)所述第二輸出頭和所述第二輸入頭之間的距離。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺和所述第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺的調(diào)節(jié)精度為1mm。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第一光纖放大器包括第一有源光纖、第一合束器和第一激光器，所述第一有源光纖連接所述第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺和所述第一合束器，所述第一合束器連接所述第一激光器和所述第二分光親合器。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于，所述第一光纖放大器還包括第一模式匹配器，所述第一有源光纖通過所述第一模式匹配器連接所述第一光學(xué)調(diào)節(jié)臺。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第二光纖放大器包括第二有源光纖、第二合束器和第二激光器，所述第二有源光纖連接所述第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺和所述第二合束器，所述第二合束器連接所述第二激光器和所述第三分光耦合器。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置，其特征在于，所述第二光纖放大器還包括第二模式匹配器，所述第二有源光纖通過所述第二模式匹配器連接所述第二光學(xué)調(diào)節(jié)臺。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第一分光耦合器的分光比為50%;所述第二分光親合器和所述第三分光親合器的分光比為1:999，分別將光束的千分之一部分發(fā)送至對應(yīng)的所述第一測量裝置和所述第二測量裝置。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第一測量裝置、所述第二測量裝置和所述第三測量裝置均為光譜儀。
【文檔編號】G01J11/00GK105953930SQ201610309365
【公開日】2016年9月21日
【申請日】2016年5月11日
【發(fā)明人】劉猛, 熊釗頎
【申請人】深圳市杰普特光電股份有限公司