專利名稱：高精度大型恒溫控制系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種恒溫控制技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種高精度大型恒溫控制系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
極紫外光刻投影系統(tǒng)是被寄希望突破22nm光刻節(jié)點(diǎn)的下一代光學(xué)系統(tǒng)，對于光學(xué)加工及檢測技術(shù)提出了更高的要求。超高精度的光學(xué)測量儀器——點(diǎn)衍射干涉儀被研制用于超高精度的光學(xué)干涉檢測。在點(diǎn)衍射干涉儀的研制和使用過程中，環(huán)境溫度微小的變化對超高精度(RMS = 0. Inm)的光學(xué)檢測會(huì)產(chǎn)生極大的影響。由于研制的點(diǎn)衍射干涉儀體積龐大，目前市場上沒有大型高精度高穩(wěn)定度的溫控系統(tǒng)滿足點(diǎn)衍射干涉儀的使用要求， 因此需要研制一種高精度大型恒溫控制系統(tǒng)。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型為解決現(xiàn)有恒溫控制系統(tǒng)無法滿足點(diǎn)衍射干涉儀的使用要求，提供一種高精度大型恒溫控制系統(tǒng)。高精度大型恒溫控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括恒溫室、恒溫控制門和恒溫控制液體循環(huán)裝置，所述恒溫控制門與恒溫室采用密封條進(jìn)行密封，所述恒溫室由多塊壁板組成；所述壁板內(nèi)設(shè)置流通循環(huán)液體的水管，所述壁板內(nèi)的水管進(jìn)水口與恒溫控制液體循環(huán)裝置的出水管路連通；壁板內(nèi)的水管出水口與恒溫控制液體循環(huán)裝置的進(jìn)水管路連通。本實(shí)用新型所述恒溫室的多塊壁板中上下相鄰的兩塊壁板之間采用軟管連接，所述下面壁板內(nèi)的水管出水口通過軟管與上面壁板內(nèi)的水管進(jìn)水口連通。本實(shí)用新型所述的高精度大型恒溫控制系統(tǒng)還包括保溫層，所述保溫層設(shè)置在壁板的外部。本實(shí)用新型的工作原理本實(shí)用新型所述高精度恒溫控制系統(tǒng)為大型超高精度光學(xué)干涉檢測設(shè)備提供大容積高精度的恒溫?zé)o氣流擾動(dòng)的測試使用環(huán)境，用于超高精度的光學(xué)干涉檢測，本實(shí)用新型采用通水的恒溫壁板控制恒溫室的內(nèi)部溫度，所述恒溫壁板內(nèi)的循環(huán)液體的溫度由高精度的恒溫控制液體循環(huán)裝置控制，本實(shí)用新型采用通有恒溫液體的壁板，可有效抑制恒溫控制液體循環(huán)裝置的溫度波動(dòng)對恒溫系統(tǒng)內(nèi)的影響，本實(shí)用新型可實(shí)現(xiàn)溫度穩(wěn)定性優(yōu)于0. 005°C的高精度恒溫控制。本實(shí)用新型的有益效果本實(shí)用新型為提高溫度控制能力，恒溫系統(tǒng)由通循環(huán)液體的壁板組成，有效抑制恒溫控制系統(tǒng)溫度波動(dòng)對恒溫室內(nèi)部環(huán)境溫度的影響，本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)了高精度大容積的恒溫控制。避免溫度變化和氣流擾動(dòng)對光學(xué)干涉檢測精度的影響。

圖1為本實(shí)用新型所述的高精度大型恒溫控制系統(tǒng)的裝置示意圖，[0010]圖2為本實(shí)用新型所述的高精度大型恒溫控制系統(tǒng)的效果圖，圖3為本實(shí)用新型所述的高精度大型恒溫控制系統(tǒng)中壁板的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實(shí)用新型所述的高精度大型恒溫控制系統(tǒng)中上下相鄰壁板的連接結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本實(shí)用新型所述的高精度大型恒溫控制系統(tǒng)中多塊壁板的連接結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、恒溫室，2、保溫層，3、壁板，4、恒溫控制液體循環(huán)裝置，5、水管進(jìn)水口，6、 恒溫控制液體循環(huán)裝置的出水管路，7、水管出水口，8、恒溫控制液體循環(huán)裝置的進(jìn)水管路， 9、軟管。
具體實(shí)施方式
結(jié)合圖1至圖5說明本實(shí)施方式，高精度大型恒溫控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括恒溫室1、 恒溫控制門和恒溫控制液體循環(huán)裝置4，所述恒溫控制門與恒溫室1采用密封條進(jìn)行密封， 所述恒溫室由多塊壁板3組成；所述壁板3內(nèi)設(shè)置流通循環(huán)液體的水管，所述壁板3內(nèi)的水管進(jìn)水口 5與恒溫控制液體循環(huán)裝置的出水管路6連通；壁板3內(nèi)的水管出水口 7與恒溫控制液體循環(huán)裝置的進(jìn)水管路8連通。結(jié)合圖4和圖5說明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式所述恒溫室1的多塊壁板3中的上下相鄰的兩塊壁板3之間采用軟管連接，所述下面壁板3內(nèi)的水管出水口 7通過軟管9與上面壁板3內(nèi)的水管進(jìn)水口 5連通。壁板3中的循環(huán)液體的溫度由恒溫控制液體循環(huán)裝置 4控制。由恒溫的通循環(huán)液體的恒溫壁板3產(chǎn)生高精度的恒溫環(huán)境。本實(shí)施方式中還包括保溫層2，所述保溫層2設(shè)置在壁板3的外部，進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)對恒溫系統(tǒng)恒溫控制的目的。本實(shí)施方式所述的高精度大型恒溫控制系統(tǒng)的形狀為立方體形狀，尺寸為 4. Om(長)X3. 5m(寬)Χ2· 77m(高)。本實(shí)施方式所述的恒溫控制門的結(jié)構(gòu)與恒溫室1的結(jié)構(gòu)相同，所述恒溫控制門由多塊壁板3組成，上下相鄰的兩塊壁板3之間采用軟管連接，所述下面壁板3內(nèi)的水管出水口 7通過軟管9與上面壁板3內(nèi)的水管進(jìn)水口 5連通，所述的恒溫控制門為推拉式結(jié)構(gòu)，內(nèi)部有循環(huán)流動(dòng)的恒溫液體，保證工作人員與設(shè)備的進(jìn)出，同時(shí)通過門上的旋轉(zhuǎn)把輪使得門扣緊，保證內(nèi)部恒溫環(huán)境與外界隔離，確保內(nèi)部溫度穩(wěn)定和無氣流擾動(dòng)。本實(shí)用新型所述的恒溫控制液體循環(huán)裝置4恒溫工作時(shí)，其恒溫室1內(nèi)部的溫度在四個(gè)小時(shí)內(nèi)的溫度穩(wěn)定性優(yōu)于0.005°C。本實(shí)用新型在初次使用需先將恒溫室1的金屬壁板注入液體，關(guān)閉恒溫控制門，設(shè)定恒溫控制液體循環(huán)裝置4的控制溫度并開始工作，在該系統(tǒng)工作過程中禁止隨意移動(dòng)恒溫控制液體循環(huán)裝置的進(jìn)水管路8和恒溫控制液體循環(huán)裝置的出水管路6的連接結(jié)構(gòu)，避免漏水。當(dāng)恒溫室1處于恒溫狀態(tài)中，不能打開恒溫控制門，開關(guān)恒溫控制門時(shí)，應(yīng)避免將密封條損壞，盡量避免大力推拉，防止撞擊損壞。恒溫控制液體循環(huán)裝置4內(nèi)的發(fā)熱元件的開啟時(shí)間應(yīng)盡量短。
權(quán)利要求1.高精度大型恒溫控制系統(tǒng)，其特征是，該系統(tǒng)包括恒溫室(1)、恒溫控制門和恒溫控制液體循環(huán)裝置G)，所述恒溫控制門與恒溫室(1)采用密封條進(jìn)行密封，所述恒溫室由多塊壁板C3)組成；所述壁板C3)內(nèi)設(shè)置流通循環(huán)液體的水管，所述壁板(3)內(nèi)的水管進(jìn)水口 (5)與恒溫控制液體循環(huán)裝置的出水管路(6)連通；壁板(3)內(nèi)的水管出水口(7)與恒溫控制液體循環(huán)裝置的進(jìn)水管路(8)連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度大型恒溫控制系統(tǒng)，其特征在于，所述恒溫室的多塊壁板中的上下相鄰的兩塊壁板C3)之間采用軟管連接，所述下面壁板內(nèi)的水管出水口(7) 通過軟管(9)與上面壁板內(nèi)的水管進(jìn)水口( 連通。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度大型恒溫控制系統(tǒng)，其特征在于，該系統(tǒng)還包括保溫層O)，所述保溫層( 設(shè)置在壁板(3)的外部。
專利摘要高精度大型恒溫控制系統(tǒng)，涉及恒溫控制技術(shù)領(lǐng)域，它解決現(xiàn)有恒溫控制系統(tǒng)無法滿足點(diǎn)衍射干涉儀使用要求的問題，該系統(tǒng)包括恒溫室、恒溫控制門和恒溫控制液體循環(huán)裝置，所述恒溫室由多塊壁板組成；所述壁板內(nèi)設(shè)置流通循環(huán)液體的水管，所述壁板內(nèi)的水管進(jìn)水口與恒溫控制液體循環(huán)裝置的出水管路連通；壁板內(nèi)的水管出水口與恒溫控制液體循環(huán)裝置的進(jìn)水管路連通。恒溫室的內(nèi)壁中循環(huán)液體溫度由恒溫控制液體循環(huán)裝置控制。所述恒溫室采用恒溫控制門封閉，保證恒溫環(huán)境無氣流擾動(dòng)。本實(shí)用新型能夠?qū)崿F(xiàn)大體積、高精度的恒溫控制。
文檔編號(hào)G05D23/01GK202221536SQ20112029856
公開日2012年5月16日 申請日期2011年8月17日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月17日
發(fā)明者孟慶華, 李向新, 王平倬, 邵晶, 金春水, 馬冬梅 申請人:中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所