專利名稱：用于浸沒式光刻的浸液溫控裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于光刻技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
光刻機是半導(dǎo)體工業(yè)中非常復(fù)雜、高精的設(shè)備，其主要作用是通過光學(xué)投影的方式將芯片圖形從掩模轉(zhuǎn)移到涂膠硅片上。光刻工藝過程通常包括:(I)掩模放置于涂膠硅片和UV光源之間；(2)光刻膠上透過掩模圖形的感光區(qū)域發(fā)生化學(xué)變化；(3)光刻膠的感光區(qū)域在顯影過程中被去除(正性光刻工藝)。浸沒式光刻機采用浸沒控制系統(tǒng)，使用局部浸沒技術(shù)方案，在投影物鏡最后鏡片的下表面和硅片上表面之間填充覆蓋曝光視場的液體介質(zhì)(浸液)，從而增大NA (數(shù)值孔徑)，獲得更小的分辨率，而且相比于同樣大小NA的干法曝光，能夠獲得更大的有效焦深。如何控制好浸液的溫度并保持其穩(wěn)定性是光刻機能正常工作的至關(guān)重要的因素。為此目的，美國專利US7433015B2提出一種包含有溫度控制部分的液體鏡系列的裝置，在上述裝置中，包括對將輸入的浸液進行脫氣，除雜，流量、壓力和溫度進行控制。在該裝置中的溫度控制部分基本原理如圖1所示，采用工藝冷卻液(如工藝冷卻書，PCW)與浸液(例如可以是超純水，UPff)通過熱交換器進行換熱,從而控制浸液的溫度。由于其溫度控制部分并沒有獨立的成為一個單獨的裝置，可移植性不高。而且其作為系統(tǒng)一部分的溫控，雖然整個系統(tǒng)有回流，但是具體針對溫控部分并沒有設(shè)置回流，使得溫度控制的精度不高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提出一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統(tǒng)，該系統(tǒng)采用內(nèi)部回流結(jié)構(gòu)與多級熱交換器相結(jié)合，實現(xiàn)對浸液溫度的多級控制，解決浸沒光刻中對浸液精確并穩(wěn)定的控制問題。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統(tǒng)，通過其獲得具有穩(wěn)定溫度的浸液，以用于浸沒式光刻工藝中，其特征在于，該溫控系統(tǒng)包括:用于浸液流動的浸液管路，待溫控的浸液通過一管路進口進入該浸液管路，溫控處理后的具有穩(wěn)定溫度的浸液通過該浸液管路的出口輸出；用于對所述浸液進行冷卻的工藝冷卻液回路，工藝冷卻液在該回路中循環(huán)流動；以及多個熱交換器，其沿流向依次布置，所述浸液管路和工藝冷卻水回路同時流經(jīng)每個熱交換器，并利用各熱交換器分別依次完成工藝冷卻液和浸液之間的熱交換，從而通過多次換熱獲得具有穩(wěn)定溫度的浸液，實現(xiàn)對浸液的溫度控制，。作為本發(fā)明的進一步優(yōu)選，所述浸液管路上在至少一個熱交換器后設(shè)置有分支管路作為回流點，用于將經(jīng)該熱交換器進行熱交換處理后的浸液部分回流，以重新進入浸液管路與熱交換前的浸液混合。
作為本發(fā)明的進一步優(yōu)選，所述作為回流點的分支管路為一個，其設(shè)置在任一個熱交換器后的浸液管路上。作為本發(fā)明的進一步優(yōu)選，所述作為回流點的分支管路為多個，其各自分別設(shè)置在多個熱交換器后的浸液管路上。作為本發(fā)明的進一步優(yōu)選，所述工藝冷卻水回路上設(shè)置有與所述每一個熱交換器分別對應(yīng)的電液伺服閥，用于控制流經(jīng)各對應(yīng)的所述熱交換器的工藝冷卻水流量，從而實現(xiàn)對浸液溫度的精確控制。作為本發(fā)明的進一步優(yōu)選，所述浸液管路上設(shè)置有多個溫度傳感器，每個溫度傳感器與一個熱交換器對應(yīng)，分別用于檢測經(jīng)各熱交換器后的浸液溫度，各溫度傳感器均分別對應(yīng)與一控制電液伺服閥的溫度控制器連接，所述各溫度傳感器檢測的溫度值反饋給對應(yīng)的溫度控制器，以用于該溫度控制器控制對應(yīng)的所述電液伺服閥對工藝冷卻液進行流量控制，實現(xiàn)精確的溫度控制。作為本發(fā)明的進一步優(yōu)選，所述浸液管路上在還依次設(shè)置有單向閥和增壓泵，待溫控的浸液經(jīng)過所述單向閥并利用所述增壓泵增壓后再流經(jīng)所述熱交換器進行熱交換。作為本發(fā)明的進一步優(yōu)選，所述工藝冷卻液回路上設(shè)置有冷卻液產(chǎn)生裝置，用于產(chǎn)生所述工藝冷卻液。作為本發(fā)明的進一步優(yōu)選，所述工藝冷卻液為水。作為本發(fā)明的進一步優(yōu)選，所述浸液為超純水。本發(fā)明的浸液溫控系統(tǒng)具有如下優(yōu)勢或特點:(I)本發(fā)明采用多個熱交換器結(jié)合控制器的結(jié)構(gòu)，所以可以實現(xiàn)溫度的多級精確控制效果。(2)本發(fā)明在浸液管路的輸出口之前采用了分支管路，以將熱交換器處理后的浸液回流至溫控前與待溫控的水混合，可以改善溫控前水的溫度，以提高溫控的效果。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的一種溫控裝置結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本發(fā)明的一種實施方式的溫控系統(tǒng)的原理示意圖；圖3為本發(fā)明的另一種實施方式的溫控系統(tǒng)的原理示意圖；圖4為本發(fā)明的又一種實施方式的溫控系統(tǒng)的原理示意圖。圖5為本發(fā)明的再一種實施方式的溫控系統(tǒng)的原理示意圖。
具體實施例方式為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實施例，對本發(fā)明進行進一步詳細說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。此外，下面描述的本發(fā)明各個實施方式中所涉及到的技術(shù)特征只要彼此之間未構(gòu)成沖突就可以相互結(jié)合。本發(fā)明的溫控系統(tǒng)裝置基于浸液管路(本實施例中的浸液采用超純水，UPff)回路和工藝冷卻液回路(本實施例中的冷卻液采用水，PCff)利用熱交換器換熱原理，通過控制PCff的流量大小來調(diào)節(jié)UPW的輸出溫度，實現(xiàn)UPW浸液的溫控。
圖2所示為本裝置的原理示意圖。如圖2所示，本裝置包括UPW進水口 I與PCW產(chǎn)生裝置2，控制器3、4、5與6，熱交換器7、8、9與10，電液伺服閥11、12、13與14，溫度傳感器15、16、17與18，節(jié)流閥19，增壓泵20，單向閥21。裝置分兩條主要回路，一條為UPW水管路(圖2細實線表示)，待溫控的水從進水口I流入的UPW水沿管道通過熱交換器與PCW水進行熱交換從而實現(xiàn)對UPW水(浸液)的溫控，最后循環(huán)回到制冷(加熱)裝置。整個回路沒有流量損失。在實際使用過程中，經(jīng)過本管道溫控之后的UPW水，將直接使用于光刻機。第二條為PCW水回路(圖2粗線實線表示)，其是冷卻水回路。溫控的主要方式是通過調(diào)節(jié)PCW水回路中流量的大小來實現(xiàn)的。本裝置在PCff水回路中有換熱器7、8、9與10四個熱交換器，并通過控制器3、4、5與6分別調(diào)節(jié)流量從而實現(xiàn)四級溫度控制，并有小回路回流以改善溫控前UPW水溫度與流量狀態(tài)。具體過程如下: 如圖2所示，UPff水經(jīng)進水口 I進入溫控系統(tǒng)的UPW水管路中，UPff水管路上依次設(shè)置有單向閥21、增壓泵20。UPW水由增壓泵20提供動力，同時也防止UPW水通過回路倒流。UPW管路中水依次流經(jīng)多個換熱器進行多次換熱，本實施例中優(yōu)選為四個換熱器，即依次流經(jīng)換熱器7、換熱器8、換熱器9和換熱器10進行四次換熱，也可以采用其他個數(shù)的換熱器。首先，經(jīng)熱交換器7進行第一次換熱，換熱后的UPW水一部分回流至增壓泵20前與溫控前UPW水混合，使溫控前的UPW水的溫度在進入熱交換器控制之前就得到很大的改善，以改善整個溫控的效率，這樣也能增大可調(diào)節(jié)的PCW的流量。另一部分UPW水流經(jīng)換熱器8進行第二次換熱(熱交換器8與熱交換器7相比可以具有更高的精度，同時調(diào)節(jié)范圍更小)，第二次換熱后的UPW水再經(jīng)過熱交換器9進行第三次換熱(熱交換器9與熱交換器7、8相比有更高的精度，同時調(diào)節(jié)范圍更小)，第三次換熱后的UPW水再經(jīng)過熱交換器10進行第四次換熱，(熱交換器10與熱交換器7、8、9相比有更高的精度，同時調(diào)節(jié)范圍更小)。UPW水經(jīng)過四級換熱后的UPW水，其精度可以達到很高等級，以用于光刻工藝中。PCW水回路包括PCW水產(chǎn)生裝置2，用于產(chǎn)生用于冷卻UPW水的冷卻水(PCW水)。PCW水回路依次穿過四個換熱器7，8，9和10，以在其中與穿過各換熱器的UPW管路中的UPW水進行熱交換，從而完成多次熱交換。多次熱交換后的PCW水通過回路流回PCW水產(chǎn)生裝置2，以進行循環(huán)利用。另外，PCW水回路上在每個熱交換器前均設(shè)置有電液伺服閥，即在熱交換器7前的PCW水回路上設(shè)置有電液伺服閥11，在熱交換器8前的PCW水回路上設(shè)置有電液伺服閥12，在熱交換器9前的PCW水回路上設(shè)置有電液伺服閥13，在熱交換器10前的PCW水回路上設(shè)置有電液伺服閥14，各電液伺服閥均通過相應(yīng)的控制器進行控制，用于分別控制PCW回路中進入熱交換器的PCW水流量，以實現(xiàn)相應(yīng)的溫度調(diào)節(jié)。另外，UPW水管路上在每個換熱器后均設(shè)置有溫度控制器，即分別在熱交換器7后設(shè)置有溫度傳感器15，在熱交換器8后設(shè)置有溫度傳感器16，在熱交換器9后設(shè)置有溫度傳感器17，在熱交換器10后設(shè)置有溫度傳感器18，各溫度傳感器分別用于檢測對應(yīng)的熱交換器換熱后的UPW水的溫度。各溫度傳感器分別與對應(yīng)的溫度控制器連接，并將檢測的溫度值反饋給對應(yīng)的溫度控制器，從而可以根據(jù)該溫度值控制對應(yīng)的電液伺服閥動作，以控制PCW水回路中的流進相應(yīng)熱交換器的PCW水流量，實現(xiàn)對UPW水的精確溫控。具體地，UPW管路中水首先經(jīng)熱交換器7進行第一次換熱，并將換熱之后的溫度經(jīng)溫度傳感器15反饋至控制器3，從而控制器3可以根據(jù)該溫差自動調(diào)整電液伺服閥11以調(diào)整PCW水回路中流量，從而使換熱后的溫度與理論值相近，實現(xiàn)對溫度的一級控制。一部分經(jīng)一級溫控之后的UPW水回流至泵前與溫控前UPW水混合，以改善溫控前UPW水溫度與流量狀態(tài)。另一部分經(jīng)一級溫度控制之后的UPW水再經(jīng)過熱交換器8換熱，換熱之后的溫度經(jīng)溫度傳感器16反饋至控制器4，從而控制器4可以根據(jù)該溫差自動調(diào)整電液伺服閥12以調(diào)整PCW水回路中流量，從而使換熱后的溫度與理論值相近，實現(xiàn)對溫度第二級控制。經(jīng)二級溫度控制之后的UPW水再經(jīng)過熱交換器9換熱，換熱之后的溫度經(jīng)溫度傳感器17反饋至控制器5，從而控制器5可以根據(jù)該溫差自動調(diào)整電液伺服閥13，從而控制PCW水回路流量，實現(xiàn)對溫度的第三級控制。經(jīng)三級溫度控制之后的UPW水再經(jīng)過熱交換器10換熱，換熱之后的溫度經(jīng)溫度傳感器18反饋至控制器6，從而控制器6可以根據(jù)該溫差自動調(diào)整電液伺服閥14，從而控制PCW水回路流量，實現(xiàn)對溫度的第四級控制。經(jīng)過四級控制調(diào)整之后的UPW水，其精度可以達到很高等級，例如可以達到正負0.0I °C的精度范圍。本發(fā)明的另一實施方式中，溫控系統(tǒng)裝置中用于的回流至增壓泵前與溫控前UPW水混合的回流點設(shè)置在經(jīng)過二級溫控之后的熱交換器8后的UPW管路上，具體過程如下:如圖3所示，UPff水經(jīng)進水口 I進入溫控系統(tǒng)的UPW水管路中，UPff水管路上依次設(shè)置有單向閥21、增壓泵20。UPW水由增壓泵20提供動力，同時也防止UPW水通過回路倒流。UPW回路中水經(jīng)熱交換器7換熱，并將換熱之后的溫度經(jīng)溫度傳感器15反饋至控制器3，從而控制器3可以根據(jù)該溫差自動調(diào)整電液伺服閥11以調(diào)整PCW水回路中流量，從而使換熱后的溫度與理論值相近，實現(xiàn)對溫度的一級控制。經(jīng)一級溫度控制之后的UPW水再經(jīng)過熱交換器8換熱，換熱之后的溫度經(jīng)溫度傳感器16反饋至控制器4，從而控制器4可以根據(jù)該溫差自動調(diào)整電液伺服閥12以調(diào)整PCW水回路中流量，從而使換熱后的溫度與理論值相近，實現(xiàn)對溫度第二級控制。一部分經(jīng)二級溫控之后的UPW水回流至泵前與溫控前UPff水混合，使溫控前的UPW水的溫度在進入熱交換器換熱之前就得到很大的改善，以改善整個溫控的效率，這樣也能增大可調(diào)節(jié)的PCW的流量另一部分經(jīng)二級溫度控制之后的UPW水再經(jīng)過熱交換器9換熱，換熱之后的溫度經(jīng)溫度傳感器17反饋至控制器5，從而控制器5可以根據(jù)該溫差自動調(diào)整電液伺服閥13，從而控制PCW水回路流量，實現(xiàn)對溫度的第三級控制。經(jīng)三級溫度控制之后的UPW水再經(jīng)過熱交換器10換熱，換熱之后的溫度經(jīng)溫度傳感器18反饋至控制器6，從而控制器6可以根據(jù)該溫差自動調(diào)整電液伺服閥14，從而控制PCW水回路流量，實現(xiàn)對溫度的第四級控制。經(jīng)過四級控制調(diào)整之后的UPW水，其精度可以達到很聞等級。本發(fā)明的又一實施方式中，溫控系統(tǒng)裝置中用于的回流至增壓泵前與溫控前UPW水混合的回流點設(shè)置在經(jīng)過三級溫控之后的熱交換器9后的UPW管路上，具體過程如下:如圖4所示，UPW水經(jīng)進水口 I進入溫控系統(tǒng)的UPW水管路中，由UPW水管路上依次設(shè)置有單向閥21、增壓泵20。UPW水由增壓泵20提供動力，同時也防止UPW水通過回路倒流。UPW回路中水經(jīng)熱交換器7換熱，并將換熱之后的溫度經(jīng)溫度傳感器15反饋至控制器3，從而控制器3可以根據(jù)該溫差自動調(diào)整電液伺服閥11以調(diào)整PCW水回路中流量，從而使換熱后的溫度與理論值相近，實現(xiàn)對溫度的一級控制。經(jīng)一級溫度控制之后的UPW水再經(jīng)過熱交換器8換熱，換熱之后的溫度經(jīng)溫度傳感器16反饋至控制器4，從而控制器4可以根據(jù)該溫差自動調(diào)整電液伺服閥12以調(diào)整PCW水回路中流量，從而使換熱后的溫度與理論值相近，實現(xiàn)對溫度第二級控制。經(jīng)二級溫度控制之后的UPW水再經(jīng)過熱交換器9換熱，換熱之后的溫度經(jīng)溫度傳感器17反饋至控制器5，從而控制器5可以根據(jù)該溫差自動調(diào)整電液伺服閥13，從而控制PCW水回路流量，實現(xiàn)對溫度的第三級控制。一部分經(jīng)三級溫控之后的UPW水回流至泵前與溫控前UPW水混合，使溫控前的UPW水的溫度在進入熱交換器換熱之前就得到很大的改善，以改善整個溫控的效率，這樣也能增大可調(diào)節(jié)的PCW的流量。另一部分經(jīng)三級溫度控制之后的UPW水再經(jīng)過熱交換器10換熱，換熱之后的溫度經(jīng)溫度傳感器18反饋至控制器6，從而控制器6可以根據(jù)該溫差自動調(diào)整電液伺服閥14，從而控制PCff水回路流量，實現(xiàn)對溫度的第四級控制。經(jīng)過四級控制調(diào)整之后的UPW水，其精度可以達到很聞等級。本發(fā)明的再一實施方式中，溫控系統(tǒng)裝置中用于的回流至增壓泵前與溫控前UPW水混合的回流點設(shè)置在經(jīng)過四級溫控之后的熱交換器10后的UPW管路上，具體過程如下:
如圖5所示，UPff水經(jīng)進水口 I進入溫控系統(tǒng)的UPW水管路中UPW水管路上依次設(shè)置有單向閥21、增壓泵20。UPW水由增壓泵20提供動力，同時也防止UPW水通過回路倒流。UPW回路中水經(jīng)熱交換器7換熱，并將換熱之后的溫度經(jīng)溫度傳感器15反饋至控制器3，從而控制器3可以根據(jù)該溫差自動調(diào)整電液伺服閥11以調(diào)整PCW水回路中流量，從而使換熱后的溫度與理論值相近，實現(xiàn)對溫度的一級控制。經(jīng)一級溫度控制之后的UPW水再經(jīng)過熱交換器8換熱，換熱之后的溫度經(jīng)溫度傳感器16反饋至控制器4，從而控制器4可以根據(jù)該溫差自動調(diào)整電液伺服閥12以調(diào)整PCW水回路中流量，從而使換熱后的溫度與理論值相近，實現(xiàn)對溫度第二級控制。經(jīng)二級溫度控制之后的UPW水再經(jīng)過熱交換器9換熱，換熱之后的溫度經(jīng)溫度傳感器17反饋至控制器5，從而控制器5可以根據(jù)該溫差自動調(diào)整電液伺服閥13，從而控制PCW水回路流量，實現(xiàn)對溫度的第三級控制。經(jīng)三級溫度控制之后的UPW水再經(jīng)過熱交換器10換熱，換熱之后的溫度經(jīng)溫度傳感器18反饋至控制器6，從而控制器6可以根據(jù)該溫差自動調(diào)整電液伺服閥14，從而控制PCW水回路流量，實現(xiàn)對溫度的第四級控制。經(jīng)四級溫控之后的UPW水一部分回流至泵前與溫控前UPW水混合，使溫控前的UPff水的溫度在進入熱交換器換熱之前就得到很大的改善，以改善整個溫控的效率，這樣也能增大可調(diào)節(jié)的PCW的流量。經(jīng)過四級控制調(diào)整之后的UPW水，其精度可以達到很高等級。另外，還可以在幾個熱交換器后的UPW管路上同時設(shè)置兩個、三個或更多個的回流點，如同時在熱交換器7和8后、或者同時在熱交換器7和9后、或者同時在熱交換器7或10后，也可以同時在多個換熱器后設(shè)置所述的回流點。實際上，本發(fā)明的溫控系統(tǒng)中熱交換器和對應(yīng)的控制器的數(shù)量可以根據(jù)實際需要進行具體選擇，如還可以為兩個、三個、五個或更多個，并設(shè)置相應(yīng)的回流點，進行多級的溫度控制，實現(xiàn)對UPW水的更精確的溫度控制，以用于浸沒式光刻機的浸液溫控。本發(fā)明中所述具體實施案例僅為本發(fā)明的較佳實施案例而已，并非用來限定本發(fā)明的實施范圍。即凡依本發(fā)明申請專利范圍的內(nèi)容所作的等效變化與修飾，都應(yīng)作為本發(fā)明的技術(shù)范疇。
權(quán)利要求
1.一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統(tǒng)，通過其獲得具有穩(wěn)定溫度的浸液，以用于浸沒式光刻工藝中，其特征在于，該溫控系統(tǒng)包括: 用于浸液流動的浸液管路，待溫控的浸液通過一管路進口進入該浸液管路，溫控處理后的具有穩(wěn)定溫度的浸液通過該浸液管路的出口輸出； 用于對所述浸液進行冷卻的工藝冷卻液回路，工藝冷卻液在該回路中循環(huán)流動；以及 多個熱交換器(7，8，9，10)，其沿流向依次布置，所述浸液管路和工藝冷卻水回路同時流經(jīng)每個熱交換器，并利用各熱交換器(7，8，9，10)分別依次完成工藝冷卻液和浸液之間的熱交換，從而通過多次換熱獲得具有穩(wěn)定溫度的浸液，實現(xiàn)對浸液的溫度控制。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統(tǒng)，其特征在于，所述浸液管路上在至少一個熱交換器后設(shè)置有分支管路作為回流點，用于將經(jīng)該熱交換器進行熱交換處理后的浸液部分回流，以重新進入浸液管路與熱交換前的浸液混合。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統(tǒng)，其特征在于，所述作為回流點的分支管路為一個，其設(shè)置在任一個熱交換器(7,8,9,10)后的浸液管路上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項所述的一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統(tǒng),其特征在于，所述作為回流點的分支管路為多個，其各自分別設(shè)置在不同的熱交換器后的浸液管路上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一項所述的一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統(tǒng),其特征在于，所述工藝冷卻水回路上設(shè)置有與所述每一個熱交換器(7，8，9，10)分別對應(yīng)的電液伺服閥(11，12，13，14)，用于控制流經(jīng)各對應(yīng)的所述熱交換器的工藝冷卻水流量，從而實現(xiàn)對浸液溫度的精確控制。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任一項所述的一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統(tǒng),其特征在于，所述浸液管路上設(shè)置有多個溫度傳感器(15,16,17,18),每個溫度傳感器與一個熱交換器對應(yīng)，分別用于檢測經(jīng)各熱交換器(7，8，9，10)后的浸液溫度，各溫度傳感器(15，16，17，18)均分別對應(yīng)與一控制電液伺服閥(11，12，13，14)的溫度控制器(3，4，5，6)連接，所述各溫度傳感器(15，16，17，18)檢測的溫度值反饋給對應(yīng)的溫度控制器(3，4，5，6)，以用于各溫度控制器控制對應(yīng)的所述電液伺服閥對工藝冷卻液進行流量控制，實現(xiàn)精確的溫度控制。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一項所述的一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統(tǒng),其特征在于，所述浸液管路上在還依次設(shè)置有單向閥(21)和增壓泵(20)，待溫控的浸液經(jīng)過所述單向閥(21)并利用所述增壓泵(20)增壓后再流經(jīng)所述各熱交換器(7，8，9，10)進行熱交換。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-7中任一項所述的一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統(tǒng),其特征在于，所述工藝冷卻液回路上設(shè)置有冷卻液產(chǎn)生裝置，用于產(chǎn)生所述工藝冷卻液。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-8中任一項所述的一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統(tǒng),其特征在于，所述工藝冷卻液為水。
10.根據(jù)權(quán)利要求1-9中任一項所述的一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統(tǒng),其特征在于，所述浸液為超純水。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統(tǒng)，包括用于浸液流動的浸液管路，待溫控的浸液通過一管路進口進入該浸液管路，溫控處理后的具有穩(wěn)定溫度的浸液通過該浸液管路的出口輸出；用于對所述浸液進行冷卻的工藝冷卻液回路，工藝冷卻液在該回路中循環(huán)流動；以及多個熱交換器，其沿流向依次布置，所述浸液管路和工藝冷卻水回路同時流經(jīng)每個熱交換器，并利用各熱交換器分別依次完成工藝冷卻液和浸液之間的熱交換，從而通過多次換熱獲得具有穩(wěn)定溫度的浸液，實現(xiàn)對浸液的溫度控制。本發(fā)明的裝置系統(tǒng)采用內(nèi)部回流結(jié)構(gòu)與多級熱交換器相結(jié)合，實現(xiàn)對浸液溫度的多級控制，可以實現(xiàn)浸沒光刻中對浸液穩(wěn)定的精確穩(wěn)定的控制，提供溫控效率。
文檔編號G05D23/20GK103176369SQ201310078820
公開日2013年6月26日 申請日期2013年3月13日 優(yōu)先權(quán)日2013年3月13日
發(fā)明者李小平, 石文中, 湯中原, 何俊偉 申請人:華中科技大學(xué)