本申請(qǐng)案涉及用于分析與處理過(guò)程相關(guān)聯(lián)的傳感器數(shù)據(jù)的診斷方法；更具體來(lái)說(shuō)，本申請(qǐng)案涉及用于分析與多運(yùn)行循環(huán)處理過(guò)程相關(guān)聯(lián)的傳感器數(shù)據(jù)的診斷方法，多運(yùn)行循環(huán)處理過(guò)程包括循環(huán)(cyclic)及/或循環(huán)的(looped)操作。

背景技術(shù)：

1、可通過(guò)使用制造設(shè)備來(lái)執(zhí)行一種或多種制造處理來(lái)生產(chǎn)產(chǎn)品。例如，半導(dǎo)體制造設(shè)備可用于通過(guò)半導(dǎo)體制造處理來(lái)生產(chǎn)基板。要被生產(chǎn)的產(chǎn)品具有適合目標(biāo)應(yīng)用的特定性質(zhì)。了解和控制制造腔室內(nèi)的特性有助于產(chǎn)品的一致性生產(chǎn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、以下是本申請(qǐng)案的簡(jiǎn)化概述，以提供對(duì)本申請(qǐng)案的一些方面的基本理解。本
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
并不是對(duì)本申請(qǐng)案內(nèi)容的廣泛概述。本發(fā)明內(nèi)容既不旨在識(shí)別本申請(qǐng)案的關(guān)鍵或必要要素，也不旨在界定本申請(qǐng)案的特定實(shí)施例的任何范圍或權(quán)利要求的任何范圍。本發(fā)明內(nèi)容唯一目的是以簡(jiǎn)化形式呈現(xiàn)本申請(qǐng)案的一些概念，作為稍后呈現(xiàn)的實(shí)施方式的前奏。

2、本申請(qǐng)案的方面中，一種方法包括：接收與基板處理過(guò)程相關(guān)聯(lián)的時(shí)間軌跡傳感器數(shù)據(jù)?；逄幚磉^(guò)程包括兩組或更多組處理?xiàng)l件。第一組處理?xiàng)l件和第二組處理?xiàng)l件均包括重復(fù)執(zhí)行的一個(gè)或更多個(gè)操作。方法進(jìn)一步包括：將與第一組處理?xiàng)l件相關(guān)聯(lián)的時(shí)間軌跡傳感器數(shù)據(jù)的第一部分分離成第一多個(gè)循環(huán)數(shù)據(jù)。第一多個(gè)循環(huán)數(shù)據(jù)中的每一者與重復(fù)執(zhí)行的一個(gè)或更多個(gè)操作相關(guān)聯(lián)。方法進(jìn)一步包括：將與第二組處理?xiàng)l件相關(guān)聯(lián)的時(shí)間軌跡傳感器數(shù)據(jù)的第二部分分離成第二多個(gè)循環(huán)數(shù)據(jù)。第二多個(gè)中的每一者與重復(fù)執(zhí)行的一個(gè)或更多個(gè)操作相關(guān)聯(lián)。方法進(jìn)一步包括以下步驟：處理第一多個(gè)循環(huán)數(shù)據(jù)和第二多個(gè)循環(huán)數(shù)據(jù)以生成匯總數(shù)據(jù)。方法進(jìn)一步包括：向用戶提供警報(bào)。警報(bào)是基于匯總數(shù)據(jù)。

3、在本申請(qǐng)案的另一方面中，一種系統(tǒng)包括存儲(chǔ)器和耦合到存儲(chǔ)器的處理裝置。處理裝置經(jīng)配置成：接收與基板處理過(guò)程相關(guān)聯(lián)的時(shí)間軌跡傳感器數(shù)據(jù)?；逄幚沓绦虬▋山M或更多組處理?xiàng)l件。第一組處理?xiàng)l件和第二組處理?xiàng)l件均包括重復(fù)執(zhí)行的一個(gè)或更多個(gè)操作。處理裝置進(jìn)一步經(jīng)配置成：將與第一組處理?xiàng)l件相關(guān)聯(lián)的時(shí)間軌跡數(shù)據(jù)的第一部分分離成第一多個(gè)循環(huán)數(shù)據(jù)。第一多個(gè)循環(huán)數(shù)據(jù)中的每一者與重復(fù)執(zhí)行的一個(gè)或更多個(gè)操作相關(guān)聯(lián)。處理設(shè)備進(jìn)一步經(jīng)配置成：為將與第二組處理?xiàng)l件相關(guān)聯(lián)的時(shí)間軌跡傳感器數(shù)據(jù)的第二部分分離成第二組循環(huán)數(shù)據(jù)。第二多個(gè)中的每一者與重復(fù)執(zhí)行的一個(gè)或更多個(gè)操作相關(guān)聯(lián)。處理裝置進(jìn)一步經(jīng)配置成：處理第一多個(gè)循環(huán)數(shù)據(jù)和第二多個(gè)循環(huán)數(shù)據(jù)以生成匯總數(shù)據(jù)。處理裝置進(jìn)一步經(jīng)配置成：基于匯總數(shù)據(jù)向用戶提供警報(bào)。

4、在本申請(qǐng)案的另一方面中，一種非暫時(shí)性機(jī)器可讀取存儲(chǔ)媒體存儲(chǔ)指令。當(dāng)執(zhí)行指令時(shí)，指令使得處理裝置執(zhí)行操作。這些操作包括：接收與基板處理過(guò)程相關(guān)聯(lián)的時(shí)間軌跡傳感器數(shù)據(jù)。基板處理過(guò)程包括兩組或更多組處理?xiàng)l件。第一組處理?xiàng)l件和第二組處理?xiàng)l件均包括重復(fù)執(zhí)行的一個(gè)或更多個(gè)操作。操作進(jìn)一步包括：將對(duì)應(yīng)于第一組處理?xiàng)l件的時(shí)間軌跡傳感器數(shù)據(jù)的第一部分分離成第一多個(gè)循環(huán)數(shù)據(jù)。第一多個(gè)循環(huán)數(shù)據(jù)中的每一者與重復(fù)執(zhí)行的一個(gè)或更多個(gè)操作相關(guān)聯(lián)。操作進(jìn)一步包括：將對(duì)應(yīng)于第二組處理?xiàng)l件的時(shí)間軌跡傳感器數(shù)據(jù)的第二部分分離成第二多個(gè)循環(huán)數(shù)據(jù)。第二多個(gè)中的每一者與重復(fù)執(zhí)行的一個(gè)或更多個(gè)操作相關(guān)聯(lián)。操作進(jìn)一步包括：處理第一多個(gè)循環(huán)數(shù)據(jù)和第二多個(gè)循環(huán)數(shù)據(jù)以生成匯總數(shù)據(jù)。方法進(jìn)一步包括：向用戶提供警報(bào)。警報(bào)是基于匯總數(shù)據(jù)。

5、附圖簡(jiǎn)單說(shuō)明

6、通過(guò)示例而非限制的方式在附圖中示出本申請(qǐng)案。

7、圖1是示出根據(jù)一些實(shí)施例的示例性的系統(tǒng)架構(gòu)的方框圖。

8、圖2描繪根據(jù)一些實(shí)施例的用于基于匯總數(shù)據(jù)來(lái)生成警報(bào)的示例性的數(shù)據(jù)流200。

9、圖3描繪根據(jù)一些實(shí)施例的用于將軌跡數(shù)據(jù)分成瞬態(tài)部分和穩(wěn)態(tài)部分的操作的可視化。

10、圖4描繪根據(jù)一些實(shí)施例的用于警告用戶一個(gè)或更多個(gè)處理過(guò)程的性能質(zhì)量的示例性的儀表板。

11、圖5描繪根據(jù)一些實(shí)施例的用于基于循環(huán)處理過(guò)程生成警報(bào)的方法的流程圖。

12、圖6是示出根據(jù)一些實(shí)施例的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的方框圖。

技術(shù)特征：

1.一種方法，包括：

2.如權(quán)利要求1所述的方法，所述方法進(jìn)一步包括：

3.如權(quán)利要求1所述的方法，所述方法進(jìn)一步包括：執(zhí)行與所述第一多個(gè)循環(huán)數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)的循環(huán)，其中執(zhí)行與所述第一多個(gè)循環(huán)數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)的所述循環(huán)包括：

4.如權(quán)利要求3所述的方法，其中所述第一材料包括氧化硅，且其中所述第二材料包括氮化硅。

5.如權(quán)利要求1所述的方法，所述方法進(jìn)一步包括：

6.如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述匯總數(shù)據(jù)報(bào)括一個(gè)或更多個(gè)統(tǒng)計(jì)度量。

7.如權(quán)利要求1所述的方法，所述方法進(jìn)一步包括：提供呈現(xiàn)gui元素的圖形用戶界面(gui)，所述gui元素包括：

8.如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述基板處理過(guò)程是產(chǎn)生三維nand存儲(chǔ)器器件。

9.如權(quán)利要求1所述的方法，其中將與所述第一組處理?xiàng)l件相關(guān)聯(lián)的所述時(shí)間軌跡傳感器數(shù)據(jù)的所述第一部分分離成所述第一多個(gè)循環(huán)數(shù)據(jù)包括：基于與兩個(gè)或更多個(gè)操作相關(guān)聯(lián)的傳感器數(shù)據(jù)值，來(lái)識(shí)別循環(huán)的兩個(gè)或更多個(gè)操作。

10.一種系統(tǒng)，包括存儲(chǔ)器和耦合到所述存儲(chǔ)器的處理裝置，其中所述處理裝置經(jīng)配置成執(zhí)行：

11.如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其中所述處理裝置進(jìn)一步經(jīng)配置成：識(shí)別所述時(shí)間軌跡傳感器數(shù)據(jù)的至少一個(gè)穩(wěn)態(tài)部分，其中所述匯總數(shù)據(jù)的至少一部分是基于所述穩(wěn)態(tài)部分。

12.如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其中與所述第一多個(gè)循環(huán)數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)的循環(huán)包括：

13.如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其中包括所述多個(gè)循環(huán)數(shù)據(jù)的重復(fù)操作的總數(shù)目至少為50。

14.如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其中所述匯總數(shù)據(jù)報(bào)括一個(gè)或更多個(gè)統(tǒng)計(jì)度量。

15.如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)進(jìn)一步包括：提供呈現(xiàn)gui元素的圖形用戶界面(gui)，所述gui元素包括：

16.如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其中所述基板處理過(guò)程是用于產(chǎn)生三維nand存儲(chǔ)器器件。

17.如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其中將與所述第一組處理?xiàng)l件相關(guān)聯(lián)的時(shí)間軌跡傳感器數(shù)據(jù)分離成第一多個(gè)循環(huán)數(shù)據(jù)包括：基于與循環(huán)的第一操作和第二操作相關(guān)聯(lián)的傳感器數(shù)據(jù)值，識(shí)別所述時(shí)間軌跡傳感器數(shù)據(jù)的第一部分和第二部分分別地與所述第一操作和所述第二操作相關(guān)聯(lián)。

18.一種存儲(chǔ)指令的非暫時(shí)性的機(jī)器可讀取存儲(chǔ)媒體，當(dāng)執(zhí)行所述指令時(shí)，所述指令使處理裝置執(zhí)行操作，所述操作包括：

19.如權(quán)利要求18所述的非暫時(shí)性機(jī)器可讀取存儲(chǔ)媒體，其中由所述處理裝置執(zhí)行的所述操作進(jìn)一步包括：識(shí)別所述時(shí)間軌跡傳感器數(shù)據(jù)的至少一個(gè)穩(wěn)態(tài)部分，其中所述匯總數(shù)據(jù)的至少一部分是基于所述穩(wěn)態(tài)部分。

20.如權(quán)利要求18所述的非暫時(shí)性機(jī)器可讀取存儲(chǔ)媒體，其中所述匯總數(shù)據(jù)報(bào)括一個(gè)或更多個(gè)統(tǒng)計(jì)度量。

技術(shù)總結(jié)
一種方法包括：接收與基板處理過(guò)程相關(guān)聯(lián)的時(shí)間軌跡傳感器數(shù)據(jù)?；逄幚磉^(guò)程包括兩組或更多組處理?xiàng)l件。至少第一組處理?xiàng)l件和第二組處理?xiàng)l件各自包括重復(fù)執(zhí)行的一個(gè)或更多個(gè)操作。方法進(jìn)一步包括：將對(duì)應(yīng)于第一組處理?xiàng)l件和第二組處理?xiàng)l件的時(shí)間軌跡傳感器數(shù)據(jù)的第一部分和第二部分分離成第一多個(gè)循環(huán)數(shù)據(jù)和第二多個(gè)循環(huán)數(shù)據(jù)。方法進(jìn)一步包括：處理第一多個(gè)循環(huán)數(shù)據(jù)和第二多個(gè)循環(huán)數(shù)據(jù)以生成匯總數(shù)據(jù)。方法進(jìn)一步包括：向用戶提供警報(bào)。警報(bào)是基于匯總數(shù)據(jù)。

技術(shù)研發(fā)人員：柴青林,馬月,張立明,韓新海,汪傳穎
受保護(hù)的技術(shù)使用者：應(yīng)用材料公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/19