本技術(shù)涉及溫控裝置，特別涉及一種化學(xué)試劑溫控裝置的加熱設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、工業(yè)上使用到的化學(xué)藥液大多需要在設(shè)定的溫度下才能使用，起到相應(yīng)的功效。溫控器是一種廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代科技領(lǐng)域的溫度控制設(shè)備，它利用熱電偶、熱電阻或半導(dǎo)體材料的特性，通過(guò)改變電流大小來(lái)控制加熱器或冷卻器的工作狀態(tài)，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)化學(xué)液體溫度的精確控制。化學(xué)液體溫控器在晶圓、芯片等半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中有著廣泛的應(yīng)用。然而，化學(xué)液體在離開交換器之后的輸送過(guò)程中如果距離過(guò)長(zhǎng)，那么很可能面臨化學(xué)液體的溫度發(fā)生改變的情況。

2、目前，授權(quán)公告號(hào)為cn218878235u的中國(guó)專利公開了一種化學(xué)試劑溫控裝置的加熱設(shè)備，屬于化學(xué)藥液保存技術(shù)領(lǐng)域，包括工作桌和伴熱帶，所述工作桌頂部中間設(shè)置有藥液箱，所述藥液箱頂部?jī)蓚?cè)設(shè)置有攪拌器，所述藥液箱內(nèi)壁之間設(shè)置有分隔板，所述藥液箱和所述分隔板內(nèi)壁中均設(shè)置有保溫材料和電熱板，所述工作桌底部?jī)蓚?cè)設(shè)置有抽吸泵，所述抽吸泵底部設(shè)置有出料臺(tái)，所述出料臺(tái)內(nèi)部設(shè)置有轉(zhuǎn)接彎管。本實(shí)用新型通過(guò)在傳統(tǒng)的化學(xué)藥液恒溫存儲(chǔ)裝置上設(shè)置攪拌器、出料臺(tái)、抽吸泵、轉(zhuǎn)接彎管、伴熱帶以及第二溫控器等組件，可實(shí)現(xiàn)對(duì)存儲(chǔ)的化學(xué)藥液進(jìn)行充分的恒溫存儲(chǔ)，對(duì)流轉(zhuǎn)的化學(xué)藥液進(jìn)行恒溫輸送，保持化學(xué)藥液在使用時(shí)的溫度符合要求，保障工業(yè)使用。

3、上述現(xiàn)有技術(shù)方案存在以下缺陷：為保證化學(xué)藥液的溫度恒定，上述方案選擇在送液管外壁上設(shè)置伴熱帶，但是在輸送過(guò)程中保溫，伴熱帶上仍然需要設(shè)置第二溫度傳感器檢測(cè)溫度，且伴熱帶本身的成本和安裝成本都很昂貴。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的是提供一種化學(xué)試劑溫控裝置的加熱設(shè)備，以解決上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題。

2、本實(shí)用新型的上述技術(shù)目的是通過(guò)以下技術(shù)方案得以實(shí)現(xiàn)的：

3、一種化學(xué)試劑溫控裝置的加熱設(shè)備，包括支架、熱交換器和溫度控制器，所述支架包括上層和下層，所述上層設(shè)置有溫度控制器，所述下層設(shè)置有熱交換器，所述熱交換器與溫度控制器通過(guò)電線電性連接。

4、通過(guò)采用上述技術(shù)方案，熱交換器在工作時(shí)外殼會(huì)產(chǎn)生高熱，為了避免其損壞溫度控制器，所以將它們分開設(shè)置，支架表面設(shè)置有絕熱材料，防止溫度沿著支架擴(kuò)散，而溫度控制器本身也內(nèi)置有散熱裝置，熱交換器不與電源直接連接，而是連接到溫度控制器上，通過(guò)溫度控制器間接控制。

5、在進(jìn)一步的實(shí)施例中，所述熱交換器包括固定板、分割板和多個(gè)夾板，所述固定板的一側(cè)設(shè)置有電源線接口、溫度傳感器接口、pcw進(jìn)出口和化學(xué)溶液進(jìn)出口，所述固定板的另一側(cè)的中間位置固定連接有分割板，所述分割板與上下多個(gè)夾板螺栓連接。

6、通過(guò)采用上述技術(shù)方案，熱交換器還與化學(xué)液槽、化工泵和廠務(wù)pcw系統(tǒng)連接，化工泵將化學(xué)液槽泵送到熱交換器中，與制冷片的冷端接觸，冷卻水則與熱端接觸，帶走多余的熱量，而分割板可以為夾板起到一個(gè)支撐的作用。

7、在進(jìn)一步的實(shí)施例中，所述夾板包括里板和外板，所述里板的頂端間隔設(shè)置有多個(gè)s型水槽，所述里板的底端設(shè)置在分割板上，所述外板的底端設(shè)置有容置槽和線槽，所述容置槽內(nèi)可拆卸安裝有制冷片，所述制冷片的電線通過(guò)線槽與電源線接口電性連接，所述多個(gè)夾板對(duì)稱設(shè)置在分割板的頂端和底端。

8、通過(guò)采用上述技術(shù)方案，通過(guò)里板和外板的設(shè)計(jì)，可以將pfa輸液管和冷卻管固定在各自的s型水槽內(nèi)，pfa輸液管和冷卻管不互相接觸，冷卻管主要與外板貼合，由于外板和制冷片的熱端接觸，因此溫度很高，冷卻管主要帶走這部分熱量，如果制冷片的功率不夠，也可以堆疊更多的夾板提高功率，制冷片的冷端設(shè)置有保護(hù)棉，這樣可以避免冷凝水堆積影響設(shè)備運(yùn)行。

9、在進(jìn)一步的實(shí)施例中，所述分割板上等間隔設(shè)置有多個(gè)通孔和線槽，所述多個(gè)通孔內(nèi)設(shè)置有加熱裝置，所述加熱裝置的電線通過(guò)線槽與電源接口電性連接。

10、通過(guò)采用上述技術(shù)方案，可以對(duì)化學(xué)液體的溫度進(jìn)行進(jìn)一步的調(diào)控，當(dāng)溫度過(guò)低時(shí)，可以通過(guò)降低制冷片功率，開啟加熱裝置的方式迅速調(diào)整化學(xué)液體的溫度，分割板上的通孔可以確保上下夾板中的pfa輸液管都可以被影響，而當(dāng)夾板上又設(shè)置夾板時(shí)，可以避開s型水槽在夾板上設(shè)置加熱用的通孔。

11、在進(jìn)一步的實(shí)施例中，所述加熱裝置包括電阻絲和陶瓷管，所述電阻絲設(shè)置在陶瓷管內(nèi)，所述陶瓷管可拆卸安裝在通孔內(nèi)。

12、通過(guò)采用上述技術(shù)方案，電阻加熱是很古老也很穩(wěn)定的一種加熱方式，它的加熱效率高，成本低廉，提速穩(wěn)定，且可以配合陶瓷管絕緣，相應(yīng)的也可以用云母片包裹住電阻絲，然后設(shè)置在特制的金屬外殼內(nèi)，能起到同樣的效果。

13、在進(jìn)一步的實(shí)施例中，所述溫度控制器包括溫度控制器本體和多個(gè)溫度傳感器，所述溫度傳感器與固定板上的溫度傳感器接口可拆卸連接。

14、通過(guò)采用上述技術(shù)方案，溫度傳感器選用pt100，盡管鉑電阻和引線不耐腐蝕，但是可以為其加裝護(hù)套和屏蔽線，護(hù)套和屏蔽線之間還可以涂抹玻璃膠，進(jìn)一步增強(qiáng)密封性，pt100本身的精度很好，測(cè)溫范圍也符合半導(dǎo)體行業(yè)需要，多個(gè)溫度傳感器中，一個(gè)安裝在熱交換器上，另一個(gè)溫度傳感器則設(shè)置在靠近化學(xué)液槽上，這樣只需要根據(jù)兩處溫度傳感器的數(shù)據(jù)就能進(jìn)行實(shí)時(shí)調(diào)整，如果兩端距離過(guò)長(zhǎng)，可以在連通向化學(xué)液槽的pfa輸液管上設(shè)置更多溫度傳感器。

15、綜上所述，本實(shí)用新型具有以下有益效果：

16、1.通過(guò)多個(gè)溫度傳感器的設(shè)置，能夠避免化學(xué)液體在pfa輸液管中發(fā)生的溫度變化影響到最終使用，起到增加裝置恒定溫度的效果；

17、2.通過(guò)制冷片和s型水槽的設(shè)置，能夠充分與pfa輸液管接觸，起到高效降低化學(xué)液體溫度，速度快且耗能少的效果；

18、3.通過(guò)電阻絲和陶瓷管的設(shè)置，能夠在絕緣的同時(shí)，起到快速加熱化學(xué)液體的效果。

技術(shù)特征：

1.一種化學(xué)試劑溫控裝置的加熱設(shè)備，包括支架(1)、熱交換器(2)和溫度控制器(3)，其特征在于：所述支架(1)包括上層(11)和下層(12)，所述上層(11)設(shè)置有溫度控制器(3)，所述下層(12)設(shè)置有熱交換器(2)，所述熱交換器(2)與溫度控制器(3)通過(guò)電線電性連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種化學(xué)試劑溫控裝置的加熱設(shè)備，其特征在于：所述熱交換器(2)包括固定板(21)、分割板(22)和多個(gè)夾板(23)，所述固定板(21)的一側(cè)設(shè)置有電源線接口(211)、傳感器接口(212)、pcw進(jìn)出口(213)和化學(xué)溶液進(jìn)出口(214)，所述固定板(21)的另一側(cè)的中間位置固定連接有分割板(22)，所述分割板(22)與上下多個(gè)夾板(23)螺栓連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種化學(xué)試劑溫控裝置的加熱設(shè)備，其特征在于：所述夾板(23)包括里板(231)和外板(232)，所述里板(231)的頂端間隔設(shè)置有多個(gè)s型水槽，所述里板(231)的底端設(shè)置在分割板(22)上，所述外板(232)的底端設(shè)置有容置槽和線槽，所述容置槽內(nèi)可拆卸安裝有制冷片(2311)，所述制冷片(2311)的電線通過(guò)線槽與電源線接口(211)電性連接，所述多個(gè)夾板(23)對(duì)稱設(shè)置在分割板(22)的頂端和底端。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種化學(xué)試劑溫控裝置的加熱設(shè)備，其特征在于：所述分割板(22)上等間隔設(shè)置有多個(gè)通孔和線槽，所述多個(gè)通孔內(nèi)設(shè)置有加熱裝置(233)，所述加熱裝置(233)的電線通過(guò)線槽與電源接口電性連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種化學(xué)試劑溫控裝置的加熱設(shè)備，其特征在于：所述加熱裝置(233)包括電阻絲(2331)和陶瓷管(2332)，所述電阻絲(2331)設(shè)置在陶瓷管(2332)內(nèi)，所述陶瓷管(2332)可拆卸安裝在通孔內(nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種化學(xué)試劑溫控裝置的加熱設(shè)備，其特征在于：所述溫度控制器(3)包括控制器本體(31)和多個(gè)溫度傳感器(32)，

技術(shù)總結(jié)
一種化學(xué)試劑溫控裝置的加熱設(shè)備，包括支架、熱交換器和溫度控制器，支架包括上層和下層，上層設(shè)置有溫度控制器，下層設(shè)置有熱交換器，溫度控制器包括控制器本體和多個(gè)溫度傳感器，熱交換器包括固定板、分割板和多個(gè)夾板，分割板與上下多個(gè)夾板螺栓連接，夾板包括里板和外板，里板的頂端間隔設(shè)置有多個(gè)S型水槽，里板的底端設(shè)置在分割板上，外板的底端設(shè)置有容置槽和線槽，容置槽內(nèi)可拆卸安裝有制冷片，分割板上等間隔設(shè)置有多個(gè)通孔和線槽，多個(gè)通孔內(nèi)設(shè)置有加熱裝置，加熱裝置的電線通過(guò)線槽與電源接口電性連接。本技術(shù)通過(guò)設(shè)置在換熱器內(nèi)的加熱裝置和設(shè)置在化學(xué)液槽上的溫度傳感器，對(duì)循環(huán)液進(jìn)入化學(xué)液槽時(shí)的溫度進(jìn)行了有效控制。

技術(shù)研發(fā)人員：趙樹春
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海九冷制冷設(shè)備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240508
技術(shù)公布日：2024/12/19