專利名稱：輔助選擇圖案單元用于圖案匹配的裝置、方法和程序的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于輔助操作者從基準(zhǔn)圖像的圖案單元(element)中選出圖案單元作為基準(zhǔn)圖案單元的技術(shù)，該基準(zhǔn)圖案單元被用于通過(guò)圖案匹配來(lái)檢測(cè)目標(biāo)圖像相對(duì)于基準(zhǔn)圖像的位置。
背景技術(shù)：
通常，已經(jīng)通過(guò)圖案匹配，實(shí)現(xiàn)了目標(biāo)圖像相對(duì)于基準(zhǔn)圖像的位置的檢測(cè)。對(duì)于此檢測(cè)，由操作者指定一圖案單元，作為用于圖案匹配的基準(zhǔn)圖案單元。例如，當(dāng)測(cè)試在印刷接線板、半導(dǎo)體襯底、玻璃襯底等(以下稱為“襯底)上形成的圖案時(shí)，預(yù)備一無(wú)缺陷襯底(其上形成受測(cè)襯底上的圖案相同的圖案)，預(yù)先拍攝一區(qū)域(其包括無(wú)缺陷襯底上形成的圖案中的預(yù)期部分)的圖像，以提供彩色基準(zhǔn)圖像。隨后將彩色基準(zhǔn)圖像二值化，在所得的二進(jìn)制彩色基準(zhǔn)圖像中的預(yù)期部分中發(fā)現(xiàn)的圖案單元被操作者指定為基準(zhǔn)圖案單元。然后，通過(guò)使用被指定為基準(zhǔn)圖案單元的圖案單元來(lái)進(jìn)行圖案匹配，檢測(cè)目標(biāo)圖像(通過(guò)拍攝受測(cè)襯底的圖像而獲得相對(duì)于基準(zhǔn)圖像的位置。結(jié)果，用于拍攝襯底圖像的裝置被準(zhǔn)確定位于襯底上的預(yù)期位置中(換而言之，用于拍攝襯底圖像的裝置與襯底適當(dāng)?shù)貙?duì)準(zhǔn))，并對(duì)襯底上的圖案進(jìn)行測(cè)試。
根據(jù)日本專利申請(qǐng)待審公開(kāi)No.5-6421(以下稱為“JP No.5-6421)中公開(kāi)的方法，預(yù)備多個(gè)隸屬函數(shù)，這些函數(shù)分別對(duì)應(yīng)于與表示各種模型圖案單元幾何特征的多個(gè)值；通過(guò)將表示幾何特征的值代入到隸屬函數(shù)中，確定二進(jìn)制目標(biāo)圖像中多個(gè)圖案單元的每一個(gè)與每個(gè)模型圖案單元的一致性程度(換而言之，二進(jìn)制目標(biāo)圖像中多個(gè)圖案單元的每一個(gè)與每個(gè)模型圖案單元的符合程度，以下稱為“一致度”)。然后，對(duì)于多個(gè)圖案單元的每一個(gè)，相互比較所得的一致度，以確定圖案單元屬于模型圖案單元的哪一類。
當(dāng)目標(biāo)圖像包含有與被指定為基準(zhǔn)圖案單元的圖案單元相似的其他圖案單元時(shí)，在一些情況下，由于基準(zhǔn)圖案單元的錯(cuò)誤識(shí)別，無(wú)法在圖案匹配時(shí)準(zhǔn)確檢測(cè)目標(biāo)圖像相對(duì)于基準(zhǔn)圖像的位置。一種防止基準(zhǔn)圖案單元錯(cuò)誤識(shí)別的解決方案是讓操作者確認(rèn)，在基準(zhǔn)圖像中被指定為基準(zhǔn)圖案單元的圖案單元周圍是否出現(xiàn)可能引起錯(cuò)誤識(shí)別的圖案單元。但是，是否將一個(gè)圖案單元推定為實(shí)際引起錯(cuò)誤識(shí)別是并不容易的，因此以上解決方案要求操作者一方的復(fù)雜作業(yè)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明針對(duì)一種用于輔助從基準(zhǔn)圖像中選擇一個(gè)圖案單元(或多個(gè)圖案單元)作為一個(gè)基準(zhǔn)圖案單元(或者多個(gè)基準(zhǔn)圖案單元)的裝置，該基準(zhǔn)圖案單元被用于通過(guò)圖案匹配來(lái)檢測(cè)目標(biāo)圖像相對(duì)于基準(zhǔn)圖像的位置；本發(fā)明的目的是防止圖案匹配中基準(zhǔn)圖案單元的錯(cuò)誤識(shí)別。
根據(jù)本發(fā)明的裝置包括圖案單元提取器，用于從基準(zhǔn)圖像中提取多個(gè)圖案單元；鑒別校驗(yàn)器，用于檢查多個(gè)圖案單元之一是否可區(qū)別于其他圖案單元和是否可用作為用于圖案匹配的基準(zhǔn)圖案單元；顯示器，用于顯示至少部分的基準(zhǔn)圖像；以及輸入部分，用于接受操作者在圖案匹配中從多個(gè)圖案單元之中選出一個(gè)圖案單元作為基準(zhǔn)圖案單元的選擇。
根據(jù)本發(fā)明，通過(guò)參照檢查結(jié)果，可從基準(zhǔn)圖像中選擇適當(dāng)?shù)膱D案單元作為基準(zhǔn)圖案單元，由此防止基準(zhǔn)圖案單元的錯(cuò)誤識(shí)別。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方案，當(dāng)檢查結(jié)果為否定時(shí)，輸入部分接受操作者從多個(gè)圖案單元之中對(duì)于另一圖案單元的選擇；鑒別校驗(yàn)器利用操作者所選兩個(gè)圖案單元之間的位置關(guān)系，檢查操作者所選兩個(gè)圖案單元的組合是否可區(qū)別于多個(gè)圖案單元之中的兩個(gè)圖案單元的所有其他組合。
結(jié)果，能夠有效地選擇用于基準(zhǔn)圖案單元的兩個(gè)圖案單元?？商娲?，選擇三個(gè)或更多圖案單元。
根據(jù)本發(fā)明的另一方案，鑒別校驗(yàn)器檢查多個(gè)圖案單元的每一個(gè)是否可區(qū)別于其他圖案單元，該裝置還包括顯示控制器，其用以指示鑒別校驗(yàn)器所進(jìn)行的檢查結(jié)果，其與顯示器上顯示的每個(gè)圖案單元相關(guān)聯(lián)。
優(yōu)選地，該顯示器顯示與基準(zhǔn)圖像的外圍區(qū)域不同的區(qū)域，多個(gè)圖案單元之中的包含于該區(qū)域中的圖案單元是操作者的選擇目標(biāo)。結(jié)果，在允許目標(biāo)圖像未對(duì)準(zhǔn)的同時(shí)，能夠選擇圖案單元作為基準(zhǔn)圖案單元，由此進(jìn)一步可靠地防止圖案匹配中基準(zhǔn)圖案單元的錯(cuò)誤識(shí)別。
本發(fā)明也針對(duì)一種輔助從基準(zhǔn)圖像中選擇圖案單元作為用于圖案匹配的基準(zhǔn)圖案單元的方法，以及一種計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其承載用于以計(jì)算機(jī)執(zhí)行該方法中的步驟的程序。
從與附圖相結(jié)合時(shí)的本發(fā)明的如下具體描述中，本發(fā)明的這些和其他目的、特征、方案及優(yōu)點(diǎn)將會(huì)更為明顯。


圖1說(shuō)明了缺陷檢測(cè)裝置結(jié)構(gòu)；圖2說(shuō)明了計(jì)算機(jī)結(jié)構(gòu)；圖3是由計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)的功能的方框圖；圖4是用于輔助選擇圖案單元作為基準(zhǔn)圖案單元的處理的流程圖；圖5說(shuō)明了彩色基準(zhǔn)圖像；圖6說(shuō)明了二進(jìn)制基準(zhǔn)圖像；圖7、8、9和10說(shuō)明了基準(zhǔn)圖像；圖11是用于說(shuō)明顯示區(qū)域的圖；圖12是根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的圖案單元選擇輔助處理的流程圖；圖13說(shuō)明了彩色基準(zhǔn)圖像；圖14說(shuō)明了二進(jìn)制基準(zhǔn)圖像；以及圖15說(shuō)明了基準(zhǔn)圖像。
具體實(shí)施例方式
圖1示出了根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的缺陷檢測(cè)裝置1的結(jié)構(gòu)。缺陷檢測(cè)裝置1包括臺(tái)架2，用于保持印刷接線板(下文中稱為“板”)，在該板上形成有包含接線(跡線(trace))的圖案；攝像單元3，用于拍攝板9的圖像，以提供板9的彩色圖像(或單色灰度圖像)；臺(tái)架驅(qū)動(dòng)器21，用于相對(duì)于攝像單元3來(lái)移動(dòng)臺(tái)架2；以及計(jì)算機(jī)4，包括用于進(jìn)行各種操作的CPU、用于存儲(chǔ)各種信息的存儲(chǔ)器，等等。計(jì)算機(jī)4起到控制器的作用，用以控制形成缺陷檢測(cè)裝置1的各個(gè)單元。請(qǐng)注意，術(shù)語(yǔ)“彩色圖像”將被用于本說(shuō)明書(shū)中；如上所述，可替代地提供單色灰度圖像。
攝像單元3包括照明部分31，用于發(fā)射照明光；光學(xué)系統(tǒng)32，用于將照明光引向板9和從板9接收光；以及攝像裝置33，用于將光學(xué)系統(tǒng)32形成的板9的圖像轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，并輸出彩色圖像數(shù)據(jù)。臺(tái)架驅(qū)動(dòng)器21包括X方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)22，用于沿著圖1中的箭頭X所示方向(“X方向”)移動(dòng)臺(tái)架2；以及Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)23，用于沿著圖1中的箭頭Y所示方向(“Y方向”)移動(dòng)臺(tái)架2。X方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)22包括與滾珠螺桿(未示出)相連接的電動(dòng)機(jī)221。電動(dòng)機(jī)221的旋轉(zhuǎn)促使Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)23沿著導(dǎo)軌222在圖1中的X方向上移動(dòng)。Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)23與X方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)22具有相同結(jié)構(gòu)。Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)23的電動(dòng)機(jī)231的旋轉(zhuǎn)經(jīng)由滾珠螺桿(未示出)，促使臺(tái)架2沿著導(dǎo)軌232在Y方向上移動(dòng)。
在圖1所示的缺陷檢測(cè)裝置1中，預(yù)備作為測(cè)試目標(biāo)的板9通過(guò)外部承載機(jī)構(gòu)而置于臺(tái)架2上，板9的圖像被拍攝，從而提供彩色圖像(在本說(shuō)明書(shū)中，預(yù)備作為測(cè)試目標(biāo)的板9的彩色圖像被稱為“目標(biāo)圖像”)。隨后，目標(biāo)圖像被缺陷檢測(cè)裝置1的圖案匹配單元(未示出)二值化。然后，使用基準(zhǔn)圖案單元，對(duì)所得的二進(jìn)制目標(biāo)圖像進(jìn)行圖案匹配，該基準(zhǔn)圖案單元是借助如下處理從基準(zhǔn)圖像中的圖案單元之中選出圖案單元而預(yù)先提供的，從而檢測(cè)目標(biāo)圖像相對(duì)于基準(zhǔn)圖像的位置(即位置之差)。隨后，基于檢測(cè)到的目標(biāo)圖像相對(duì)于基準(zhǔn)圖像的位置，攝像單元3被準(zhǔn)確定位在板上方的預(yù)期位置中(換而言之，攝像單元3與板9適當(dāng)?shù)貙?duì)準(zhǔn))，并啟動(dòng)板9上形成的圖案缺陷的檢測(cè)。
接著將具體說(shuō)明缺陷檢測(cè)裝置1中的處理，這些處理用于從基準(zhǔn)圖像中的圖案單元之中選出圖案單元作為基準(zhǔn)圖案單元，該基準(zhǔn)圖案單元在檢測(cè)目標(biāo)圖像相對(duì)于基準(zhǔn)圖像的位置時(shí)被用于圖案匹配。在缺陷檢測(cè)裝置1中，計(jì)算機(jī)4實(shí)現(xiàn)了將通過(guò)用于圖案匹配的圖案單元選擇輔助裝置來(lái)表現(xiàn)的功能，該裝置輔助從基準(zhǔn)圖像中的圖案單元之中選出圖案單元作為基準(zhǔn)圖案單元。
圖2示出了計(jì)算機(jī)4的結(jié)構(gòu)。如圖2所示，計(jì)算機(jī)4具有典型計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)，其包括用于進(jìn)行各種操作的CPU41；用于存儲(chǔ)基本程序的ROM42；以及用于存儲(chǔ)各種信息的RAM43(它們被連接到總線)。另外，用于存儲(chǔ)信息的硬盤(pán)44、用于顯示各種信息(比如圖像)的顯示器45、用于從操作者接收輸入的鍵盤(pán)46a和鼠標(biāo)46b(以下總稱為“輸入部分46”)、用于從計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)8(比如光盤(pán)、磁盤(pán)、或磁光盤(pán))讀出信息的讀取裝置47、以及用于向/從缺陷檢測(cè)裝置1的其他單元傳輸/接收信號(hào)的通信部分48，都通過(guò)其間置入的接口(I/F)或以其他適當(dāng)方式連接到總線。
在計(jì)算機(jī)4中，程序80由讀取裝置47從存儲(chǔ)介質(zhì)8預(yù)先讀出并被存儲(chǔ)在硬盤(pán)44中。隨后，程序80被復(fù)制到RAM43，CPU41根據(jù)RAM43中的程序進(jìn)行操作(換而言之，CPU執(zhí)行RAM43中的程序)。以此方式，計(jì)算機(jī)4輔助操作者選擇圖案單元作為基準(zhǔn)圖案單元。
圖3是當(dāng)CPU41根據(jù)程序80運(yùn)行時(shí)由CPU41、ROM42、RAM43、硬盤(pán)44等以及其他單元所實(shí)現(xiàn)的功能的方框圖。圖3中，操作部分50的方框中包含的方框(即圖案單元提取器51、鑒別校驗(yàn)器52和顯示控制器53)表示由CPU41等實(shí)施的功能。此外，操作部分50中的所有或部分功能可由專用電子電路實(shí)現(xiàn)。
圖4是流程圖，其說(shuō)明了計(jì)算機(jī)4在輔助從基準(zhǔn)圖像中的圖案單元之中選出圖案單元作為基準(zhǔn)圖案單元時(shí)進(jìn)行的處理。首先，通過(guò)外部承載機(jī)構(gòu)將無(wú)缺陷板(以下稱為“基準(zhǔn)板9a”)置于臺(tái)架2上。隨后，在計(jì)算機(jī)4的控制下，在移動(dòng)基準(zhǔn)板9a的同時(shí)，拍攝基準(zhǔn)板9a的圖像，從而提供圖5中所示的彩色基準(zhǔn)圖像61。彩色基準(zhǔn)圖像61被輸入到計(jì)算機(jī)4并被保留(步驟S11)。
彩色基準(zhǔn)圖像61被輸入到圖3所示的圖案單元提取器51，并利用預(yù)定閾值而被二值化，從而提供圖6所示的二進(jìn)制基準(zhǔn)圖像62(步驟S12)。另外，圖案單元提取器51通過(guò)進(jìn)行標(biāo)記來(lái)識(shí)別二進(jìn)制基準(zhǔn)圖像62中多個(gè)分離區(qū)域的每一個(gè)(其被具有與其像素值不同的像素值的一區(qū)域所圍繞，以下簡(jiǎn)稱為“圖案單元”)。由此，多個(gè)圖案單元被提取(步驟S13)。圖案單元提取器51中多個(gè)圖案單元的提取可替代地如下完成借助預(yù)定方法將彩色基準(zhǔn)圖像61劃分成多個(gè)區(qū)域，每個(gè)區(qū)域是具有近似像素值的一組像素；向多個(gè)區(qū)域的每一個(gè)分配“0”或“1”作為像素值。在此替代方式中，二進(jìn)制基準(zhǔn)圖像的建立是與多個(gè)圖案單元的提取同時(shí)完成的。
圖7示出了基準(zhǔn)圖案62，從其中提取多個(gè)圖案單元71。在圖7中，通過(guò)每個(gè)圖案單元71的比區(qū)域79的輪廓更粗的輪廓，將所提取的多個(gè)圖案單元71與區(qū)域79區(qū)分開(kāi)，該區(qū)域79與多個(gè)圖案單元71具有相同像素值且未被隔離。在圖案單元提取器51中，彩色基準(zhǔn)圖像61被轉(zhuǎn)換成二進(jìn)制基準(zhǔn)圖像62，從而提取多個(gè)圖案單元71。此外注意，圖案單元提取器51僅可提取均具有預(yù)定面積或周長(zhǎng)范圍的圖案單元71。
在多個(gè)圖案單元71被提取之后，基準(zhǔn)圖像62由顯示控制器53顯示在顯示器45上(步驟S14)。這時(shí)，在顯示器45上僅顯示矩形區(qū)域621，其占據(jù)基準(zhǔn)圖像62的中心區(qū)域，如圖7中的虛線所示(換而言之，基準(zhǔn)圖像62中除外圍區(qū)域之外的區(qū)域)。在本說(shuō)明書(shū)中，矩形區(qū)域621隨后將被稱為“顯示區(qū)域621”。當(dāng)為了圖像拍攝而進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)時(shí)，顯示區(qū)域621具有與所提供的目標(biāo)圖像大致相等或更小的面積。
在基準(zhǔn)圖像62的區(qū)域被顯示在顯示器45上之后，輸入部分46接收操作者從多個(gè)圖案單元71中對(duì)于一個(gè)圖案單元71a的選擇(步驟S15)。作為隨后討論的實(shí)例，假定圓形圖案單元71a由操作者利用鼠標(biāo)46b(見(jiàn)圖2)從基準(zhǔn)圖像62中顯示于顯示器45上的顯示區(qū)域621中所含的圖案單元71之中選出。一旦接受操作者對(duì)一個(gè)圖案單元71a的選擇，在明確圖案單元71a已被操作者選擇的方式下，將圖案單元71a顯示于顯示器45上所顯示的基準(zhǔn)圖像62中。為此，例如改變圖案單元71a的顏色。在圖8所示的基準(zhǔn)圖案62中，通過(guò)將陰影線添加到圖案單元71a來(lái)表明對(duì)圖案單元71a的選擇。如上所述，由于基準(zhǔn)圖像62中僅顯示區(qū)域621被顯示在顯示器45上，在基準(zhǔn)圖像62中的所有圖案單元71之中，只有包含于顯示區(qū)域621中的圖案單元71是操作者的選擇目標(biāo)。
鑒別校驗(yàn)器52檢查從多個(gè)圖案單元71之中選出的圖案單元71a是否可與其他圖案單元71相區(qū)別，換而言之，鑒別校驗(yàn)器52檢查圖案單元71a的鑒別性(步驟S16)。具體來(lái)說(shuō)，獲得一表示基準(zhǔn)圖像62中包含的多個(gè)圖案單元71的每一個(gè)的特征的數(shù)值(“特征值”)，計(jì)算所選圖案單元71a與每個(gè)其他圖案單元71之間的特征值之差。例如，周長(zhǎng)、重心、半徑、長(zhǎng)寬比、面積、真圓度(out of roughness)等可用作特征值。然后，將計(jì)算出的每個(gè)特征值之差與預(yù)定閾值比較。當(dāng)所有特征值之差均大于閾值時(shí)，則確定所選圖案單元71a可與其他圖案單元71相區(qū)別。另一方面，即使當(dāng)特征值之差之一等于或小于閾值時(shí)(換而言之，當(dāng)其他圖案單元71包含與圖案單元71a相似的圖案單元時(shí))，則確定圖案單元71a不可區(qū)別于其他圖案單元71。預(yù)備一數(shù)值作為預(yù)定閾值，其有利于對(duì)于與從其他圖案單元71之中選出的圖案單元71a相似的圖案單元進(jìn)行簡(jiǎn)易的檢測(cè)。
作為替代方案，鑒別校驗(yàn)器52能夠檢查所有圖案單元71的每一個(gè)是否可區(qū)別于其他圖案單元71。在此替代方案中，可利用JP No.5-6421中公開(kāi)的方法。根據(jù)JP No.5-6421中公開(kāi)的方法，獲得基準(zhǔn)圖像62中所含多個(gè)圖案單元71的各個(gè)特征值。在鑒別校驗(yàn)器52中，預(yù)先提供分別與各種圖案單元(從基準(zhǔn)板9a上的圖案導(dǎo)出)的各個(gè)特征值相對(duì)應(yīng)的多個(gè)隸屬函數(shù)，以下稱為“模型圖案單元”。通過(guò)將圖案單元71的各個(gè)特征值代入到預(yù)先提供的隸屬函數(shù)中進(jìn)行運(yùn)算，從而計(jì)算出分別與圖案單元71的各個(gè)特征值相對(duì)應(yīng)的多個(gè)隸屬值。隨后，基于這多個(gè)隸屬值，確定每個(gè)圖案單元71與各種模型圖案單元的每一種的一致度。然后，對(duì)于每個(gè)圖案單元71，相互比較一致度，從而識(shí)別每個(gè)圖案單元71屬于各種模型圖案單元的哪一類。
將模型圖案單元預(yù)備為以使其種類數(shù)不要太大，以允許彼此形狀相似達(dá)到一定程度的圖案單元71被識(shí)別為屬于相同的一類模型圖案單元。換而言之，通過(guò)將所選圖案單元71a試探性地識(shí)別為基準(zhǔn)圖案單元，在允許易于檢測(cè)到與圖案單元71a相似達(dá)到一定程度的另一圖案單元71的條件下，對(duì)基準(zhǔn)圖像62進(jìn)行圖案單元作為基準(zhǔn)圖案單元的檢測(cè)。然后，僅當(dāng)所選圖案單元71a被識(shí)別為屬于一種模型圖案單元類時(shí)(換而言之，僅當(dāng)檢測(cè)到所選圖案單元71a時(shí))，圖案單元71a被確定可區(qū)別于其他圖案單元71，可用作用于圖案匹配的基準(zhǔn)圖案單元。另一方面，當(dāng)圖案單元71a和另一圖案單元71被識(shí)別為屬于一種典型圖案單元類(換而言之，如果另一圖案單元71類似于圖案單元71a)，則圖案單元71a被確認(rèn)為不可區(qū)別于其他圖案單元71。
在圖8所示基準(zhǔn)圖像62中，位于顯示區(qū)域621外側(cè)的圓形圖案單元711與圖案單元71a相似。因此，圖案單元71a被確認(rèn)為不可區(qū)別于其他圖案單元71，不可用作為用于圖案匹配的基準(zhǔn)圖案。在顯示器45上利用字符顯示檢查結(jié)果，例如告知操作者該結(jié)果(步驟S17)。在本說(shuō)明書(shū)中，與所選圖案單元71a相似的圖案單元711隨后將被稱為“相似圖案單元711”。
當(dāng)在步驟S16中將所選圖案單元71a確定為可區(qū)別于其他圖案單元71、可用作用于圖案匹配的基準(zhǔn)圖案情況下，檢查結(jié)果被相應(yīng)地通報(bào)給操作者，圖案單元71a被明確地識(shí)別為基準(zhǔn)圖案單元。然后，完成圖案單元選擇輔助處理(步驟S17和S18)。
在否定性的檢查結(jié)果被通報(bào)給操作者情況下，操作者經(jīng)由輸入部分46提供一輸入，然后該輸入部分接受操作者從多個(gè)圖案單元71之中對(duì)另一圖案單元71的選擇(即不同于圖案單元71a的圖案單元)(步驟S18和S19)。作為隨后討論的實(shí)例，假定第二次選擇圖8的基準(zhǔn)圖像62中標(biāo)號(hào)71b所示的矩形圖案單元。然后，在顯示器45上所顯示的基準(zhǔn)圖像62的顯示區(qū)域621中，在明確圖案單元71b已被操作者選擇的方式下，顯示圖案單元71b。在圖9所示基準(zhǔn)圖像62中，在與圖案單元71a相同的方式下，通過(guò)將陰影線添加到圖案單元71b來(lái)表示對(duì)圖案單元71b的選擇。
在鑒別校驗(yàn)器52中，計(jì)算出操作者第二次選擇的圖案單元71b與每個(gè)其他圖案單元71之間的特征值之差，以確認(rèn)與圖案單元71b相似的矩形相似圖案單元712的存在(換而言之，第二次選擇的圖案單元71b被確定為不可區(qū)別于其他圖案單元71)。此外注意，在關(guān)于是否每個(gè)圖案單元71可區(qū)別于其他圖案單元71進(jìn)行檢查的情況下，基準(zhǔn)圖像62中的每個(gè)圖案單元71已通過(guò)上述處理(這時(shí)可再次執(zhí)行上述處理)而被識(shí)別屬于各種典型圖案單元的哪一類。因此，迅速地確認(rèn)相似圖案單元712的存在，其與第二次選擇的圖案單元71屬于同一類模型圖案單元。
隨后，獲得兩個(gè)所選圖案單元71a、71b的各重心之間的向量、與兩個(gè)所選圖案單元71a、71b相似的兩個(gè)相似圖案單元711、712的各重心之間的向量，并將其相互比較。然后，當(dāng)向量之間的方向和幅度之差中的一個(gè)大于預(yù)定閾值時(shí)，則兩個(gè)所選圖案單元71a和71b的組合被確定為可區(qū)別于兩個(gè)相似圖案單元711和712的組合。另一方面，當(dāng)向量之間的方向和幅度之差都分別等于或小于預(yù)定閾值時(shí)，則兩個(gè)所選圖案單元71a和71b的組合被確定為不可區(qū)別于兩個(gè)相似圖案單元711和712的組合(步驟S16)。
鑒別校驗(yàn)器52檢查由操作者選擇的兩個(gè)圖案單元71a和71b的組合是否可區(qū)別于多個(gè)圖案單元71之中的兩個(gè)圖案單元71的所有其他可能組合(即多個(gè)圖案單元71之中除了兩個(gè)所選圖案單元71a和71b的組合之外的兩個(gè)圖案單元71的所有組合)，換而言之，鑒別校驗(yàn)器52使用兩個(gè)所選圖案單元71a和71b之間的位置關(guān)系，來(lái)檢查圖案單元71a和71b組合的鑒別性。此外注意，鑒別校驗(yàn)器52可替代地使用任何能夠顯示兩個(gè)所選圖案單元之間位置關(guān)系的其他參數(shù)用于檢查，替代兩個(gè)圖案單元重心之間的向量(“重心至重心的向量”)。
在圖9所示基準(zhǔn)圖像62中，兩個(gè)所選圖案單元71a、71b的組合與兩個(gè)相似圖案單元711、712的組合之間的重心至重心向量等于或小于閾值。因此，兩個(gè)所選圖案單元71a和71b的組合被確定為不可區(qū)別于其他組合，不可用作為用于圖案匹配的基準(zhǔn)圖案單元。檢查結(jié)果被相應(yīng)地顯示在顯示45上(步驟S17)。
在步驟S16中利用圖案單元71a和71b之間的位置關(guān)系，確認(rèn)兩個(gè)所選圖案單元71a和71b的組合可區(qū)別于多個(gè)圖案單元71之中的兩個(gè)圖案單元71的所有其他組合情況下，檢查結(jié)果被通報(bào)操作者，兩個(gè)圖案單元71a和71b的組合被明確地識(shí)別為基準(zhǔn)圖案單元，從而完成圖案單元選擇輔助處理(步驟S17和S18)。作為替代方案，如果第二次選擇的圖案單元71b(或隨后所述的圖案單元71c)被單獨(dú)確定為可區(qū)別于其他圖案單元，可用作用于圖案匹配的基準(zhǔn)圖案單元，則只有圖案單元71b可被明確地識(shí)別為基準(zhǔn)圖案單元。
在否定性檢查結(jié)果被通報(bào)操作者的情況下，通過(guò)輸入部分46接受操作者從多個(gè)圖案單元71之中對(duì)于不同于圖案單元71a和圖案單元71b的另一個(gè)圖案單元71的選擇(步驟S18和S19)。作為隨后討論的實(shí)例，假定還選擇圖9的基準(zhǔn)圖像62中標(biāo)號(hào)71c所示三角形圖案單元。然后，在明確圖案單元71c已被操作者選擇的方式下顯示另外選擇的圖案單元71c，如圖10所示。
鑒別校驗(yàn)器52使用三個(gè)所擇圖案單元71a、71b和71c之間的位置關(guān)系，檢查操作者所選三個(gè)圖案單元71a、71b和71c的組合是否可區(qū)別于多個(gè)圖案單元71中的三個(gè)圖案單元71的所有其他可能組合(步驟S16)。具體來(lái)說(shuō)，識(shí)別一相似圖案單元713，其與另外選擇的圖案單元71c相似，位于顯示區(qū)域621的外側(cè)；將三個(gè)所選圖案單元71a、71b和71c之間的位置關(guān)系與相似圖案單元711、712和713之間的位置關(guān)系相互做比較。由于已認(rèn)識(shí)到所選圖案71a和71b之間的位置關(guān)系與相似圖案單元711和712之間的位置關(guān)系是彼此相似的，所以實(shí)際上，關(guān)于三角形圖案單元71c和圓形圖案單元71a(或者矩形圖案單元71b)的中心至中心向量與三形圖案單元713和圓形圖案單元711(或矩形圖案單元712)的中心至中心向量之差是否大于預(yù)定閾值進(jìn)行檢查。當(dāng)其差大于閾值時(shí)，則所選圖案單元71a、71b和71c的組合被確認(rèn)為可區(qū)別于其他組合，可用作用于圖案匹配的基準(zhǔn)圖案單元。然后，在顯示器45上顯示檢查結(jié)果(步驟S17)，結(jié)束由計(jì)算機(jī)4執(zhí)行的圖案單元選擇輔助處理(步驟S18)。
當(dāng)檢查結(jié)果為否時(shí)，則重復(fù)步驟S16至S19，直到獲得肯定的檢查結(jié)果為止。具體來(lái)說(shuō)，執(zhí)行以下步驟輸入部分46接受操作者對(duì)另一圖案單元的選擇，該另一圖案單元不同于從多個(gè)圖案單元之中已選出的任何圖案單元(步驟S19)；鑒別校驗(yàn)器52利用兩個(gè)或更多的所選圖案單元之間的位置關(guān)系，檢查操作者所選的兩個(gè)或更多圖案單元的組合是否可區(qū)別于多個(gè)圖案單元之中相同數(shù)量的圖案單元的所有其他組合(鑒別性)(步驟S16)；將新的檢查結(jié)果通報(bào)給操作者(步驟S17)；當(dāng)新結(jié)果為否時(shí)重復(fù)用于接受圖案單元選擇的步驟和用于將結(jié)果通報(bào)給操作者的步驟(步驟S18)。
如上所述，在計(jì)算機(jī)4中，通過(guò)圖案單元提取器51從基準(zhǔn)圖像62提取多個(gè)圖案單元71，并在顯示器45上顯示基準(zhǔn)圖像62的區(qū)域。隨后，由操作者從多個(gè)圖案單元71之中選出圖案單元71a，由鑒別校驗(yàn)器52就所選圖案單元71a是否可區(qū)別于其他圖案單元71進(jìn)行檢查。然后，通過(guò)參照鑒別校驗(yàn)器52進(jìn)行的檢查結(jié)果，從基準(zhǔn)圖像中的圖案單元之中選出適當(dāng)?shù)膱D案單元作為基準(zhǔn)圖案單元。結(jié)果，可防止圖案匹配中基準(zhǔn)圖案單元的錯(cuò)誤識(shí)別。
同時(shí)，在上述圖案單元選擇輔助的步處理中，由于鑒別校驗(yàn)器52進(jìn)行的檢查結(jié)果被顯示，能夠有效選擇作為基準(zhǔn)圖案單元的圖案單元。當(dāng)提供否定的檢查結(jié)果時(shí)，接受與己選圖案單元71a不相同的圖案單元71b或71c的選擇，并關(guān)于多個(gè)圖案單元的組合是否可區(qū)別于其他組合和可用作基準(zhǔn)圖案單元進(jìn)行檢查。因此，能夠有效選擇作為基準(zhǔn)圖案單元的圖案單元。
現(xiàn)在，考慮這樣的情形關(guān)于操作者從圖11所示基準(zhǔn)圖像63中的圖案單元之中選出的圖案單元72a是否僅可區(qū)別于顯示區(qū)域631中所含的圖案單元72進(jìn)行檢查，并將圖案單元72a識(shí)別為基準(zhǔn)圖案單元。例如在此情形下，在對(duì)目標(biāo)圖像關(guān)于基準(zhǔn)圖像63的位置實(shí)際進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，由于用于將板9承載于臺(tái)架2上的裝載機(jī)構(gòu)的機(jī)械精度可能造成的未對(duì)準(zhǔn)，存在這樣的可能性板9上與圖11中雙點(diǎn)劃線所示區(qū)域632相對(duì)應(yīng)的區(qū)域的圖像被拍攝用以提供目標(biāo)圖像。在出現(xiàn)上述現(xiàn)象的情況下，與基準(zhǔn)圖案單元72a相似的圖案單元(圖11中的標(biāo)號(hào)721所示的圖案單元)被包含于目標(biāo)圖像中，這在圖案匹配時(shí)可能引起基準(zhǔn)圖案單元72a的錯(cuò)誤識(shí)別。
與以上情形相對(duì)照，當(dāng)使用計(jì)算機(jī)4時(shí)，在顯示器45上僅顯示除了基準(zhǔn)圖像63的外圍區(qū)域之外的顯示區(qū)域631，從而多個(gè)圖案單元72之中只有包含于顯示區(qū)域631中的圖案單元是操作者的選擇目標(biāo)。然后，關(guān)于所選圖案單元72a是否可區(qū)別于基準(zhǔn)圖像63中所含的所有其他圖案單元72進(jìn)行檢查。因此，在允許目標(biāo)圖像未對(duì)準(zhǔn)的同時(shí)，可獲得對(duì)于作為基準(zhǔn)圖案單元的圖案單元的選擇，由此在圖案匹配中更確保地防止基準(zhǔn)圖案單元的錯(cuò)誤識(shí)別。此外，為了允許目標(biāo)圖像的未對(duì)準(zhǔn)，優(yōu)選的是，選擇位于顯示區(qū)域631的中心部分中的圖案單元作為基準(zhǔn)圖案單元。同時(shí)，當(dāng)需要第二次選擇圖案單元時(shí)，優(yōu)選地選擇一圖案單元，其能夠形成具有較短中心至中心距離的圖案單元組合。另外，不一定要求該顯示區(qū)域占據(jù)除了基準(zhǔn)圖像63的外圍區(qū)域(其落于造成目標(biāo)圖像未對(duì)準(zhǔn)的范圍之內(nèi))之外的整個(gè)區(qū)域。該顯示區(qū)域可以是除了基準(zhǔn)圖像的外圍區(qū)域之外的部分區(qū)域。在此情況下，例如可移動(dòng)該顯示區(qū)域，以允許顯示除了基準(zhǔn)圖像63的外圍區(qū)域之外的區(qū)域中的任意部分，從而除了周圍區(qū)域之外的區(qū)域中所含的圖案單元是操作者的選擇目標(biāo)。
目標(biāo)圖像(對(duì)應(yīng)于圖11中的區(qū)域632)不一定必須與顯示區(qū)域631具有相同尺寸。通常，優(yōu)選的是，被選為基準(zhǔn)圖案單元的圖案單元在尺寸上充分小于目標(biāo)圖像。通過(guò)將基準(zhǔn)圖案單元的尺寸設(shè)定得充分小，例如即使目標(biāo)圖像中圖案單元的尺寸由于板9的制造差異而變化，仍可在基準(zhǔn)圖案單元的一部分脫離目標(biāo)圖像時(shí)，抑制可能發(fā)生在圖案匹配中的問(wèn)題。同時(shí)，通過(guò)將顯示區(qū)域631的尺寸設(shè)定得小于目標(biāo)圖像的尺寸，可有效地使操作者選擇在尺寸上充分小于目標(biāo)圖像的圖案單元，作為基準(zhǔn)圖案單元。
接著，將參照?qǐng)D12描述根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的處理，這些處理用于輔助從基準(zhǔn)圖像中的多個(gè)圖案單元之中選出圖案單元，作為基準(zhǔn)圖案單元。圖12是一流程圖，其說(shuō)明了在圖4流程圖的步驟S13之后執(zhí)行的步驟。
根據(jù)第二優(yōu)選實(shí)施例，在拍攝基準(zhǔn)板9a的預(yù)定區(qū)域的圖像以提供圖13所示彩色基準(zhǔn)圖像64之后(步驟S11，見(jiàn)圖4)，彩色基準(zhǔn)圖像64被二值化，從而提供圖14所示二進(jìn)制基準(zhǔn)圖像65(步驟S12)。隨后，從圖14所示基準(zhǔn)圖像65中提取多個(gè)圖案單元73(步驟S13)。然后，鑒別校驗(yàn)器52檢查多個(gè)圖案單元73的每一個(gè)是否可區(qū)別于其他圖案單元73，換而言之，鑒別校驗(yàn)器52檢查多個(gè)圖案單元73各自的鑒別性(步驟S21)。
當(dāng)多個(gè)圖案單元73中的任一個(gè)被確定為可區(qū)別于其他圖案單元73時(shí)(步驟S22)，通過(guò)顯示控制器53在顯示器45上顯示基準(zhǔn)圖像65(步驟S23)。這時(shí)，將鑒別校驗(yàn)器52關(guān)于圖案單元73的鑒別性已進(jìn)行的各檢查結(jié)果分別與圖案單元73相關(guān)聯(lián)地示出。例如，將預(yù)定的顏色添加到在顯示器45上所顯示的基準(zhǔn)圖像65中被確定為可區(qū)別的每個(gè)圖案單元73，或者當(dāng)操作者使用鼠標(biāo)46b將光標(biāo)指向圖案單元73之一時(shí)，出現(xiàn)了表明該圖案單元73為可區(qū)別或不可區(qū)別的字符。在上述或其他方式下，在顯示器45上讓操作者理解檢查結(jié)果。在圖15所示基準(zhǔn)圖像65中，添加到圖案單元73a和73b的陰影線表明，每個(gè)圖案單元73a和73b(單獨(dú)而言)可區(qū)別于其他圖案單元73。然后，由輸入部分46接受操作者從圖案單元73a和73b之中選出一個(gè)作為基準(zhǔn)圖案單元的選擇，從而所選圖案單元被明確地識(shí)別為基準(zhǔn)圖案單元(步驟S24)，以結(jié)束圖案單元選擇輔助處理。
另一方面，當(dāng)多個(gè)圖案單元73的每一個(gè)在步驟S21中被確定為不可區(qū)別于其他圖案單元73(步驟S22)時(shí)，通過(guò)計(jì)算機(jī)4控制臺(tái)架驅(qū)動(dòng)器21，從而拍攝基準(zhǔn)板9a的不同區(qū)域的圖像，以提供新的基準(zhǔn)圖像(步驟S25)。然后，對(duì)新的基準(zhǔn)圖像重復(fù)步驟S12、S13、S21至S25，以更可靠地選擇適當(dāng)?shù)膱D案單元，作為基準(zhǔn)圖案單元。此外注意，當(dāng)在步驟S21中只有一個(gè)圖案單元73被確定為可區(qū)別于其他圖案單元73的情況下，可在自動(dòng)方式下將該一個(gè)圖案單元73明確地識(shí)別為基準(zhǔn)圖案單元，而不接收操作者的輸入(選擇)。
如上所述，在圖12的流程圖所示的圖案單元選擇輔助處理中，由圖案單元提取器51從基準(zhǔn)圖像65提取多個(gè)圖案單元73，關(guān)于多個(gè)圖案73的每一個(gè)是否可區(qū)別于其他圖案單元進(jìn)行檢查。隨后，在顯示器45上易于理解地示出關(guān)于多個(gè)圖案單元73的鑒別性的各檢查結(jié)果。然后，從已被確定為可區(qū)別的圖案單元73之中，由操作者選出一個(gè)圖案單元73，從而所選圖案單元被明確地識(shí)別為基準(zhǔn)圖案單元。因此，參照鑒別校驗(yàn)器52所進(jìn)行的檢查結(jié)果，可從基準(zhǔn)圖像65中的圖案單元之中容易地選出適當(dāng)?shù)膱D案單元，作為基準(zhǔn)圖案單元。因此，可在圖案匹配中防止基準(zhǔn)圖案單元的錯(cuò)誤識(shí)別。
同時(shí)，在圖12的流程圖所示的圖案單元選擇輔助處理中，僅顯示基準(zhǔn)圖像的中心區(qū)域，在基準(zhǔn)圖像中的所有圖案單元之中，只有包含于顯示區(qū)域中的圖案單元可以是操作者的選擇目標(biāo)，從而在與圖4所示圖案單元選擇輔助處理中相同的方式下，選擇一個(gè)圖案單元為基準(zhǔn)圖案單元，同時(shí)允許未對(duì)準(zhǔn)。另外，在步驟S21中，可替代地關(guān)于兩個(gè)圖案單元的組合是否可區(qū)別于基準(zhǔn)圖像中的多個(gè)圖案單元之中的兩個(gè)圖案單元的所有其他組合進(jìn)行檢查。這能夠高準(zhǔn)確度地選擇圖案單元作為基準(zhǔn)圖案單元。此外，三個(gè)或更多圖案單元的組合也可用作基準(zhǔn)圖案單元。
上面已對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行了描述。但是，本發(fā)明不限于上述優(yōu)選實(shí)施例，各種改型是可能的。
盡管根據(jù)上述優(yōu)選實(shí)施例，至少二進(jìn)制基準(zhǔn)圖像的區(qū)域被顯示于顯示器45上，但是至少彩色基準(zhǔn)圖像或單色灰度基準(zhǔn)圖像的區(qū)域可替代地被顯示于顯示器45上。
基準(zhǔn)圖像不一定必須通過(guò)緊接在一個(gè)圖案單元被選作為基準(zhǔn)圖案單元之前拍攝基準(zhǔn)板9a的圖像來(lái)提供。替代地，例如通過(guò)預(yù)先拍攝基準(zhǔn)板9a的圖像，或者通過(guò)利用從設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)中產(chǎn)生的基準(zhǔn)圖像的區(qū)域(或全部)，來(lái)提供基準(zhǔn)圖像。在利用從設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)中產(chǎn)生的基準(zhǔn)圖像情況下，可從基準(zhǔn)圖像中截下不同區(qū)域，以用作為根據(jù)第二優(yōu)選實(shí)施例的處理步驟S25中的新基準(zhǔn)圖像。另外，在上述優(yōu)選實(shí)施例中，通過(guò)預(yù)先準(zhǔn)備二進(jìn)制基準(zhǔn)圖像，可省略圖4中所示處理中的步驟S12。
根據(jù)圖案單元的形狀，圖案單元提取器51所提取的一部分圖案單元可作為一個(gè)新的圖案單元來(lái)處理。例如，當(dāng)環(huán)形圖案單元被提取時(shí)，其外邊緣或內(nèi)邊緣可作為一個(gè)新的圖案單元來(lái)處理。
目標(biāo)圖像(將檢測(cè)其相對(duì)于基準(zhǔn)圖像的位置)不一定必須通過(guò)拍攝印刷接線板的圖像來(lái)獲得?？商娲?，例如通過(guò)拍攝半導(dǎo)體襯底、玻璃襯底等的圖像來(lái)獲得目標(biāo)圖像。另外，該目標(biāo)圖像不一定必需通過(guò)攝像來(lái)獲得。在檢測(cè)各類目標(biāo)圖像的每一個(gè)相對(duì)于基準(zhǔn)圖像的位置時(shí)，該圖案單元選擇輔助裝置可被用來(lái)選擇圖案單元作為基準(zhǔn)圖案單元用于圖案匹配。
雖然已具體示出和描述本發(fā)明，但是上面的描述在所有方面均為示意性而非限制性的。因此應(yīng)當(dāng)理解，不脫離本發(fā)明的范圍，能夠構(gòu)思無(wú)數(shù)的改型和變形。
權(quán)利要求
1.一種用于輔助從基準(zhǔn)圖像中選擇圖案單元作為基準(zhǔn)圖案單元的裝置，該基準(zhǔn)圖案單元被用于通過(guò)圖案匹配來(lái)檢測(cè)目標(biāo)圖像相對(duì)于所述基準(zhǔn)圖像的位置，該裝置包括圖案單元提取器，用于從基準(zhǔn)圖像中提取多個(gè)圖案單元；鑒別校驗(yàn)器，用于檢查所述多個(gè)圖案單元之一是否可區(qū)別于其他圖案單元和可用作為用于圖案匹配的基準(zhǔn)圖案單元；顯示器，用于顯示至少部分的所述基準(zhǔn)圖像；以及輸入部分，用于接受操作者從所述多個(gè)圖案單元之中選出一個(gè)圖案單元作為一個(gè)基準(zhǔn)圖案單元的選擇。
2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述鑒別校驗(yàn)器檢查所述操作者經(jīng)由所述輸入部分而選擇的圖案單元是否可區(qū)別于其他圖案單元，并將檢查結(jié)果通報(bào)給所述操作者。
3.如權(quán)利要求2所述的裝置，其中當(dāng)所述檢查結(jié)果為否定時(shí)，所述輸入部分接受所述操作者從所述多個(gè)圖案單元之中對(duì)于另一圖案單元的選擇；以及所述鑒別校驗(yàn)器利用所述操作者選擇的所述兩個(gè)圖案單元之間的位置關(guān)系，檢查所述操作者選擇的兩個(gè)圖案單元的組合是否可區(qū)別于所述多個(gè)圖案單元之中的兩個(gè)圖案單元的所有其他組合。
4.如權(quán)利要求2所述的裝置，其中當(dāng)所述檢查結(jié)果為否定時(shí)，進(jìn)行如下步驟a)所述輸入部分接受所述操作者從所述多個(gè)圖案單元之中對(duì)于另一圖案單元的選擇；b)所述鑒別校驗(yàn)器利用所述操作者選擇的所述兩個(gè)或更多圖案單元之間的位置關(guān)系，檢查所述操作者選擇的兩個(gè)或更多圖案單元的組合是否可區(qū)別于所述多個(gè)圖案單元之中相同數(shù)量的圖案單元的所有其他組合，并將新的檢查結(jié)果通報(bào)給所述操作者；以及c)當(dāng)所述新的檢查結(jié)果為否定時(shí)，重復(fù)所述步驟a)和所述步驟b)。
5.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述鑒別校驗(yàn)器檢查所述多個(gè)圖案單元的每一個(gè)是否可區(qū)別于其他圖案單元，以及所述裝置還包括顯示控制器，其用于指示與所述顯示器上顯示的每個(gè)圖案單元相關(guān)聯(lián)的由所述鑒別校驗(yàn)器進(jìn)行的檢查結(jié)果。
6.如權(quán)利要求5所述的裝置，其中當(dāng)所述多個(gè)圖案單元的每一個(gè)被所述鑒別校驗(yàn)器確定為不可區(qū)別于其他圖案單元時(shí)，提供新的基準(zhǔn)圖像。
7.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述顯示器顯示與所述基準(zhǔn)圖像的外圍區(qū)域不同的區(qū)域；以及所述多個(gè)圖案單元之中的包含于所述區(qū)域中的圖案單元是所述操作者的選擇目標(biāo)。
8.一種輔助從基準(zhǔn)圖像中選擇圖案單元作為基準(zhǔn)圖案單元的方法，該基準(zhǔn)圖案單元被用于通過(guò)圖案匹配來(lái)檢測(cè)目標(biāo)圖像相對(duì)于所述基準(zhǔn)圖像的位置，該方法包括步驟a)從基準(zhǔn)圖像中提取多個(gè)圖案單元；b)檢查所述多個(gè)圖案單元之一是否可區(qū)別于其他圖案單元和可用作為用于圖案匹配的基準(zhǔn)圖案單元；c)在所述步驟b)之前或之后，顯示至少部分的所述基準(zhǔn)圖像；以及d)在所述步驟c)之后，接受操作者從所述多個(gè)圖案單元之中選出一個(gè)圖案單元作為一個(gè)基準(zhǔn)圖案單元的選擇。
9.如權(quán)利要求8所述的方法，其中在所述步驟b)之前執(zhí)行所述步驟d)；以及在所述步驟b)中，進(jìn)行關(guān)于所述操作者選擇的圖案單元是否可區(qū)別于其他圖案單元的檢查，并將檢查結(jié)果通報(bào)給所述操作者。
10.如權(quán)利要求9所述的方法，還包括步驟e)當(dāng)所述檢查結(jié)果為否定時(shí)，接受所述操作者從所述多個(gè)圖案單元之中對(duì)于另一圖案單元的選擇；以及f)利用所述操作者選擇的所述兩個(gè)圖案單元之間的位置關(guān)系，檢查所述操作者選擇的兩個(gè)圖案單元的組合是否可區(qū)別于所述多個(gè)圖案單元之中的兩個(gè)圖案單元的所有其他組合。
11.如權(quán)利要求9所述的方法，還包括步驟g)當(dāng)所述檢查結(jié)果為否定時(shí)，接收所述操作者從所述多個(gè)圖案單元之中對(duì)于另一圖案單元的選擇；h)利用所述操作者選擇的所述兩個(gè)或更多圖案單元之間的位置關(guān)系，檢查所述操作者選擇的兩個(gè)或者更多圖案單元的組合是否可區(qū)別于所述多個(gè)圖案單元之中相同數(shù)量的圖案單元的所有其他組合，并將新的檢查結(jié)果通報(bào)給所述操作者；以及i)當(dāng)所述新的檢查結(jié)果為否定時(shí)，重復(fù)所述步驟g)和所述步驟h)。
12.如權(quán)利要求8所述的方法，其中對(duì)所述多個(gè)圖案單元的每一個(gè)執(zhí)行所述步驟b)；以及在所述步驟c)中，與顯示的每個(gè)圖案單元相關(guān)聯(lián)地示出所述步驟b)中進(jìn)行的檢查結(jié)果。
13.如權(quán)利要求12所述的方法，其中當(dāng)所述多個(gè)圖案單元的每一個(gè)被確定為不可區(qū)別于其他圖案單元時(shí)，提供新的基準(zhǔn)圖像。
14.如權(quán)利要求8所述的方法，其中在所述步驟c)中，顯示與所述基準(zhǔn)圖像的外圍區(qū)域不同的區(qū)域；以及所述多個(gè)圖案單元之中的包含于所述區(qū)域中的圖案單元是所述操作者的選擇目標(biāo)。
15.一種計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其承載有用于使計(jì)算機(jī)輔助操作者從基準(zhǔn)圖像中選擇圖案單元作為基準(zhǔn)圖案單元的程序，該基準(zhǔn)圖案單元被用于通過(guò)圖案匹配來(lái)檢測(cè)目標(biāo)圖像相對(duì)于所述基準(zhǔn)圖像的位置，其中由計(jì)算機(jī)執(zhí)行的所述程序的執(zhí)行使得所述計(jì)算機(jī)執(zhí)行步驟a)從基準(zhǔn)圖像中提取多個(gè)圖案單元；b)檢查所述多個(gè)圖案單元之一是否可區(qū)別于其他圖案單元和可用作為用于圖案匹配的基準(zhǔn)圖案單元；c)在所述步驟b)之前或之后，顯示至少部分的所述基準(zhǔn)圖像；以及d)在所述步驟c)之后，接受操作者從所述多個(gè)圖案單元之中選出一個(gè)圖案單元作為一個(gè)基準(zhǔn)圖案單元的選擇。
16.如權(quán)利要求15所述的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其中在所述步驟b)之前執(zhí)行所述步驟d)；以及在所述步驟b)中，進(jìn)行關(guān)于所述操作者選擇的圖案單元是否可區(qū)別于其他圖案單元的檢查，并將檢查結(jié)果通報(bào)給所述操作者。
17.如權(quán)利要求16所述的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其中由計(jì)算機(jī)執(zhí)行的所述程序的執(zhí)行使得所述計(jì)算機(jī)還執(zhí)行步驟e)當(dāng)所述檢查結(jié)果為否定時(shí)，接受所述操作者從所述多個(gè)圖案單元之中對(duì)于另一圖案單元的選擇；以及f)利用所述操作者選擇的所述兩個(gè)圖案單元之間的位置關(guān)系，檢查所述操作者選擇的兩個(gè)圖案單元的組合是否可區(qū)別于所述多個(gè)圖案單元之中的兩個(gè)圖案單元的所有其他組合。
18.如權(quán)利要求16所述的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其中由計(jì)算機(jī)執(zhí)行的所述程序的執(zhí)行使得所述計(jì)算機(jī)還執(zhí)行步驟g)當(dāng)所述檢查結(jié)果為否定時(shí)，接收所述操作者從所述多個(gè)圖案單元之中對(duì)于另一圖案單元的選擇；h)利用所述操作者選擇的所述兩個(gè)或更多圖案單元之間的位置關(guān)系，檢查所述操作者選擇的兩個(gè)或者更多圖案單元的組合是否可區(qū)別于所述多個(gè)圖案單元之中相同數(shù)量的圖案單元的所有其他組合，并將新的檢查結(jié)果通報(bào)給所述操作者；以及i)當(dāng)所述新的檢查結(jié)果為否定時(shí)，重復(fù)所述步驟g)和h)。
19.如權(quán)利要求15所述的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其中對(duì)于所述多個(gè)圖案單元的每一個(gè)執(zhí)行所述步驟b)；以及在所述步驟c)中，與顯示的每個(gè)圖案單元相關(guān)聯(lián)地示出所述步驟b)中進(jìn)行的檢查結(jié)果。
20.如權(quán)利要求19所述的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其中當(dāng)所述多個(gè)圖案單元的每一個(gè)被確定為不可區(qū)別于其他圖案單元時(shí)，通過(guò)由計(jì)算機(jī)執(zhí)行的所述程序的執(zhí)行來(lái)提供新的基準(zhǔn)圖像。
21.如權(quán)利要求15所述的方法，其中在所述步驟c)中，顯示與所述基準(zhǔn)圖像的外圍區(qū)域不同的區(qū)域；以及所述多個(gè)圖案單元之中的包含于所述區(qū)域中的圖案單元是所述操作者的選擇目標(biāo)。
全文摘要
提供一種輔助選擇圖案單元用于圖案匹配的裝置和方法，該裝置包括圖案單元提取器(51)，由計(jì)算機(jī)執(zhí)行其功能之一，從基準(zhǔn)圖像中提取多個(gè)圖案單元，基準(zhǔn)圖像的一區(qū)域被顯示在顯示器(45)上；輸入部分(46)，接受操作者從多個(gè)圖案單元之中選出一個(gè)圖案單元作為基準(zhǔn)單元的選擇；鑒別校驗(yàn)器(52)，檢查所選圖案單元是否可區(qū)別于其他圖案單元和是否可用作為用于圖案匹配的基準(zhǔn)圖案單元。將檢查結(jié)果通報(bào)給操作者，通過(guò)參照鑒別校驗(yàn)器(52)所進(jìn)行的檢查結(jié)果，從基準(zhǔn)圖像中的圖案單元之中選出一個(gè)適當(dāng)圖案單元，作為基準(zhǔn)圖案單元。因此，能夠防止在圖案匹配中檢測(cè)目標(biāo)圖像相對(duì)于基準(zhǔn)圖像的位置時(shí)所用基準(zhǔn)圖案單元的錯(cuò)誤識(shí)別。
文檔編號(hào)G06T7/00GK1699917SQ20051006504
公開(kāi)日2005年11月23日 申請(qǐng)日期2005年4月11日 優(yōu)先權(quán)日2004年5月20日
發(fā)明者佐野洋, 早川有美, 今村淳志, 西原榮治 申請(qǐng)人:大日本網(wǎng)目版制造株式會(huì)社