基于時(shí)間的設(shè)備傳感器數(shù)據(jù)與基于物質(zhì)的計(jì)量統(tǒng)計(jì)過程控制數(shù)據(jù)的雙向關(guān)聯(lián)及圖形化取得的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明描述了將傳感器數(shù)據(jù)鏈接至計(jì)量數(shù)據(jù)和將計(jì)量數(shù)據(jù)鏈接至傳感器數(shù)據(jù)的方法及系統(tǒng)。在一個(gè)實(shí)施例中，接收產(chǎn)品的計(jì)量數(shù)據(jù)的用戶選擇，呈現(xiàn)該產(chǎn)品的所選計(jì)量數(shù)據(jù)的相關(guān)處理工具故障檢測(cè)摘要，從該處理工具故障檢測(cè)摘要接收處理工具的用戶選擇，以及呈現(xiàn)所選處理工具的相關(guān)故障檢測(cè)明細(xì)。
【專利說明】基于時(shí)間的設(shè)備傳感器數(shù)據(jù)與基于物質(zhì)的計(jì)量統(tǒng)計(jì)過程控 制數(shù)據(jù)的雙向關(guān)聯(lián)及圖形化取得

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明的實(shí)施例涉及在裝備制造中處理數(shù)據(jù)，且更特定而言，涉及將基于時(shí)間的 設(shè)備傳感器數(shù)據(jù)與基于物質(zhì)的計(jì)量統(tǒng)計(jì)過程控制（statistical process control)數(shù)據(jù)相 鏈接。

【背景技術(shù)】
[0002] 在例如半導(dǎo)體裝置制造的制造中，使用計(jì)量工具直接地和通過監(jiān)視處理設(shè)備傳感 器間接地測(cè)量產(chǎn)品質(zhì)量。此信息采集于產(chǎn)品制造生命周期中的不同時(shí)刻，并儲(chǔ)存于來自不 同供應(yīng)商的單獨(dú)的、互不相連的數(shù)據(jù)庫中。當(dāng)制造工程師需要識(shí)別處理工具或所得產(chǎn)品的 問題時(shí)，工程師必須經(jīng)歷一個(gè)費(fèi)力且高成本的過程。例如，當(dāng)工程師被告知產(chǎn)品存在潛在 問題時(shí)，工程師必須檢查相應(yīng)的計(jì)量數(shù)據(jù)，以找出該產(chǎn)品的警報(bào)特征，并記錄關(guān)于產(chǎn)品的信 息,如批次ID、晶片ID、配方（recipe)名稱等。然后，工程師必須啟動(dòng)另一應(yīng)用程序、手動(dòng)輸 入關(guān)于產(chǎn)品的信息并仔細(xì)檢索時(shí)間序列傳感器數(shù)據(jù)，以找出用于制造該產(chǎn)品的處理工具。 同樣地，當(dāng)工程師使用處理工具的警報(bào)特征開始故障檢測(cè)評(píng)估時(shí)，工程師亦面臨著一個(gè)低 效且易出錯(cuò)的過程。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 本發(fā)明描述了用于將傳感器數(shù)據(jù)鏈接至計(jì)量數(shù)據(jù)和將計(jì)量數(shù)據(jù)鏈接至傳感器數(shù) 據(jù)的方法和系統(tǒng)。在一個(gè)實(shí)施例中，接收對(duì)產(chǎn)品的計(jì)量數(shù)據(jù)的用戶選擇，呈現(xiàn)該產(chǎn)品的所選 計(jì)量數(shù)據(jù)的相關(guān)處理工具故障檢測(cè)摘要，從該處理工具故障檢測(cè)摘要接收處理工具的用戶 選擇，以及呈現(xiàn)所選處理工具的相關(guān)故障檢測(cè)明細(xì)。
[0004] 在一個(gè)實(shí)施例中，可接收故障檢測(cè)明細(xì)的用戶選擇，且可呈現(xiàn)所選故障檢測(cè)明細(xì) 的相關(guān)原始傳感器數(shù)據(jù)和/或相關(guān)故障檢測(cè)趨勢(shì)圖表。在一個(gè)實(shí)施例中，可接收傳感器數(shù) 據(jù)的用戶選擇，可呈現(xiàn)所選傳感器數(shù)據(jù)的相關(guān)統(tǒng)計(jì)過程控制摘要數(shù)據(jù)，可接收統(tǒng)計(jì)過程控 制圖表的用戶選擇，且可呈現(xiàn)所選統(tǒng)計(jì)過程控制圖表。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0005] 在所附附圖的各圖中，以舉例而非限制的方式圖示本發(fā)明，在各圖中相同附圖標(biāo) 記代表類似元件。應(yīng)注意，對(duì)本公開內(nèi)容中的"一"或"一個(gè)"實(shí)施例的不同引用不必然針 對(duì)同一實(shí)施例，而這種引用意謂著至少一個(gè)實(shí)施例。
[0006] 圖1為圖示根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的制造系統(tǒng)的方塊圖。
[0007] 圖2為根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的用于將計(jì)量數(shù)據(jù)鏈接至傳感器數(shù)據(jù)的方法的流程 圖。
[0008] 圖3圖示用于圖2的方法的示例性圖形用戶界面。
[0009] 圖4為根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的用于將傳感器數(shù)據(jù)鏈接至計(jì)量數(shù)據(jù)的方法的流程 圖。
[0010] 圖5圖示圖4的方法的示例性圖形用戶界面。
[0011] 圖6為圖示示例性計(jì)算裝置的方塊圖。

【具體實(shí)施方式】
[0012] 本發(fā)明的實(shí)施例是針對(duì)一種用于通過將采集自處理工具及故障檢測(cè)（FD)結(jié)果的 時(shí)間序列傳感器數(shù)據(jù)與采集自產(chǎn)品測(cè)量的計(jì)量數(shù)據(jù)（例如，統(tǒng)計(jì)過程控制（statistical process control ;SPC)數(shù)據(jù)）相鏈接來處理制造數(shù)據(jù)的方法及系統(tǒng)。本發(fā)明的實(shí)施例還提 供一種報(bào)告方法，由此工程師能輕松地從傳感器數(shù)據(jù)（如處理工具數(shù)據(jù)）交叉探查（drill across)至計(jì)量數(shù)據(jù)（如SPC產(chǎn)品數(shù)據(jù)）和/或從計(jì)量數(shù)據(jù)交叉探查至傳感器數(shù)據(jù)。根據(jù) 本發(fā)明的方面，數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)是通過使用來自計(jì)量數(shù)據(jù)所衍生的唯一測(cè)量（如樣本）識(shí)別符在 來自傳感器數(shù)據(jù)的一組專用語境屬性（如工具識(shí)別符、運(yùn)行識(shí)別符及運(yùn)行開始時(shí)間）之間 應(yīng)用唯一關(guān)系來解決。可使用FD數(shù)據(jù)、運(yùn)行到運(yùn)行（run-to-run)控制數(shù)據(jù)、設(shè)備效能追蹤、 產(chǎn)品產(chǎn)量數(shù)據(jù)及設(shè)備維護(hù)管理系統(tǒng)等來應(yīng)用類似的方法。
[0013] 由此，為增強(qiáng)的且強(qiáng)大的交叉探查能力提供了核心基礎(chǔ)，該交叉探查能力將處理 工具與計(jì)量工具之間的數(shù)據(jù)與報(bào)告相鏈接。此外，通過將組成整個(gè)制造過程的無關(guān)元素 (如數(shù)據(jù)）相結(jié)合來加速根本原因分析處理，從而使得設(shè)備停機(jī)時(shí)間減少且產(chǎn)品產(chǎn)量提高。
[0014] 圖1為圖示制造系統(tǒng)100的方塊圖，制造系統(tǒng)100包括經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)耦接至設(shè)備 工程系統(tǒng)（equipment engineering system ;EES) 102 的制造執(zhí)行系統(tǒng)（manufacturing execution system ;MES) 106和制造機(jī)器108 (如處理工具或計(jì)量工具）。此外，EES102經(jīng)由 網(wǎng)絡(luò)耦接至SPC系統(tǒng)104。EES102可進(jìn)一步經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)耦接至EES數(shù)據(jù)庫110和EES客戶端 112,且SPC系統(tǒng)104可經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)耦接至SPC客戶端114。MES106、EES102和SPC104可各自 由一個(gè)或多個(gè)計(jì)算裝置作主機(jī)控制（hosted)，該一個(gè)或多個(gè)計(jì)算裝置包括服務(wù)器電腦、桌 上型電腦、膝上型電腦、平板電腦、筆記本型電腦、PDA(個(gè)人數(shù)字助理）、移動(dòng)通訊裝置、移 動(dòng)電話、智慧型電話、手持式電腦或類似的計(jì)算裝置。
[0015] EES102從計(jì)量工具和/或MES106接收計(jì)量數(shù)據(jù)，并且EES102發(fā)送該計(jì)量數(shù)據(jù)至 SPC系統(tǒng)104。SPC系統(tǒng)104將計(jì)量數(shù)據(jù)應(yīng)用至適當(dāng)?shù)膱D表（如厚度、蝕刻速度、電阻率、粒 子數(shù)），分析該計(jì)量數(shù)據(jù)以檢測(cè)違規(guī)（如高于或低于預(yù)定義閾值的產(chǎn)品特征），產(chǎn)生關(guān)于具 有所檢測(cè)違規(guī)的產(chǎn)品的信息（如批次ID、晶片ID、配方名稱），并提供該信息至EES102。此 夕卜，SPC系統(tǒng)104將SPC圖表呈現(xiàn)給SPC客戶端114, SPC客戶端114可為復(fù)雜型客戶端應(yīng) 用程序和/或由諸如個(gè)人電腦、膝上型電腦、移動(dòng)電話等的客戶端裝置作主機(jī)控制的基于 網(wǎng)頁瀏覽器的應(yīng)用程序。
[0016] EES102可作主機(jī)控制在線FD報(bào)告工具120,該在線FD報(bào)告工具120提供離散的 (disjoined)基于時(shí)間的設(shè)備傳感器數(shù)據(jù)與基于物質(zhì)的計(jì)量數(shù)據(jù)（如SPC數(shù)據(jù)）的雙向關(guān) 聯(lián)及圖形化取得。特定而言，F(xiàn)D報(bào)告工具120接收關(guān)于產(chǎn)品的計(jì)量數(shù)據(jù)，所述產(chǎn)品具有所檢 測(cè)的違規(guī)，并且FD報(bào)告工具120找到用于制造具有所檢測(cè)的違規(guī)的產(chǎn)品的處理工具的識(shí)別 信息。此識(shí)別信息包括工具ID、運(yùn)行ID、運(yùn)行開始時(shí)間等，此識(shí)別信息使用一組來自EES數(shù) 據(jù)庫110的專用查詢來解析。然后，工具120可將與所識(shí)別的處理工具相關(guān)聯(lián)的識(shí)別信息 及傳感器數(shù)據(jù)儲(chǔ)存于EES數(shù)據(jù)庫110中，EES數(shù)據(jù)庫110可由與EES102相同的機(jī)器或獨(dú)立 的機(jī)器作主機(jī)控制。如下文將更詳細(xì)論述，F(xiàn)D報(bào)告工具120也可將包括處理工具的警報(bào)參 數(shù)（如FD)的傳感器數(shù)據(jù)與包括由處理工具所制造產(chǎn)品的計(jì)量特征的計(jì)量數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)。FD 報(bào)告工具120也可提供圖形用戶界面（GUI)，該圖形用戶界面可鏈接傳感器與計(jì)量數(shù)據(jù)，并 且界面可為用戶提供關(guān)于產(chǎn)品及設(shè)備質(zhì)量的快速及準(zhǔn)確信息。⑶〗呈現(xiàn)于EES客戶端112 上，EES客戶端112可為復(fù)雜客戶端應(yīng)用程序和/或基于網(wǎng)頁的瀏覽器客戶端。
[0017] 在一個(gè)實(shí)施例中，當(dāng)產(chǎn)品運(yùn)行于處理工具上時(shí)，傳感器數(shù)據(jù)通過MES106或處理工 具108實(shí)時(shí)提供至EES102,并且傳感器數(shù)據(jù)保存于EES數(shù)據(jù)庫110中。EES102接著對(duì)處理 工具的傳感器數(shù)據(jù)執(zhí)行FD分析，并使用諸如工具id (TOOL ids)、運(yùn)行id (RUN ids)、運(yùn)行開 始時(shí)間（RUN start times)及配方id(RECIPE ids)之類的語境將結(jié)果保存于EES數(shù)據(jù)庫110 中。接著，計(jì)量工具108測(cè)量計(jì)量數(shù)據(jù)（如產(chǎn)品屬性），并且計(jì)量工具108將這些測(cè)量值提 供給EES102, EES102將這些測(cè)量值發(fā)送至SPC系統(tǒng)104。SPC系統(tǒng)104返回對(duì)SPC結(jié)果的 引用（或SPC摘要數(shù)據(jù)），諸如唯一樣本識(shí)別符、違規(guī)識(shí)別符、校正動(dòng)作信息和受影響的圖表 識(shí)別符。
[0018] 在一個(gè)實(shí)施例中，F(xiàn)D報(bào)告工具120允許用戶提供一配置，以將能夠影響一個(gè)或多 個(gè)測(cè)量的產(chǎn)品屬性的處理步驟或操作相關(guān)聯(lián)。此配置在為系統(tǒng)100定義數(shù)據(jù)采集策略時(shí)完 成。然后，F(xiàn)D報(bào)告工具120采集對(duì)于經(jīng)配置的處理步驟或操作的以前的FD結(jié)果的引用，并 且FD報(bào)告工具120將SPC結(jié)果與傳感器數(shù)據(jù)（如FD和處理工具數(shù)據(jù)）之間的鏈接儲(chǔ)存于 EES數(shù)據(jù)庫110中以用作報(bào)告。
[0019] 圖2為用于將計(jì)量數(shù)據(jù)鏈接至傳感器數(shù)據(jù)的方法200的一個(gè)實(shí)施例的流程圖。圖 3圖示用于圖2的方法200的示例性圖形用戶界面。如圖1所示，方法200可由EES102執(zhí) 行。例如，方法200可由圖1的EES102的FD報(bào)告工具120執(zhí)行。
[0020] 方法200以EES102接收指示SPC違規(guī)的計(jì)量數(shù)據(jù)（如產(chǎn)品測(cè)量值）的用戶選擇 開始（方塊202)。此時(shí)，用戶可選擇SPC控制圖表上的產(chǎn)品測(cè)量值。例如，如圖3所示，用 戶可從SPC控制圖表GUI300選擇產(chǎn)品測(cè)量值。
[0021] 一旦接收到產(chǎn)品測(cè)量值的用戶選擇，EES102即通過查詢EES數(shù)據(jù)庫110獲得與所 選產(chǎn)品測(cè)量值相關(guān)的FD摘要數(shù)據(jù)（方塊204)。然后，EES102將相關(guān)處理工具FD摘要數(shù)據(jù) 呈現(xiàn)給用戶（方塊206)。例如，如圖3所示，F(xiàn)D摘要數(shù)據(jù)可呈現(xiàn)為通過處理工具的FD計(jì)數(shù) ⑶1302。
[0022] 接著，用戶從FD摘要數(shù)據(jù)選擇感興趣的處理工具。例如，如圖3所示，用戶可在通 過處理工具的FD計(jì)數(shù)⑶1302上選擇處理工具ETCH_01。然后，EES102接收感興趣的處理 工具的用戶選擇（方塊208)。
[0023] -旦接收到用戶選擇，EES102即基于該用戶所選處理工具啟動(dòng)新的報(bào)告，以呈現(xiàn) 來自EES數(shù)據(jù)庫110的FD明細(xì)。例如，如圖3所示，F(xiàn)D明細(xì)可呈現(xiàn)為FD結(jié)果明細(xì)⑶1304。
[0024] 接著，用戶選擇感興趣的FD明細(xì)。例如，如圖3所示，用戶可從FD結(jié)果明細(xì)GUI304 選擇感興趣的FD明細(xì)。然后，EES102接收FD明細(xì)的用戶選擇（方塊212)。
[0025] 基于感興趣的FD明細(xì)的用戶選擇，EES102從EES數(shù)據(jù)庫110獲得處理工具的原 始傳感器數(shù)據(jù)并呈現(xiàn)該原始傳感器數(shù)據(jù)，和/或EES102從EES數(shù)據(jù)庫110獲得所選傳感器 的Π)趨勢(shì)圖表并呈現(xiàn)該FD趨勢(shì)圖表（方塊214)。例如，如圖3所示，EES102可將原始傳 感器數(shù)據(jù)呈現(xiàn)為所選傳感器繪圖對(duì)時(shí)間⑶1308。在另一實(shí)例中，如圖3所示，EES102可將 FD趨勢(shì)圖表呈現(xiàn)為所選傳感器的FD趨勢(shì)⑶1306。
[0026] 圖4為用于將傳感器數(shù)據(jù)（如FD數(shù)據(jù)）鏈接至計(jì)量數(shù)據(jù)（如SPC數(shù)據(jù)）的方法 400的一個(gè)實(shí)施例的流程圖。圖5圖示圖4的方法的示例性圖形用戶界面。方法400可由 圖1的EES102執(zhí)行。例如，方法400可由圖1的EES102的FD報(bào)告工具120執(zhí)行。
[0027] 方法400以EES102從FD控制圖表或原始傳感器繪圖接收感興趣的傳感器數(shù)據(jù)的 用戶選擇開始（方塊402)。例如，如圖5所示，F(xiàn)D控制圖表可作為FD趨勢(shì)⑶1502呈現(xiàn)給 用戶。在另一實(shí)例中，如圖5所示，原始傳感器繪圖可作為傳感器繪圖對(duì)時(shí)間GUI504呈現(xiàn) 給用戶。
[0028] 一旦從FD控制圖表或原始傳感器繪圖接收到用戶選擇，EES102即從EES數(shù)據(jù)庫 110獲得對(duì)應(yīng)于所選數(shù)據(jù)的SPC摘要數(shù)據(jù)。然后，EES102將SPC摘要數(shù)據(jù)呈現(xiàn)給用戶（方 塊404)。例如，如圖5所示，SPC摘要數(shù)據(jù)可作為通過控制圖表的SPC結(jié)果⑶1506呈現(xiàn)給 用戶。
[0029] 接著，用戶選擇感興趣的SPC摘要數(shù)據(jù)的一部分，且EES102接收該感興趣的SPC 摘要數(shù)據(jù)的用戶選擇（方塊406)。例如，如圖5所示，用戶可經(jīng)由通過控制圖表的SPC結(jié)果 ⑶1506選擇感興趣的SPC摘要數(shù)據(jù)的部分。
[0030] EES從EES數(shù)據(jù)庫110獲得SPC控制圖表并將該SPC控制圖表呈現(xiàn)給用戶（方塊 408)。例如，如圖5所示，SPC控制圖表可呈現(xiàn)為SPC控制圖表⑶1508。
[0031] 表格 EES_SPC_RUN_TO_SPC、表格 EES_SPC_Status 和表格 EES_SPC_T0_RUN 表示了 EES數(shù)據(jù)庫110中的示例性表格。表格EES_SPC_RUN_TO_SPC將工具ID和運(yùn)行ID與樣本 ID相關(guān)聯(lián)。此表格提供了工具ID、運(yùn)行ID和樣本ID之間的多對(duì)多關(guān)系。此表格由運(yùn)行 Start_Time以范圍分隔。
[0032]

【權(quán)利要求】
1. 一種通過經(jīng)編程以執(zhí)行以下步驟的計(jì)算系統(tǒng)來實(shí)施的方法，所述方法包括以下步 驟： 通過所述計(jì)算系統(tǒng)接收產(chǎn)品的計(jì)量數(shù)據(jù)的用戶選擇； 通過所述計(jì)算系統(tǒng)呈現(xiàn)所述產(chǎn)品的所選計(jì)量數(shù)據(jù)的相關(guān)處理工具故障檢測(cè)摘要； 通過所述計(jì)算系統(tǒng)從所述處理工具故障檢測(cè)摘要接收處理工具的用戶選擇；和 通過所述計(jì)算系統(tǒng)呈現(xiàn)所選處理工具的相關(guān)故障檢測(cè)明細(xì)。
2. 如權(quán)利要求1所述的方法，進(jìn)一步包括以下步驟：通過所述計(jì)算系統(tǒng)接收故障檢測(cè) 明細(xì)的用戶選擇。
3. 如權(quán)利要求2所述的方法，進(jìn)一步包括以下步驟：通過所述計(jì)算系統(tǒng)呈現(xiàn)所選故障 檢測(cè)明細(xì)的相關(guān)原始傳感器數(shù)據(jù)。
4. 如權(quán)利要求2所述的方法，進(jìn)一步包括以下步驟：通過所述計(jì)算系統(tǒng)呈現(xiàn)所選故障 檢測(cè)明細(xì)的相關(guān)故障檢測(cè)趨勢(shì)圖表。
5. 如權(quán)利要求1所述的方法，進(jìn)一步包括以下步驟： 通過所述計(jì)算系統(tǒng)接收傳感器數(shù)據(jù)的用戶選擇； 通過所述計(jì)算系統(tǒng)呈現(xiàn)所選傳感器數(shù)據(jù)的相關(guān)統(tǒng)計(jì)過程控制摘要數(shù)據(jù)； 通過所述計(jì)算系統(tǒng)從所述統(tǒng)計(jì)過程控制摘要數(shù)據(jù)接收統(tǒng)計(jì)過程控制圖表的用戶選擇； 和 通過所述電腦系統(tǒng)呈現(xiàn)所選統(tǒng)計(jì)過程控制圖表。
6. 如權(quán)利要求5所述的方法，其中所述傳感器數(shù)據(jù)包括故障檢測(cè)控制圖表。
7. 如權(quán)利要求5所述的方法，其中所述傳感器數(shù)據(jù)包括原始傳感器繪圖。
8. -種電腦可讀儲(chǔ)存介質(zhì)，包括使得處理裝置執(zhí)行操作的可執(zhí)行指令，所述指令包 括： 通過所述處理裝置接收產(chǎn)品的計(jì)量數(shù)據(jù)的用戶選擇； 通過所述處理裝置呈現(xiàn)所述產(chǎn)品的所選計(jì)量數(shù)據(jù)的相關(guān)處理工具故障檢測(cè)摘要； 通過所述處理裝置從所述處理工具故障檢測(cè)摘要接收處理工具的用戶選擇；和 通過所述處理裝置呈現(xiàn)所選處理工具的相關(guān)故障檢測(cè)明細(xì)。
9. 如權(quán)利要求8所述的電腦可讀儲(chǔ)存介質(zhì)，其中所述指令進(jìn)一步包括： 通過所述處理裝置接收故障檢測(cè)明細(xì)的用戶選擇；和 通過所述處理裝置呈現(xiàn)所選故障檢測(cè)明細(xì)的相關(guān)原始傳感器數(shù)據(jù)。
10. 如權(quán)利要求8所述的電腦可讀儲(chǔ)存介質(zhì)，其中所述指令進(jìn)一步包括： 通過所述處理裝置接收故障檢測(cè)明細(xì)的用戶選擇；和 通過所述處理裝置呈現(xiàn)所選故障檢測(cè)明細(xì)的相關(guān)故障檢測(cè)趨勢(shì)圖表。
11. 如權(quán)利要求8所述的電腦可讀儲(chǔ)存介質(zhì)，其中所述指令進(jìn)一步包括： 通過所述處理裝置接收傳感器數(shù)據(jù)的用戶選擇； 通過所述處理裝置呈現(xiàn)所選傳感器數(shù)據(jù)的相關(guān)統(tǒng)計(jì)過程控制摘要數(shù)據(jù)； 通過所述處理裝置從所述統(tǒng)計(jì)過程控制摘要數(shù)據(jù)接收統(tǒng)計(jì)過程控制圖表的用戶選擇； 和 通過所述處理裝置呈現(xiàn)所選統(tǒng)計(jì)過程控制圖表。
12. 如權(quán)利要求11所述的電腦可讀儲(chǔ)存介質(zhì)，其中所述傳感器數(shù)據(jù)包括故障檢測(cè)控制 圖表。
13. 如權(quán)利要求11所述的電腦可讀儲(chǔ)存介質(zhì)，其中所述傳感器數(shù)據(jù)包括原始傳感器繪 圖。
14. 一種計(jì)算系統(tǒng)，包含： 存儲(chǔ)器；和 耦接至所述存儲(chǔ)器的處理裝置，所述處理裝置配置為： 通過所述處理裝置接收產(chǎn)品的計(jì)量數(shù)據(jù)的用戶選擇； 通過所述計(jì)算系統(tǒng)呈現(xiàn)所述產(chǎn)品的所選計(jì)量數(shù)據(jù)的相關(guān)處理工具故障檢測(cè)摘要； 通過所述處理裝置從所述處理工具故障檢測(cè)摘要接收處理工具的用戶選擇；和 通過所述處理裝置呈現(xiàn)所選處理工具的相關(guān)故障檢測(cè)明細(xì)。
15. 如權(quán)利要求14所述的計(jì)算系統(tǒng)，其中所述處理裝置進(jìn)一步可配置地成為：通過所 述處理裝置接收故障檢測(cè)明細(xì)的用戶選擇。
16. 如權(quán)利要求14所述的計(jì)算系統(tǒng)，其中所述處理裝置進(jìn)一步可配置地成為：通過所 述處理裝置呈現(xiàn)所選故障檢測(cè)明細(xì)的相關(guān)原始傳感器數(shù)據(jù)。
17. 如權(quán)利要求14所述的計(jì)算系統(tǒng)，其中所述處理裝置進(jìn)一步可配置地成為：通過所 述處理裝置呈現(xiàn)所選故障檢測(cè)明細(xì)的相關(guān)故障檢測(cè)趨勢(shì)圖表。
18. 如權(quán)利要求14所述的計(jì)算系統(tǒng)，其中所述處理裝置進(jìn)一步可配置地成為： 通過所述處理裝置接收傳感器數(shù)據(jù)的用戶選擇； 通過所述處理裝置呈現(xiàn)所選傳感器數(shù)據(jù)的相關(guān)統(tǒng)計(jì)過程控制摘要數(shù)據(jù)； 通過所述處理裝置從所述統(tǒng)計(jì)過程控制摘要數(shù)據(jù)接收統(tǒng)計(jì)過程控制圖表的用戶選擇； 和 通過所述處理裝置呈現(xiàn)所選統(tǒng)計(jì)過程控制圖表。
19. 如權(quán)利要求14所述的計(jì)算系統(tǒng)，其中所述傳感器數(shù)據(jù)包括故障檢測(cè)控制圖表。
20. 如權(quán)利要求14所述的計(jì)算系統(tǒng)，其中所述傳感器數(shù)據(jù)包括原始傳感器繪圖。
【文檔編號(hào)】G06F11/00GK104067232SQ201280052415
【公開日】2014年9月24日 申請(qǐng)日期:2012年10月31日 優(yōu)先權(quán)日:2011年10月31日
【發(fā)明者】布拉德·舒爾策, 約瑟夫·多克斯 申請(qǐng)人:應(yīng)用材料公司