觸摸面板及其制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種觸摸面板的制作方法，包括：提供多個(gè)藍(lán)寶石基片；提供載體模具，所述載體模具包括基體，所述基體上形成有與多個(gè)所述藍(lán)寶石基片相對(duì)應(yīng)的多個(gè)凹槽；將多個(gè)所述藍(lán)寶石基片放在相對(duì)應(yīng)的凹槽內(nèi)；在所述藍(lán)寶石基片上形成感應(yīng)層。相應(yīng)地，本發(fā)明還提供一種由所述制作方式制作的觸摸面板。本發(fā)明的制作方法可以提供藍(lán)寶石觸摸面板的生產(chǎn)效率。
【專利說(shuō)明】觸摸面板及其制作方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及觸控【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種觸摸面板及觸摸面板的制作方法。

【背景技術(shù)】
[0002]觸摸屏作為一種輸入設(shè)備，能夠方便實(shí)現(xiàn)人與計(jì)算機(jī)及其它便攜式移動(dòng)設(shè)備的交互作用，其中基于氧化銦錫(ITO)透明導(dǎo)電薄膜的電容觸摸屏被廣泛應(yīng)用于移動(dòng)互聯(lián)設(shè)備，如智能手機(jī)，便攜式平板電腦等。
[0003]隨著移動(dòng)互聯(lián)設(shè)備的發(fā)展,一種一體化(One Glass Solut1n, 0GS)結(jié)構(gòu)的電容觸摸屏被廣泛應(yīng)用，其在高硬度保護(hù)玻璃蓋板背面直接形成導(dǎo)電和傳感電極，用同一塊玻璃同時(shí)起到觸摸保護(hù)和觸控傳感的雙重作用?，F(xiàn)有觸摸屏玻璃蓋板均采用鋼化有機(jī)玻璃，由于其硬度有限，在使用過(guò)程中，很容易在面板表面形成劃痕。這時(shí)，用戶往往會(huì)選擇貼一層聚合物保護(hù)膜，然而，保護(hù)膜的增加不僅降低了屏幕的透過(guò)率，而且其本身也很容易被劃傷，直接影響了用戶體驗(yàn)。
[0004]藍(lán)寶石的硬度遠(yuǎn)大于普通鋼化玻璃，可以抵御日常生活中可接觸的所有物體的劃傷，此外，由于其介電常數(shù)高、導(dǎo)熱率高，從而使得觸摸屏的觸摸更靈敏、設(shè)備散熱性更好。如將藍(lán)寶石應(yīng)用于觸摸屏替代現(xiàn)有的鋼化有機(jī)玻璃，在使得設(shè)備更具個(gè)性化、差異化的同時(shí)帶來(lái)更加優(yōu)秀的效果。
[0005]因此，如何大規(guī)模地使用藍(lán)寶石制作觸摸面板成為本領(lǐng)域亟待解決的技術(shù)問(wèn)題。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的在于提供一種觸摸面板的制作方法，從而提高藍(lán)寶石觸摸面板的生產(chǎn)效率。
[0007]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種觸摸面板的制作方法，包括:
[0008]提供多個(gè)監(jiān)寶石基片；
[0009]提供載體模具，所述載體模具包括基體，所述基體上形成有與多個(gè)所述藍(lán)寶石基片相對(duì)應(yīng)的多個(gè)凹槽；
[0010]將多個(gè)所述藍(lán)寶石基片放在相對(duì)應(yīng)的凹槽內(nèi)；
[0011 ] 在所述藍(lán)寶石基片上形成感應(yīng)層。
[0012]優(yōu)選地，所述制作方法還包括在所述藍(lán)寶石基片上形成感應(yīng)層之前進(jìn)行的:在藍(lán)寶石基片上形成用于粘附感應(yīng)層的粘附層。
[0013]優(yōu)選地，所述感應(yīng)層包括氧化銦錫制成的觸控電極，所述粘附層包括硅的氮化物膜和/或硅的氧化物膜。
[0014]優(yōu)選地，所述粘附層包括硅的氮化物膜和硅的氧化物膜；
[0015]在藍(lán)寶石基片上形成粘附層的步驟包括:
[0016]將承載有藍(lán)寶石基片的載體模具放入工藝腔室，向工藝腔室內(nèi)通入硅烷、氨氣和氮?dú)獾幕旌蠚怏w，以在所述藍(lán)寶石基片上形成硅的氮化物膜；
[0017]向工藝腔室內(nèi)通入硅烷和一氧化二氮的混合氣體，以在所述硅的氮化物膜上形成硅的氧化物膜。
[0018]優(yōu)選地，所述工藝腔室為真空腔室。
[0019]優(yōu)選地，所述制作方法還包括:在所述粘附層上形成遮光件，所述遮光件環(huán)繞在所述觸摸面板的感應(yīng)區(qū)域周圍。
[0020]優(yōu)選地，所述凹槽的長(zhǎng)度比設(shè)置在該凹槽內(nèi)的藍(lán)寶石基片的長(zhǎng)度大0.05?
0.25mm ;和 / 或
[0021]所述凹槽的寬度比設(shè)置在該凹槽內(nèi)的藍(lán)寶石基片的寬度大0.05?0.25mm。
[0022]優(yōu)選地，制作載體模具的步驟包括:
[0023]提供基體；
[0024]利用光刻構(gòu)圖工藝在所述基體上形成與多個(gè)所述藍(lán)寶石基片相對(duì)應(yīng)的多個(gè)凹槽。
[0025]優(yōu)選地，在所述藍(lán)寶石基片上形成感應(yīng)層的步驟包括:
[0026]在所述藍(lán)寶石基片上形成氧化銦錫膜層；
[0027]通過(guò)光刻構(gòu)圖工藝在所述氧化銦錫膜層上形成包括多組觸控電極的圖形。
[0028]優(yōu)選地，每組所述觸控電極包括第一電極和第二電極，所述第一電極和第二電極為梳狀電極，在每組所述觸控電極中，所述第一電極和所述第二電極的梳齒交替設(shè)置。
[0029]相應(yīng)地，本發(fā)明還提供一種觸摸面板，所述觸摸面板由上述制作方法制成。
[0030]在本發(fā)明中，所述載體模具上可以放置多個(gè)藍(lán)寶石基片，從而在多個(gè)藍(lán)寶石基片上形成感應(yīng)層，以進(jìn)行批量處理，從而提高生產(chǎn)效率；另外，形成感應(yīng)層和遮光件之前，首先在藍(lán)寶石基片上形成粘附層，從而增加感應(yīng)層和遮光件在藍(lán)寶石基片上的粘附力。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0031]附圖是用來(lái)提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說(shuō)明書(shū)的一部分，與下面的【具體實(shí)施方式】一起用于解釋本發(fā)明，但并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的限制。在附圖中:
[0032]圖1是本發(fā)明所提供的觸摸面板的制作方法的流程示意圖；
[0033]圖2是本發(fā)明的實(shí)施方式中藍(lán)寶石基片的示意圖之一；
[0034]圖3是本發(fā)明的實(shí)施方式中藍(lán)寶石基片的示意圖之二 ；
[0035]圖4是本發(fā)明的實(shí)施方式中載體模具的俯視圖；
[0036]圖5是圖4的AA剖視圖；
[0037]圖6是藍(lán)寶石基片放入凹槽內(nèi)的俯視圖；
[0038]圖7是圖6的BB剖視圖；
[0039]圖8是制作完成后的觸摸面板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0040]圖9是感應(yīng)層上的圖形示意圖。
[0041]其中，附圖標(biāo)記為:1、監(jiān)寶石基片；2、基體；3、凹槽；4、感應(yīng)層；5、娃的氣化物月旲；6、娃的氧化物膜；7、遮光件；8、第一電極；9、第二電極。

【具體實(shí)施方式】
[0042]以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所描述的【具體實(shí)施方式】?jī)H用于說(shuō)明和解釋本發(fā)明，并不用于限制本發(fā)明。
[0043]作為本發(fā)明的一方面，提供一種觸摸面板的制作方法，如圖1所示，包括:
[0044]提供多個(gè)藍(lán)寶石基片1:具體地，提供多個(gè)藍(lán)寶石基片I時(shí)可以包括首先對(duì)藍(lán)寶石晶腚進(jìn)行掏棒處理，以掏取出藍(lán)寶石晶棒；然后對(duì)藍(lán)寶石晶棒進(jìn)行切片，得到藍(lán)寶石薄片；并對(duì)藍(lán)寶石薄片進(jìn)行研磨，以使得藍(lán)寶石薄片的表面更加平滑；另外，還可以對(duì)藍(lán)寶石薄片進(jìn)行打孔、邊緣處理等工藝，從而形成適用于所需要的形狀，如圖2和圖3所示。
[0045]提供載體模具，所述載體模具包括基體，該基體2上形成有與多個(gè)藍(lán)寶石基片I相對(duì)應(yīng)的多個(gè)凹槽3，如圖4和圖5所示；
[0046]將多個(gè)藍(lán)寶石基片I放在相對(duì)應(yīng)的凹槽3內(nèi)(如圖6和圖7所示):具體地，可以利用具有多個(gè)吸附口的吸附件對(duì)多個(gè)藍(lán)寶石基片I進(jìn)行吸附，并將多個(gè)藍(lán)寶石基片I放置在相對(duì)應(yīng)的凹槽3內(nèi)，從而提聞監(jiān)寶石基片I移動(dòng)過(guò)程中的穩(wěn)定性，且提聞生廣效率；
[0047]在藍(lán)寶石基片I上形成感應(yīng)層4，如圖8所示。
[0048]在本發(fā)明中，所述載體模具上可以放置多個(gè)藍(lán)寶石基片1，從而在多個(gè)藍(lán)寶石基片I上形成感應(yīng)層4，以進(jìn)行批量處理，從而提高生產(chǎn)效率。且和有機(jī)玻璃制作的觸摸面板相t匕，由于藍(lán)寶石的硬度較大，因此在制作過(guò)程中，省去了對(duì)觸摸面板的強(qiáng)化工藝，提高了生產(chǎn)效率。
[0049]作為本發(fā)明的一種【具體實(shí)施方式】，所述觸摸面板的制作方法還包括在藍(lán)寶石基片I上形成感應(yīng)層4之前進(jìn)行的:在藍(lán)寶石基片I上形成用于粘附感應(yīng)層的粘附層。
[0050]具體地，所述感應(yīng)層包括氧化銦錫(ITO)制成的觸控電極，所述粘附層包括硅的氮化物(SiNx)膜5和/或硅的氧化物(S1y)膜6，從而增加感應(yīng)層4在藍(lán)寶石基片I上的附著力。
[0051]優(yōu)選地，如圖9所示，所述粘附層包括硅的氮化物膜5和硅的氧化物膜6 ;形成硅的氮化物膜5和硅的氧化物膜6可以采用化學(xué)氣相沉積的方法，具體地，在藍(lán)寶石基片I上形成粘附層的步驟可以包括:
[0052]將承載有藍(lán)寶石基片I的載體模具放入工藝腔室，向工藝腔室內(nèi)通入硅烷、氨氣和氮?dú)獾幕旌蠚怏w，以在藍(lán)寶石基片I上形成硅的氮化物膜5 ;再向工藝腔室內(nèi)通入硅烷和一氧化二氮的混合氣體，以在硅的氮化物膜I上形成硅的氧化物膜6。
[0053]為防止其他氣體雜質(zhì)對(duì)工藝過(guò)程的影響，所述工藝腔室為真空腔室，且形成硅的氮化物膜后對(duì)工藝腔室進(jìn)行抽真空后，再向工藝腔室通入硅烷、氨氣和氮?dú)獾幕旌蠚怏w。
[0054]在本發(fā)明中制作觸摸面板時(shí)，在觸摸面板的感應(yīng)區(qū)域內(nèi)設(shè)置感應(yīng)層，進(jìn)一步地，所述制作方法還包括:在所述粘附層上形成遮光件7，該遮光件7環(huán)繞在觸摸面板的感應(yīng)區(qū)域周圍，用于遮擋感應(yīng)區(qū)域周圍的引線。和感應(yīng)層4相同地，遮光件7也形成在粘附層上，從而提聞?wù)诠饧?在監(jiān)寶石基片上的粘附力。
[0055]本發(fā)明對(duì)遮光件7的材料和形成方式不作限制，例如，遮光件7可以為遮光油墨，通過(guò)印刷的方式將遮光油墨印刷在感應(yīng)區(qū)域周圍；或者首先在藍(lán)寶石基片I上采用其他方式形成遮光鍍膜材料，然后通過(guò)光刻構(gòu)圖工藝在所述遮光鍍膜材料上形成包括遮光件7的圖形。
[0056]應(yīng)當(dāng)理解的是，制作載體模具的步驟和形成多個(gè)藍(lán)寶石基片I的步驟之間的順序不作限制，且載體模具可以循環(huán)使用，在載體模具上的多個(gè)藍(lán)寶石基片I上形成感應(yīng)層4，完成觸摸面板的制作后，可以將多個(gè)新的藍(lán)寶石基片I放置在相對(duì)應(yīng)的凹槽3內(nèi)，再次進(jìn)行形成感應(yīng)層的步驟。
[0057]上述提供載體模具的步驟具體可以包括:
[0058]提供基體2:對(duì)基體2的材料不作具體限制,例如,基體2可以為玻璃基板。基體的厚度可以在Imm?3mm之間；
[0059]利用光刻構(gòu)圖工藝在基體2上形成與多個(gè)藍(lán)寶石基片I相對(duì)應(yīng)的凹槽:首先在基體I上形成光刻膠層，干燥后對(duì)光刻膠層進(jìn)行曝光和顯影，以除去用于形成凹槽3的位置的光刻膠；然后對(duì)基體2進(jìn)行刻蝕，通過(guò)調(diào)節(jié)刻蝕液的濃度、溫度和刻蝕時(shí)間的工藝參數(shù)，使得未覆蓋光刻膠的位置的基體被刻蝕掉一部分，從而形成凹槽，最后除去基體上剩余的光刻膠。凹槽3的長(zhǎng)度可以比設(shè)置在凹槽3內(nèi)的藍(lán)寶石基片I的長(zhǎng)度大0.05mm?0.25mm,凹槽3的寬度也可以比設(shè)置在凹槽3內(nèi)的藍(lán)寶石基片I的寬度大0.05mm?0.25mm，從而在方便放置藍(lán)寶石基片I的同時(shí)，又使得藍(lán)寶石基片上的感應(yīng)層4的偏移在可接受的范圍內(nèi)。
[0060]在基體2上形成凹槽3后，可以對(duì)凹槽3進(jìn)行研磨，以使得凹槽3的底面更加平滑，當(dāng)藍(lán)寶石基片I的表面和凹槽3的底面都很平滑時(shí)，二者之間的接觸面會(huì)產(chǎn)生一定的吸引力，從而防止藍(lán)寶石基片I在凹槽3內(nèi)發(fā)生偏移。
[0061]在本發(fā)明中，感應(yīng)層4由透明導(dǎo)電材料制成，作為一種本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】，感應(yīng)層4由氧化銦錫(ITO)制成，在藍(lán)寶石基片I上形成感應(yīng)層4的步驟具體可以包括:
[0062]在藍(lán)寶石基片I上形成氧化銦錫膜層；
[0063]通過(guò)光刻構(gòu)圖工藝在所述氧化銦錫膜層上形成包括多組觸控電極的圖形。通過(guò)光刻構(gòu)圖工藝形成觸控電極的過(guò)程與上述形成凹槽的過(guò)程類似，即經(jīng)過(guò)光刻膠涂布、曝光、顯影、刻蝕、剝離的等工藝完成。
[0064]具體地，本發(fā)明中的感應(yīng)層為單層，每組所述觸控電極包括第一電極8和第二電極9，第一電極8和第二電極9為梳狀電極，在每組所述觸控電極中，第一電極8和第二電極9的梳齒交替設(shè)置。如圖9所示。在形成第一電極和第二電極時(shí)，采用一次構(gòu)圖工藝形成，防止使用多個(gè)掩膜板出現(xiàn)的對(duì)位不準(zhǔn)確，提高圖形質(zhì)量。觸控電極確定觸摸位置的原理為本領(lǐng)域技術(shù)人員所公知的，這里不再贅述。
[0065]可以理解的是，本發(fā)明中將感應(yīng)層4制作在藍(lán)寶石基片I上，以形成一體化結(jié)構(gòu)的觸摸面板，當(dāng)然也可以用于制作其他結(jié)構(gòu)的觸摸面板。
[0066]上述為對(duì)本發(fā)明提供的觸摸面板的制作方法的描述，可以看出，本發(fā)明制作觸摸面板時(shí)，使用載體模具同時(shí)對(duì)多個(gè)藍(lán)寶石基片進(jìn)行處理，從而提高生產(chǎn)效率；另外，形成感應(yīng)層和遮光件之前，首先在藍(lán)寶石基片上形成粘附層，從而增加感應(yīng)層和遮光件在藍(lán)寶石基片上的粘附力。
[0067]作為本發(fā)明的另一方面，提供一種觸摸面板，該觸摸面板由上述制作方法制成。即，所述觸摸面板包括藍(lán)寶石基片和設(shè)置在藍(lán)寶石基片上的感應(yīng)層、觸控區(qū)域周圍的遮光件，進(jìn)一步地，藍(lán)寶石基片上還設(shè)置有硅的氮化物膜和設(shè)置在硅的氧化物膜，其中，感應(yīng)層和遮光件均設(shè)置在硅的氧化物膜上，從而增加感應(yīng)層和遮光件在藍(lán)寶石基片上的附著力，從而提高觸摸面板的質(zhì)量，且由于藍(lán)寶石的硬度較高，因而本發(fā)明的觸摸面板可以減少面板表面的劃傷，避免保護(hù)貼膜的使用，提高顯示效果。
[0068]可以理解的是，以上實(shí)施方式僅僅是為了說(shuō)明本發(fā)明的原理而采用的示例性實(shí)施方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對(duì)于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明的精神和實(shí)質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種觸摸面板的制作方法，其特征在于，包括: 提供多個(gè)藍(lán)寶石基片； 提供載體模具，所述載體模具包括基體，所述基體上形成有與多個(gè)所述藍(lán)寶石基片相對(duì)應(yīng)的多個(gè)凹槽； 將多個(gè)所述藍(lán)寶石基片放在相對(duì)應(yīng)的凹槽內(nèi)； 在所述藍(lán)寶石基片上形成感應(yīng)層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸摸面板的制作方法，其特征在于，所述制作方法還包括在所述藍(lán)寶石基片上形成感應(yīng)層之前進(jìn)行的:在藍(lán)寶石基片上形成用于粘附感應(yīng)層的粘附層。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的觸摸面板的制作方法，其特征在于，所述感應(yīng)層包括氧化銦錫制成的觸控電極，所述粘附層包括硅的氮化物膜和/或硅的氧化物膜。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的觸摸面板的制作方法，其特征在于，所述粘附層包括硅的氮化物膜和硅的氧化物膜； 在藍(lán)寶石基片上形成粘附層的步驟包括: 將承載有藍(lán)寶石基片的載體模具放入工藝腔室，向工藝腔室內(nèi)通入硅烷、氨氣和氮?dú)獾幕旌蠚怏w，以在所述藍(lán)寶石基片上形成硅的氮化物膜； 向工藝腔室內(nèi)通入硅烷和一氧化二氮的混合氣體，以在所述硅的氮化物膜上形成硅的氧化物膜。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的觸摸面板的制作方法，其特征在于，所述工藝腔室為真空腔室。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的觸摸面板的制作方法，其特征在于，所述制作方法還包括:在所述粘附層上形成遮光件，所述遮光件環(huán)繞在所述觸摸面板的感應(yīng)區(qū)域周圍。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任意一項(xiàng)所述的制作方法，其特征在于，所述凹槽的長(zhǎng)度比設(shè)置在該凹槽內(nèi)的藍(lán)寶石基片的長(zhǎng)度大0.05?0.25mm ;和/或 所述凹槽的寬度比設(shè)置在該凹槽內(nèi)的藍(lán)寶石基片的寬度大0.05?0.25mm。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任意一項(xiàng)所述的觸摸面板的制作方法，其特征在于，制作載體模具的步驟包括: 提供基體； 利用光刻構(gòu)圖工藝在所述基體上形成與多個(gè)所述藍(lán)寶石基片相對(duì)應(yīng)的多個(gè)凹槽。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任意一項(xiàng)所述的觸摸面板的制作方法，其特征在于，在所述藍(lán)寶石基片上形成感應(yīng)層的步驟包括: 在所述藍(lán)寶石基片上形成氧化銦錫膜層； 通過(guò)光刻構(gòu)圖工藝在所述氧化銦錫膜層上形成包括多組觸控電極的圖形。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的觸摸面板的制作方法，其特征在于，每組所述觸控電極包括第一電極和第二電極，所述第一電極和第二電極為梳狀電極，在每組所述觸控電極中，所述第一電極和所述第二電極的梳齒交替設(shè)置。
11.一種觸摸面板，其特征在于，所述觸摸面板由權(quán)利要求1至10中任意一項(xiàng)所述的制作方法制成。
【文檔編號(hào)】G06F3/041GK104298403SQ201410539487
【公開(kāi)日】2015年1月21日 申請(qǐng)日期:2014年10月13日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月13日
【發(fā)明者】葉本銀, 葉虹吶, 王錫彬, 柳皓笛 申請(qǐng)人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 成都京東方光電科技有限公司