本發(fā)明涉及工藝遷移器件尺寸精度檢測，具體為一種檢查設(shè)計工藝遷移器件尺寸的方法。

背景技術(shù)：

1、設(shè)計工藝遷移是指將半導體器件的設(shè)計從一個工藝節(jié)點遷移到另一個工藝節(jié)點的過程。這個過程涉及多個層面的變化，包括器件尺寸、材料特性、制造流程等，器件尺寸的遷移是其中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，因為它直接影響到器件的性能、可靠性和制造成本。在半導體制造領(lǐng)域，工藝遷移是一個常見但復雜的過程，這一過程需要確保遷移后的器件尺寸和精度保持在可接受的范圍內(nèi)，以避免性能下降或制造失敗。

2、但是現(xiàn)有設(shè)計中，傳統(tǒng)的工藝遷移方法往往缺乏對多個關(guān)鍵參數(shù)（如幾何圖形參數(shù)、對準精度參數(shù)和溫度參數(shù)）的綜合評估，導致遷移后的器件尺寸精度難以保證。此外，現(xiàn)有的評估方法通常依賴于單一參數(shù)的分析，缺乏對多個參數(shù)之間相互影響的分析和處理，影響了工藝遷移的尺寸精度和效率。

3、基于此，本申請設(shè)計改進一種通過對多個影響遷移后器件尺寸精度的相關(guān)參數(shù)進行采集和數(shù)據(jù)處理，避免采集單一參數(shù)導致的精度誤差，能夠提高工藝遷移后的器件尺寸的檢查精度的檢查設(shè)計工藝遷移器件尺寸的方法。

4、在所述背景技術(shù)部分公開的上述信息僅用于加強對本公開的背景的理解，因此它可以包括不構(gòu)成對本領(lǐng)域普通技術(shù)人員已知的現(xiàn)有技術(shù)的信息。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種檢查設(shè)計工藝遷移器件尺寸的方法，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

2、為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

3、一種檢查設(shè)計工藝遷移器件尺寸的方法，具體步驟包括：

4、s1.采集遷移后器件尺寸的幾何圖形參數(shù)和對準精度參數(shù)以及溫度參數(shù)，所述幾何圖形參數(shù)包括金屬線條的寬度、相鄰線條之間的距離以及通孔的直徑，所述對準精度參數(shù)包括金屬層與通孔的重疊面積占通孔總面積的比例，以及不同層之間的對準精度，所述溫度參數(shù)包括熱膨脹系數(shù)和溫度變化范圍；

5、s2.將采集的金屬線條的寬度、相鄰線條之間的距離以及通孔的直徑進行數(shù)據(jù)處理，并進行相關(guān)性分析，生成用于表征器件遷移后的尺寸系數(shù)，將金屬層與通孔的重疊面積占通孔總面積的比例、不同層之間的對準度進行數(shù)據(jù)處理，并進行相關(guān)性分析，生成用于表征器件遷移后的精度系數(shù)，將熱膨脹系數(shù)和溫度變化范圍進行數(shù)據(jù)處理，并進行相關(guān)性分析，生成溫度影響系數(shù)；

6、s3.將生成的尺寸系數(shù)、精度系數(shù)以及溫度影響系數(shù)進行數(shù)據(jù)處理，并進行相關(guān)性分析，生成工藝遷移適應性系數(shù)，將工藝遷移適應性系數(shù)和適應性系數(shù)閾值比較；

7、s4.根據(jù)比較結(jié)果，評估工藝遷移后的器件尺寸精度情況。

8、進一步地，將采集的金屬線條的寬度、相鄰線條之間的距離以及通孔的直徑進行數(shù)據(jù)處理，并進行相關(guān)性分析，生成用于表征器件遷移后的尺寸系數(shù)，依據(jù)的公式如下：

9、

10、其中，為器件遷移后的尺寸系數(shù)，為金屬線條的寬度，為金屬線條的寬度的最大值，為金屬線條的寬度的最小值，為相鄰線條之間的距離，為相鄰線條之間的距離的最大值，為相鄰線條之間的距離的最小值，為通孔的直徑，為通孔的直徑的最大值，為通孔的直徑的最小值，為金屬線條的寬度的比例系數(shù)，為相鄰線條之間的距離的比例系數(shù)，為通孔的直徑的比例系數(shù)，，且。

11、進一步地，獲取不同層之間的對準精度，依據(jù)的公式如下：

12、

13、

14、其中，參考層的位置為?和，待對準層的位置為和，公式如下：

15、

16、其中，允許的最大偏移量為和，為不同層之間的對準精度，在0到1之間，其中0表示完全未對準，1表示完全對準。

17、進一步地，獲取通孔的總面積，依據(jù)的公式如下：

18、

19、其中，為通孔的總面積，為通孔的直徑；

20、金屬層與通孔的重疊面積的比例為下式：

21、

22、其中，為金屬層與通孔的重疊面積，為金屬層與通孔的中心距離，為金屬層的半徑，，為金屬層的直徑，為通孔的半徑，；

23、獲取金屬層與通孔的重疊面積占通孔總面積的比例，依據(jù)的公式如下：

24、

25、其中，為金屬層與通孔的重疊面積占通孔總面積的比例。

26、進一步地，將金屬層與通孔的重疊面積占通孔總面積的比例、不同層之間的對準度進行數(shù)據(jù)處理，并進行相關(guān)性分析，生成用于表征器件遷移后的精度系數(shù)，依據(jù)的公式如下：

27、

28、其中，為器件遷移后的精度系數(shù)，為不同層之間的對準精度的比例系數(shù)，為金屬層與通孔的重疊面積的比例系數(shù)。

29、進一步地，獲取每個溫度變化范圍內(nèi)的熱膨脹量，依據(jù)的公式如下：

30、

31、其中，為溫度變化范圍內(nèi)的熱膨脹量，為熱膨脹系數(shù)，為對應的溫度變化范圍；

32、溫度影響系數(shù)通過回歸分析來確定，使用線性回歸模型，公式如下：

33、

34、其中，為溫度影響系數(shù)，為誤差項。

35、進一步地，將生成的尺寸系數(shù)、精度系數(shù)以及溫度影響系數(shù)進行數(shù)據(jù)處理，并進行相關(guān)性分析，生成工藝遷移適應性系數(shù)，依據(jù)的公式如下：

36、

37、其中，為工藝遷移適應性系數(shù)，為溫度影響系數(shù)的比例系數(shù)，為器件遷移后的尺寸系數(shù)的比例系數(shù)，為不同層之間的對準精度的比例系數(shù)。

38、進一步地，將工藝遷移適應性系數(shù)和適應性系數(shù)閾值比較，評估工藝遷移后的器件尺寸精度情況，過程如下：

39、當，則?遷移后的器件尺寸變化超過了允許的范圍，那么工藝遷移精度沒有達到要求；

40、當，則遷移后的器件尺寸變化在允許的范圍內(nèi)，那么工藝遷移精度達到了要求；

41、其中，為一個預設(shè)的適應性系數(shù)閾值，用于評估工藝遷移后器件尺寸的精度情況。

42、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：

43、本發(fā)明通過采集遷移后器件尺寸的幾何圖形參數(shù)和對準精度參數(shù)以及溫度參數(shù)，將采集的金屬線條的寬度、相鄰線條之間的距離以及通孔的直徑進行數(shù)據(jù)處理和分析，生成用于表征器件遷移后的尺寸系數(shù)，將金屬層與通孔的重疊面積占通孔總面積的比例、不同層之間的對準度進行數(shù)據(jù)處理和分析，生成用于表征器件遷移后的精度系數(shù)，將熱膨脹系數(shù)和溫度變化范圍進行數(shù)據(jù)處理和分析，生成溫度影響系數(shù)，將生成的尺寸系數(shù)、精度系數(shù)以及溫度影響系數(shù)進行數(shù)據(jù)處理和分析，生成工藝遷移適應性系數(shù)，將工藝遷移適應性系數(shù)和適應性系數(shù)閾值比較，評估工藝遷移后的器件尺寸精度。因此，通過對多個影響遷移后器件尺寸精度的相關(guān)參數(shù)進行采集和數(shù)據(jù)處理，可以避免通過采集和分析單一參數(shù)導致的精度誤差，且采集不同方面的參數(shù)評估工藝遷移后的器件尺寸精度，可以提高檢查工藝遷移后的器件尺寸的精度。

技術(shù)特征：

1.一種檢查設(shè)計工藝遷移器件尺寸的方法，其特征在于，具體步驟包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查設(shè)計工藝遷移器件尺寸的方法，其特征在于：將采集的金屬線條的寬度、相鄰線條之間的距離以及通孔的直徑進行數(shù)據(jù)處理，并進行相關(guān)性分析，生成用于表征器件遷移后的尺寸系數(shù)，依據(jù)的公式如下：

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查設(shè)計工藝遷移器件尺寸的方法，其特征在于：獲取不同層之間的對準精度，依據(jù)的公式如下：

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的檢查設(shè)計工藝遷移器件尺寸的方法，其特征在于：

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的檢查設(shè)計工藝遷移器件尺寸的方法，其特征在于：將金屬層與通孔的重疊面積占通孔總面積的比例、不同層之間的對準度進行數(shù)據(jù)處理，并進行相關(guān)性分析，生成用于表征器件遷移后的精度系數(shù)，依據(jù)的公式如下：

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查設(shè)計工藝遷移器件尺寸的方法，其特征在于：

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查設(shè)計工藝遷移器件尺寸的方法，其特征在于：將生成的尺寸系數(shù)、精度系數(shù)以及溫度影響系數(shù)進行數(shù)據(jù)處理，并進行相關(guān)性分析，生成工藝遷移適應性系數(shù)，依據(jù)的公式如下：

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查設(shè)計工藝遷移器件尺寸的方法，其特征在于：將工藝遷移適應性系數(shù)和適應性系數(shù)閾值比較，評估工藝遷移后的器件尺寸精度情況，過程如下：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種檢查設(shè)計工藝遷移器件尺寸的方法，涉及工藝遷移器件尺寸精度檢測技術(shù)領(lǐng)域，具體步驟包括：采集遷移后器件尺寸的幾何圖形參數(shù)和對準精度參數(shù)以及溫度參數(shù)，所述幾何圖形參數(shù)包括金屬線條的寬度、相鄰線條之間的距離以及通孔的直徑，所述對準精度參數(shù)包括金屬層與通孔的重疊面積占通孔總面積的比例，以及不同層之間的對準精度，所述溫度參數(shù)包括熱膨脹系數(shù)和溫度變化范圍。本發(fā)明通過對多個影響遷移后器件尺寸精度的相關(guān)參數(shù)進行采集和數(shù)據(jù)處理，可以避免通過采集和分析單一參數(shù)導致的精度誤差，且采集不同方面的參數(shù)評估工藝遷移后的器件尺寸精度，可以提高檢查工藝遷移后的器件尺寸的精度。

技術(shù)研發(fā)人員：鄧云,王洪鵬,陳苗苗
受保護的技術(shù)使用者：中茵微電子（南京）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/5