觸控屏的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種觸控屏的制造方法，特別涉及一種具有單層氧化銦錫膜的觸控屏 的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 觸控屏的應(yīng)用非常廣泛，而具有單層氧化銦錫（Single Indium Tin Oxide，SIT0) 結(jié)構(gòu)的觸控屏因其厚度薄、制造成本較低，具有更廣闊的應(yīng)用前景。SITO觸控屏通常包括一 個基板、形成于基板上的氧化銦錫膜，所述氧化銦錫膜經(jīng)由蝕刻等方法形成大致呈矩陣排 列的多個第一電極和多個第二電極。多個第二電極和多個第一電極間隔設(shè)置。在第一方向 上同一列的多個第一電極之間電性連接。多個第二電極之間是絕緣的，為了在與第一方向 交叉的第二方向上使得同一列的多個第二電極之間電性連接，通常在交叉點處采用金屬搭 橋（bridge)的方式形成金屬導線以電性連接相鄰的第二電極，如采用銀、銅等金屬導線進 行金屬搭橋連接。
[0003] 由于金屬導線在可見光波段的反射率較高，導致強光下目視明顯，所以需將金屬 導線的寬度控制在l〇um以下。Bridge金屬導線一般利用黃光微影（lithography)制程蝕 刻形成，然而黃光微影制程工序較為繁瑣；或通過氣溶膠噴?。ˋerosol jet)形成，然而氣 溶膠噴印速度較為緩慢，導致加工效率較低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 鑒于上述狀況，有必要提供一種制程較為簡單且加工效率較高的觸控屏的制造方 法。
[0005] -種觸控屏的制造方法，其包括以下步驟：在基板上形成氧化銦錫膜；蝕刻氧化 銦錫膜以形成呈矩陣排列且相互絕緣的多個第一電極及多個第二電極，多個第一電極與多 個第二電極按列交替排列，沿第一方向排列的同一行第一電極之間相互電性連接，沿與該 第一方向交叉的第二方向排列的同一列的第二電極相互間隔；在氧化銦錫膜上形成多個絕 緣片，每個絕緣片覆蓋沿第一方向排列的同一行的相鄰的兩個第一電極的角部及沿第二方 向排列的同一列的相鄰的兩個第二電極的角部；采用噴墨印刷方法于相應(yīng)的絕緣片上形成 連接導線，以電性連接沿第二方向排列的同一列的第二電極；采用激光加工方法將連接導 線的寬度消減縮小至l〇um以內(nèi)。
[0006] 本發(fā)明的觸控屏的制造方法，利用噴墨技術(shù)及激光加工搭配形成連接導線，使連 接導線的寬度控制在l〇um以下，簡化了加工制程；且利用噴墨技術(shù)噴墨初步形成連接導 線，提高了加工效率。
【附圖說明】
[0007] 圖1為本發(fā)明實施方式的觸控屏的俯視圖。
[0008] 圖2為圖1中II處的放大圖。
[0009] 圖3為沿圖2中III-III線的放大剖視圖。
[0010] 圖4-圖8為圖2中II處的觸控屏的制造過程示意圖，其中圖4-圖6為剖視圖， 圖7-圖8為俯視圖，且圖7為圖6所示觸控屏的俯視圖。
[0011] 圖9為本發(fā)明實施方式的觸控屏的制造流程圖。
[0012] 主要元件符號說明
【主權(quán)項】
1. 一種觸控屏的制造方法，其包括以下步驟： 在基板上形成氧化銦錫膜； 蝕刻該氧化銦錫膜以形成呈矩陣排列且相互絕緣的多個第一電極及多個第二電極，多 個第一電極與多個第二電極按列交替排列，沿第一方向排列的同一行第一電極之間相互電 性連接，沿與該第一方向交叉的第二方向排列的同一列的第二電極相互間隔； 在氧化銦錫膜上形成多個絕緣片，每個絕緣片覆蓋沿第一方向排列的同一行的相鄰的 兩個第一電極的角部及沿第二方向排列的同一列的相鄰的兩個第二電極的角部； 采用噴墨印刷方法于相應(yīng)的絕緣片上形成連接導線，以電性連接沿第二方向排列的同 一列的第二電極； 采用激光加工方法將連接導線的寬度消減縮小至IOum以內(nèi)。
2. 如權(quán)利要求1所述的觸控屏的制造方法，其特征在于：在噴墨印刷形成連接導線時， 印刷后的連接導線的寬度為30unT50um。
3. 如權(quán)利要求1所述的觸控屏的制造方法，其特征在于：在采用激光加工方法減小連 接導線的寬度時，采用的激光為連續(xù)激光。
4. 如權(quán)利要求1所述的觸控屏的制造方法，其特征在于：在采用激光加工方法減小連 接導線的寬度時，采用的激光為脈沖激光。
5. 如權(quán)利要求1所述的觸控屏的制造方法，其特征在于：在采用激光加工方法減小連 接導線的寬度時，采用的激光的波長為l〇64nm。
6. 如權(quán)利要求1所述的觸控屏的制造方法，其特征在于：在形成氧化銦錫膜、形成絕緣 片及形成連接導線的各個步驟后均包含一固化步驟，以固化相應(yīng)的氧化銦錫膜、絕緣片及 連接導線。
7. 如權(quán)利要求6所述的觸控屏的制造方法，其特征在于：固化步驟采用的固化方法為 高溫固化、室溫固化及UV固化中的一種。
8. 如權(quán)利要求1所述的觸控屏的制造方法，其特征在于：采用噴墨印刷方法形成該連 接導線時,采用的墨水為納米銀墨水、納米金墨水及納米銅墨水中的一種。
9. 如權(quán)利要求1所述的觸控屏的制造方法，其特征在于：在基板上形成該氧化銦錫膜 的方法為濺射鍍膜方法。
10. 如權(quán)利要求1所述的觸控屏的制造方法，其特征在于：形成該絕緣片的方法為噴墨 印刷方法。
【專利摘要】一種觸控屏的制造方法，其包括以下步驟：在基板上形成氧化銦錫膜；蝕刻氧化銦錫膜以形成呈矩陣排列且相互絕緣的多個第一電極及多個第二電極，多個第一電極與多個第二電極按列交替排列，沿第一方向排列的同一行第一電極之間相互電性連接，沿與第一方向交叉的第二方向排列的同一列的第二電極相互間隔；在氧化銦錫膜上形成多個絕緣片，每個絕緣片覆蓋同一行的相鄰的兩個第一電極的角部及同一列的相鄰的兩個第二電極的角部；采用噴墨印刷方法于相應(yīng)的絕緣片上形成連接導線，以電性連接沿第二方向排列的同一列的第二電極；采用激光加工方法將連接導線的寬度消減縮小至10um以內(nèi)。該制造方法制程簡單且加工效率較高。
【IPC分類】G06F3-041
【公開號】CN104750279
【申請?zhí)枴緾N201310726870
【發(fā)明人】趙天行, 吳景揚, 宋斯偉, 魏清河
【申請人】鴻富錦精密工業(yè)（深圳）有限公司, 鴻海精密工業(yè)股份有限公司
【公開日】2015年7月1日
【申請日】2013年12月26日