專(zhuān)利名稱(chēng)：光盤(pán)托盤(pán)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型光盤(pán)托盤(pán)裝置屬于光盤(pán)制造領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
目前，傳統(tǒng)的濺鍍?cè)O(shè)備只能對(duì)濺鍍對(duì)象整體做濺鍍，而在光盤(pán)制造過(guò)程中，需要對(duì) 光盤(pán)濺鍍，由于光盤(pán)的特性，在內(nèi)圈以及外圈都需要保證不能被濺鍍，就需要專(zhuān)用的光盤(pán)濺 鍍?cè)O(shè)備，在光盤(pán)濺鍍?cè)O(shè)備中，要保證光盤(pán)準(zhǔn)確的被濺鍍，減少配件的消耗，回收貴重金屬。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是為避免現(xiàn)有技術(shù)的不足之處，而提供一種光盤(pán)專(zhuān)用的，高精 確度，能保證光盤(pán)準(zhǔn)確濺鍍的真空環(huán)境下的光盤(pán)托盤(pán)裝置。本實(shí)用新型的目的是通過(guò)以下措施來(lái)達(dá)到的，真空環(huán)境下的光盤(pán)托盤(pán)裝置包括上 蓋，短程汽缸，電源盒，冷水進(jìn)口，冷水出口，靶材，靶材固定座，小光盤(pán)罩，底座，光盤(pán)固定 座，大光盤(pán)罩，惰性氣體快插構(gòu)成，在上蓋上頂部正中開(kāi)有一孔，在孔內(nèi)安裝短程汽缸，靶材 安裝在靶材固定座上，靶材固定座中心有孔，短程汽缸穿過(guò)靶材固定座，靶材安裝在上蓋 內(nèi)，短程汽缸的一端固定有一小光盤(pán)罩，上蓋的頂部?jī)蛇叿謩e安裝有一冷水進(jìn)口與冷水出 口，短程汽缸側(cè)面安裝有一惰性氣體快插，在上蓋的頂部安裝有一電源盒，高壓直流電線通 過(guò)該電源盒與內(nèi)部相連接，底座中部有孔，光盤(pán)固定座固定在底座中間，底座內(nèi)放有大光盤(pán) 罩，光盤(pán)放入底座上的光盤(pán)固定座上，大光盤(pán)罩將光盤(pán)四周罩住保護(hù)，短程氣缸推動(dòng)上蓋， 短程汽缸上的小光盤(pán)罩就會(huì)緊緊罩在光盤(pán)內(nèi)圈，這樣保證濺鍍材料不會(huì)附著在底座上，而 是附著在光盤(pán)表面和大小光盤(pán)罩上，便于清潔與更換。本實(shí)用新型的上蓋的頂部?jī)蛇叿謩e安裝有一冷水進(jìn)口與冷水出口，通過(guò)冷水進(jìn)出 口可以將整個(gè)裝置控制在低溫的環(huán)境中，減少光盤(pán)變形。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，保證光盤(pán)準(zhǔn)確的被濺鍍，減少配件的消耗，能回收貴重金
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附圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。附圖2是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。附圖3是實(shí)用新型的立體示意圖。附圖4是實(shí)用新型的大光盤(pán)罩結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。圖中上蓋1，短程汽缸2，電源盒3，冷水進(jìn)口 4，冷水出口 5，靶材6，靶材固定座7， 小光盤(pán)罩8，底座9，光盤(pán)固定座10，大光盤(pán)罩11，惰性氣體快插12。
3[0013]如附圖1、附圖2、附圖3、附圖4所示，本實(shí)用新型真空環(huán)境下的光盤(pán)托盤(pán)裝置包括 上蓋1，短程汽缸2，電源盒3，冷水進(jìn)口 4，冷水出口 5，靶材6，靶材固定座7，小光盤(pán)罩8，底 座9，光盤(pán)固定座10，大光盤(pán)罩11，惰性氣體快插12構(gòu)成，在上蓋1上頂部正中開(kāi)有一孔，在 孔內(nèi)安裝短程汽缸2，靶材6安裝在靶材固定座7上，靶材固定座7中心有孔，短程汽缸穿過(guò) 靶材固定座，靶材6安裝在上蓋內(nèi)，短程汽缸的一端固定有一小光盤(pán)罩8，上蓋的頂部?jī)蛇?分別安裝有一冷水進(jìn)口 4與冷水出口 5，通過(guò)冷水進(jìn)出口可以將整個(gè)裝置控制在低溫的環(huán) 境中，減少光盤(pán)變形，短程汽缸側(cè)面安裝有一惰性氣體快插12，在上蓋的頂部安裝有一電源 盒3，高壓直流電線通過(guò)該電源盒與內(nèi)部相連接，底座9中部有孔，光盤(pán)固定座10固定在底 座中間，底座內(nèi)放有大光盤(pán)罩11，光盤(pán)放入底座上的光盤(pán)固定座上，大光盤(pán)罩11將光盤(pán)四 周罩住保護(hù)，短程氣缸推動(dòng)上蓋，短程汽缸上的小光盤(pán)罩8就會(huì)緊緊罩在光盤(pán)內(nèi)圈，這樣保 證濺鍍材料不會(huì)附著在底座上，而是附著在光盤(pán)表面和大小光盤(pán)罩上，便于清潔與更換。當(dāng)光盤(pán)放入底座上的光盤(pán)固定座上時(shí)，被光盤(pán)固定座上緊緊卡住，光盤(pán)四周都有 大光盤(pán)罩的保護(hù)，當(dāng)上蓋蓋上以后通過(guò)短程氣缸的作用，小光盤(pán)罩就會(huì)緊緊罩在光盤(pán)內(nèi)圈， 不需要濺鍍的位置，這樣保證濺鍍材料不會(huì)附著在底座上，而是附著在光盤(pán)表面和大小光 盤(pán)罩上，便于清潔與更換，閉合的上下蓋通過(guò)底座下面的連接真空泵的孔，將內(nèi)部抽成真 空，上蓋上的惰性氣體接口連接外部氣源將把惰性氣體充斥整個(gè)托盤(pán)裝置內(nèi)部.同時(shí)通過(guò) 上蓋上的連接電線，在光盤(pán)與靶材之間加以高壓直流電，使得金屬離子均勻的附著在光盤(pán) 表面。
權(quán)利要求一種光盤(pán)托盤(pán)裝置，包括上蓋，短程汽缸，電源盒，靶材，靶材固定座，底座，光盤(pán)固定座，惰性氣體快插構(gòu)成，在上蓋上頂部正中開(kāi)有一孔，在孔內(nèi)安裝短程汽缸，靶材安裝在靶材固定座上，靶材固定座中心有孔，短程汽缸穿過(guò)靶材固定座，靶材安裝在上蓋內(nèi)，短程汽缸側(cè)面安裝有一惰性氣體快插，在上蓋的頂部安裝有一電源盒，底座中部有孔，光盤(pán)固定座固定在底座中間，其特征是短程汽缸的一端固定有一小光盤(pán)罩，底座內(nèi)放有大光盤(pán)罩。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光盤(pán)托盤(pán)裝置，其特征是上蓋的頂部?jī)蛇叿謩e安裝有一冷水 進(jìn)口與冷水出口。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型光盤(pán)托盤(pán)裝置屬于光盤(pán)制造領(lǐng)域，真空環(huán)境下的光盤(pán)托盤(pán)裝置包括上蓋，短程汽缸，冷水進(jìn)口，冷水出口，靶材，靶材固定座，小光盤(pán)罩，底座，光盤(pán)固定座，大光盤(pán)罩，惰性氣體快插構(gòu)成，在上蓋上頂部正中開(kāi)有一孔，在孔內(nèi)安裝短程汽缸，靶材安裝在靶材固定座上，短程汽缸穿過(guò)靶材固定座，靶材安裝在上蓋內(nèi)，短程汽缸的一端固定有一小光盤(pán)罩，上蓋的頂部?jī)蛇叿謩e安裝有一冷水進(jìn)口與冷水出口，短程汽缸側(cè)面安裝有一惰性氣體快插，底座中部有孔，光盤(pán)固定座固定在底座中間，底座內(nèi)放有大光盤(pán)罩，光盤(pán)放入底座上的光盤(pán)固定座上，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，保證光盤(pán)準(zhǔn)確的被濺鍍，減少配件的消耗，能回收貴重金屬。
文檔編號(hào)G11B7/26GK201662990SQ20102012271
公開(kāi)日2010年12月1日 申請(qǐng)日期2010年2月27日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月27日
發(fā)明者李楚生 申請(qǐng)人:訊維數(shù)碼科技(中山)有限公司