專利名稱：在半導(dǎo)體物料供應(yīng)設(shè)備中連鎖管理的方法及系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明有關(guān)一種半導(dǎo)體物料供應(yīng)設(shè)備的系統(tǒng)與方法，特別是半導(dǎo)體物料供應(yīng)設(shè)備換料的連鎖(interlocking)管理的系統(tǒng)與方法。
(2)背景技術(shù)在半導(dǎo)體制造系統(tǒng)中以控制器來控制在半導(dǎo)體制造中不同的制程步驟；例如圖1所示為物料供應(yīng)設(shè)備系統(tǒng)。一般而言，在一物料供應(yīng)設(shè)備管理系統(tǒng)105中，一監(jiān)控系統(tǒng)111，例如一部電腦，連接至一包括許多物料供應(yīng)設(shè)備的物料供應(yīng)設(shè)備系統(tǒng)114，例如氣體與化學(xué)物料供應(yīng)鋼瓶或儲存槽。傳統(tǒng)中，使用者可利用監(jiān)控系統(tǒng)111監(jiān)視到整個(gè)物料供應(yīng)設(shè)備管理系統(tǒng)105的情形，例如氣體的容量、化學(xué)物料的流量等等。
另一方面，半導(dǎo)體工廠的監(jiān)控系統(tǒng)111也可以連接至一采購及物料管理系統(tǒng)118以便物料核對統(tǒng)計(jì)。然而，若干偶然的疏失，例如將錯(cuò)誤的物料置入物料供應(yīng)設(shè)備中的情形會發(fā)生在半導(dǎo)體工廠中，其會造成后續(xù)嚴(yán)重的問題，例如產(chǎn)品報(bào)廢。另外，錯(cuò)誤的換料可能危及操作者及昂貴的半導(dǎo)體制造設(shè)備。此外，萬一不正常的情形發(fā)生時(shí)，無法追蹤到換料的記錄及統(tǒng)計(jì)。另一方面，換料的記錄及統(tǒng)計(jì)無法自動(dòng)被建立以利原采購記錄及統(tǒng)計(jì)的比對工作。
(3)發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的主要目的在于提供一在半導(dǎo)體制造設(shè)備管理系統(tǒng)中物料供應(yīng)設(shè)備的連鎖管理的系統(tǒng)及方法，換料的記錄及統(tǒng)計(jì)可以由一控制與監(jiān)視整合系統(tǒng)取回并加以儲存。
本發(fā)明的另一目的在于提供一在半導(dǎo)體工廠連鎖物料供應(yīng)設(shè)備的裝置及方法，控制與監(jiān)視整合系統(tǒng)可以檢視換料的記錄及統(tǒng)計(jì)，進(jìn)而監(jiān)測到換料的不正常情形。
本發(fā)明的又一目的在于提供一在物料供應(yīng)設(shè)備中的連鎖管理的系統(tǒng)及方法，控制與監(jiān)視整合系統(tǒng)可以傳送警示信息至物料供應(yīng)設(shè)備，進(jìn)而鎖住物料供應(yīng)設(shè)備使其無法執(zhí)行功能。
根據(jù)以上所述的目的，本發(fā)明一種在半導(dǎo)體制造系統(tǒng)中連鎖物料供應(yīng)設(shè)備的裝置至少包括一控制器；一條碼掃描器藉由一傳送系統(tǒng)與控制器相通訊，其用以收集物料供應(yīng)設(shè)備的一條碼數(shù)據(jù)；及數(shù)個(gè)警示裝置與控制器和物料供應(yīng)設(shè)備相連接，用以接收來自控制器的數(shù)個(gè)警示信息。
本發(fā)明一種在半導(dǎo)體制造系統(tǒng)中連鎖管理物料供應(yīng)設(shè)備換料的方法至少包括收集物料供應(yīng)設(shè)備的一更換物料數(shù)據(jù)；以一控制器比對更換物料數(shù)據(jù)，此控制器與物料供應(yīng)設(shè)備相通訊；從控制器送出一警示信息至物料供應(yīng)設(shè)備；及根據(jù)警示信息鎖住(disable)相對應(yīng)物料供應(yīng)設(shè)備。
為進(jìn)一步說明本發(fā)明的目的、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和效果，以下將結(jié)合附圖對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)的描述。
(4)


圖1為傳統(tǒng)半導(dǎo)體制造控制系統(tǒng)的方塊示意圖；圖2為應(yīng)用本發(fā)明在半導(dǎo)體制造控制系統(tǒng)的方塊示意圖；圖3為應(yīng)用本發(fā)明連鎖管理的流程示意圖；及圖4A至圖4E為應(yīng)用本發(fā)明在圖3的連鎖管理的詳細(xì)流程示意圖。
(5)具體實(shí)施方式
當(dāng)本發(fā)明以一較佳實(shí)施例來說明本發(fā)明方法時(shí)，習(xí)知此領(lǐng)域的人士應(yīng)有的認(rèn)知是許多的順序是可以互換，這些一般的替換無疑地亦不脫離本發(fā)明的精神及范圍。
本發(fā)明提供了一種在半導(dǎo)體制造系統(tǒng)中連鎖物料供應(yīng)設(shè)備的系統(tǒng)，至少包括一收集裝置，用以收集一使用者及物料數(shù)據(jù)；一通訊裝置，用以傳送使用者及物料數(shù)據(jù)；一控制器藉由通訊裝置與物料供應(yīng)設(shè)備和收集裝置相通訊，其用以發(fā)出數(shù)個(gè)警示信息；及一警示裝置與物料供應(yīng)設(shè)備相連接，并藉由通訊裝置與控制器相通訊，其用以顯示警示信息及控制物料供應(yīng)設(shè)備。一種在半導(dǎo)體制造系統(tǒng)中連鎖管理物料供應(yīng)設(shè)備換料的方法至少包括收集物料供應(yīng)設(shè)備的一更換物料數(shù)據(jù)；以一控制器比對更換物料數(shù)據(jù)，此控制器與物料供應(yīng)設(shè)備相通訊；從控制器送出一警示信息置物料供應(yīng)設(shè)備；及根據(jù)警示信息鎖住(disable)相對應(yīng)物料供應(yīng)設(shè)備。
參照圖2所示，一半導(dǎo)體物料供應(yīng)設(shè)備管理系統(tǒng)5包括一無線控制與監(jiān)視整合系統(tǒng)11，例如一標(biāo)準(zhǔn)個(gè)人電腦。在無線控制與監(jiān)視整合系統(tǒng)11中的軟件(圖上未示出)具有旁道(by-pass)條碼功能使得無線控制與監(jiān)視整合系統(tǒng)11可以從條碼編譯及解譯信息。一輸出/入裝置12，例如網(wǎng)絡(luò)集線器(hub)，與無線控制與監(jiān)視整合系統(tǒng)11及許多物料供應(yīng)設(shè)備14及15相連接；在本實(shí)施例中，物料供應(yīng)設(shè)備14及15分別為氣體及化物供應(yīng)系統(tǒng)，且各自有物料認(rèn)明的條碼(圖上未示出)貼于其上。一通訊基臺13，例如無線基地臺，經(jīng)由一區(qū)域電腦網(wǎng)絡(luò)20，例如以太網(wǎng)(ethernet)與輸出/入裝置12相連接。一掃描器16，例如條碼掃描器可以從物料供應(yīng)設(shè)備14及15收集到物料認(rèn)明條碼的信息，并且可以與通訊基臺13無線通訊。此外，一例如一部電腦的應(yīng)用與控制中心17和無線控制與監(jiān)視整合系統(tǒng)11相連接，用以允許現(xiàn)場外的使用者監(jiān)視物料供應(yīng)設(shè)備系統(tǒng)情形。另外，監(jiān)視整合系統(tǒng)11可以通過內(nèi)部網(wǎng)絡(luò)與一采購與物料管理系統(tǒng)18相連接。
在正常操作情形下，半導(dǎo)體制造系統(tǒng)會被調(diào)節(jié)至一最適合操作的模式。而使用者也許可以利用無線控制與監(jiān)視整合系統(tǒng)選擇一換料模式，例如在物料供應(yīng)設(shè)備中更換將耗盡的氣體鋼瓶。如圖3所示，處于換料模式的無線控制與監(jiān)視整合系統(tǒng)會提醒使用者執(zhí)行掃描條碼的步驟，并且自動(dòng)監(jiān)測掃描條碼的信號是否有傳入(步驟21)。接著，使用者必須在掃描器中輸入其身分認(rèn)明以作為換料許可(步驟22)。一但使用者被授權(quán)換料許可，便可以利用掃描器執(zhí)行收集所更換物料的數(shù)據(jù)(步驟23)。包括使用者身分及所更換物料的數(shù)據(jù)可經(jīng)由通訊基臺和輸出入裝置傳至無線控制與監(jiān)視整合系統(tǒng)(步驟24)。無線控制與監(jiān)視整合系統(tǒng)可以比對從掃描器傳來的數(shù)據(jù)，然后顯示出換料的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)(步驟25)。以下的圖示則將針對圖3的各步驟加以詳細(xì)說明。
圖4A所示為圖3的步驟21的詳細(xì)流程。使用者在操作選單中選擇一停止指令以便換料，然后無線控制與監(jiān)視整合系統(tǒng)會切換到一換料模式(步驟31)。在換料模式的無線控制與監(jiān)視整合系統(tǒng)首先會在屏幕上顯示一提示提醒使用者執(zhí)行掃描條碼的步驟(步驟32)，并且監(jiān)測來自掃描器的信號。一旦掃描器的信號沒有在特定的時(shí)間傳入無線控制與監(jiān)視整合系統(tǒng)(步驟33)，無線控制與監(jiān)視整合系統(tǒng)會顯示一有關(guān)逾時(shí)的通知(步驟34)；另外，若無線控制與監(jiān)視整合系統(tǒng)有收到掃描器的信號，則它會處于一待機(jī)狀態(tài)(步驟35)。
圖4B所示為圖3的步驟22的詳細(xì)流程。使用者首先打開掃描器電源以開始執(zhí)行掃描步驟(步驟36)。基于安全管理的考慮，掃描器首先會詢問使用者的身分號碼(步驟37)。接著，使用者亦需輸入密碼以回應(yīng)掃描器的詢問(步驟38)。一旦身分號碼與密碼可以吻合(步驟39)，掃描器就可切換到允許執(zhí)行掃描的模式(步驟40)，否則將回到先前的詢問步驟。
圖4C所示為圖3的步驟23的詳細(xì)流程。使用者以掃描器掃描一貼于物料供應(yīng)設(shè)備上的條碼以收集所更換物料數(shù)據(jù)(步驟41)；然后經(jīng)由通訊基臺和輸出入裝置的乙太網(wǎng)絡(luò)將包括使用者及所更換物料的數(shù)據(jù)傳入無線控制與監(jiān)視整合系統(tǒng)(步驟42)。
圖3比對步驟24于圖4D詳細(xì)說明。當(dāng)無線控制與監(jiān)視整合系統(tǒng)監(jiān)測并接收到使用者及條碼的數(shù)據(jù)時(shí)(步驟43)，它可以利用其一具有旁路條碼功能的軟件解譯使用者及條碼的數(shù)據(jù)(步驟44)。一旦比對使用者及條碼的數(shù)據(jù)是正確的(步驟45)，則此數(shù)據(jù)會被儲存在無線控制與監(jiān)視整合系統(tǒng)中以利后續(xù)使用，并且相對應(yīng)的物料供應(yīng)設(shè)備可繼續(xù)執(zhí)行后續(xù)步驟(步驟47)；否則，不正常狀態(tài)的回應(yīng)及警示會被顯示在屏幕上，并且回傳至相對應(yīng)的物料供應(yīng)設(shè)備(步驟46)。特別要強(qiáng)調(diào)的是，不正常狀態(tài)的回應(yīng)及警示也會顯示在其他包括應(yīng)用與控制中心及相對應(yīng)物料供應(yīng)設(shè)備等的終端上。
圖4E為本發(fā)明的一重要關(guān)鍵；為圖3的步驟25的詳細(xì)說明。從無線控制與監(jiān)視整合系統(tǒng)傳出不正常狀態(tài)的回應(yīng)及警示的信息(步驟53)。接著，對于可以外加連鎖(interlocking)功能的相對應(yīng)物料供應(yīng)設(shè)備而言(步驟48)，警示可以直接用來鎖住(disable)物料供應(yīng)設(shè)備本身使其不能使用(步驟49)，例如鎖住相對應(yīng)物料供應(yīng)設(shè)備上一″確認(rèn)″按鍵。另一方面，警示也可以同時(shí)顯示在物料供應(yīng)設(shè)備、無線控制與監(jiān)視整合系統(tǒng)及應(yīng)用與控制中心(步驟50)；而警示的模式可以是發(fā)出嗶嗶聲或是視訊警示信息。另外，無線控制與監(jiān)視整合系統(tǒng)可在其顯示幕上鎖住相對應(yīng)的物料供應(yīng)設(shè)備的后續(xù)步驟(步驟51)使使用者不能使用不正常的物料供應(yīng)設(shè)備。對于缺乏可外加連鎖功能的物料供應(yīng)設(shè)備，警示也許顯示在物料供應(yīng)設(shè)備、無線控制與監(jiān)視整合系統(tǒng)的顯示幕或應(yīng)用與控制中心上(步驟52)而沒有鎖住物料供應(yīng)設(shè)備的操作。連鎖的好處就是可以避免警示信息被忽略而沒有處理。
在此特別要強(qiáng)調(diào)的是，在本發(fā)明中，使用者及條碼的數(shù)據(jù)可以包括使用者名字、所更換物料名稱、批號、制造日期及期限。另一方面，這些數(shù)據(jù)也可傳送至應(yīng)用與控制中心以作為換料統(tǒng)計(jì)，或經(jīng)由內(nèi)部網(wǎng)絡(luò)傳至采購與物料管理系統(tǒng)以與采購紀(jì)錄進(jìn)行比對。再一方面，無線控制與監(jiān)視整合系統(tǒng)和采購與物料管理系統(tǒng)示通過內(nèi)部網(wǎng)絡(luò)通訊，與工廠內(nèi)的乙太網(wǎng)絡(luò)是分開的；一旦警示信號在物料供應(yīng)設(shè)備管理系統(tǒng)間傳遞，它不會受到公司內(nèi)部網(wǎng)絡(luò)的影響而中斷或延遲。
本發(fā)明的目的在于提供一種物料供應(yīng)設(shè)備管理的系統(tǒng)及方法，以減少換料及人為疏失所造成的不正常情形。本發(fā)明有許多的好處，首先，包括使用者及物料的更換物料紀(jì)錄與統(tǒng)計(jì)可以追蹤得到，并且與原始采購紀(jì)錄相比對；其次，換料可以自動(dòng)被紀(jì)錄于倉庫的庫存紀(jì)錄上加以計(jì)算消耗量，這樣可以減少庫存管理上的花費(fèi)，并減少錯(cuò)誤發(fā)生；第三，所更換物料的數(shù)據(jù)由掃描器收集至無線控制與監(jiān)視整合系統(tǒng)進(jìn)行比對，可以減少偶然的疏失，進(jìn)而即時(shí)反映不正常的換料情形。另外，在物料供應(yīng)設(shè)備管理系統(tǒng)中不正常的換料情形的后續(xù)步驟可以經(jīng)由連鎖動(dòng)作被中斷，這樣可以防止后續(xù)更嚴(yán)重的情形發(fā)生。
當(dāng)然，本技術(shù)領(lǐng)域中的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)認(rèn)識到，以上的實(shí)施例僅是用來說明本發(fā)明，而并非用作為對本發(fā)明的限定，只要在本發(fā)明的實(shí)質(zhì)精神范圍內(nèi)，對以上所述實(shí)施例的變化、變型都將落在本發(fā)明權(quán)利要求書的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種在半導(dǎo)體制造系統(tǒng)中連鎖物料供應(yīng)設(shè)備的裝置，其特征在于，該裝置至少包括一控制器，用以處理一條碼數(shù)據(jù)；一條碼掃描器，藉由一傳送系統(tǒng)與該控制器相通訊，該條碼掃描器用以收集該物料供應(yīng)設(shè)備的該條碼數(shù)據(jù)；及數(shù)個(gè)警示裝置與該控制器和該物料供應(yīng)設(shè)備相連接，該警示裝置用以接收來自該控制器的數(shù)個(gè)警示信息。
2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述的控制器至少包括一軟件，該軟件具有一旁路條碼的功能。
3.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述的控制器的處理步驟包括；經(jīng)由該傳送系統(tǒng)從該掃描器接收該條碼數(shù)據(jù)；比對該條碼數(shù)據(jù)；傳送該警示信息至該警示裝置；及根據(jù)該警示信息鎖住該物料供應(yīng)設(shè)備。
4.如權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，所述的處理步驟還包括顯示該警示信息于該控制器的一顯示幕上，及在該顯示幕上鎖住該相對應(yīng)的物料供應(yīng)設(shè)備的數(shù)個(gè)后續(xù)步驟。
5.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述的傳送系統(tǒng)至少包括一無線通訊基臺及一輸出入裝置。
6.如權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于，所述的無線通訊基臺藉由一區(qū)域網(wǎng)路與該輸出入裝置相連接。
7.如權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于，所述的輸出入裝置可以是一網(wǎng)絡(luò)集線器。
8.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述的條碼數(shù)據(jù)至少包括一物料名稱；一物料批號；一物料量；及一物料認(rèn)證用以供該控制器比對使用。
9.一種在半導(dǎo)體制造系統(tǒng)中連鎖物料供應(yīng)設(shè)備的系統(tǒng)，其特征在于，該系統(tǒng)至少包括一收集裝置用以收集一使用者及物料數(shù)據(jù)；一通訊裝置用以傳送該使用者及物料數(shù)據(jù)；一控制器藉由該通訊裝置與該物料供應(yīng)設(shè)備和該收集裝置相通訊，該控制器用以發(fā)出數(shù)個(gè)警示信息；及一警示裝置與該物料供應(yīng)設(shè)備相連接，并藉由該通訊裝置與該控制器相通訊，該警示裝置用以顯示該警示信息及控制該物料供應(yīng)設(shè)備。
10.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述的收集裝置至少包括一條碼掃描器。
11.如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述的使用者數(shù)據(jù)藉由該條碼掃描器的一輸入裝置輸入該條碼掃描器中。
12.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述的物料數(shù)據(jù)儲存于貼于該每一物料供應(yīng)設(shè)備上的一條碼中。
13.如權(quán)利要求12所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述的條碼至少包括一物料名稱；一物料批號；一物料量；及一物料認(rèn)證用以供該控制器比對使用。
14.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述的通訊裝置至少包括一無線通訊基臺及一輸出入裝置。
15.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述的控制器至少包括與數(shù)個(gè)外部控制器相通訊。
16.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述的控制器用以處理該使用者與物料數(shù)據(jù)，該處理步驟至少包括經(jīng)由該通訊裝置從該收集裝置接收該使用者與物料數(shù)據(jù)；比對該使用者與物料數(shù)據(jù)；傳送該警示信息至該警示裝置；及根據(jù)該警示信息鎖住該相對應(yīng)的物料供應(yīng)設(shè)備。
17.如權(quán)利要求16所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述的控制器還顯示該警示信息及該使用者與物料數(shù)據(jù)于該控制器的一顯示幕上，及于該顯示幕上鎖住該對應(yīng)物料供應(yīng)設(shè)備的數(shù)個(gè)后續(xù)步驟。
18.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述的警示裝置至少包括一警示按鍵與該物料供應(yīng)設(shè)備的一控制裝置相連接，該警示按鍵可以根據(jù)該警示信息鎖住該控制裝置。
19.一種在半導(dǎo)體制造系統(tǒng)中連鎖管理物料供應(yīng)設(shè)備換料的方法，其特征在于，該方法至少包括收集該物料供應(yīng)設(shè)備的一更換物料數(shù)據(jù)；以一控制器比對該更換物料數(shù)據(jù)，該控制器與該物料供應(yīng)設(shè)備相通訊；從該控制器送出一警示信息至該物料供應(yīng)設(shè)備；及根據(jù)該警示信息鎖住該相對應(yīng)物料供應(yīng)設(shè)備。
20.如權(quán)利要求19所述的方法，其特征在于，還包括授權(quán)一使用者收集該更換物料數(shù)據(jù)；藉由一無線通訊基地臺及一區(qū)域網(wǎng)絡(luò)傳送該更換物料數(shù)據(jù)至該控制器；及顯示該更換物料數(shù)據(jù)及該警示信息于該控制器的一顯示幕上。
21.如權(quán)利要求19所述的方法，其特征在于，所述的鎖住步驟至少包括于該控制器的一顯示幕上鎖住該相對應(yīng)物料供應(yīng)設(shè)備的數(shù)個(gè)后續(xù)步驟。
22.如權(quán)利要求19所述的方法，其特征在于，所述的收集步驟利用一條碼掃描器完成。
23.如權(quán)利要求19所述的方法，其特征在于，所述的更換物料數(shù)據(jù)至少包括一使用者身分認(rèn)證。
24.如權(quán)利要求19所述的方法，其特征在于，所述的更換物料數(shù)據(jù)至少包括一儲存于一條碼的一更換物料的一名稱及一批號。
25.如權(quán)利要求19所述的方法，其特征在于，所述的比對步驟至少包括與該控制器中的一數(shù)據(jù)庫比對該更換物料數(shù)據(jù)。
全文摘要
本發(fā)明有關(guān)一種在半導(dǎo)體制造系統(tǒng)中連鎖物料供應(yīng)設(shè)備的系統(tǒng)，至少包括一收集裝置，用以收集一使用者及物料數(shù)據(jù)；一通訊裝置，用以傳送使用者及物料數(shù)據(jù)；一控制器，藉由通訊裝置與物料供應(yīng)設(shè)備和收集裝置相通訊，其用以發(fā)出數(shù)個(gè)警示信息；及一警示裝置與物料供應(yīng)設(shè)備相連接，并藉由通訊裝置與控制器相通訊，用以顯示警示信息及控制物料供應(yīng)設(shè)備。一種在半導(dǎo)體制造系統(tǒng)中連鎖管理物料供應(yīng)設(shè)備換料的方法至少包括收集物料供應(yīng)設(shè)備的一更換物料數(shù)據(jù)；以一控制器比對更換物料數(shù)據(jù)，此控制器與物料供應(yīng)設(shè)備相通訊；從控制器送出一警示信息至物料供應(yīng)設(shè)備；及根據(jù)警示信息鎖住(disable)相對應(yīng)物料供應(yīng)設(shè)備。
文檔編號H01L21/00GK1400559SQ0212684
公開日2003年3月5日 申請日期2002年7月19日 優(yōu)先權(quán)日2001年7月30日
發(fā)明者郭欣育, 李大偉, 葉福錦, 吳岳峯, 逢駿生 申請人:聯(lián)華電子股份有限公司