專(zhuān)利名稱(chēng)：一種過(guò)載緩沖保護(hù)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種過(guò)載緩沖保護(hù)裝置，尤其涉及一種應(yīng)用于光刻設(shè)備上的過(guò)載緩沖保護(hù)裝置。
背景技術(shù)：
在超大規(guī)模集成電路光學(xué)光刻中，決定微細(xì)圖形最細(xì)線(xiàn)寬的主要因素是光刻設(shè)備的光刻工作分辨力，而掩模版和硅片的同步掃描運(yùn)動(dòng)是影響光刻分辨力的關(guān)鍵因素之一。隨著大規(guī)模集成電路器件集成度的提高，光刻機(jī)工作分辨率和產(chǎn)率要求愈來(lái)愈高，即要求光刻機(jī)承版臺(tái)和承片臺(tái)的同步運(yùn)動(dòng)精度和步近掃描速度也得愈來(lái)愈高。
現(xiàn)有的光刻設(shè)備在交接掩模版時(shí)，如果承版臺(tái)和接版機(jī)械手位置未對(duì)準(zhǔn)或傳感器失效，接版機(jī)械手就會(huì)撞到承版臺(tái)上。而承版臺(tái)是一個(gè)非常精密的貴重核心部件，所以保護(hù)不必要的損傷是非常重要的。此外，在和版叉交接掩模版時(shí)，若未對(duì)準(zhǔn)時(shí)，也會(huì)出現(xiàn)碰撞現(xiàn)象，所以設(shè)置過(guò)載保護(hù)是非常必要的。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種掩模版?zhèn)鬏敃r(shí)的過(guò)載緩沖保護(hù)裝置。
本發(fā)明是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的一種過(guò)載緩沖保護(hù)裝置，包括可被提升的主動(dòng)塊；與接版機(jī)械手相連的從動(dòng)塊；彈性元件，連接主動(dòng)塊和從動(dòng)塊；檢測(cè)主動(dòng)塊和從動(dòng)塊相對(duì)位移的傳感裝置，所述傳感裝置通過(guò)控制回路實(shí)時(shí)地控制電機(jī)緊急制動(dòng)。
傳感裝置包括過(guò)載傳感器和過(guò)載傳感器檢測(cè)片，其中，過(guò)載傳感器固定在從動(dòng)塊上，過(guò)載傳感器檢測(cè)片固定在主動(dòng)塊上，或者，過(guò)載傳感器固定在主動(dòng)塊上，過(guò)載傳感器檢測(cè)片固定在從動(dòng)塊上。
所述過(guò)載緩沖保護(hù)裝置還包括定位銷(xiāo)釘，引導(dǎo)主動(dòng)塊相對(duì)于從動(dòng)塊運(yùn)動(dòng)，調(diào)整主動(dòng)塊和從動(dòng)塊之間的最大位移量。
所述過(guò)載緩沖保護(hù)裝置還包括了上、下限位傳感器，限定主動(dòng)塊和從動(dòng)塊的移動(dòng)范圍。
電機(jī)通過(guò)齒形帶驅(qū)動(dòng)絲杠，帶動(dòng)主動(dòng)塊上升。主動(dòng)塊通過(guò)彈性元件拉動(dòng)固定在一起的從動(dòng)塊和接版機(jī)械手。接版機(jī)械手碰到掩模版或承版臺(tái)時(shí)，彈性元件發(fā)生形變，主動(dòng)塊和從動(dòng)塊產(chǎn)生相對(duì)位移。當(dāng)主動(dòng)塊和從動(dòng)塊產(chǎn)生相對(duì)位移時(shí)，過(guò)載傳感器檢測(cè)片與過(guò)載傳感器也相應(yīng)地產(chǎn)生相對(duì)位移。過(guò)載傳感器檢測(cè)到與過(guò)載傳感器檢測(cè)片間的相對(duì)位移后，通過(guò)控制回路實(shí)時(shí)地控制電機(jī)緊急制動(dòng)。彈性元件是彈簧。
本發(fā)明通過(guò)主動(dòng)塊、從動(dòng)塊和彈性元件構(gòu)成過(guò)載緩沖保護(hù)裝置，同時(shí)通過(guò)過(guò)載傳感裝置實(shí)現(xiàn)對(duì)電機(jī)的控制，從而避免了在交接掩模版過(guò)程中出現(xiàn)垂向過(guò)載情況，以有效地保護(hù)掩模版和承版臺(tái)，經(jīng)過(guò)實(shí)際測(cè)試，在實(shí)際工作中不僅有效、而且安全可靠，大大降低了損傷掩模版或承版臺(tái)的機(jī)率。


圖1是過(guò)載緩沖保護(hù)裝置示意圖。
標(biāo)號(hào)說(shuō)明
1、接版機(jī)械手 2、彈簧 3、上限位傳感器 4、絲杠5、下限位傳感器 6、同步齒形帶 7、主動(dòng)塊 8、定位銷(xiāo)釘9、從動(dòng)塊 10、過(guò)載傳感器檢測(cè)片11、過(guò)載傳感器 12、電機(jī)具體實(shí)施方式
本發(fā)明的過(guò)載緩沖保護(hù)裝置應(yīng)用在光刻設(shè)備中的掩模版交接裝置中，在接版機(jī)械手向上運(yùn)動(dòng)過(guò)程中起保護(hù)作用。如圖1所示，過(guò)載緩沖保護(hù)裝置主要包括可被提升的主動(dòng)塊7、與接版機(jī)械手1相連的從動(dòng)塊9、定位銷(xiāo)釘8、彈簧2、過(guò)載傳感器檢測(cè)片10和過(guò)載傳感器11組成。其中，過(guò)載傳感器11是光耦傳感器。主動(dòng)塊和從動(dòng)塊可通過(guò)類(lèi)似于彈簧2的彈性元件相連，為了平衡本發(fā)明使用了兩根彈簧。主動(dòng)塊7相對(duì)從動(dòng)塊9運(yùn)動(dòng)時(shí)用定位銷(xiāo)釘8導(dǎo)向。主動(dòng)塊7與絲杠4配合傳動(dòng)，從動(dòng)塊與接版機(jī)械手1固連在一起，接版機(jī)械手1固定在一個(gè)線(xiàn)性導(dǎo)軌的滑塊上。彈簧2一端掛在主動(dòng)塊7上，另一端掛在從動(dòng)塊9上，正常工作時(shí)主動(dòng)塊7和從動(dòng)塊9由彈簧2拉著靠在一起。在本發(fā)明的實(shí)施例中，過(guò)載傳感器檢測(cè)片10固定在主動(dòng)塊7上，過(guò)載傳感器11固定在從動(dòng)塊9上。上限位傳感器3和下限位傳感器5設(shè)定了正常工作范圍。
在交接掩模版時(shí)，接版機(jī)械手1需要升降，其上升過(guò)程如下電機(jī)12通過(guò)同步齒形帶6驅(qū)動(dòng)絲杠4，絲杠4帶動(dòng)過(guò)載緩沖保護(hù)裝置的主動(dòng)塊7上升。主動(dòng)塊7上升的過(guò)程中，通過(guò)彈簧2拉動(dòng)從動(dòng)塊9，從而帶動(dòng)與從動(dòng)塊9固定在一起的接版機(jī)械手1抬升。接版機(jī)械手1在抬升過(guò)程中隨時(shí)會(huì)碰到掩模版或承版臺(tái)，也就是在上升方向上受到一個(gè)阻力，這使得過(guò)載緩沖保護(hù)裝置的主動(dòng)塊7和從動(dòng)塊9發(fā)生相對(duì)位移。當(dāng)主動(dòng)塊7相對(duì)從動(dòng)塊9有位移時(shí)，過(guò)載傳感器檢測(cè)片10移出光耦過(guò)載傳感器11，使得有信號(hào)產(chǎn)生。過(guò)載傳感器11檢測(cè)到信號(hào)后通過(guò)控制回路實(shí)時(shí)傳給電機(jī)12以緊急制動(dòng)，在這過(guò)程中，彈簧2起了緩沖作用，使得掩模版或承版臺(tái)不會(huì)被碰壞。此后，彈簧2又將主動(dòng)塊7和從動(dòng)塊9拉緊在一起，定位銷(xiāo)釘8用于調(diào)整主動(dòng)塊7和從動(dòng)塊9之間的最大位移量。
發(fā)生這段相對(duì)位移量的時(shí)間要遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于控制回路的響應(yīng)時(shí)間，使得系統(tǒng)有足夠的時(shí)間對(duì)電機(jī)實(shí)施制動(dòng)。同時(shí)，當(dāng)接版機(jī)械手1碰到掩模版或承版臺(tái)時(shí)，主動(dòng)塊7和從動(dòng)塊9通過(guò)彈簧2發(fā)生相對(duì)位移，減小了碰撞的力，起到了緩沖的作用。通過(guò)這兩點(diǎn)使得本發(fā)明的過(guò)載緩沖保護(hù)裝置十分有效和可靠，大大降低了損傷掩模版或承版臺(tái)的機(jī)率。
權(quán)利要求
1.一種過(guò)載緩沖保護(hù)裝置，其特征在于包括可被提升的主動(dòng)塊；與接版機(jī)械手相連的從動(dòng)塊；彈性元件，連接主動(dòng)塊和從動(dòng)塊；檢測(cè)主動(dòng)塊和從動(dòng)塊相對(duì)位移的傳感裝置，所述傳感裝置通過(guò)控制回路實(shí)時(shí)地控制電機(jī)緊急制動(dòng)。
2.如權(quán)利要求1所述的過(guò)載緩沖保護(hù)裝置，其特征在于傳感裝置包括過(guò)載傳感器和過(guò)載傳感器檢測(cè)片，其中，過(guò)載傳感器固定在從動(dòng)塊上，過(guò)載傳感器檢測(cè)片固定在主動(dòng)塊上，或者，過(guò)載傳感器固定在主動(dòng)塊上，過(guò)載傳感器檢測(cè)片固定在從動(dòng)塊上。
3.如權(quán)利要求1或2所述的過(guò)載緩沖保護(hù)裝置，其特征在于所述過(guò)載緩沖保護(hù)裝置還包括定位銷(xiāo)釘，引導(dǎo)主動(dòng)塊相對(duì)于從動(dòng)塊運(yùn)動(dòng)，調(diào)整主動(dòng)塊和從動(dòng)塊之間的最大位移量。
4.如權(quán)利要求3所述的過(guò)載緩沖保護(hù)裝置，其特征在于所述過(guò)載緩沖保護(hù)裝置還包括了上、下限位傳感器，限定主動(dòng)塊和從動(dòng)塊的移動(dòng)范圍。
5.如權(quán)利要求1所述的過(guò)載緩沖保護(hù)裝置，其特征在于電機(jī)通過(guò)齒形帶驅(qū)動(dòng)絲杠，帶動(dòng)主動(dòng)塊上升。
6.如權(quán)利要求5所述的過(guò)載緩沖保護(hù)裝置，其特征在于主動(dòng)塊通過(guò)彈性元件拉動(dòng)固定在一起的從動(dòng)塊和接版機(jī)械手。
7.如權(quán)利要求6所述的過(guò)載緩沖保護(hù)裝置，其特征在于接版機(jī)械手碰到掩模版或承版臺(tái)時(shí)，彈性元件發(fā)生形變，主動(dòng)塊和從動(dòng)塊產(chǎn)生相對(duì)位移。
8.如權(quán)利要求7所述的過(guò)載緩沖保護(hù)裝置，其特征在于當(dāng)主動(dòng)塊和從動(dòng)塊產(chǎn)生相對(duì)位移時(shí)，過(guò)載傳感器檢測(cè)片與過(guò)載傳感器也相應(yīng)地產(chǎn)生相對(duì)位移。
9.如權(quán)利要求8所述的過(guò)載緩沖保護(hù)裝置，其特征在于過(guò)載傳感器檢測(cè)到與過(guò)載傳感器檢測(cè)片間的相對(duì)位移后，通過(guò)控制回路實(shí)時(shí)地控制電機(jī)緊急制動(dòng)。
10.如權(quán)利要求1或6或7所述的過(guò)載緩沖保護(hù)裝置，其特征在于彈性元件是彈簧。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種過(guò)載緩沖保護(hù)裝置，包括可被提升的主動(dòng)塊；與接版機(jī)械手相連的從動(dòng)塊；彈性元件，連接主動(dòng)塊和從動(dòng)塊；檢測(cè)主動(dòng)塊和從動(dòng)塊相對(duì)位移的傳感裝置，所述傳感裝置通過(guò)控制回路實(shí)時(shí)地控制電機(jī)緊急制動(dòng)。本發(fā)明通過(guò)主動(dòng)塊、從動(dòng)塊和彈性元件構(gòu)成過(guò)載緩沖保護(hù)裝置，同時(shí)通過(guò)過(guò)載傳感裝置實(shí)現(xiàn)對(duì)電機(jī)的控制，從而避免了在交接掩模版過(guò)程中出現(xiàn)垂向過(guò)載情況，以有效地保護(hù)掩模版和承版臺(tái)，經(jīng)過(guò)實(shí)際測(cè)試，在實(shí)際工作中不僅有效、而且安全可靠，大大降低了損傷掩模版或承版臺(tái)的機(jī)率。
文檔編號(hào)H01L21/00GK1851558SQ20061002726
公開(kāi)日2006年10月25日 申請(qǐng)日期2006年6月2日 優(yōu)先權(quán)日2006年6月2日
發(fā)明者齊芊楓, 李生強(qiáng) 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司