專利名稱：：減小容量的載運(yùn)器,輸送工具,裝載端口和緩沖器系統(tǒng)的制作方法減小容量的載運(yùn)器，輸送工具，裝載端口和緩沖器系統(tǒng)相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用本申請(qǐng)是2006年11月3日提交的美國(guó)專利(序列號(hào)11/556,584)的繼續(xù)申請(qǐng)，其中美國(guó)專利(序列號(hào)U/556,584)要求美國(guó)臨時(shí)申請(qǐng)No.60/733,83的利益，美國(guó)臨時(shí)申請(qǐng)No.60/733,813的于2005年11月7日提交，其通過(guò)引用而整體結(jié)合在本文中。領(lǐng)域本文所描述的示范性實(shí)施例涉及基底(substrate)處理系統(tǒng)，而具體地講涉及基底輸送系統(tǒng)、輸送載運(yùn)器、輸送工具與處理工具之間的界面和裝置。早先相關(guān)的實(shí)施例電子裝置制造中首要的力量是消費(fèi)者要求以更低的價(jià)格獲得更強(qiáng)大以及更小型的電子裝置。該首要力量轉(zhuǎn)變成對(duì)于制造商追求進(jìn)一步的小型化及提高制造效率的推動(dòng)力。制造商從而尋求盡可能的利潤(rùn)。對(duì)于半導(dǎo)體裝置的情況，常規(guī)的制造設(shè)施或FAB在其中心處(或基本的組織結(jié)構(gòu))具有離散處理(discreteprocessing)工具，例如群組工具(clustertool),其用于對(duì)半導(dǎo)體基底執(zhí)行一項(xiàng)或多項(xiàng)處理。常規(guī)的FAB由此圍繞該處理工具進(jìn)行組織，處理工具可按照所需構(gòu)造布置，以將半導(dǎo)體基底轉(zhuǎn)變成所需的電子裝置。例如，處理工具可在常規(guī)的FAB中排列成處理臺(tái)(processingbays)。如可以i人識(shí)到的，在工具之間基底可固定在載運(yùn)器中(諸如SMF's,FOUP's),使得處理過(guò)程中位于工具之間的基底可基本上保持與在工具內(nèi)類似的清潔狀態(tài)。工具之間可由能夠?qū)⒒纵d運(yùn)器輸送給FAB中所需的處理工具的搬運(yùn)系統(tǒng)(handlingsystem)(諸如自動(dòng)材料搬運(yùn)系統(tǒng)，AMHS)連通。4般運(yùn)系統(tǒng)和統(tǒng)和工具之間的界面，以將載運(yùn)器裝載/卸載到處理工具的裝載站，以及載運(yùn)器(單個(gè)的或成組的)與工具之間的界面，以允許在載運(yùn)器和工具之間裝載或卸載基底。有許多已知的常規(guī)界面系統(tǒng)將處理工具對(duì)接到載運(yùn)器和材料搬運(yùn)系統(tǒng)。常規(guī)的界面系統(tǒng)中的許多系統(tǒng)受到復(fù)雜程度的困擾，這導(dǎo)致在處理工具界面、載運(yùn)器界面或材料搬運(yùn)系統(tǒng)界面中的一個(gè)或多個(gè)界面上具有非期望的特征，這些特征使得成本增加，或另外在處理工具中引起基底裝載和卸載的效率下降。以下更為詳細(xì)描述的示范性實(shí)施例克服了常規(guī)系統(tǒng)中的缺點(diǎn)。示范性實(shí)施例的概要根據(jù)示范性的實(shí)施例提供了半導(dǎo)體工件處理系統(tǒng)。系統(tǒng)具有用于處理工件的至少一個(gè)處理裝置、主輸送系統(tǒng)、輔輸送系統(tǒng)以及主輸送系統(tǒng)和輔輸送系統(tǒng)之間的一個(gè)或多個(gè)界面。主輸送系統(tǒng)和輔輸送系統(tǒng)各自具有一個(gè)或多個(gè)大致恒速的段以及與恒速段連通的排隊(duì)段(inqueuesection)。附圖簡(jiǎn)述本發(fā)明的以上方面和其它特征在以下描述中結(jié)合附圖進(jìn)行說(shuō)明，其中圖1是結(jié)合了基于示范性實(shí)施例特征的工件載運(yùn)器以及定位于載運(yùn)器上的工件或基底S的示意性正一見(jiàn)圖；而圖1A-1B分別是基于另一個(gè)示范性實(shí)施例的載運(yùn)器的工件支撐件的示意性部分平面圖和正視圖2A是基于另一個(gè)示范性實(shí)施例的圖1中的載運(yùn)器及工具端口界面(toolportinterface)的示意性截面正3見(jiàn)圖2B是基于另一個(gè)示范性實(shí)施例的工具端口界面和載運(yùn)器的另一個(gè)示意性截面正一見(jiàn)圖3A-3C分別是在三個(gè)不同位置顯示基于另一個(gè)示范性實(shí)施例的工具端口界面和載運(yùn)器的示意性截面正視圖4是基于又一個(gè)示范性實(shí)施例的載運(yùn)器和工具界面的示意性正視圖，而圖4A-4C分別是載運(yùn)器和工具之間界面的一部分的放大截面圖，各圖顯示了基于不同的示范性實(shí)施例的界面構(gòu)造；圖5A-5C是基于又一個(gè)示范性實(shí)施例的載運(yùn)器和工具界面的示意性部分正視圖，顯示了在三個(gè)相應(yīng)的位置的載運(yùn)器和工具界面；圖6A-6B分別是基于其它不同的示范性實(shí)施例的工件載運(yùn)器的示意性正^f見(jiàn)圖7A-7B是基于另一個(gè)示范性實(shí)施例的工件載運(yùn)器的示意性正視圖，分別顯示處于不同位置的載運(yùn)器；圖8是基于另一個(gè)示范性實(shí)施例的工具界面和載運(yùn)器的另一個(gè)示意性正4見(jiàn)圖9是基于另一個(gè)示范性實(shí)施例的工具界面和載運(yùn)器的另一個(gè)示意性正—見(jiàn)圖10是基于另一個(gè)示范性實(shí)施例的工具界面和載運(yùn)器的另一個(gè)示意性正視圖，而圖IOA是基于另一個(gè)示范性實(shí)施例的處理工具以及與之對(duì)接的載運(yùn)器的示意性部分正一見(jiàn)圖11是基于另一個(gè)示范性實(shí)施例的處理工具段和與之相連的載運(yùn)器的界面的示意性正^見(jiàn)圖12A-12B是圖11中的載運(yùn)器的載運(yùn)器(工件傳輸)開(kāi)口和載運(yùn)器門的示意性仰碎見(jiàn)圖13A-13B是圖11中的工具段的界面以及工具到載運(yùn)器門的界面的示意性俯^見(jiàn)平面圖14是基于又一個(gè)示范性實(shí)施例的處理工具以及與之對(duì)接的載運(yùn)器的示意性正^L圖15是基于又一個(gè)示范性實(shí)施例的工具界面和載運(yùn)器的示意性正視圖16A-16B是基于另一個(gè)示范性實(shí)施例分別在兩個(gè)不同位置所顯示的工具界面和載運(yùn)器的示意性正;f見(jiàn)圖17是載運(yùn)器的示意性側(cè)視圖，而圖17A-17C是基于另一個(gè)示范性實(shí)施例的載運(yùn)器和工具界面的其它示意性正視圖和工具界面的平面圖18-19是基于另一個(gè)示范性實(shí)施例的工具界面和載運(yùn)器的示意性正4見(jiàn)圖20是基于另一個(gè)示范性實(shí)施例的輸送系統(tǒng)的示意性平面圖；圖20A-20B是圖10中的輸送系統(tǒng)軌道的各部分的示意性部分平面圖；而圖20C-20D是基于其它示范性實(shí)施例的輸送系統(tǒng)的不同有效負(fù)載的示意性仰^L圖21是基于另一個(gè)示范性實(shí)施例的輸送系統(tǒng)的另一部分的示意性分平面圖22-24是基于其它示范性實(shí)施例的輸送系統(tǒng)各部分的其它示意性部分平面圖25A-25B分別顯示基于另一個(gè)示范性實(shí)施例的輸送系統(tǒng)和處理工具的不同的正3見(jiàn)圖26A-26B分別顯示基于另一個(gè)示范性實(shí)施例的傳輸界面系統(tǒng)的不同的示意性正視圖，該傳輸界面系統(tǒng)用于在輸送系統(tǒng)和工具之間傳輸載運(yùn)器；圖27是基于另一個(gè)示范性實(shí)施例的輸送系統(tǒng)的示意性部分正朝L圖，以及圖27A-27B是處于不同位置的輸送系統(tǒng)的其它示意性部分正視圖28是基于另一個(gè)示范性實(shí)施例的輸送系統(tǒng)的另一個(gè)示意性正視圖29A-29B是基于另一個(gè)示范性實(shí)施例的輸送系統(tǒng)的示意性平面圖29C是基于另一個(gè)示范性實(shí)施例的輸送系統(tǒng)和處理工具的示意性平面圖30是圖29C中的輸送系統(tǒng)和處理工具的示意性部分正視圖；圖31是輸送系統(tǒng)的另一個(gè)示意性部分正視圖；圖32是基于另一個(gè)示范性實(shí)施例的輸送系統(tǒng)的另一個(gè)示意性部分正視圖33-34分別是基于其它示范性實(shí)施例的另一個(gè)輸送系統(tǒng)的示意性平面圖和正^L圖；以及圖35是基于另一個(gè)示范性實(shí)施例的輸送系統(tǒng)的又一個(gè)示意性平面圖。實(shí)施例描述仍然參照?qǐng)D1,工件載運(yùn)器200限定了腔室202，工件S在腔室202中可使其在能夠與腔室外界的大氣隔離的環(huán)境中運(yùn)送。圖1中顯示的載運(yùn)器200的形狀僅僅是示范性的，并且在備選實(shí)施例中載運(yùn)器可具有任何其它所需的形狀。如所示載運(yùn)器200能夠在腔室內(nèi)容納盒子(cassette)210，用于支撐載運(yùn)器內(nèi)的工件S。盒子210通常具有延長(zhǎng)的支撐件210S(在本實(shí)施例中例如顯示了兩個(gè))，工件支撐擱板210V分布在支撐件210S上，以提供一列或一疊支撐件或擱板，一個(gè)或多個(gè)工件可如所示單獨(dú)地支撐在支撐件或擱板上。盒子可固定或另外連接到載運(yùn)器結(jié)構(gòu)上，以下將更為詳細(xì)地介紹。在備選實(shí)施例中，載運(yùn)器可不帶有盒子，工件支撐件可以是整體式的或者與載運(yùn)器形成一體化的構(gòu)造。工件顯示為平坦的/基底元件，諸如350mm,300mm,200mm或任何所需尺寸和形狀的半導(dǎo)體晶圓，或用于顯示器或任何其他合適項(xiàng)目的光罩(reticles)/掩^f莫或平板。相對(duì)于常規(guī)的13或25晶圓載運(yùn)器而言，該載運(yùn)器可以是減小的或小批量的載運(yùn)器。載運(yùn)器可構(gòu)造成裝載少至一個(gè)工件的小批量，或可構(gòu)造成裝載少于10個(gè)工件的小批量。類似于載運(yùn)器200的具有減小容量的載運(yùn)器的適當(dāng)?shù)膶?shí)例在2005年8月19日提交的名稱為"ReducedCapacityCarrierandMethodofUse"的美國(guó)專利申請(qǐng)(序列號(hào)11/207,231)中有描述和展示，該專利申請(qǐng)通過(guò)引用整體結(jié)合到本文中。類似于載運(yùn)器200的載運(yùn)器之間的界面、處理工具(如半導(dǎo)體制造工具、儲(chǔ)存器、分揀器等)和輸送系統(tǒng)的適當(dāng)?shù)膶?shí)例在2005年8月23日提交的名稱為"ElevatorBasesToolLoadingandBufferingSystem"的美國(guó)專利申請(qǐng)(序列號(hào)11/210,918)以及在2005年8月24日提交的名稱為"TransportationSystem"的美國(guó)專利申請(qǐng)(序列號(hào)11/2U,236)中有描述和展示，這兩項(xiàng)專利申請(qǐng)均通過(guò)31用整體結(jié)合到本文中。帶有類似于載運(yùn)器200特征的載運(yùn)器的另一個(gè)適當(dāng)?shù)膶?shí)例在2003年10月30日提交的名稱為"AutomatedMaterialHandlingSystem"的美國(guó)專利申請(qǐng)(序列號(hào)10/697，528)中有描述和展示，該專利申請(qǐng)也通過(guò)引用整體結(jié)合到本文中。如可認(rèn)識(shí)到的，類似于載運(yùn)器200的減小尺寸的載運(yùn)器允許縮減FAB中的在制品，因?yàn)樾纬奢^小批量的工件(在給定的工位完成處理后)可以立即輸送到FAB中后面的工位，而無(wú)需像較大的批量那樣等待其它工件完成處理。盡管示范性實(shí)施例的特征參照具體的小容量的載運(yùn)器進(jìn)行描述和展示，然而，示范性實(shí)施例的特征同樣適用于任何其它適當(dāng)?shù)妮d運(yùn)器，諸如能夠在其中容納13或25或任何其它所需數(shù)目工件的載運(yùn)器。仍然參照?qǐng)D1,在示范性的實(shí)施例中，載運(yùn)器200的形狀可設(shè)置成以垂直的(即Z軸線)疊來(lái)容納工件。載運(yùn)器200可以是底部開(kāi)啟或頂部開(kāi)啟，或者底部和頂部均開(kāi)啟的載運(yùn)器。雖然在備選實(shí)施例中頂部和底部可沿著任何其它軸線定向，但在所示的示范性實(shí)施例中，頂部和底部沿著垂直軸線或Z軸線布置。在以下將要更為詳細(xì)描述的頂部和底部開(kāi)啟是指載運(yùn)器的開(kāi)口204(由載運(yùn)器所限定，工件S通過(guò)其進(jìn)入進(jìn)出腔室202)與容納在載運(yùn)器(在該實(shí)施例中基本上與Z軸線正交)中的工件的平面基本上對(duì)齊。如也將在以下所見(jiàn)，載運(yùn)器200通常具有外殼212，該外殼212帶有底座及可關(guān)閉或可移開(kāi)的門。當(dāng)關(guān)閉時(shí)，該門可鎖定并密封到底座上。門與底座之間的密封件可使腔室202與外界大氣隔離。隔離的腔室202可容納任何所需的隔離氣氛，諸如清潔的空氣、惰性氣體或者能夠容納真空。門可打開(kāi)以允許將工件裝入載運(yùn)器/從載運(yùn)器卸栽。在該示范性的實(shí)施例中，門是指當(dāng)載運(yùn)器打開(kāi)以接近位于其中的工件/工件支撐擱板時(shí)可移動(dòng)或移開(kāi)的部分。在圖1中所示的示范性實(shí)施例中，外殼200通常具有一般為凹進(jìn)或中空的部分(以下稱為殼體)214和壁(帽/蓋等)216，在中空的部分214中能夠容納工件。如將在下文描述的，壁216或者殼體214均可用作載運(yùn)器門。壁和殼體相配合以使載運(yùn)器關(guān)閉，并被分開(kāi)以將載運(yùn)器打開(kāi)。在該示范性的實(shí)施例中，殼體和壁可為金屬，諸如鋁合金，或由任意適當(dāng)?shù)墓に嚪椒ㄖ瞥傻牟讳P鋼。壁或殼體或者兩者可以是單體構(gòu)件(一體化的構(gòu)造)。在備選實(shí)施例中，載運(yùn)器外殼可由包括適當(dāng)?shù)姆墙饘俨牧显趦?nèi)的任何其它合適的材料制成。盒子210可安裝到壁216上，盡管在備選實(shí)施例中盒子可安裝到殼體上?？蛇x擇將盒子安裝到殼體上或者門上，以便于當(dāng)門打開(kāi)時(shí)易于將盒子或其中的基底從載運(yùn)器中取出。雖然在實(shí)施例中顯示壁216位于殼體頂部，但是，在備選實(shí)施例中，載運(yùn)器外殼可具有殼體位于頂部而壁位于底部的構(gòu)造。在其它實(shí)施例中，殼體可在頂部和底部均具有可移開(kāi)的壁(即載運(yùn)器具有頂部開(kāi)啟和底部開(kāi)啟)。在其它備選實(shí)施例中，可移開(kāi)的壁可位于載運(yùn)器的側(cè)面。在示范性的實(shí)施例中，門可以是被動(dòng)部件(例如，基本上沒(méi)有移動(dòng)零件或部件，以使門和載運(yùn)器之間以及門和工具界面之間實(shí)現(xiàn)關(guān)閉和開(kāi)啟，如將在下面進(jìn)一步描述)?，F(xiàn)在參照?qǐng)D2A，載運(yùn)器200顯示定位于適當(dāng)?shù)奶幚砉ぞ叩墓ぞ叨丝诮缑?010上。該處理工具可以是任意所需的類型，例如分揀器、儲(chǔ)存器，或者是能夠完成一項(xiàng)或多項(xiàng)處理(諸如材料噴鍍、光刻、掩模、蝕刻、拋光、計(jì)量)的工具，或者是帶有一個(gè)或多個(gè)處理模塊或腔室(諸如裝載鎖定室)的工具。處理工具可至少部分地具有受控氣氛，而工具界面2010允許在不危害工具或載運(yùn)器200中受控氣氛的條件下在工具和載運(yùn)器200之間裝載/卸載工件。在該示范性實(shí)施例中，端口界面2010可通常具有端口(port)或開(kāi)口2012(基底可經(jīng)由其裝入處理工具中)，以及門、蓋或關(guān)閉端口的可移開(kāi)部分2014。在備選實(shí)施例中，可移開(kāi)部分可部分地?fù)踝￠_(kāi)口。在圖2A中，端口門2014為了示例的目的顯示為處于關(guān)閉位置和開(kāi)啟位置。在圖2A中所顯示的實(shí)施例中，載運(yùn)器200可為底部(即沿著Z方向移動(dòng))裝入，以與工具端口2012對(duì)接，如將在下面描述。圖2A顯示用作載運(yùn)器200的門的頂壁216。例如，壁216可連接到端口門2014上，并與端口門的移開(kāi)一起移開(kāi)，例如移動(dòng)到工具中，以打開(kāi)工具端口界面。壁216移開(kāi)導(dǎo)致盒子(安裝到壁216上)及位于其上的工件從載運(yùn)器上移開(kāi)(為了使工件輸送工具/機(jī)器人進(jìn)入)。再參照?qǐng)D1,帶有對(duì)置支撐件210S的盒子210的構(gòu)造在盒子的多于一側(cè)(在示范性的實(shí)施例中為兩側(cè))提供了進(jìn)入?yún)^(qū)210A,210B，工件機(jī)器人(亦參見(jiàn)圖2A)可由此將工件裝入/卸載到盒子擱板上。在備選實(shí)施例中，載運(yùn)器可具有任意所需數(shù)目的工件進(jìn)入?yún)^(qū)。進(jìn)入?yún)^(qū)可環(huán)繞著載運(yùn)器周界對(duì)稱地布置，或者布置成非對(duì)稱的布局。在圖2A所顯示的示范性實(shí)施例中，工具可具有多于一個(gè)工件處理機(jī)器人2016A,2016B，以在多于一個(gè)進(jìn)入?yún)^(qū)210A,210B接近例如工件V。在備選實(shí)施例中，工具可具有更多或更少的工件輸送機(jī)器人。機(jī)器人從多側(cè)面接近盒子可允許工件在盒子上的機(jī)器人之間移交(handoff)。同樣，機(jī)器人從多側(cè)面接近工件限定了載運(yùn)器在輸送或?qū)拥焦ぞ叨丝跁r(shí)的方位。相應(yīng)地，載運(yùn)器200可在相對(duì)于工具界面的多于一個(gè)方位上與工具界面配合。載運(yùn)器通過(guò)使端口門返回到其關(guān)閉位置而閉合，此關(guān)閉位置使載運(yùn)器壁216返回到與殼體214配合。參照?qǐng)D2B，顯示了基于另一個(gè)示范性實(shí)施例的載運(yùn)器200與工具界面2010，的對(duì)接。在此實(shí)施例中，載運(yùn)器的殼體214可用作門。在該實(shí)施例中顯示了工具端口門2014，可具有總體上與載運(yùn)器殼體相似的形狀，以包圍殼體并環(huán)繞著殼體進(jìn)行密封，以便防止使工具內(nèi)部暴露于殼體外界的污染。在示范性實(shí)施例中，諸如當(dāng)載運(yùn)器從高架輸送系統(tǒng)上下降時(shí)，載運(yùn)器200可為頂部裝入(即沿著(-)Z方向向下移動(dòng))。為了打開(kāi)載運(yùn)器200,端口門向下移動(dòng)((-)Z方向)到例如工具內(nèi)部，同時(shí)使殼體214從載運(yùn)器上移開(kāi)。這可稱作從底部打開(kāi)載運(yùn)器，這是因?yàn)榇颂庉d運(yùn)器門(即殼體214)位于底部并且通過(guò)向下的運(yùn)動(dòng)打開(kāi)載運(yùn)器。載運(yùn)器的開(kāi)啟顯露出盒子中的工件，盒子與壁216保持在一起。在此實(shí)施例中，機(jī)器人(類似于圖2A中的機(jī)器人2016A,2016B)可在Z軸線上設(shè)置有自由度，以接近垂直間隔開(kāi)的盒子擱板或位于其中的工件。機(jī)器人可具有位于其上的測(cè)繪儀(沒(méi)有示出)。在備選實(shí)施例中，殼體216可具有整體式的測(cè)繪儀，諸如通過(guò)光束測(cè)繪儀允許對(duì)殼體的移開(kāi)對(duì)盒子的進(jìn)行映象。圖2A-2B顯示載運(yùn)器200可為頂部和底部均開(kāi)啟。在其它備選實(shí)施例中，殼體和壁的方位可以是顛倒的(殼體位于壁上面)，而載運(yùn)器可按類似但與圖2B呈鏡像的方式從頂部開(kāi)啟(即向上提起殼體)，并且載運(yùn)器可按類似的方式但與圖2A相反地從底部開(kāi)啟(即使壁下降)。重新參照?qǐng)D1,如前所述，壁216和殼體214可以是沒(méi)有運(yùn)動(dòng)元件(諸如鎖止件)的被動(dòng)結(jié)構(gòu)，運(yùn)動(dòng)元件由于在工具或容器清潔的空間內(nèi)致動(dòng)而具有產(chǎn)生污染的可能性。例如，壁和殼體可彼此通過(guò)趕t性鎖定。磁鎖(magneticlock)可具有例如永久磁性元件或電磁元件226,228或它們的組合體，它們根據(jù)需要定位于壁216和殼體214中，以便鎖定和釋放壁和殼體。磁鎖可例如具有可逆的磁性元件，其通過(guò)使電荷穿過(guò)可逆元件而轉(zhuǎn)換(即打開(kāi)或關(guān)閉)。例如，壁216可包括石茲性元件228(例如鐵基材料)，而殼體214可具有磁性轉(zhuǎn)換元件226,其被促動(dòng)以鎖定和解鎖壁與殼體。在圖2A-2B所示的示范性實(shí)施例中，壁中的f茲性元件及殼體中的可操作》茲體可構(gòu)造成允許與端口門界面2010，2010'中的磁鎖2028',2026'協(xié)同操作，使得將載運(yùn)器門(或者是壁或者是殼體，參見(jiàn)圖2A-2B)鎖定到端口門上導(dǎo)致載運(yùn)器門從載運(yùn)器的其余部分脫開(kāi)。在備選實(shí)施例中，壁與殼體之間的磁鎖可具有任何其它所需的構(gòu)造。在圖23中所示的示范性實(shí)施例中，載運(yùn)器可包括機(jī)械連接元件230,諸如驅(qū)動(dòng)銷、壓電聯(lián)接裝置或形狀記憶裝置，以接合端口界面上的配合連接部件2030并使載運(yùn)器聯(lián)鎖到端口界面上。在示范性實(shí)施例中，裝置顯示位于壁部分中，但在備選實(shí)施例中，裝置可鎖定在殼體中。如從圖24中可認(rèn)識(shí)到，可致動(dòng)的裝置被封閉在可移動(dòng)的壁部分與端口門之間的密封界面中，端口門捕獲可能有的顆粒，這些顆粒可由于端口門中的裝置的操作而上升。被動(dòng)載運(yùn)器和載運(yùn)器門提供了清潔的、可清洗的載運(yùn)器，其與真空相容。如前面所指出，載運(yùn)器門和底座(即壁216和殼體224)可密封以隔離載運(yùn)器腔室202。同樣，當(dāng)載運(yùn)器與工具的端口對(duì)接時(shí)(例如裝載端口模塊)，載運(yùn)器門和底座可各自具有密封界面，用于分別將載運(yùn)器門(即圖1中的壁216或殼體214)密封至端口門以及將載運(yùn)器底座密封至端口。還有，端口門可具有對(duì)端口的密封界面。圖3A-3C基于示范性的實(shí)施例顯示類似于載運(yùn)器200的載運(yùn)器200',其與工具端口2220對(duì)接，其中相應(yīng)的密封界面(221'載運(yùn)器門到載運(yùn)器、222'載運(yùn)器到端口、223'端口門到端口以及224'端口門到載運(yùn)器門)形成聯(lián)合密封222',為了方便起見(jiàn)可稱之為一般的X布局(圖3B中最好地所見(jiàn))。在所示的示范性實(shí)施例中，為了示例的目的載運(yùn)器密封界面顯示為在頂部開(kāi)口，而在載運(yùn)器具有多個(gè)開(kāi)口(類似于圖1中所示的開(kāi)口204(例如在頂部和底部))的備選實(shí)施例中，可在各開(kāi)口上提供密封界面。如可認(rèn)識(shí)到的，一般的X布局僅僅是密封界面表面的示意性表示，在備選實(shí)施例中密封界面表面可具有任意合適的布置，例如密封界面表面可以是弧形的。一般的X形密封構(gòu)造限定了多個(gè)密封界面(如221'-222')，界面之間的捕獲容積(tmppedvolume)基本上為零。因此，打開(kāi)任何密封的界面將不會(huì)導(dǎo)致因?yàn)槊芊饨缑骈_(kāi)啟而將污染物釋放到所開(kāi)啟的空間中。此外，在其它備選實(shí)施例中，密封件可具有任意所需的方位(例如密封界面可按照一般的+號(hào)圖案水平或垂直定向)。在示范性的實(shí)施例中，載運(yùn)器200'顯示為頂部開(kāi)啟(壁216'是門，類似于圖2A中所示的實(shí)施例通過(guò)向上M而打開(kāi))，而端口2220上提起以?？恐凉ぞ叨丝?。在該實(shí)施例中，殼體214'可具有通常形成為有斜面的密封面221C',222C'的密封界面2141'。雖然殼體上的密封面222C'，221C'顯示為大致平坦的，但是在備選實(shí)施例中，盡管表面通常傾斜以產(chǎn)生一般的X形密封構(gòu)造，然而密封面可具有包含角(inclusiveangles)或排斥角(exclusiveangles)或形成于其中的其它形狀以提高密封性。在該實(shí)施例中，載運(yùn)器的壁216'具有密封界面2161'，其通常定向成(在圖3A中所示的示范性實(shí)施例中為有斜面的)限定密封面221CD'和224CD'。如圖3A中所示，當(dāng)壁和殼體關(guān)閉時(shí)，相應(yīng)的殼體和壁的密封面221C'，221CD'通?；パa(bǔ)地限定密封界面221'。載運(yùn)器界面214'上的表面221C'形成一般的楔形物，以在壁216'安置到殼體上(參見(jiàn)例如圖3C)時(shí)對(duì)壁216提供引導(dǎo)。同樣，在示范性的實(shí)施例中，載運(yùn)器門到載運(yùn)器的密封界面221'可定位成使得壁216'的重量起到增加界面上密封壓力的作用。如可認(rèn)識(shí)到的，從壁216'支撐的盒子和工件在該實(shí)施例中有助于將載運(yùn)器門密封到載運(yùn)器上。如圖3A-3B中所見(jiàn)，密封面222C'和224CD'布置成分別對(duì)位于端口2220和端口門224上的密封面222P'，224PD'進(jìn)行補(bǔ)充。圖3B顯示載運(yùn)器200'?？吭诙丝?220上，并且密封件221'，224'閉合。密封件222'，224'的閉合將所有的暴露表面(即載運(yùn)器或工具內(nèi)受控的或隔離的腔室之外的表面)封閉起來(lái)并與來(lái)自工具和載運(yùn)器內(nèi)部/腔室的可能有的污染物隔離。如圖3B中最好地所見(jiàn)，一般的X形密封件220'提供最佳的清潔度，因?yàn)槠湫纬煽煞Q為基本上為零容積損失的界面。這如前所指出是指當(dāng)載運(yùn)器門或端口門打開(kāi)時(shí)，密封件220'的密封幾何形狀不產(chǎn)生相當(dāng)大的具有暴露外表面的凹穴(pockets)或空間。這一點(diǎn)如圖3C中最好地所見(jiàn)，其中端口門2214移開(kāi)并由此使得載運(yùn)器門216'移開(kāi)并沒(méi)有導(dǎo)致任何先前未密封的/外表面暴露于載運(yùn)器/處理工具內(nèi)部。如圖3C所示，在該實(shí)施例中，載運(yùn)器門頂部開(kāi)啟導(dǎo)致載運(yùn)器腔室202'定位于升高的從壁216'支撐的盒子下方。載運(yùn)器腔室202'與工具內(nèi)部連通，該工具內(nèi)部可具有強(qiáng)制空氣循環(huán)系統(tǒng)(沒(méi)有示出)，它使得在載運(yùn)器腔室內(nèi)部產(chǎn)生一般的文丘里(venturi)流。在該實(shí)施例中，載運(yùn)器腔室內(nèi)的循環(huán)空氣的流動(dòng)位于升高的盒子(懸桂在壁216'上)上的工件下方，使得由于循環(huán)而被擾動(dòng)的顆粒沉積的可能性最低(顆粒遠(yuǎn)離上面的工件而沉降下來(lái))。在圖3A-3C所示的示范性實(shí)施例中，載運(yùn)器200'可通過(guò)適當(dāng)?shù)奶嵘b置LD升高以與端口2220對(duì)接及?？康蕉丝?220上。在載運(yùn)器和提升裝置上可提供適當(dāng)?shù)膶?duì)齊部件LDR,以在裝置上定位載運(yùn)器并由此使載運(yùn)器相對(duì)于端口定位。在備選實(shí)施例中，載運(yùn)器可以任意適當(dāng)?shù)姆绞焦潭ㄔ诙丝谏?。載運(yùn)器門216'可通過(guò)磁鎖、機(jī)械聯(lián)結(jié)器(例如定位于門之間的密封界面中)或通過(guò)在門之間的密封界面中產(chǎn)生的真空吸附鎖定到端口門2214上。端口門2214可通過(guò)適當(dāng)?shù)难b置打開(kāi)/關(guān)閉，該裝置能夠指引盒子(類似于圖1中的盒子210)經(jīng)過(guò)所需的映象傳感器(mappingsensor)(沒(méi)有示出)?，F(xiàn)在參看圖4,顯示了基于另一個(gè)示范性實(shí)施例的載運(yùn)器300,載運(yùn)器300總體上與載運(yùn)器200類似，但與載運(yùn)器200相反的是殼體314位于壁316上面。與載運(yùn)器200類似，載運(yùn)器300可頂部開(kāi)啟(殼體用作門)或底部開(kāi)啟(壁用作門)。在所示的示范性實(shí)施例中，載運(yùn)器300可具有整體式的輸送部件300M。例如，載運(yùn)器殼體(或壁)314，316可具有輸送工具的推動(dòng)支撐件(motivesupport),諸如輥軸或空氣軸承和能夠由驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)或馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的反應(yīng)構(gòu)件(reactivemember),以導(dǎo)致載運(yùn)器在FAB中自移動(dòng)(即無(wú)需使用獨(dú)立的輸送車輛)。圖4為了示例的目的顯示載運(yùn)器300定位于裝載端口3010(總體上類似于前述端口2010)處。在所顯示的示范性實(shí)施例中，載運(yùn)器300可從頂部裝載到端口界面上。載運(yùn)器門316可抵靠或鄰近端口門3014定位(與其形成界面)，并且殼體314可與端口3012對(duì)接。載運(yùn)器300和端口界面也可具有類似于圖3B中所示的一般的X形密封件的三向、四向或五向的"交叉"型(或零容積損失)密封件。圖4A顯示基于一個(gè)實(shí)施例的密封件320的截面圖。在示范性的實(shí)施例中，密封件320可以是用于底部開(kāi)啟構(gòu)造的四向型密封件，但是在其它方面其總體上類似于密封件220'。圖4B根據(jù)另一個(gè)示范性實(shí)施例顯示了載運(yùn)器與端口之間的界面以及其間的密封件的另一個(gè)截面圖。在此實(shí)施例中，密封件320大體上類似于密封件320'。圖4B進(jìn)一步顯示殼體界面3141'可具有支撐凸緣/部件326',328'。凸緣326'在該實(shí)施例中可操作壁，例如凸緣可與載運(yùn)器門的一部分重合(盡管在實(shí)施例中顯示該部件限定了門接觸表面，但是在備選實(shí)施例中該部件可不與門接觸)，并在載運(yùn)器門關(guān)閉時(shí)使磁鎖326.M'定位成將壁316'固定到殼體314'上。另外，部件326'可與端口門3014中的》茲鎖3040'重合。端口門3014中的磁鎖3040'可用來(lái)將壁316'鎖定到端口門3014'上，以使載運(yùn)器門移開(kāi)。載運(yùn)器殼體部件326'的位置可使端口門鎖3040'能夠致動(dòng)(將壁316'鎖定到端口門上)，并且例如導(dǎo)致壁36'與殼體314'之間的鎖定大致同時(shí)地松開(kāi)/失去作用。相反地，端口門3014'關(guān)閉后，端口門鎖3040'松開(kāi)/失去作用可導(dǎo)致壁316'與殼體314'之間的磁閂326M'鎖定。在示范性的實(shí)施例中，殼體上的外部部件328'可與端口3010'的定位/定心部件301.2C'接合，以在安置載運(yùn)器時(shí)對(duì)其進(jìn)行定位。圖4B中顯示的外部部件328'的形狀僅僅是示范性的，并且在備選實(shí)施例中載運(yùn)器可具有任意所需的定位部件。如前所述，密封件320'的X布局可在打開(kāi)載運(yùn)器門之前免除對(duì)密封界面進(jìn)行吹掃，原因是密封界面可具有基本上為零的吹掃容積。在備選實(shí)施例中(例如參見(jiàn)圖4B),端口可包括吹掃管線3010A。吹掃管線3010A可位于任意的密封界面上或位于它們之間。圖4C根據(jù)另一個(gè)示范性實(shí)施例顯示了載運(yùn)器到端口的界面的另一個(gè)截面。載運(yùn)器到端口的界面具有總體上類似于前述密封件320的密封件320"。在該實(shí)施例中，載運(yùn)器殼體314"可具有支撐件328",用于將載運(yùn)器300"安置到端口上，而無(wú)需在端口門3014"上加載載運(yùn)器門(壁)316"(即在端口上支撐載運(yùn)器300"，而沒(méi)有將載運(yùn)器的重量分配到端口門3014"上)。當(dāng)打開(kāi)及關(guān)閉載運(yùn)器門時(shí)，在端口門與載運(yùn)器門密封件321"上的密封接觸保持基本上恒定。圖5A-5C根據(jù)另一個(gè)示范性實(shí)施例顯示類似于載運(yùn)器300的載運(yùn)器300A,其與工具端口配合。在該實(shí)施例中，載運(yùn)器300A可以是頂部開(kāi)啟及底部裝載(沿著圖5A中由箭頭+z所指示的方向)。載運(yùn)器壁316A可用作載運(yùn)器門。如圖5B中最清楚地顯示，密封界面320A為可稱之為三向密封件(帶有基本上為零的吹掃容積或損失容積，類似于前述密封件320,220)，具有一般的Y布局(壁到殼體的界面321A、壁到端口的界面322A、端口3012A到端口門3014A的界面323A)。在該實(shí)施例中，端口門3014A可通常與殼體316A共形。例如，殼體316A可嵌套在端口門3014A中。在示范性的實(shí)施例中，殼體316A與端口門3014A的配合及安放使其間界面上的容積降到最小程度。在殼體316A與端口門之間可提供密封件(沒(méi)有示出)，以密封其間的界面。如圖5B中所示，在該實(shí)施例中端口門304A可具有真空端口3010V,以吹掃端口門到載運(yùn)器門的界面容積。重新參照?qǐng)D2A-2B,其基于其它的示范性實(shí)施例顯示了載運(yùn)器到端口的界面。界面220,220'在圖2A，2B所顯示的示范性實(shí)施例中面220,220'可以是具有一般的"交叉"布局或X布局的四向密封件(壁216到殼體214的界面221、殼體214到端口的界面222、端口2012到端口門2014的界面223以及端口門到壁216的界面224)。如圖2A所示，在該實(shí)施例中，密封界面222,224可定位成(例如垂直地)基本上平行于界面相對(duì)運(yùn)動(dòng)(諸如載運(yùn)器裝載過(guò)程中及端口門關(guān)閉過(guò)程中)的方向。換言之，載運(yùn)器或載運(yùn)器門移動(dòng)到關(guān)閉位置不形成密封閉合(sealingclosure)。在該實(shí)施例中，例如形成密封界面222,224的一個(gè)或多個(gè)表面可裝有可致動(dòng)的密封件(actuableseals),諸如充氣式密封件(inflatableseal)、壓電致動(dòng)的密封件或形狀記憶構(gòu)件，以致動(dòng)密封段并關(guān)閉密封界面，而不在密封界面上產(chǎn)生顯著的摩標(biāo)、接觸。所描述的密封件構(gòu)造僅僅是示范性的。部支撐件240。支撐件240顯示為例如把手，但是它可具有任意合適的形狀。在示范性的實(shí)施例中，支撐件240可位于殼體相對(duì)的兩側(cè)按照所需的距離隔開(kāi)，以便使載運(yùn)器搬運(yùn)的穩(wěn)定性達(dá)到最佳程度。在備選實(shí)施例中可提供多個(gè)或幾個(gè)支撐件?，F(xiàn)在參照?qǐng)D6A，載運(yùn)器殼體220A可具有靠近殼體底部而定位的穿孔或凹進(jìn)的構(gòu)件、膜或過(guò)濾器260A。構(gòu)件中孔眼或凹進(jìn)部分的尺寸和形狀可設(shè)置成減緩或降低當(dāng)載運(yùn)器門打開(kāi)時(shí)在殼體內(nèi)引起的文丘里流或渦流的強(qiáng)度。在備選實(shí)施例中，減緩文丘里流或渦流的構(gòu)件可位于載運(yùn)器中任何其它適當(dāng)?shù)奈恢?。載運(yùn)器200A為了示例的目的顯示成殼體位于底部，而在備選實(shí)施例中載運(yùn)器可位于頂部。在工具內(nèi)部可提供進(jìn)一步的流矯正空間或?qū)~(沒(méi)有示出)，以在工件定位于工具內(nèi)部時(shí)輔助在工件之上保持基本上平穩(wěn)的/層流。圖6B顯示基于另一個(gè)示范性實(shí)施例的載運(yùn)器200B。載運(yùn)器200B可具有溫度調(diào)節(jié)器250，用于使腔室內(nèi)的工件保持在不同于環(huán)境溫度的溫度下。例如，載運(yùn)器殼體或壁214B,216B可具有諸如通過(guò)盒子支撐件熱學(xué)地連接到工件上的熱電模塊，以將工件的溫度加熱/提高到環(huán)境溫度之上。工件的溫度高于環(huán)境溫度可促使顆粒和水分子通過(guò)熱遷移離開(kāi)工件，防止當(dāng)工件處于載運(yùn)器外面或載運(yùn)器門開(kāi)啟時(shí)產(chǎn)生污染。在備選實(shí)施例中可使用任何其它所需的溫度調(diào)節(jié)器，諸如微波能量。在其它備選實(shí)施例中可環(huán)繞各工件產(chǎn)生靜電場(chǎng)，以驅(qū)除水分子和顆粒引起的污染?，F(xiàn)在參照?qǐng)D1A-1B，在示范性的實(shí)施例中，盒子210(還參見(jiàn)圖l)可具有嵌套擱板210V,用于360。正面約束由擱板支撐的工件。M閣板210V可由一個(gè)或多個(gè)擱板座或支撐件210C構(gòu)成。如圖1A所示，在示范性的實(shí)施例中，盒子擱板支撐件210C可定位成使得工件通常由支撐件跨過(guò)。M閣板210V可具有凸出的表面，以對(duì)安置在擱板上的工件S形成周邊約束。凸出的表面可以傾斜(相對(duì)于垂直方向)以形成用于安置工件S的定位引導(dǎo)物210L。擱板210V的安置表面可以是傾斜的(相對(duì)于工件的底部表面，形成例如相對(duì)于工件底部表面大約1。的傾斜角)，以保證例如在周邊排斥區(qū)(perimeterexclusionzone)內(nèi)與工件底部接觸。在備選實(shí)施例中，工件擱板可具有任意適當(dāng)?shù)南薅ū粍?dòng)工件約束的構(gòu)造。在其它備選實(shí)施例中，擱板可不具有被動(dòng)工件約束。如之前指出，帶有被動(dòng)載運(yùn)器門和密封件的載運(yùn)器適合于直接對(duì)接到能夠產(chǎn)生真空的腔室(諸如裝載鎖定室)上。圖8基于另一個(gè)示范性實(shí)施例顯示載運(yùn)器200'(頂部開(kāi)啟)，其直接與能夠產(chǎn)生真空的腔室(為了方便起見(jiàn)稱為裝載鎖定室)400的端口界面4010配合。圖8中所顯示的載運(yùn)器200'整體上類似于前述載運(yùn)器200，300。在該示范性的實(shí)施例中，裝載鎖定室具有分度器410，其用來(lái)打開(kāi)/關(guān)閉端口門4014,并由此打開(kāi)/關(guān)閉載運(yùn)器門(在此實(shí)施例中為頂壁216')及升高/降低填充盒210'。在示范性的實(shí)施例中，分度器410可構(gòu)造成提供具有低的或最低Z高度的裝載鎖定室。例如，分度器410可定位于裝載鎖定室400C的外面并沿著裝載鎖定室布置，以降低腔室和裝載鎖定室的總體高度。在示范性的實(shí)施例中，分度器410可具有驅(qū)動(dòng)段412及聯(lián)接段414。在所示的實(shí)施例中，驅(qū)動(dòng)段412可具有電機(jī)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，該驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)帶有例如馬達(dá)傳動(dòng)皮帶或螺紋驅(qū)動(dòng)以升高/降低往復(fù)裝置(shuttle)416。在示范性的實(shí)施例中，連接段414可以是將驅(qū)動(dòng)段上的往復(fù)裝置416連接到端口門4014上的磁性連接件。端口門可例如具有磁體(永久磁體或電磁體)或具有位于其上的磁性材料，形成磁性連接件414的內(nèi)部部分4141。門4014的石茲性部分4141也可將端口門鎖定到端口框架4012上。例如，端口框架4012可具有適當(dāng)?shù)拇朋w(類似于圖2B中的磁體2028')，該磁體布置成與端口門上的磁性部分/磁體414I協(xié)同操作，并當(dāng)門處于其關(guān)閉位置時(shí)將門及端口鎖定。在示范性的實(shí)施例中，端口框架中的》茲鎖元件可與門4014上的,茲性連接部分414I協(xié)同操作。在備選實(shí)施例中，門與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)之間的磁性連接件以及門與框架之間的磁鎖可具有任意適當(dāng)?shù)臉?gòu)造。如圖8所示，腔室壁400W將驅(qū)動(dòng)段412與腔室400C的內(nèi)部隔開(kāi)。在其它示范性實(shí)施例中(還參見(jiàn)圖18-19)，驅(qū)動(dòng)段412'可以是線性馬達(dá)(例如線性感應(yīng)馬達(dá)，LIM)，該線性馬達(dá)作用于端口門4014'的反應(yīng)部分414I',以使端口門產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)。LIM可位于腔室壁的外面并與腔室內(nèi)部隔開(kāi)。在圖18-19所示的示范性實(shí)施例中，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可包括磁性材料段4122'，或形成防失效鎖的永久-茲體，以在腔室斷電的情況下使端口門4014'保持在開(kāi)啟位置上。在備選實(shí)施例中，適當(dāng)?shù)男铍娖骺蛇B接到驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上，以允許使端口門下降到關(guān)閉位置所需的控制。如從圖8及圖18-19中可以認(rèn)識(shí)到，在示范性的實(shí)施例中，端口門與端口框架之間的密封件定位成使得門的重量有助于對(duì)界面進(jìn)行密封。在圖8所顯示的示范性的實(shí)施例中，磁性連接件的相應(yīng)段414I也可使端口門4014與載運(yùn)器門216'彼此鎖定。例如，載運(yùn)器門可具有適當(dāng)?shù)摹菲濗w(例如永久磁體)或磁性材料228',其定位成當(dāng)被激活而使端口與載運(yùn)器門彼此鎖定時(shí)與連接段4141(例如可包括電磁體或帶有可變磁場(chǎng)的磁體)協(xié)同操作。在示范性的實(shí)施例中，端口門的運(yùn)動(dòng)可由同樣與腔室隔開(kāi)的引導(dǎo)件引導(dǎo)。例如，在所示的實(shí)施例中，波紋管400B將端口門連接到腔室壁上并使端口門運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)件4006與腔室隔開(kāi)。在該實(shí)施例中，引導(dǎo)件通常具有伸縮段。伸縮引導(dǎo)件為了示例的目的顯示為由中空的圓筒形伸縮段制成，而在備選實(shí)施例中可具有任意適當(dāng)?shù)臉?gòu)造。在其它備選實(shí)施例中，分度器可具有任何其它所需的構(gòu)造。例如，合適的分度馬達(dá)可位于腔室壁中，但與腔室內(nèi)部(諸如2003年7月22日提交的美國(guó)專利申請(qǐng)10/624,987中所公開(kāi)的，該專利申請(qǐng)通過(guò)引用整體結(jié)合到本文中)隔開(kāi)，其能夠在沒(méi)有用于端口門的機(jī)械引導(dǎo)件的情況下使端口門產(chǎn)生受控運(yùn)動(dòng)。波紋管400B可加壓以輔助端口門關(guān)閉。波紋管還可容納臍狀系統(tǒng)，諸如真空管路及連接到端口門上的電線/信號(hào)線。在示范性的實(shí)施例中，端口門可具有連接到真空源上的端口PD10,形成腔室的抽氣口，如將在下面進(jìn)一步介紹?，F(xiàn)在參照?qǐng)D9，其基于另一個(gè)示范性實(shí)施例顯示了位于真空室400'上的載運(yùn)器300'。在所顯示的示范性實(shí)施例中，載運(yùn)器300'可以是底部開(kāi)啟載運(yùn)器(類似于例如前述載運(yùn)器300,還參見(jiàn)圖3)。在示范性的實(shí)施例中，端口門4014'在打開(kāi)時(shí)可下降到腔室中。分度器(沒(méi)有示出)可類似于圖8,18-19中所顯示的分度器，但是布置成使端口門向下移動(dòng)。分度器和端口門可具有》茲鎖4028',4026'，用于在關(guān)閉位置上將門鎖定到腔室框架上。在示范性的實(shí)施例中，端口框架可具有一個(gè)或多個(gè)線圏元件4028'(限定可稱為磁鎖框架的側(cè)邊部分)。線圈元件4028'可根據(jù)需要定位并產(chǎn)生作用在門鎖部件4026'上的磁場(chǎng)。門上的,茲鎖部件4026'可以是永久^茲體或石茲性材料。在示范性的實(shí)施例中，線圈元件4028'為了示例的目的顯示為位于腔室中。在備選實(shí)施例中，線圏元件可位于外側(cè)。腔室壁與腔室內(nèi)部隔開(kāi)。線圈元件可為固定的或相對(duì)于框架靜止。當(dāng)需要降低磁鎖中的磁力并使端口門易于移動(dòng)時(shí)可使場(chǎng)強(qiáng)度降低。在備選實(shí)施例中，線圏元件可以是移動(dòng)的，例如安裝到驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的往復(fù)裝置上并可形成端口門與分度器之間的磁性連接件的一部分。在備選實(shí)施例中，磁鎖可類似于前述用于將載運(yùn)器門鎖定到載運(yùn)器上的磁鎖。位于端口門4014'上并實(shí)現(xiàn)與框架磁性鎖定的永久磁體或磁性材料4026'還可以提供到分度器(類似于圖8中所示)的連接。圖9所示的實(shí)施例中的腔室也可具有類似于圖8所顯示的波紋管和端口門引導(dǎo)件。波紋管可加壓以輔助使端口門升高并保持在關(guān)閉位置，尤其是當(dāng)載運(yùn)器門和盒子安置在端口門上時(shí)。在備選實(shí)施例中，腔室可具有波紋管而不帶有其中的端口門引導(dǎo)件。真空可連^t妄到端口門中，以實(shí)現(xiàn)經(jīng)由端口門到載運(yùn)器門的界面對(duì)腔室抽氣。因此，如同圖8中所顯示的實(shí)施例一樣，在示范性的實(shí)施例中，腔室抽氣口可位于端口門中。重新參照?qǐng)D8，在示范性的實(shí)施例中，裝載鎖定室抽氣可通過(guò)例如載運(yùn)器對(duì)接到腔室端口上并通過(guò)分度器410使端口門從其關(guān)閉位置上移開(kāi)來(lái)執(zhí)行。從圖8中可以認(rèn)識(shí)到，在示范性的實(shí)施例中，裝載鎖定室通過(guò)端口門中的真空口PD10的抽氣可穿過(guò)載運(yùn)器門216'到端口門4014的界面。腔室/載運(yùn)器氣體的吸入流穿過(guò)載運(yùn)器門到端口門的界面而在界面上產(chǎn)生負(fù)壓，阻止意外的污染物逸入腔室中。圖10基于另一個(gè)示范性實(shí)施例顯示裝載鎖定室經(jīng)由端口門5014抽氣。在該實(shí)施例中，對(duì)端口門到載運(yùn)器門之間的空間5430的吹掃，以及對(duì)載運(yùn)器腔室202的吹掃可在裝載鎖定室抽氣之前進(jìn)行。例如，吹掃氣體可通過(guò)施加真空或打開(kāi)端口門與端口之間的密封件5223(或利用合適的閥系)而引入空間5430中。載運(yùn)器200可通過(guò)打開(kāi)載運(yùn)器門216允許裝載鎖定室5400氣體進(jìn)入到載運(yùn)器中而進(jìn)行吹掃，或者重新通過(guò)合適的閥門裝置執(zhí)行。例如，來(lái)自腔室的氣體供應(yīng)(在圖IO中以虛線表示)可提供給載運(yùn)器，以將所需的氣體種類引入載運(yùn)器200中。如圖10A所示，裝載鎖定室5400和載運(yùn)器200顯示為端口門和載運(yùn)器門移動(dòng)到開(kāi)啟的位置，裝載鎖定室5400可具有根據(jù)需要布置在裝載鎖定室壁中的通風(fēng)口(或混合氣體供應(yīng))5440,以對(duì)裝載鎖定室進(jìn)行通風(fēng)。相應(yīng)地，在示范性的實(shí)施例中，吹掃管線可用于吹掃，并且腔室的通風(fēng)可不依賴于載運(yùn)器門到端口門的界面而執(zhí)行。圖11顯示載運(yùn)器門316A和端口門6414具有相應(yīng)的^L械式"防失效，，鎖的示范性實(shí)施例，其中"防失效"鎖分別將載運(yùn)器門鎖定到載運(yùn)器3140上以及將端口門鎖定到端口6412或腔室6400D上。載運(yùn)器314D、載運(yùn)器門316D、端口6412和端口門6414可以是被動(dòng)的(無(wú)鉸接的鎖定零件)。在該實(shí)施例中，分度器能夠沿Z軸線引導(dǎo)端口門并使端口門轉(zhuǎn)動(dòng)(例如繞Z軸線)，用于使鎖接頭(locktab)在端口門和載運(yùn)器門上接合/脫開(kāi)。在備選實(shí)施例中，端口門沿Z軸線的運(yùn)動(dòng)及轉(zhuǎn)動(dòng)可通過(guò)不同的驅(qū)動(dòng)軸提供。圖12A-12B分別顯示載運(yùn)器殼體314D和載運(yùn)器門316D的仰視圖。圖13A-13B分別顯示(裝載鎖定)室6400中的端口6412及端口門6414的俯視平面圖。在示范性的實(shí)施例中，載運(yùn)器殼體的下表面具有接合接頭/表面360D,由載運(yùn)器門316D上的接合表面362D接合?？梢哉J(rèn)識(shí)到，接合表面360D，362D之間的接合/脫開(kāi)可以通過(guò)載運(yùn)器門相對(duì)于載運(yùn)器314D的轉(zhuǎn)動(dòng)而實(shí)現(xiàn)。載運(yùn)器門的轉(zhuǎn)動(dòng)由端口門6414推動(dòng)，如將在下面進(jìn)行介紹。在備選實(shí)施例中，門與載運(yùn)器之間的接合表面可具有任意所需的構(gòu)造。載運(yùn)器門316D可具有與載運(yùn)器門6414T上的扭矩連接構(gòu)件互補(bǔ)的7>/母扭矩連接部件365D。在所顯示的示范性實(shí)施例中，端口6412和端口門6414可具有總體上與載運(yùn)器和載運(yùn)器門的接合部件類似的互鎖表面或接合表面。如圖13A-13B最好地所見(jiàn)，端口可具有接合表面6460(例如向內(nèi)突出)，而端口門6414可具有互補(bǔ)的接合表面6462,以與端口表面6460重疊并接合?？梢哉J(rèn)識(shí)到，在示范性的實(shí)施例中，載運(yùn)器上的接合表面3600,3620與端口上的接合表面6460,6462相對(duì)于彼此定位，使得當(dāng)端口門轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，載運(yùn)器與載運(yùn)器門之間以及端口與端口門之間同時(shí)接合/脫開(kāi)。圖14顯示裝載鎖定室400E、分度器6410E和載運(yùn)器300E。在示范性的實(shí)施例中，分度器可大致軸向地與裝載鎖定室按順序定位。類似于容器200,300,3000，圖4所顯示的示范性實(shí)施例中的容器300E可以是與真空相容的頂部開(kāi)啟或底部開(kāi)啟的容器，并且其帶有與前述容器的部件類似的部件。腔室6400E可與前面所描述的腔室類似。圖15顯示具有減小抽氣容積構(gòu)造的裝載鎖定室及載運(yùn)器300F。在所顯示的示范性實(shí)施例中，載運(yùn)器門316F可具有對(duì)于載運(yùn)器殼體314F的密封件的頂部門350F和底部門321F。如圖15所示，當(dāng)載運(yùn)器門關(guān)閉時(shí)，底部密封件3270F(類似于例如密封件221)與殼體314F接合。當(dāng)載運(yùn)器門開(kāi)啟時(shí)，頂部密封件350F密封載運(yùn)器殼體(例如密封件350F可安置在載運(yùn)器座表面351F上并對(duì)其進(jìn)行密封)。頂部密封件350F將載運(yùn)器腔室與裝載鎖定室隔開(kāi)，由此當(dāng)對(duì)裝載鎖定室抽真空時(shí)使抽氣容積減小。圖16A-16B基于另一個(gè)示范性的實(shí)施例顯示載運(yùn)器300G和裝載鎖定室6400G分別處于對(duì)接位置和脫離對(duì)接的位置。載運(yùn)器300G具有底壁316G、環(huán)形段314G和頂壁314PD。在該實(shí)施例中，環(huán)形段314G或它的一個(gè)或多個(gè)部分可用作載運(yùn)器門。頂壁和底壁316G，314PD可固定在一起，而限定門的可移動(dòng)段314G可具有頂部密封件和底部密封件350G,321G，用于分別密封頂壁和底壁316G,314PD。裝載鎖定室6400G可具有開(kāi)放端口6402G,經(jīng)由此開(kāi)放端口6402G載運(yùn)器300G可如圖16B所示嵌套到裝載鎖定室中。裝載鎖定室6400G可具有凹進(jìn)的部分6470G,用于^f吏載運(yùn)器門314G下降以打開(kāi)進(jìn)入載運(yùn)器的入口。載運(yùn)器的頂壁314PD可密封裝載鎖定室的端口，由此密封裝載鎖定室并允許對(duì)腔室抽氣。可提供合適的升降機(jī)用來(lái)使載運(yùn)器門314G升高/降低。圖17-17C基于另一個(gè)示范性的實(shí)施例顯示另一個(gè)頂部密封的載運(yùn)器300H和裝載鎖定室6400H。載運(yùn)器300H可具有頂部密封凸緣314H和側(cè)邊開(kāi)口304H(沿著載運(yùn)器邊緣，用于裝載/卸載工件)。在示范性的實(shí)施例中，載運(yùn)器頂部密封凸緣314H如圖17B最好地所示安置在腔室端口的邊緣6412H上并對(duì)其進(jìn)行密封。載運(yùn)器門314DR可通過(guò)圖17C中箭頭O所指示的沿徑向向外方向的運(yùn)動(dòng)及旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)打開(kāi)。載運(yùn)器的開(kāi)口與裝載鎖定室中的槽閥(slotvalve)對(duì)齊。雖然具體參照裝載鎖定室對(duì)示范性的實(shí)施例進(jìn)行了描述，但是所描述的特征同樣適用于諸如圖18中所示的裝載端口腔室。裝載端口腔室的內(nèi)部可具有受控的氣氛，但可能不是可隔離的。參照?qǐng)D29A和29B,其顯示基于另一個(gè)示范性實(shí)施例的自動(dòng)材料搬運(yùn)系統(tǒng)IO，10'的示意性平面圖。在例如圖29A和29B中所顯示的自動(dòng)材料搬運(yùn)系統(tǒng)10，10'通常包括一個(gè)或多個(gè)臺(tái)內(nèi)的輸送系統(tǒng)段15、一個(gè)或多個(gè)臺(tái)間的輸送系統(tǒng)段20、處理臺(tái)排隊(duì)段35、輸送側(cè)3各(transportsidings)或分路4殳(shuntsections)25及工件載運(yùn)器或輸送工具。用語(yǔ)"臺(tái)內(nèi)"和"臺(tái)間"是為了方<更而4吏用，而并非限制輸送系統(tǒng)10110'的布置(本文所用的"臺(tái)間"通常指延伸穿過(guò)許多組的段，而"臺(tái)內(nèi)"通常指例如在組內(nèi)延伸的段)。輸送系統(tǒng)的段15,20,25,35可嵌套在一起(即一個(gè)輸送回路處于另一個(gè)輸送回路之中)，并通常布置成允許半導(dǎo)體工件(諸如例如200mm晶圓、300mm晶圓、平板顯示器面板及類似的這種部件，和/或它們的載運(yùn)器，其中載運(yùn)器去往及來(lái)自例如處理設(shè)備中的處理臺(tái)45及相關(guān)聯(lián)的處理工具30)的高速傳輸。在備選實(shí)施例中，任意適當(dāng)?shù)牟牧峡稍谧詣?dòng)材料搬運(yùn)系統(tǒng)中輸送。輸送系統(tǒng)10還可供工件從一個(gè)輸送段轉(zhuǎn)向到任何另一個(gè)輸送段使用。具有臺(tái)間和臺(tái)內(nèi)分支的用于輸送工件的自動(dòng)材料搬運(yùn)系統(tǒng)的實(shí)例可在授權(quán)名稱為"AutomatedMaterialHandlingSystem"的美國(guó)專利申請(qǐng)中見(jiàn)到，該專利申請(qǐng)具有序列號(hào)10/697,528,并在前面通過(guò)引用整體結(jié)合到本文中。在圖29A和29B中所顯示的自動(dòng)材料搬運(yùn)系統(tǒng)10,10'的構(gòu)造為典型構(gòu)造，并且自動(dòng)材料搬運(yùn)系統(tǒng)10，10'可布置成任何適當(dāng)?shù)臉?gòu)造，以適應(yīng)處理設(shè)備中的處理臺(tái)和/或處理工具任意所需的布局。如圖29A所示，在示范性的實(shí)施例中，臺(tái)間輸送段15可位于輸送段20的一側(cè)或多側(cè)，并對(duì)應(yīng)于例如一個(gè)或多個(gè)處理臺(tái)45通過(guò)任意數(shù)目的輸送段20彼此連接。在備選實(shí)施例中，外部或側(cè)邊的輸送段可以是臺(tái)理工具組或處理工具陣列上。在示范性的實(shí)施例中，圖29A的臺(tái)間輸送段15還可由交叉分路(cross-shunt)50連接，該交叉分路50允許工件輸送工具直接在臺(tái)間輸送段15之間移動(dòng)，而不必穿過(guò)處理臺(tái)或加工臺(tái)(fabbay)45。在其它的備選實(shí)施例中，輸送段15可通過(guò)附加的臺(tái)間輸送段(沒(méi)有示出)彼此連接。在其它的示范性實(shí)施例中，諸如圖29B所示，臺(tái)間輸送段15可位于任意數(shù)目的處理臺(tái)45之間，由此形成例如一般的中心島或分支段上料臺(tái)(servingbay)或工具組45之間的中央輸送干線。在其它備選實(shí)施例中，臺(tái)內(nèi)輸送段可形成環(huán)繞并包圍任意數(shù)目處理臺(tái)45的周界。在另外的備選實(shí)施例中，可有任意數(shù)目的嵌套回路段，諸如例如N個(gè)系統(tǒng)(諸如圖29A和29B中所顯示系統(tǒng)10或10')，通常由直接連接各臺(tái)間輸送段15的輸送段并聯(lián)連接。在其它的備選實(shí)施例中，輸送^殳15、20和處理工具可具有任意合適的構(gòu)造。另外，任意數(shù)目的臺(tái)內(nèi)/臺(tái)間系統(tǒng)可按任意適當(dāng)?shù)臉?gòu)造連接在一起形成嵌套的處理陣列。臺(tái)間輸送段15可以是例如模塊式的軌道系統(tǒng)，該軌道系統(tǒng)可為任何合適的工件輸送工具提供運(yùn)動(dòng)。軌道系統(tǒng)的各模塊可設(shè)置合適的配合裝置(例如互鎖接觸面、機(jī)械緊固件)，允許模塊在臺(tái)內(nèi)輸送段15的安裝過(guò)程中端對(duì)端地連接在一起。導(dǎo)軌模塊可按任意合適的長(zhǎng)度(諸如幾英尺長(zhǎng))或者按任意合適的形狀(諸如平直的或彎曲的)提供，以達(dá)到在安裝過(guò)程中易于操作及構(gòu)造上的靈活性。軌道系統(tǒng)可從下面對(duì)工件進(jìn)行支撐，或者在備選實(shí)施例中軌道系統(tǒng)為懸掛式的軌道系統(tǒng)。軌道系統(tǒng)可具有滾柱軸承或任何其它適當(dāng)?shù)妮S承表面，使得工件輸送工具可沿著軌道移動(dòng)而不在輥軸上產(chǎn)生大的阻力。滾柱軸承可以是錐形的，或者軌道可對(duì)軌道中的彎曲或轉(zhuǎn)角的內(nèi)側(cè)成一定的角度，以在工件容器沿著軌道移動(dòng)時(shí)提供額外的方向穩(wěn)定性。臺(tái)內(nèi)輸送段15可以是基于傳送機(jī)的輸送系統(tǒng)、基于纜索和滑輪或鏈條和鏈輪的輸送系統(tǒng)、基于輪式傳動(dòng)的系統(tǒng)或基于磁感應(yīng)的輸送系統(tǒng)。用來(lái)驅(qū)動(dòng)輸送系統(tǒng)的馬達(dá)可以是任何適當(dāng)?shù)木€性馬達(dá)，其具有非受限的行程，能夠使工件容器沿著臺(tái)內(nèi)輸送段15移動(dòng)。線性馬達(dá)可以是沒(méi)有運(yùn)動(dòng)零件的固態(tài)馬達(dá)。例如，線性馬達(dá)可以是帶刷或不帶刷的AC電動(dòng)機(jī)或DC電動(dòng)機(jī)、線性感應(yīng)馬達(dá)或線性步進(jìn)馬達(dá)。線性馬達(dá)可結(jié)合到臺(tái)內(nèi)輸送段15中，或者結(jié)合到工件輸送工具或容器本身中。在備選實(shí)施例中，可結(jié)合任意適當(dāng)?shù)尿?qū)動(dòng)裝置，以通過(guò)臺(tái)內(nèi)輸送系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)工件輸送工具。在其它的備選實(shí)施例中，臺(tái)內(nèi)輸送系統(tǒng)可以是用于無(wú)軌輪式自動(dòng)輸送車輛的通道。如將在下文描述，臺(tái)內(nèi)輸送段15通常通過(guò)使用排隊(duì)段及分路而供工件輸送工具沿著臺(tái)內(nèi)輸送段15的通道的不間斷高速移動(dòng)或流動(dòng)使用。這與常規(guī)的輸送系統(tǒng)相比具有巨大的優(yōu)勢(shì)，當(dāng)增加輸送容器或使其從輸送線路上移開(kāi)時(shí)，常規(guī)的輸送系統(tǒng)必須使材料的流動(dòng)停止。如前面所指出，在示范性的實(shí)施例中，臺(tái)內(nèi)輸送段20可限定處理臺(tái)或加工臺(tái)45,并且可通過(guò)排隊(duì)段35連接到臺(tái)間輸送段15上。排隊(duì)段35可位于例如臺(tái)間輸送段15或臺(tái)內(nèi)輸送段20的任一側(cè)，并且允許工件或工件容器進(jìn)入/離開(kāi)臺(tái)內(nèi)輸送段20，而無(wú)需使材料沿著臺(tái)間輸送段15的流動(dòng)或者沿著臺(tái)內(nèi)輸送段20的流動(dòng)停止或降低速度。在示范性的實(shí)施例中，排隊(duì)段35示意性地顯示為與輸送段15,20分離的段。在備選實(shí)施例中，輸送段15,20之間的排隊(duì)段或排隊(duì)通道可與輸送段整體形成，但是在輸送段之間限定離散的排隊(duì)輸送通道。在備選實(shí)施例中，排隊(duì)段可根據(jù)需要定位于臺(tái)間輸送段和臺(tái)內(nèi)輸送段上。具有運(yùn)行路線和進(jìn)入路線或排隊(duì)路線并允許有選擇地進(jìn)入及離開(kāi)運(yùn)行路線而不對(duì)運(yùn)行路線造成損害的輸送系統(tǒng)的實(shí)例在授權(quán)名稱為"TransportationSystem"的美國(guó)專利申請(qǐng)中有所描述，該專利申請(qǐng)具有序列號(hào)11/211,236，并在前面通過(guò)引用整體結(jié)合到本文中。臺(tái)內(nèi)輸送段20和排隊(duì)段35可具有軌道系統(tǒng)，其基本上類似于上述用于臺(tái)間輸送段15的軌道系統(tǒng)。在備選實(shí)施例中，臺(tái)內(nèi)輸送段以及聯(lián)系臺(tái)內(nèi)和臺(tái)間輸送段的排隊(duì)段可具有任意合適的構(gòu)造、形狀或形式，并以任意適當(dāng)?shù)姆绞津?qū)動(dòng)。如可以在圖29A中最好地所見(jiàn)，在示范性的實(shí)施例中，排隊(duì)段35可具有輸入段35A及輸出段35B，它們對(duì)應(yīng)于臺(tái)內(nèi)輸送段20和臺(tái)間輸送段15的運(yùn)動(dòng)方向Rl,R2。本文為了示例的目的而使用的慣例將段35A定義為段20的輸入(從段15中離開(kāi))，而將段35B定義為從段20中離開(kāi)/輸出(輸入到段15中)。在備選實(shí)施例中，排隊(duì)段的運(yùn)行方向可根據(jù)需要確定。如將在以下更詳細(xì)地描述，工件容器可通過(guò)輸入段35A離開(kāi)臺(tái)間輸送段15，并通過(guò)輸出段35B進(jìn)入臺(tái)間輸送段15。排隊(duì)段35可具有任意合適的長(zhǎng)度，以允許工件輸送工具離開(kāi)或進(jìn)入輸送l爻15,20。臺(tái)內(nèi)輸送段20可在將任意數(shù)目的處理工具30連接到輸送系統(tǒng)10,10'上的廊道或通道中延伸。臺(tái)內(nèi)輸送段20可如圖29A所示及以上所述使兩個(gè)或更多臺(tái)間輸送段15彼此連接。臺(tái)內(nèi)輸送段20在圖29A和29B中顯示為具有閉合的回路形狀，然而，在備選實(shí)施例中它們可具有任意適當(dāng)?shù)臉?gòu)造或形狀，并且可為適應(yīng)任意的加工設(shè)備布局而改變。在示范性的實(shí)施例中，臺(tái)內(nèi)輸送段20可通過(guò)輸送側(cè)路或分路25連接到(多個(gè))處理工具30上，輸送側(cè)路或分路25可類似于排隊(duì)段35。在備選實(shí)施例中，可在臺(tái)間輸送段上按類似的方式提供分路。分路25有效地使工件輸送工具"下線"，并且具有例如輸入段25A及輸出段25B，它們?nèi)鐖D29A所示對(duì)應(yīng)于臺(tái)間輸送段20的運(yùn)行方向R2。分路25允許工件輸送工具通過(guò)輸入段25A及輸出段25B離開(kāi)及進(jìn)入臺(tái)內(nèi)輸送段20,而基本上不中斷工件輸送工具在臺(tái)內(nèi)輸送段20上大致恒速的流動(dòng)。當(dāng)處于分路25中時(shí)，工件容器可例如在對(duì)應(yīng)于處理工具站30位置的工具對(duì)接站上停止，使得工件和/或容器本身可通過(guò)或經(jīng)由任何適當(dāng)?shù)膫鬏斞b置(諸如例如設(shè)備前端模塊、分揀器或任何其它合適的傳輸機(jī)器人)傳輸?shù)教幚砉ぞ哐b載端口中或任何其它適當(dāng)?shù)墓ぜY(jié)區(qū)。在備選實(shí)施例中，可將工件輸送工具導(dǎo)向所需的分路，以在給定的輸送段上使輸送工具重新排列(例如重新布置)工件載運(yùn)器或輸送工具從不同的段15,20,25，35進(jìn)行的轉(zhuǎn)換或在不同的段15,20,25,35之間進(jìn)行的轉(zhuǎn)換可由連接到控制器(沒(méi)有示出)上的引導(dǎo)系統(tǒng)(沒(méi)有示出)來(lái)控制。引導(dǎo)系統(tǒng)可包括定位裝置，其供確定沿著段15，20，25，35移動(dòng)的輸送工具的位置使用。定位裝置可為任意適當(dāng)?shù)念愋停T如沿著或穿過(guò)段15,20,25,35延伸的連續(xù)式或分布式裝置，諸如光學(xué)裝置、磁性裝置、條形碼或置信帶。分布式裝置可由位于輸送工具上的適當(dāng)?shù)淖x出裝置讀取或換言之查詢，以允許控制器確定輸送工具在段15,20,25,35上的位置以及輸送工具的動(dòng)態(tài)狀態(tài)。備選地，裝置可感測(cè)和/或查詢輸送工具、工件載運(yùn)器或工件上的傳感部件，諸如RFID(快速頻率識(shí)別裝置)，以識(shí)別位置/運(yùn)動(dòng)特性。定位裝置還可包括單獨(dú)的或與分布式裝置組合在一起的能夠感測(cè)運(yùn)動(dòng)輸送工具位置的離散定位裝置(例如激光測(cè)距儀、超聲測(cè)距儀或類似于內(nèi)部GPS的內(nèi)部定位系統(tǒng)，或內(nèi)部逆向GPS)。控制器可將來(lái)自引導(dǎo)系統(tǒng)的信息與來(lái)自輸送工具的位置反饋信息結(jié)合在一起，以確定并保持輸送工具沿著段15,20,25,35的輸送通道以及在段15,20,25，35之間的4命送通道。在備選實(shí)施例中，引導(dǎo)系統(tǒng)可包括或具有槽、導(dǎo)軌、軌道或任何其它形成結(jié)構(gòu)式或機(jī)械式引導(dǎo)表面的適當(dāng)?shù)慕Y(jié)構(gòu)，以與工件輸送工具上的機(jī)械式引導(dǎo)部件協(xié)作。在其它備選實(shí)施例中，段15,20，25,35還可包括電氣線路，諸如為工件輸送工具提供電子制導(dǎo)的印刷帶(printedstrip)或?qū)w(例如電氣線路發(fā)送合適的電磁信號(hào)，由輸送工具上適當(dāng)?shù)囊龑?dǎo)系統(tǒng)檢測(cè)該信號(hào))。仍然參照?qǐng)D29A和29B,以下將描述輸送系統(tǒng)10,10'的示范性運(yùn)行。位于例如分路25中的工件容器可進(jìn)入輸送系統(tǒng)10,10'中。為了保持臺(tái)內(nèi)輸送段20的流動(dòng)基本上不中斷并且以總體上恒定的速度移動(dòng)，工件容器可通過(guò)分路25進(jìn)入臺(tái)內(nèi)輸送段20。工件輸送工具在分路25中加速，使得輸送工具按照與臺(tái)內(nèi)輸送段20中材料流動(dòng)相同的速度運(yùn)行。分路25允許工件輸送工具加速，并由此輸送工具可并入臺(tái)內(nèi)輸送段20的流動(dòng)中，而不妨礙該流動(dòng)或與臺(tái)內(nèi)輸送段20中行進(jìn)的任何其它輸送工具碰撞。當(dāng)與臺(tái)內(nèi)輸送段20合并時(shí)，工件輸送工具可在分路25中等待適當(dāng)?shù)拈g隔距離(headway),使得工具輸送工具可自由地進(jìn)入臺(tái)內(nèi)輸送段的流動(dòng)中，而不與任何其它的工件載運(yùn)器或輸送工具碰撞，或?qū)е聶M跨臺(tái)內(nèi)輸送段的輸送工具的速度降低。工件輸送工具繼續(xù)例如沿著臺(tái)內(nèi)輸送段20以大致恒定的速度運(yùn)行，并利用先行權(quán)轉(zhuǎn)換到例如輸出排隊(duì)區(qū)或排隊(duì)段35B上以轉(zhuǎn)換臺(tái)間段15。在一個(gè)實(shí)施例中，如果在輸出排隊(duì)段35B中沒(méi)有空間，則輸送工具可繼續(xù)繞著臺(tái)內(nèi)輸送段20行進(jìn)，直到輸出排隊(duì)段35B變得可用。在備選實(shí)施例中，可提供交叉分路以連接輸送段中相反的運(yùn)行通道，允許輸送工具在輸送通道之間轉(zhuǎn)換，以例如返回到旁通站而不必通過(guò)輸送段的整個(gè)回路。輸送工具可在操作臺(tái)的輸出排隊(duì)段35B中等待適當(dāng)?shù)拈g隔距離，然后加速且并入到臺(tái)間輸送段15的通常連續(xù)并且恒速的流動(dòng)中，并入的方式基本上類似于以上對(duì)于臺(tái)內(nèi)輸送段20所描述的并入方式。輸送工具可例如繼續(xù)以總體上連續(xù)的速度沿著臺(tái)間輸送段15行進(jìn)到預(yù)定的操作臺(tái)，并轉(zhuǎn)換到相關(guān)聯(lián)的排隊(duì)輸入段35A上以進(jìn)入所需的臺(tái)內(nèi)段20。在一個(gè)實(shí)施例中，如果在輸入排隊(duì)段35A中沒(méi)有空間，則輸送工具可繼續(xù)繞著臺(tái)內(nèi)輸送羊殳15行進(jìn)，直到輸入排隊(duì)段35A變得可用，方式類似于前面所述。輸送工具可在輸入排隊(duì)段35A中等待適當(dāng)?shù)拈g隔距離，并加速以并入到第二個(gè)臺(tái)內(nèi)輸送段20中，第二個(gè)臺(tái)內(nèi)輸送段20同樣具有連續(xù)恒定速度的流動(dòng)。輸送工具從第二個(gè)臺(tái)內(nèi)輸送段20中轉(zhuǎn)換到輸送分路25上，在此輸送工具與處理工具30對(duì)接。如果由于其它輸送工具處于分路25中而使得分路25中沒(méi)有輸送工具的空間，則輸送工具可利用先行權(quán)繼續(xù)繞著臺(tái)內(nèi)輸送段20行進(jìn)，直到分路25變得可用。由于臺(tái)間輸送段15和臺(tái)內(nèi)輸送段20中材料的流動(dòng)基本上不中斷，并且以總體上恒定的速度行進(jìn)，所以系統(tǒng)可在處理臺(tái)和處理工具之間保持工件輸送工具的高通過(guò)量。在圖29A中所示的示范性實(shí)施例中，輸送工具可通過(guò)延長(zhǎng)部分40直接在處理臺(tái)之間行進(jìn)，該延長(zhǎng)部分40可將排隊(duì)段35、處理工具、臺(tái)內(nèi)輸送段20或臺(tái)間輸送段15直接連接在一起。例如，如圖29A和29B所示，延長(zhǎng)部分40將排隊(duì)段35連接在一起。在備選實(shí)施例中，延長(zhǎng)部分40可通過(guò)將各工具的輸送分路(類似于分路25)連接在一起來(lái)提供從一個(gè)處理工具到另一個(gè)處理工具的入口。在其它備選實(shí)施例中，延長(zhǎng)部分可直接將自動(dòng)材料搬運(yùn)系統(tǒng)的任意數(shù)目或任意組合的元件連接在一起，以提供短的進(jìn)入通路。在較大的嵌套網(wǎng)絡(luò)中，由延長(zhǎng)部分40在輸送工具的目的地之間形成的較短的通道可縮減輸送工具的運(yùn)行時(shí)間，并進(jìn)一步提高系統(tǒng)的生產(chǎn)率。在其它備選實(shí)施例中，自動(dòng)材料搬運(yùn)系統(tǒng)10,10'的流動(dòng)可以是雙向的。輸送段15，20,25,35，40,50可具有并排平行的行進(jìn)路線，出口坡道和進(jìn)入坡道。輸送段的各平行路線可專門用于給定方向的行進(jìn)，并且可以單獨(dú)地或同時(shí)轉(zhuǎn)換，使得各相應(yīng)平行路線的行進(jìn)根據(jù)輸送算法而反轉(zhuǎn)，以適應(yīng)輸送工具的裝載條件。例如，材料或輸送工具沿著輸送段15,20，25,35,40,50的平行路線的流動(dòng)可按其各自的方向流動(dòng)。然而，如果在晚些時(shí)候預(yù)測(cè)到一些數(shù)目的工件輸送工具位于設(shè)備中，并且將要到達(dá)一個(gè)位置，對(duì)于該位置如果沿著這些平行路線中的一個(gè)3各線:接與目前流動(dòng)方向相反的方向移動(dòng)將更為高效，則平4亍路線的行進(jìn)方向可反轉(zhuǎn)。在備選實(shí)施例中，雙向運(yùn)行路線可重疊定位(即一條路線位于另一條路線之上)。處理工具與輸送分路25之間的界面可具有升降機(jī)類型的結(jié)構(gòu)，以使輸送工具從分路升高或降低到處理工具裝載端口，例如，諸如在具有材料順時(shí)針流動(dòng)的分路位于具有材料逆時(shí)針流動(dòng)的分路之上的情況下。在備選實(shí)施例中，雙向分路和其它輸送段可具有任意適當(dāng)?shù)臉?gòu)造。圖20顯示輸送系統(tǒng)的輸送系統(tǒng)軌道500的一部分，其基于另一個(gè)示范性的實(shí)施例用于在工具站之間輸送載運(yùn)器。軌道可具有固態(tài)的傳送沖幾系統(tǒng)，類似于美國(guó)專利申請(qǐng)(序列號(hào)10/697,528)所描述的系統(tǒng)，該專利申請(qǐng)?jiān)谇懊嫱ㄟ^(guò)引用結(jié)合到本文中。軌道可具有靜止的壓力器(forcer)段，與整體結(jié)合在載運(yùn)器殼體/外殼中的反應(yīng)部分協(xié)同操作。因而載運(yùn)器可由傳送機(jī)直接輸送。輸送系統(tǒng)500顯示處于異步輸送系統(tǒng)中，其中，載運(yùn)器的輸送基本上脫離其它載運(yùn)器動(dòng)作對(duì)輸送系統(tǒng)的影響。軌道系統(tǒng)構(gòu)造成消除由于其它載運(yùn)器的動(dòng)作而引起的影響給定載運(yùn)器輸送率的決定因素。傳送機(jī)軌道500使用帶有開(kāi)/關(guān)分支通道(還見(jiàn)圖297-298)的主輸送通道，開(kāi)/關(guān)分支通道可按規(guī)定路線引導(dǎo)載運(yùn)器從主輸送通道上離開(kāi)，以實(shí)現(xiàn)路線改變以及與工具站(緩沖器、儲(chǔ)存器等)對(duì)接，而不損害主輸送通道上的傳輸。帶有開(kāi)/關(guān)分支通道的輸送系統(tǒng)的適當(dāng)?shù)膶?shí)例在美國(guó)專利申請(qǐng)(序列號(hào)11/211,236)中公開(kāi)，該專利申請(qǐng)?jiān)谇懊嫱ㄟ^(guò)引用結(jié)合到本文中。在該實(shí)施例中，段500A，C,D可具有用于Al-D線性馬達(dá)的繞組，其中Al-D線性馬達(dá)導(dǎo)致沿著主運(yùn)行通道500M的移動(dòng)(這顯示在圖20A中)。#殳500B在圖20中顯示為例如離開(kāi)/退出到可稱為進(jìn)入通道500S的地方。處于該段中的壓力器的繞組布置成影響2-D平面馬達(dá)，以允許沿著主通道500M的運(yùn)動(dòng)，以及需要時(shí)實(shí)現(xiàn)載運(yùn)器沿著通道500S的移動(dòng)(參見(jiàn)圖20B)。馬達(dá)控制器可以是區(qū)域式控制器，類似于2005年7月11日提交的美國(guó)專利申請(qǐng)(序列號(hào)10/697,528)中所描述的分布式控制結(jié)構(gòu)，該專利申請(qǐng)通過(guò)引用整體結(jié)合到本文中。在該實(shí)施例中，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)/馬達(dá)可以是分區(qū)的，由區(qū)域式控制器利用區(qū)域之間恰當(dāng)?shù)囊平贿M(jìn)行高效地控制。傳送機(jī)500可具有適當(dāng)?shù)妮S承，以移動(dòng)地支撐載運(yùn)器，例如，在段500A，500C和500D中的軸承(例如輥軸、滾珠可允許載運(yùn)器沿著通道500M的一個(gè)自由度的運(yùn)動(dòng))。段500B中的軸承可允許載運(yùn)器2個(gè)自由度的運(yùn)動(dòng)。在其它實(shí)施例中，軸承可裝設(shè)在載運(yùn)器上。在另外的實(shí)施例中，空氣軸承可用來(lái)移動(dòng)地將載運(yùn)器支撐在軌道上。載運(yùn)器在通道500M之間的引導(dǎo)以及到通道500S上的指引可由適當(dāng)?shù)囊龑?dǎo)系統(tǒng)(諸如載運(yùn)器上的可轉(zhuǎn)向輪或鉸接輪、軌道上的鉸接導(dǎo)軌或如圖20B中所示的磁性駕駛設(shè)備)實(shí)現(xiàn)。圖20A顯示系統(tǒng)500的示范性輸送元件500A。所示的示范性的施例顯示帶有單獨(dú)行進(jìn)路線或通道(例如通道500M)的段。如圖20A所示，在示范性的實(shí)施例中，該段具有線性馬達(dá)部分或壓力器502A及為輸送工具提供推動(dòng)支撐的(多個(gè))支撐表面504(A)。如前面所指出，在備選實(shí)施例中輸送^殳可具有任何其它所需的構(gòu)造。在示范性的實(shí)施例中，導(dǎo)軌506A可用來(lái)引導(dǎo)輸送工具。在備選實(shí)施例中，輸送段可具有磁體或磁性軸承，代替導(dǎo)軌用于輸送工具引導(dǎo)。載運(yùn)器上的電磁體可用來(lái)輔助載運(yùn)器從軌道上脫開(kāi)。圖20B基于另一個(gè)示范性的實(shí)施例顯示輸送系統(tǒng)500的另一個(gè)輸送段。段500A'可具有多個(gè)行進(jìn)路線(例如與圖20中所示的段500B類似的相交路線)或基本上平行的彼此之間可以轉(zhuǎn)換的主行進(jìn)路線(類似于通道500M)。如圖20B所示，在示范性的實(shí)施例中，運(yùn)行路線(類似于通道500M，500S)通常由l-D馬達(dá)段502A1和對(duì)應(yīng)的載運(yùn)器推動(dòng)支撐表面/區(qū)域504A'限定。行進(jìn)路線之間的相交或轉(zhuǎn)換由2-D馬達(dá)元件陣列形成，該2-D馬達(dá)元件陣列能夠在輸送工具上產(chǎn)生所需的2-D力，以實(shí)現(xiàn)在運(yùn)行路線500M',500S'之間往復(fù)移動(dòng)。圖21基于另一個(gè)示范性實(shí)施例顯示傳送機(jī)輸送系統(tǒng)的相交段或轉(zhuǎn)向段。在所示的示范性實(shí)施例中，輸送段500A"限定了多個(gè)相交的行進(jìn)路線500M"，500S"。行進(jìn)路線總體上類似于通道500M(參見(jiàn)圖20A)。在示范性的實(shí)施例中，輸送車輛可橫越給定的路線500S",500M"，直到總體上與相交路線對(duì)齊。當(dāng)對(duì)齊時(shí)，所需路線的l-D馬達(dá)開(kāi)始沿著相交的路線移動(dòng)輸送工具。在備選實(shí)施例中，相交可不定向成90°。圖20C顯示載運(yùn)器1200的底部及其中的反應(yīng)元件(reactiveelement)?？梢哉J(rèn)識(shí)到，反應(yīng)元件可布置成與交叉區(qū)相應(yīng)的壓力器段(參見(jiàn)(例如)圖21)的方位一致。這允許載運(yùn)器在交叉區(qū)基本上不停止而改變軌道。圖20D顯示基于另一個(gè)示范性實(shí)施例位于載運(yùn)器1200A的樞軸段上的反應(yīng)元件1202FA,其中樞軸段可轉(zhuǎn)動(dòng)到所需的位置上。圖22顯示軌道段500H"',其帶有側(cè)邊軌道儲(chǔ)存位置500S"',其總體上類似于圖21所顯示的交叉區(qū)。圖23-23A顯示軌道段500,其帶有用于載運(yùn)器升降機(jī)的提升臂或往復(fù)裝置(沒(méi)有示出)的切口或開(kāi)口1500O,如以下進(jìn)一步描述。在示范性的實(shí)施例中，開(kāi)口15000允許從側(cè)邊4姿近載運(yùn)器，以便在傳送機(jī)軌道上從底部抓取載運(yùn)器。圖24顯示帶有壓力器(諸如線性馬達(dá))2502A的軌道段2500A，該壓力器2502A的位置偏離箭頭2500M所指示的載運(yùn)器/軌道中心線。圖25A-25B顯示用于在半導(dǎo)體FAB中輸送基底的線性馬達(dá)傳送機(jī)3500(具有接地的壓力器段及嵌入載運(yùn)器3200中的反作用元件)。在所示的示范性實(shí)施例中，傳送才幾3500如所示可以是倒置的(例如載運(yùn)器懸掛在傳送機(jī)上并位于傳送機(jī)下面)，使得載運(yùn)器可以直接從下面4妾近。除此之外，傳送才幾3500可類似于前述的輸送系統(tǒng)500A,500A".500A'"。在示范性的實(shí)施例中，可采用磁性固位壓力器3502以保持傳送機(jī)3500與載運(yùn)器3200之間的聯(lián)接。此力可由線性馬達(dá)的獨(dú)的電磁體和/或永久磁體(沒(méi)有示出)產(chǎn)生。載運(yùn)器到傳送機(jī)的聯(lián)接和脫離很快并且不需要運(yùn)動(dòng)零件(例如電磁開(kāi)關(guān))即可實(shí)現(xiàn)。防失效的運(yùn)行可通過(guò)磁通路徑(fluxpath)和/或載運(yùn)器與傳送機(jī)之間的被動(dòng)機(jī)械固位部件得以保證。在示范性的實(shí)施例中，相交和分支點(diǎn)(即與例如圖20中的段500B類似的合并-分離位置)可利用線圈切換來(lái)達(dá)到。在備選實(shí)施例中，轉(zhuǎn)臺(tái)或其它路徑選擇裝置(routingdevices)可用來(lái)在傳送機(jī)3200的行進(jìn)通道之間傳輸載運(yùn)器。在示范性的實(shí)施例中，載運(yùn)器3200可布置成使得反作用元件位于頂部，而基底從載運(yùn)器的底部進(jìn)入。在示范性的實(shí)施例中，載運(yùn)器3200可具有磁性臺(tái)板(platen)，其定位成與傳送機(jī)3500的壓力器協(xié)同操作。載運(yùn)器臺(tái)板或臺(tái)板段可包括輥軸、軸承或其它推動(dòng)支撐表面(例如用于傳送機(jī)中空氣軸承的反作用表面)。臺(tái)板還可包括電磁聯(lián)接，其允許載運(yùn)器的容器部分與臺(tái)板部分脫離，當(dāng)工件容器部分被裝載到處理工具3030上時(shí)，該臺(tái)板部分可保持與傳送機(jī)連接。在示范性的實(shí)施例中，為了裝載工具，傳送機(jī)3200將載運(yùn)器定位于裝載端口，并且例如專用的垂直傳輸機(jī)構(gòu)3040可用來(lái)(還參見(jiàn)圖26A-26B)使載運(yùn)器從傳送機(jī)的高度降低到(受控環(huán)境)工具3030的裝載界面3032。垂直傳輸裝置還可用作分度器，由此定位晶圓，以便由晶圓處理機(jī)器人接近。垂直傳輸裝置的適當(dāng)?shù)膶?shí)例在2005年8月25日提交的美國(guó)專利申請(qǐng)(序列號(hào)11/210，918)中有描述，該專利申請(qǐng)?jiān)谇懊嫱ㄟ^(guò)引用結(jié)合到本文中。在備選實(shí)施例中，傳送機(jī)可以是定位成反轉(zhuǎn)布置并具有適當(dāng)?shù)拇乓Φ臋C(jī)動(dòng)輪式儲(chǔ)運(yùn)機(jī)，以將載運(yùn)器固定在傳送機(jī)的機(jī)輪上。在其它備選實(shí)施例中，總體布置可以是倒置的，使得傳送機(jī)處于裝載端口下面，而載運(yùn)器在頂部具有反作用部件。圖26A-26B顯示直接從輸送系統(tǒng)將載運(yùn)器降低/提升到裝栽端口/工具界面的其它實(shí)例。在圖26A-26B中所示的示范性實(shí)施例中，載運(yùn)器可具有與該載運(yùn)器一體結(jié)合的反作用臺(tái)板。在其它實(shí)施例中，如之前所指出，平臺(tái)可從載運(yùn)器上分離，例如，當(dāng)載運(yùn)器移開(kāi)時(shí)保持在/連接到傳送機(jī)上。在這種情況下，輸送系統(tǒng)中的各臺(tái)板大致按1:1的關(guān)系對(duì)應(yīng)于FAB中的載運(yùn)器。圖27顯示基于另一個(gè)示范性實(shí)施例的具有傳送機(jī)車輛混合構(gòu)造的載運(yùn)器4200。(多臺(tái))載運(yùn)器車輛4200可提供有效負(fù)載的自動(dòng)運(yùn)送(諸如載運(yùn)器包含半導(dǎo)體基底)。車輛可攜帶用于推動(dòng)自身的儲(chǔ)存能量、轉(zhuǎn)向系統(tǒng)、至少一個(gè)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)輪、用于測(cè)距及障礙物檢測(cè)的傳感器和相關(guān)的控制電子設(shè)備。另外，車輛還配備有一個(gè)或多個(gè)反作用元件(類似于前述的磁性臺(tái)板)，該反作用元件可與傳送機(jī)4500(類似于傳送機(jī)系統(tǒng)500，還參見(jiàn)圖20)的靜止的線性馬達(dá)壓力器段協(xié)同操作。在示范性的實(shí)施例中，當(dāng)(多臺(tái))車輛4200沿著由一個(gè)或多個(gè)壓力器段限定的通道(類似于通道500M,500J)行進(jìn)時(shí)，驅(qū)動(dòng)馬達(dá)可從(多個(gè))驅(qū)動(dòng)輪上脫開(kāi)，而車輛通過(guò)與傳送機(jī)4500中的反作用元件的電磁聯(lián)接沿著通道被被動(dòng)地推動(dòng)。如果車輛內(nèi)的儲(chǔ)能裝置(例如蓄電池、超級(jí)電容、飛輪等)需要再充電，(多個(gè))牽引輪沿著導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)可用來(lái)將來(lái)自線性馬達(dá)的能量轉(zhuǎn)換成車輛的儲(chǔ)存能量。在電能儲(chǔ)存的情況下，可通過(guò)使將要用作發(fā)電機(jī)的車輛驅(qū)動(dòng)馬達(dá)重新與適當(dāng)?shù)谋O(jiān)測(cè)和調(diào)節(jié)電子器件連接來(lái)實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn)。這種"過(guò)程中"的充電具有簡(jiǎn)便耐用的有利之處，并且這種裝置提供巨大的靈活性和容錯(cuò)性。例如，(多臺(tái))車輛4200能夠自動(dòng)地行駛過(guò)失效的傳送機(jī)段、繞過(guò)障礙物或在不提供傳送機(jī)的工作區(qū)之間行駛(參見(jiàn)圖27A,27B)。傳送機(jī)壓力器段的數(shù)目及長(zhǎng)度可根據(jù)操作方案(諸如例如用于臺(tái)間輸送的傳送機(jī)，以及與操作臺(tái)一起使用自動(dòng)車輛運(yùn)動(dòng))進(jìn)行調(diào)節(jié)。對(duì)于靈活的路線選擇可使用自引導(dǎo)駕駛?？墒褂米砸龑?dǎo)轉(zhuǎn)彎以消除彎曲的壓力器段。沿著傳送機(jī)的路線可實(shí)現(xiàn)高速運(yùn)行，并且如果需要，可通過(guò)安全柵與操作人員隔開(kāi)。傳送機(jī)段可用于長(zhǎng)距離運(yùn)行，諸如與相鄰的FABs聯(lián)結(jié)。傳送機(jī)可用于坡度變化(gradechanges),減輕只使用儲(chǔ)存能量的車輛所遭遇的困難。圖28顯示整體式的載運(yùn)器和輸送車輛的另一個(gè)實(shí)例。在常規(guī)的基于車輛的半導(dǎo)體自動(dòng)化中，對(duì)車輛進(jìn)行調(diào)度以在FAB中輸送工件載運(yùn)器，與此對(duì)照，在示范性的實(shí)施例中，各載運(yùn)器5200就是車輛。示范性實(shí)施例中的整體式的載運(yùn)器/車輛5200可類似于前述的車輛4200。在備選實(shí)施例中，載運(yùn)器車輛可具有任何所需的車輛部件。在示范性的實(shí)施例中，車輛5200可包括整體式的載運(yùn)器5202和車輛5204部分。載運(yùn)器5202在圖28中為了示例的目的顯示為前面/側(cè)面開(kāi)啟。在備選實(shí)施例中，載運(yùn)器可以是頂部開(kāi)啟或具有任何其它適當(dāng)?shù)墓ぜ鬏旈_(kāi)口。車輛可直接行駛到裝載端口，在此可傳輸進(jìn)行，或與另一個(gè)自動(dòng)部件(諸如工具緩沖器)接合?；旧嫌谰眯缘毓潭ǖ妮d運(yùn)器5202和車輛5204可在需要大量傳輸時(shí)免除等候調(diào)度空閑車輛的時(shí)間，以及免除相關(guān)聯(lián)的發(fā)送時(shí)間的差異。還有，載運(yùn)器車輛5200消除了"空栽車輛"的移動(dòng)，并由此降低輸送網(wǎng)絡(luò)中的整體交通量，提高了系統(tǒng)的容量。在備選實(shí)施例中，載運(yùn)器和車輛可具有連接件，用于使載運(yùn)器與車輛分開(kāi)。盡管車輛在系統(tǒng)中可按1:1的關(guān)系分配給載運(yùn)器，以消除由于等候車輛而引起的載運(yùn)器輸送中的延遲，然而，適當(dāng)?shù)目刂破髦械南到y(tǒng)知識(shí)可用來(lái)在受限的情況下(例如車輛或者工件載運(yùn)器段的修理/維護(hù))允許分離。除此之外，載運(yùn)器和車輛在輸送過(guò)程中或當(dāng)與工具裝載站或FAB的其它自動(dòng)部件接合時(shí)保持整體式的單元。圖29C顯示基于另一個(gè)示范性實(shí)施例的水平排列的緩沖系統(tǒng)6000的平面圖，該緩沖系統(tǒng)6000可在傳送機(jī)系統(tǒng)500(或任何其它所需的載運(yùn)器輸送系統(tǒng))和工具站IOOO之間進(jìn)行對(duì)接。緩沖系統(tǒng)可位于工具站或其中的部分的下方或位于工具站上方。緩沖系統(tǒng)可背離(即在下方或上方)操作人員進(jìn)入通道而定位。圖30是緩沖系統(tǒng)的正視圖。圖29C-30為了示例的目的顯示緩沖系統(tǒng)位于傳送機(jī)500的一側(cè)。緩沖系統(tǒng)可延伸以根據(jù)需要覆蓋FAB底板的一大部分。在所顯示的示范性實(shí)施例中，操作人員行走通道可升高到緩沖系統(tǒng)上方。類似地，緩沖系統(tǒng)可延伸到高架的FAB中的任何部位。如圖29C-30所示，在示范性的實(shí)施例中，緩沖系統(tǒng)6000可包括能夠進(jìn)行至少3-D運(yùn)動(dòng)的往復(fù)系統(tǒng)6100(可具有適當(dāng)?shù)妮d運(yùn)器升降機(jī)或分度器)和陣列緩沖站ST。往復(fù)系統(tǒng)可通常包括用于一個(gè)或多個(gè)往復(fù)裝置6104的引導(dǎo)系統(tǒng)(例如導(dǎo)軌)6102,該往復(fù)裝置6104能夠在引導(dǎo)系統(tǒng)上進(jìn)行至少2-D的往復(fù)移動(dòng)。在圖29C-30中所顯示的往復(fù)系統(tǒng)的排列僅僅是示范性的，在備選實(shí)施例中，往復(fù)系統(tǒng)可具有任何其它所需的排列。在示范性的實(shí)施例中，往復(fù)系統(tǒng)在傳送才幾500、緩沖站ST和工具裝載站LP(參見(jiàn)圖29C)之間進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)或?qū)印?多個(gè))往復(fù)裝置6102能夠在水平布置ST或工具站上的裝載位置LP之間往復(fù)移動(dòng)，以在其間往復(fù)輸送載運(yùn)器200。如圖30中最好地所見(jiàn)，在示范性的實(shí)施例中，往復(fù)裝置6104可包括分度器6106，用于抓取/安放傳送機(jī)600或緩沖站ST或工具裝載端口LP上的載運(yùn)器。緩沖系統(tǒng)可按模塊形式構(gòu)造，以允許系統(tǒng)容易地進(jìn)行擴(kuò)充或縮減。例如，各模塊可具有相應(yīng)的(多個(gè))儲(chǔ)存位置ST和往復(fù)裝置導(dǎo)軌及連接接頭，用于連接緩沖系統(tǒng)其它已安裝的模塊。在備選實(shí)施例中，系統(tǒng)可具有緩沖站模塊(帶有一個(gè)或多個(gè)整體式的緩沖站)和往復(fù)裝置導(dǎo)軌模塊，其允許模塊化地安裝往復(fù)裝置導(dǎo)軌。如圖29C中所見(jiàn)，傳送機(jī)500的(多個(gè))進(jìn)入路線60L可具有往復(fù)裝置進(jìn)入通路，其允許往復(fù)裝置的分度器經(jīng)由傳送機(jī)路線接近載運(yùn)器。圖31顯示與傳送機(jī)500的合并/分?jǐn)溌肪€連通的緩沖系統(tǒng)6000的正視圖。在示范性的實(shí)施例中，緩沖系統(tǒng)的往復(fù)裝置6104可接近被指引到傳送機(jī)的進(jìn)入路線上的載運(yùn)器。止動(dòng)件(或缺少與圖29C所示的路線602類似的進(jìn)入通路)可限制往復(fù)裝置進(jìn)入或妨礙傳送機(jī)的行進(jìn)路線。圖32是顯示多列緩沖站的另一個(gè)正視圖。緩沖系統(tǒng)可具有以任意所需數(shù)目的列排列的任意所需數(shù)目的緩沖站。往復(fù)裝置的往復(fù)移動(dòng)(按圖32中箭頭Y所指示的方向)可通過(guò)才莫塊化地更換往復(fù)移動(dòng)引導(dǎo)件61087而根據(jù)需要進(jìn)行調(diào)節(jié)。在其它備選實(shí)施例中，緩沖站可排列成多個(gè)水平的平面或?qū)?即兩個(gè)或多個(gè)垂直隔開(kāi)的層，以允許載運(yùn)器高度在層間穿過(guò))。多層緩沖可用于減小容量的載運(yùn)器。圖33顯示與受引導(dǎo)的車輛載運(yùn)器V對(duì)接的緩沖系統(tǒng)的另一個(gè)平面圖。圖34顯示高架緩沖系統(tǒng)7000的正^L圖，緩沖系統(tǒng)7000在其它方面類似于前述位于工具下方的緩沖系統(tǒng)6000。高架緩沖系統(tǒng)7000可與位于工具下方的緩沖系統(tǒng)(類似于系統(tǒng)6000)—起使用。高架緩沖系統(tǒng)顯示與高架傳送機(jī)500對(duì)接。在備選實(shí)施例中，高架系統(tǒng)可與底板傳送機(jī)系統(tǒng)或基于底板的車輛對(duì)接。可提供適當(dāng)?shù)目刂坡?lián)鎖器(例如硬式的)來(lái)防止帶有降低的有效負(fù)載的往復(fù)裝置的水平往復(fù)移動(dòng)，該水平往復(fù)移動(dòng)可能碰撞行走通道的垂直空間。行走通道上方的頂部護(hù)罩可用于防止懸掛的負(fù)載穿過(guò)行走通道空間。圖35顯示形成回路的緩沖系統(tǒng)8000。系統(tǒng)的緩沖站ST可以是移動(dòng)的并安裝在軌道81OO(在示范性的實(shí)施例中顯示為閉合的回路)上，該軌道8100使緩沖站ST在(多個(gè))裝載位置R與工具界面的(多個(gè))裝載站LP之間移動(dòng)，在裝載位置R，載運(yùn)器可被裝載進(jìn)緩沖站ST(例如利用高架裝載)。工具界面可具有分度器，用于將載運(yùn)器裝載進(jìn)工具站中。應(yīng)當(dāng)理解，以上描述對(duì)本發(fā)明僅僅是說(shuō)明性的。本領(lǐng)域的技術(shù)人員可在不背離本發(fā)明的前提下設(shè)計(jì)出各種備選方案和變更。因此，本發(fā)明旨在包含所有這種屬于所附的權(quán)力要求書范圍之內(nèi)的備選方案、變更和變型。權(quán)利要求1.一種半導(dǎo)體工件處理系統(tǒng)，包括用于處理半導(dǎo)體工件的至少一個(gè)處理工具；具有一個(gè)或多個(gè)恒速輸送回路的主輸送系統(tǒng)；具有一個(gè)或多個(gè)恒速輸送回路的輔輸送系統(tǒng)，所述輔輸送系統(tǒng)經(jīng)由排隊(duì)段連接到所述主輸送系統(tǒng)上，其中，所述排隊(duì)段構(gòu)造成允許材料在所述主輸送系統(tǒng)與輔輸送系統(tǒng)之間移動(dòng)而不干擾所述主輸送系統(tǒng)或所述輔輸送系統(tǒng)的流動(dòng)；以及經(jīng)由用于與所述至少一個(gè)處理工具對(duì)接的對(duì)接分路連接到所述輔輸送系統(tǒng)的所述一個(gè)或多個(gè)輸送回路上的一個(gè)或多個(gè)界面，其中，所述對(duì)接分路構(gòu)造成允許材料在所述輔輸送系統(tǒng)的所述一個(gè)或多個(gè)輸送回路與所述一個(gè)或多個(gè)界面之間移動(dòng)而不干擾所述輔輸送系統(tǒng)的流動(dòng)；其中，材料沿著所述主輸送系統(tǒng)和所述輔輸送系統(tǒng)的流動(dòng)是連續(xù)的。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)材料搬運(yùn)系統(tǒng)，其特征在于，所述主輸送系統(tǒng)的所述一個(gè)或多個(gè)恒速輸送回路經(jīng)由所述輔輸送系統(tǒng)的所述一個(gè)或多個(gè)恒速輸送回聘4皮此連接。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)材料搬運(yùn)系統(tǒng)，其特征在于，所述主輸送系統(tǒng)的所述一個(gè)或多個(gè)恒速回路經(jīng)由一個(gè)或多個(gè)交叉分路4皮此連接。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)材料搬運(yùn)系統(tǒng)，其特征在于，所述輔輸送系統(tǒng)的所述一個(gè)或多個(gè)恒速回路經(jīng)由一個(gè)或多個(gè)交叉分路彼此連接。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)材料搬運(yùn)系統(tǒng)，其特征在于，所述主輸送系統(tǒng)的所述一個(gè)或多個(gè)恒速回路中的至少一個(gè)回i各經(jīng)由排隊(duì)段連接到所述主輸送系統(tǒng)的所述一個(gè)或多個(gè)恒速回3各中的另一個(gè)回路上。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)材料搬運(yùn)系統(tǒng)，其特征在于，所述自動(dòng)材料搬運(yùn)系統(tǒng)構(gòu)造成用于輸送用來(lái)在其中容納至少一個(gè)半導(dǎo)體工件的容器，以輸送到所述處理工具和從所述處理工具輸送。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)材料搬運(yùn)系統(tǒng)，其特征在于，所述主輸送系統(tǒng)和所述輔輸送系統(tǒng)構(gòu)造成允許指定為傳輸?shù)脚抨?duì)段或?qū)臃致飞系墓ぜ萜骼^續(xù)沿著所述主輸送系統(tǒng)或所述輔輸送系統(tǒng)行進(jìn)，直到所述排隊(duì)段或?qū)臃致纷兊每捎谩?.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)材料搬運(yùn)系統(tǒng)，其特征在于，所述主輸送系統(tǒng)、所述輔輸送系統(tǒng)、所述排隊(duì)段和所述對(duì)接分路各包括一組平行的軌道，并且其中，所述一組平行的軌道中的各軌道構(gòu)造成按彼此相反的方向提供工件載運(yùn)器輸送。全文摘要一種半導(dǎo)體工件處理系統(tǒng)，其具有用于處理工件的至少一個(gè)處理裝置、主輸送系統(tǒng)、輔輸送系統(tǒng)以及主輸送系統(tǒng)和輔輸送系統(tǒng)之間的一個(gè)或多個(gè)界面。主輸送系統(tǒng)和輔輸送系統(tǒng)各自具有一個(gè)或多個(gè)大致恒速的段以及與恒速段連通的排隊(duì)段。文檔編號(hào)H01L21/677GK101356636SQ200680050581公開(kāi)日2009年1月28日申請(qǐng)日期2006年11月7日優(yōu)先權(quán)日2005年11月7日發(fā)明者C·霍夫梅斯特,M·L·布法諾,U·吉爾克里斯特,W·福斯奈特申請(qǐng)人:布魯克斯自動(dòng)化公司