專利名稱：超導(dǎo)均熱板的噴涂及置料制程及其執(zhí)行裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及均熱板的前段制程，特別地指一種用夾具通過(guò)一 次操作步驟完成骨料定位的制程，以及實(shí)現(xiàn)均熱板半成品量產(chǎn)化 的裝置。
背景技術(shù)：
均熱板利用工作介質(zhì)的蒸發(fā)和冷凝來(lái)傳遞熱量，能夠在大溫 差、短距離的情況下傳遞大量的熱能。相對(duì)于熱導(dǎo)管在小溫差、 長(zhǎng)距離的情況下傳遞熱能，均熱板則是將點(diǎn)的熱傳導(dǎo)更進(jìn)一步地 變成面的熱傳導(dǎo)，具有更高效率的熱傳導(dǎo)特性，未來(lái)可能被大量 應(yīng)用在熱傳導(dǎo)領(lǐng)域。
已知提出了許多相關(guān)均熱板制程的文獻(xiàn)，例如圖6a及圖6b 所示，它們轉(zhuǎn)繪自中國(guó)臺(tái)灣第1247048號(hào)發(fā)明專利，其公開(kāi)一種 "微量粉狀金屬薄膜的均勻涂布制程"，其主要步驟包括
步驟一以預(yù)定量的金屬粉末與預(yù)定量的液體混合；
步驟二均勻攪拌該金屬粉混合液；
步驟三將該金屬粉混合液充填至工件的工作區(qū)；
步驟四輕微震動(dòng)該工件的工作區(qū)；
步驟五蒸發(fā)該金屬粉混合液的液體；
步驟六使金屬粉末沉積于該工件的內(nèi)底面，形成沉積厚度 小于O.lmm的金屬粉沉積膜；步驟七將該金屬粉沉積膜與該工件工作區(qū)同時(shí)進(jìn)行燒結(jié)。 另外，例如中國(guó)臺(tái)灣第200609478號(hào)發(fā)明專利公開(kāi)，其公開(kāi) 一種"微型均熱板的中間制品制造方法"，其主要利用沖壓加工及 蝕刻加工方式，分別完成微型均熱板的外型中間制品及細(xì)微結(jié)構(gòu) 體的加工步驟等，進(jìn)而完成可相互貼合成孩史型均熱^反的中間制品， 以解決微型均熱板中間制品的細(xì)微結(jié)構(gòu)體不易利用沖壓加工方式 制作成型，以及將蝕刻加工應(yīng)用在中間制品外型加工成本過(guò)高的 問(wèn)題。
目前之所以未被廣泛使用，是因?yàn)楝F(xiàn)階段技術(shù)常因毛細(xì)組織 的涂布制程及骨料的定位等過(guò)程中，耗費(fèi)大量的人力，并且人為 定位骨料定位不準(zhǔn)確，使產(chǎn)品的穩(wěn)定性和可靠度增添了不確定因 素。另外，現(xiàn)階段技術(shù)不易以一貫自動(dòng)化量產(chǎn)設(shè)備取代人力，未 能有效節(jié)省制造成本也成為另 一項(xiàng)瓶頸之一。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的在于提供一種超導(dǎo)均熱板的噴涂及置料制 程，以改善傳統(tǒng)制程人為骨料定位不準(zhǔn)確、耗費(fèi)人力且量產(chǎn)不易 的缺點(diǎn)。
為了達(dá)到上述目的及其它目的，根據(jù)本發(fā)明的噴涂及置料制 程，其至少包括下列步驟
步驟一提供若干具有腔室的工件，通過(guò)進(jìn)給裝置以預(yù)定速 率進(jìn)給；
步驟二在該工件進(jìn)給行程的定點(diǎn)上，通過(guò)噴涂裝置在該工 件內(nèi)部定量、定范圍地噴涂金屬粉末，使該工件內(nèi)部底面附著一 金屬粉末層；
步驟三在該工件進(jìn)給行程的另一定點(diǎn)上，通過(guò)置料夾具將來(lái)自粉末成型機(jī)所制成的多個(gè)金屬粉錠一次投遞，在該工件金屬 粉末層上方的多個(gè)定點(diǎn)上形成金屬粉錠陣列。
根據(jù)本發(fā)明，通過(guò)自動(dòng)化噴涂及置料制程，使超導(dǎo)均熱板半 成品量產(chǎn)容易，并且將制程中人為的不確定因素和影響良品率的 重要因素降至最低程度，同時(shí)可大量節(jié)省人力并降低制造成本。
本發(fā)明的次要目的在于提供一種執(zhí)行該制程的裝置，以實(shí)現(xiàn)
超導(dǎo)均熱板的量產(chǎn)化。其主要包括
進(jìn)給裝置，用于將若干具有腔室的工件以預(yù)定速率進(jìn)給，使 其通過(guò)噴涂站和置料站。
噴涂裝置，設(shè)置在該噴涂站中，用于在該工件內(nèi)部定量、定 范圍地噴涂金屬粉末，使該工件內(nèi)部底面附著一金屬粉末層。
置料夾具，其連接在粉末成型機(jī)的末端并設(shè)置在該置料站中， 該夾具具有多個(gè)投遞口 ，用于將該粉末成型機(jī)所制成的多個(gè)金屬 粉錠一次投遞，在該工件金屬粉末層上方的多個(gè)定點(diǎn)上形成金屬 粉錠陣列。
根據(jù)本發(fā)明，用自動(dòng)化量產(chǎn)設(shè)備取代人力，利用夾具一次操 作步驟可完成骨料準(zhǔn)確定位，可連續(xù)生產(chǎn)出均熱板半成品，以便
在后續(xù)的燒結(jié)之后，在工件內(nèi)形成毛細(xì)組織結(jié)構(gòu)，可將制程中人 為的不確定因素和影響良品率的重要因素降至最低程度，同時(shí)可 大量節(jié)省人力并降低制造成本。


圖1為本發(fā)明超導(dǎo)均熱板的噴涂及置料制程的第一種實(shí)施例 的流程方塊圖。
圖2為顯示本發(fā)明執(zhí)行超導(dǎo)均熱板噴涂及置料制程的裝置的 示意圖。圖2a為顯示從圖2的2a-2a方向看的視圖；其顯示工件配置 在進(jìn)給裝置的局部俯視圖。
圖3為顯示從圖2的3-3方向看的剖視圖；其顯示噴涂裝置 的側(cè)面示意圖。
圖3a為顯示圖3噴涂裝置噴涂過(guò)程的示意圖。
圖3b為噴涂完成的工件的局部剖視圖；其中，顯示在工件內(nèi) 部底面附著一金屬粉末層。
圖4為顯示從圖2的4-4方向看的剖視圖；其顯示粉末成型 機(jī)連結(jié)置料夾具的放大示意圖。
圖4a為顯示圖4置料夾具置料過(guò)程的示意圖。
圖4b為顯示從圖4a的4b-4b方向看的剖視圖；其顯示置料夾 具的俯視示意圖。
圖5為本發(fā)明超導(dǎo)均熱板的噴涂及置料制程的第二種實(shí)施例 的流程方塊圖。
圖5a為顯示本發(fā)明第二種實(shí)施例的高速噴砂裝置的動(dòng)作示意圖。
圖6a和圖6b為現(xiàn)有技術(shù)，轉(zhuǎn)繪自中國(guó)臺(tái)灣第1247048號(hào)發(fā) 明專利；其中，圖6a為顯示其涂布制程的方塊圖，圖6b為顯示 其工件的剖視圖。
具體實(shí)施例方式
首先說(shuō)明，均熱板的一般制程中，包括在模型內(nèi)涂布金屬粉 層、植布金屬粉錠(本領(lǐng)域通常稱為"骨料")、燒結(jié)、封焊、真空 注液等步驟。本發(fā)明的技術(shù)即針對(duì)前段制程，即在工件內(nèi)涂布金 屬粉層及植布金屬粉錠，提供自動(dòng)化量產(chǎn)制程及設(shè)備以取代人力， 以便在后續(xù)的燒結(jié)之后，在工件內(nèi)形成一毛細(xì)組織結(jié)構(gòu)，可將制程中人為的不確定因素和影響良品率的重要因素降至最低程度。
以下將配合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的技術(shù)特點(diǎn)作進(jìn) 一 步的說(shuō)明，該 實(shí)施例僅為較佳代表的范例，并非用來(lái)限定本發(fā)明的實(shí)施范圍， 謹(jǐn)通過(guò)參考附圖結(jié)合下列詳細(xì)說(shuō)明而獲得最好的理解。
圖1為根據(jù)本發(fā)明超導(dǎo)均熱板的噴涂及置料制程的第一種實(shí)
施例，其至少包括下列步驟
提供若干具有腔室的工件，例如以導(dǎo)熱性金屬材料銅板或鎳 板等先經(jīng)加工，分別沖制出 一個(gè)可允許工作介質(zhì)氣液相變化的內(nèi) 部空間，然后通過(guò)進(jìn)給裝置以預(yù)定的速率進(jìn)給。
在該工件進(jìn)給行程的定點(diǎn)上，通過(guò)噴涂裝置在該工件內(nèi)部定 量、定范圍地干噴例如銅或鎳等的金屬粉末，使該工件內(nèi)部底面 附著一金屬粉末層。
在該工件進(jìn)給行程的另一定點(diǎn)上，通過(guò)置料夾具將來(lái)自粉末 成型機(jī)所制成的多個(gè)金屬粉錠一次投遞，在該工件金屬粉末層上 方的多個(gè)定點(diǎn)上形成金屬粉錠陣列等。
根據(jù)本發(fā)明，上述制程中還包括一個(gè)預(yù)濕步驟，即在干噴金 屬粉末之前，預(yù)先在工件內(nèi)部空間預(yù)定范圍表面用水或酒精噴濕， 以使該工件內(nèi)部預(yù)定范圍表面具有附著力，然后再干噴金屬粉末。 或者，在干噴金屬粉末之前，即在工件沖制加工成型之后，在工 件內(nèi)部預(yù)定范圍表面預(yù)先以高速噴砂裝置沖擊或利用砂帶磨擦形 成粗糙面，以使該工件內(nèi)部預(yù)定范圍表面具有較佳的附著力，然 后直接在粗糙表面干噴金屬粉末。
根據(jù)本發(fā)明，執(zhí)行上述超導(dǎo)均熱板噴涂及置料制程的裝置1 如圖2所示，其至少包括
進(jìn)給裝置10,例如公知的輸送帶等，用來(lái)將若干具有腔室的 工件20以預(yù)定速率進(jìn)給，使其通過(guò)噴涂站和置料站。其中，該進(jìn)給裝置IO在多個(gè)預(yù)定區(qū)域上，形成多個(gè)可受控而上升的被動(dòng)升降區(qū)11,并分別設(shè)有若干定位擋塊12,可將該工件20定位在該被 動(dòng)升降區(qū)11上(如圖2a所示)。噴涂裝置30，例如公知的多料型粉體涂裝裝置(可選擇地單獨(dú) 噴涂多種材料或多種材料混合噴涂)，設(shè)置在該噴涂站中。該噴涂 裝置30,例如固定在升降機(jī)構(gòu)35上可受控而升降(如圖3所示)， 且該噴涂裝置30具有噴頭31,可選擇地干噴(金屬粉末)或濕噴(水 或酒精)。另外，噴涂夾具32與該噴頭31銜接在一起，其具有對(duì) 應(yīng)于該噴頭31噴出角度的屏蔽部件321，用來(lái)遮蔽在該工件20 噴涂范圍之外。該噴涂站上至少設(shè)有一例如定位桿36等，并通過(guò) 電路控制可使該工件20進(jìn)入噴涂位準(zhǔn)時(shí)，暫時(shí)停止該進(jìn)給裝置10 進(jìn)給；并且，該噴涂站上至少設(shè)有一例如傳感器裝置37,可偵測(cè) 該工件20是否到達(dá)噴涂位準(zhǔn)，當(dāng)該工件20到達(dá)噴涂位準(zhǔn)時(shí)控制 該升降機(jī)構(gòu)35使噴涂裝置30動(dòng)作，使該屏蔽部件321覆蓋在該 工件20表面上，同時(shí)在該工件20內(nèi)部表面定量、定范圍地噴涂 例如銅或鎳等金屬粉末等(如圖3a所示)，以在該工件20內(nèi)部底面 附著一金屬粉末層A(如圖3b所示)，可在該工件20噴涂完成之后 恢復(fù)進(jìn)給裝置10的進(jìn)給。根據(jù)本發(fā)明，上述噴涂裝置30依照該 工件20加工方式，不同批次量產(chǎn)而有不同的i殳定方式，例如表面 未經(jīng)粗化加工的工件20的批次量產(chǎn)，經(jīng)設(shè)定在噴涂金屬粉末之前， 預(yù)先在工件20內(nèi)部空間預(yù)定范圍表面用水或酒精噴濕增加附著 力，然后再干噴金屬粉末。另外，例如表面已經(jīng)粗化加工的工件 20的批次量產(chǎn)，則經(jīng)設(shè)定直接在粗糙表面干噴金屬粉末。置料夾具40，連接在粉末成型機(jī)50的末端并設(shè)置在該置料站 中。該置料夾具40,例如由透明丙烯酸材料構(gòu)成，其具有頂板41 和底板42,兩者角隅之間通過(guò)多個(gè)螺栓組件43連接在一起，并在該頂板41和底板43之間維持一允許該進(jìn)給裝置10通過(guò)的空間， 且該頂板41蓄有穿設(shè)在螺栓組件4 3上的若干彈性組件4 4的勢(shì)能， 具有緩沖彈性。如圖4所示，該粉末成型機(jī)50例如公知的轉(zhuǎn)盤(pán)式 粉末成型機(jī)，基本上包括轉(zhuǎn)盤(pán)51,沿此轉(zhuǎn)盤(pán)51的圓周配置多個(gè)壓 錠模塊52，以及喂料筒53，連續(xù)地供應(yīng)例如銅或鎳等金屬粉末給 壓錠模塊52,當(dāng)該轉(zhuǎn)盤(pán)51運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)不斷地從壓錠模塊52壓制出金 屬粉錠B，并排放至出料端54。分料裝置60,銜接在該粉末成型 機(jī)50的出料端54,其具有多個(gè)分料口 61用以分配該金屬粉錠B。 根據(jù)本發(fā)明，該置料夾具40的頂板41對(duì)應(yīng)于工件20的多個(gè)定點(diǎn) 位準(zhǔn)，形成多個(gè)對(duì)應(yīng)的投遞口 45，且通過(guò)多個(gè)軟管46分別承接在 該分料裝置60的多個(gè)分料口 61的末端。另外，包括釋放裝置80, 介于該分料口 61與投遞口 45之間，阻擋金屬粉錠B滑落。上述 置料站上，至少設(shè)有一例如定位桿47等，并通過(guò)電路控制可使該 工件20進(jìn)入置料位準(zhǔn)時(shí)暫時(shí)停止該進(jìn)給裝置10進(jìn)給；另外，該 置料站上至少設(shè)有一例如傳感器裝置48等，可偵測(cè)該工件20是 否到達(dá)置料位準(zhǔn)(如圖4b所示)。另外，升降機(jī)構(gòu)70位于該置料夾 具40的下方，且該置料夾具40底板允許該升降機(jī)構(gòu)70穿過(guò)，并 受傳感器裝置48控制可在該工件20到達(dá)置料位準(zhǔn)時(shí)上升，使該 進(jìn)給裝置10的被動(dòng)升降區(qū)11動(dòng)作連同該工件20上升，貼近在該 置料夾具40頂板41的投遞口 45下方；此時(shí)，該釋放裝置80受 控在工件20上升時(shí)一次釋放出多個(gè)金屬粉錠B,通過(guò)該置料夾具 40頂板41的多個(gè)投遞口 45 —次投遞到定點(diǎn)，使該工件20金屬粉 末層A上方的多個(gè)定點(diǎn)上形成金屬粉錠B陣列(如圖4a所示)，該 升降機(jī)構(gòu)70可在工件20置料完成后下降，恢復(fù)進(jìn)給裝置10的進(jìn) 給。另外，圖5是根據(jù)本發(fā)明超導(dǎo)均熱板的噴涂及置料制程的第二種實(shí)施例，其至少包括下列步驟提供若干具有腔室的工件，例如以導(dǎo)熱性金屬材料銅板或鎳 板等先經(jīng)加工，分別沖制出一個(gè)可允許工作介質(zhì)氣液相變化的內(nèi)部空間；然后，通過(guò)進(jìn)給裝置例如公知的輸送帶等，以預(yù)定的速 率進(jìn)給。在該工件進(jìn)給行程的定點(diǎn)上，用高速噴砂裝置，將該工件內(nèi) 部預(yù)定范圍表面沖擊成布滿毛孔之粗糙表面。在該工件進(jìn)給行程的另 一定點(diǎn)上，通過(guò)置料夾具將來(lái)自粉末 成型機(jī)所制成的多個(gè)金屬粉錠一次投遞，在該工件粗糙面上方的 多個(gè)定點(diǎn)上形成金屬粉錠陣列。根據(jù)本發(fā)明，執(zhí)行第二種實(shí)施例制程的裝置基本上與上述圖 2~圖4b所示的裝置相同，因此簡(jiǎn)略不重復(fù)贅述。唯一不同的是， 例如圖5a所示，在噴涂站中用高速噴砂裝置30'取代噴涂裝置30。該高速噴砂裝置30，，例如固定在升降機(jī)構(gòu)35上可受控而升 降，其具有噴頭31,可高速噴射出砂粒沖擊工件20表面。沖擊夾 具32'與該噴頭31銜接在一起，其具有對(duì)應(yīng)于該噴頭31噴射角度 的屏蔽部件321,用來(lái)遮蔽在該工件20沖擊范圍之外，且該屏蔽 部件321表面與能產(chǎn)生負(fù)壓的回收管38連接在一起，用于回收砂 粒和碎屑。該噴涂站上至少設(shè)有一例如定位桿36等，并通過(guò)電路 控制可使該工件20進(jìn)入沖擊位準(zhǔn)時(shí)，暫時(shí)停止該進(jìn)給裝置10進(jìn) 給；并且，該噴涂站上至少設(shè)有一例如傳感器裝置37，可偵測(cè)該 工件20是否到達(dá)沖擊位準(zhǔn)，當(dāng)該工件20到達(dá)沖擊位準(zhǔn)時(shí)控制該 升降機(jī)構(gòu)35使高速噴砂裝置30'動(dòng)作，使該屏蔽部件321覆蓋在 該工件20表面上，同時(shí)在該工件20內(nèi)部表面噴砂沖擊，使在該 工件20內(nèi)部底面形成具有毛細(xì)組織的粗糙面C,然后啟動(dòng)該回收 管38回收清除砂粒和碎屑等?？稍谠摴ぜ?0清除完成之后恢復(fù)進(jìn)給裝置10的進(jìn)給，以通過(guò)上述置料站在該工件20粗糙面C上方的多個(gè)定點(diǎn)上形成金屬粉錠陣列。如此，以自動(dòng)化量產(chǎn)制程和設(shè)備取代人力，可連續(xù)生產(chǎn)出均 熱板半成品，以便在后續(xù)的燒結(jié)之后，在工件內(nèi)形成毛細(xì)組織結(jié) 構(gòu)，可將制程中人為的不確定因素和影響良品率的重要因素降至 最低程度，同時(shí)可大量節(jié)省人力并降低制造成本。以上僅為本發(fā)明代表說(shuō)明的優(yōu)選實(shí)施例，并不局限本發(fā)明實(shí) 施范圍，即不偏離本發(fā)明權(quán)利要求所作的等同變化和修改，應(yīng)仍 屬本發(fā)明的涵蓋范圍。
權(quán)利要求
1.一種超導(dǎo)均熱板的噴涂及置料制程，其特征在于至少包括下列步驟提供若干具有腔室的工件，通過(guò)進(jìn)給裝置以預(yù)定速率進(jìn)給；在該工件進(jìn)給行程的定點(diǎn)上，用噴涂裝置在該工件內(nèi)部定量、定范圍地噴涂金屬粉末，使該工件內(nèi)部底面附著一金屬粉末層；在該工件進(jìn)給行程的另一定點(diǎn)上，通過(guò)置料夾具將來(lái)自粉末成型機(jī)所制成的多個(gè)金屬粉錠一次投遞，在該工件金屬粉末層上方的多個(gè)定點(diǎn)上形成金屬粉錠陣列。
2. 如權(quán)利要求1所述的噴涂及置料制程，其中還包括預(yù)濕步驟， 在噴涂金屬粉末之前先在工件內(nèi)部預(yù)定范圍表面噴濕。
3. 如權(quán)利要求2所述的噴涂及置料制程，其中用水或酒精在該 工件內(nèi)部預(yù)定范圍表面預(yù)噴濕。
4. 如權(quán)利要求3所述的噴涂及置料制程，其中該噴涂裝置將金 屬粉末干噴在工件內(nèi)部預(yù)定范圍表面上。
5. 如權(quán)利要求1所述的噴涂及置料制程，其中還包括粗化處理 步驟，在噴涂金屬粉末之前先在工件內(nèi)部預(yù)定范圍表面粗糙化。
6. 如權(quán)利要求5所述的噴涂及置料制程，其中該粗化處理步驟 用高速噴砂裝置在工件表面沖擊或利用砂帶磨擦形成粗糙面。
7. —種超導(dǎo)均熱板的噴涂及置料制程，其特征在于至少包括下 列步驟提供若干具有腔室的工件，通過(guò)進(jìn)給裝置以預(yù)定速率進(jìn)給； 在該工件進(jìn)給行程的定點(diǎn)上，用高速噴砂裝置，將該工件內(nèi)部 預(yù)定范圍表面沖擊成布滿毛孔之粗糙表面；在該工件進(jìn)給行程的另 一定點(diǎn)上，通過(guò)置料夾具將來(lái)自粉末成型機(jī)所制成的多個(gè)金屬粉錠一 次投遞，在該工件粗糙面上方的多個(gè) 定點(diǎn)上形成金屬粉錠陣列
8. —種執(zhí)行超導(dǎo)均熱板噴涂及置料制程的裝置，其特征在于包括進(jìn)給裝置，用于將若干具有腔室的工件以預(yù)定速率進(jìn)給，使其 通過(guò)噴涂站和置料站；噴涂裝置，設(shè)置在該噴涂站中，用以在該工件內(nèi)部定量、定范 圍地噴涂金屬粉末，以在該工件內(nèi)部底面附著一金屬粉末層；置料夾具，其連接在粉末成型機(jī)的末端并設(shè)置在該置料站中， 該夾具具有多個(gè)投遞口 ，用以將該粉末成型機(jī)所制成的多個(gè)金屬粉 錠一次投遞，在該工件金屬粉末層上方的多個(gè)定點(diǎn)上形成金屬粉錠 陣列。
9. 如權(quán)利要求8所述的執(zhí)行超導(dǎo)均熱板噴涂及置料制程的裝 置，其中該進(jìn)給裝置在多個(gè)預(yù)定區(qū)域形成可受控而升降的被動(dòng)升降 區(qū)，且分別設(shè)有若干定位擋塊，用于將工件定位在該被動(dòng)升降區(qū)上。
10. 如權(quán)利要求9所述的執(zhí)行超導(dǎo)均熱板噴涂及置料制程的裝 置，其中該噴涂裝置固定在升降機(jī)構(gòu)上，受控可升降；并且，該噴 涂裝置具有噴頭，可選擇地干噴或濕噴。
11. 如權(quán)利要求IO所述的執(zhí)行超導(dǎo)均熱板噴涂及置料制程的裝 置，其中還包括噴涂夾具，其與該噴頭銜接在一起，具有屏蔽部件， 用來(lái)遮蔽在該工件噴涂范圍之外。
12. 如權(quán)利要求11所述的執(zhí)行超導(dǎo)均熱板噴涂及置料制程的裝置，其中該噴涂站上至少設(shè)有定位桿，用于使該工件落入噴涂位準(zhǔn)。
13. 如權(quán)利要求12所述的執(zhí)行超導(dǎo)均熱板噴涂及置料制程的裝置，其中該噴涂站上至少設(shè)有傳感器裝置，用于偵測(cè)該工件是否到 達(dá)噴涂位準(zhǔn)，用來(lái)控制該升降機(jī)構(gòu)升降。
14. 如權(quán)利要求13所述的執(zhí)行超導(dǎo)均熱板噴涂及置料制程的裝 置，其中該噴涂裝置先在工件預(yù)定范圍表面噴濕，再干噴金屬粉末。
15. 如權(quán)利要求9所述的執(zhí)行超導(dǎo)均熱板噴涂及置料制程的裝 置，其中還包括分料裝置，銜接在該粉末成型機(jī)的出料端，其具有 多個(gè)分料口用來(lái)分配該粉末成型機(jī)所制成的金屬粉錠。
16. 如權(quán)利要求15所述的執(zhí)行超導(dǎo)均熱板噴涂及置料制程的裝 置，其中該置料夾具包含頂板和底板，兩者角隅之間通過(guò)多個(gè)螺栓 連接在一起，并在該頂板和底板之間維持一允許該進(jìn)給裝置通過(guò)的 空間。
17. 如權(quán)利要求16所述的執(zhí)行超導(dǎo)均熱板噴涂及置料制程的裝 置，其中該頂板對(duì)應(yīng)于工件的多個(gè)定點(diǎn)位準(zhǔn)，形成多個(gè)對(duì)應(yīng)的投遞 口 ，且通過(guò)多個(gè)軟管分別承接在該分料裝置的多個(gè)分料口的末端。
18. 如權(quán)利要求17所述的執(zhí)行超導(dǎo)均熱板噴涂及置料制程的裝置，其中該置料站上至少設(shè)有定位桿，用于使該工件落入置料位準(zhǔn)。
19. 如權(quán)利要求18所述的執(zhí)行超導(dǎo)均熱板噴涂及置料制程的裝 置，其中該置料站上至少設(shè)有傳感器裝置，用于偵測(cè)該工件是否到 達(dá)置料位準(zhǔn)。
20. 如權(quán)利要求19所述的執(zhí)行超導(dǎo)均熱板噴涂及置料制程的裝 置，其中還包括升降機(jī)構(gòu)，位于該置料夾具的下方，且該置料夾具 底板允許該升降機(jī)構(gòu)通過(guò)，受控以在該工件到達(dá)置料位準(zhǔn)時(shí)上升， 使工件動(dòng)作貼近在該頂板的投遞口下方。
21. 如權(quán)利要求20所述的執(zhí)行超導(dǎo)均熱板噴涂及置料制程的裝 置，其中還包括釋放裝置，介于該分料口與投遞口之間，受控以在 該工件上升時(shí)釋放出金屬粉錠。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種超導(dǎo)均熱板的噴涂及置料制程及其執(zhí)行裝置。一種超導(dǎo)均熱板的噴涂及置料制程，其步驟包括提供若干具有腔室的工件，通過(guò)進(jìn)給裝置以預(yù)定速率進(jìn)給；在該工件內(nèi)部預(yù)先噴濕或粗糙化，并用噴涂裝置定量、定范圍地噴涂金屬粉末，使該工件內(nèi)部底面附著一金屬粉末層；然后，通過(guò)置料夾具將來(lái)自粉末成型機(jī)所制成的多個(gè)金屬粉錠一次投遞，在該工件金屬粉末層上方的多個(gè)定點(diǎn)上形成金屬粉錠陣列。本發(fā)明同時(shí)提供一種執(zhí)行該制程的裝置，以實(shí)現(xiàn)均熱板半成品的量產(chǎn)化。
文檔編號(hào)H01L23/34GK101409994SQ20071015208
公開(kāi)日2009年4月15日 申請(qǐng)日期2007年10月9日 優(yōu)先權(quán)日2007年10月9日
發(fā)明者張復(fù)佳, 潘源忠 申請(qǐng)人:張復(fù)佳;潘源忠