專利名稱：測(cè)試分選機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種測(cè)試分選機(jī)(testhandler),更具體地講，涉及一種用于打 開測(cè)試托盤的插入件(insert)的插入件打開設(shè)備。
通常，測(cè)試分選機(jī)是這樣一種設(shè)備，其允許測(cè)試器測(cè)試通過特定的制造 工藝制造的半導(dǎo)體裝置，根據(jù)測(cè)試結(jié)果將半導(dǎo)體裝置分類，并將半導(dǎo)體裝置 裝載到用戶托盤上。已經(jīng)在很多出版物文獻(xiàn)中公開了測(cè)試分選機(jī)。
圖1是傳統(tǒng)測(cè)試分選機(jī)100的透視圖?，F(xiàn)在，將簡(jiǎn)單地描述傳統(tǒng)測(cè)試分 選機(jī)100的主要元件。
如圖1所示，傳統(tǒng)測(cè)試分選機(jī)100包括裝載設(shè)備110、浸泡室120、測(cè)試 室130、解除浸泡室140、卸載設(shè)備150、兩個(gè)插入件打開設(shè)備160a和160b 以及兩個(gè)狀態(tài)改變?cè)O(shè)備170a和170b。以下，將更加詳細(xì)地描述測(cè)試分選機(jī) 100的每個(gè)元件。
裝載設(shè)備110將裝載在用戶托盤10a上的半導(dǎo)體裝置傳遞并裝載到位于 裝載位置的測(cè)試托盤lla上。
浸泡室120具有用于預(yù)加熱/預(yù)冷卻裝載在測(cè)試托盤上的半導(dǎo)體裝置的溫 度環(huán)境。浸泡室120接收通過裝載設(shè)備110完成半導(dǎo)體裝置的裝載的測(cè)試托 盤。當(dāng)測(cè)試托盤進(jìn)入到浸泡室120中后，緊接著被傳遞到測(cè)試室130,保持 其豎直狀態(tài)。為了傳遞，裝載在測(cè)試托盤上的半導(dǎo)體裝置被充分地預(yù)加熱/預(yù) 冷卻。
測(cè)試室130被安裝在測(cè)試分選機(jī)中，其中，測(cè)試器(未顯示)測(cè)試從浸泡 室120傳遞來的裝載在兩個(gè)測(cè)試托盤llb和llc上的半導(dǎo)體裝置。為此，測(cè) 試室130具有用于測(cè)試半導(dǎo)體裝置的溫度環(huán)境。
解除浸泡室140(或者"恢復(fù)室")將已被加熱或者冷卻的半導(dǎo)體裝置恢復(fù)
到室溫。
卸載設(shè)備150將從解除浸泡室140出來的在測(cè)試托盤上的半導(dǎo)體裝置分
背景技術(shù)：
類，并將半導(dǎo)體裝置傳遞并卸載到用戶托盤10b上(卸載步驟)。
這里，裝載設(shè)備110或者卸載設(shè)備150包括至少一個(gè)拾取放置設(shè)備(未顯 示)，所述拾取放置設(shè)備用于拾取或者撤回裝載在用戶托盤或者測(cè)試托盤上的 半導(dǎo)體裝置，并用于將半導(dǎo)體裝置提供給用戶托盤或者測(cè)試托盤。例如，在 裝載操作中，拾取放置設(shè)備從用戶托盤拾取并撤回半導(dǎo)體裝置，然后將它們 提供給測(cè)試托盤。在卸載操作中，拾取放置設(shè)備從測(cè)試托盤拾取和撤回半導(dǎo) 體裝置，然后將它們提供給分揀臺(tái)(未顯示)，或者將它們從分揀臺(tái)提供到用戶 托盤。
兩個(gè)插入件打開設(shè)備160a和160b分別打開按照矩陣形式布置在對(duì)應(yīng)地 位于所述插入件打開設(shè)備160a和160b上側(cè)的上方的測(cè)試托盤lla和lib中
狀態(tài)改變?cè)O(shè)備170a將其上裝載有半導(dǎo)體裝置的水平狀態(tài)的測(cè)試托盤lla 改變?yōu)樨Q直狀態(tài)。狀態(tài)改變?cè)O(shè)備170a將從解除浸泡室140傳遞來的豎直狀態(tài) 的測(cè)試托盤改變?yōu)樗綘顟B(tài)。
下面將更加詳細(xì)地描述在測(cè)試分選4幾100中的測(cè)試-托盤的狀態(tài)改變。 首先，空的測(cè)試托盤位于裝載設(shè)備110的下側(cè)，例如測(cè)試托盤lla。在 將半導(dǎo)體裝置裝載到空的測(cè)試托盤上之后，測(cè)試托盤被傳遞到位于裝載設(shè)備
110的后側(cè)的狀態(tài)改變?cè)O(shè)備170a，然后進(jìn)行狀態(tài)改變。隨后，測(cè)試托盤被傳 遞到浸泡室120。在這之后，測(cè)試托盤被傳遞到浸泡室120的后側(cè)，然后進(jìn) 入到測(cè)試室130。在測(cè)試室130中，按照上下兩行(或者一行)水平地傳遞測(cè)試 托盤。這里，在測(cè)試托盤上的半導(dǎo)體裝置通過位于測(cè)試室130的中部的測(cè)試 器(未顯示)被測(cè)試。在通過解除浸泡室140向前傳遞后，豎直狀態(tài)的測(cè)試托盤 被供應(yīng)到位于卸載裝置150后側(cè)的狀態(tài)改變?cè)O(shè)備170b。狀態(tài)改變?cè)O(shè)備170b 將測(cè)試托盤的豎直狀態(tài)改變成水平狀態(tài)。被改變?yōu)樗綘顟B(tài)的測(cè)試托盤被傳 遞到卸載設(shè)備150,從而卸載半導(dǎo)體狀態(tài)。在裝載之后，測(cè)試托盤被傳遞到 裝載設(shè)備110下面。這樣，測(cè)試托盤連續(xù)地執(zhí)行上述過程以測(cè)試裝載在該測(cè)
試托盤上的半導(dǎo)體裝置。
在將半導(dǎo)體裝置裝載到按照矩陣形式排列的插入件上后，測(cè)試托盤被專
遞、改變狀態(tài)并被測(cè)試。為了完成這些操作，插入件必須具有穩(wěn)定地接收半 導(dǎo)體裝置的機(jī)械構(gòu)造。已經(jīng)在由本申請(qǐng)的申請(qǐng)人提交的第10-0486412號(hào)題為 "TEST TRAY INSERT OF TEST HANDLER (測(cè)試分選才幾的測(cè)試4乇盤插入
件)"的韓國(guó)專利(以下，稱為"引用申請(qǐng)，，)中公布了這種構(gòu)造。如引用申請(qǐng)
中所公開的，插入件被構(gòu)造成包括外殼，用于接納半導(dǎo)體裝置； 一對(duì)止動(dòng) 件，用于當(dāng)止動(dòng)件旋轉(zhuǎn)時(shí)打開插入件以釋放在外殼的兩端的插入件； 一對(duì)鎖 扣，被壓縮彈簧彈性地支撐，用于防止止動(dòng)件旋轉(zhuǎn)和直線運(yùn)動(dòng)。因此，只要 鎖扣不克服壓縮彈簧的彈力并直線運(yùn)動(dòng)以釋放止動(dòng)件，即，只要插入件沒有 被打開，則半導(dǎo)體裝置就不能被外殼接納和從外殼分離開。
但是，當(dāng)裝載設(shè)備110執(zhí)行這種裝載時(shí)，插入件必須被打開，以允許外 殼穩(wěn)定地接納半導(dǎo)體裝置。此外，當(dāng)卸載設(shè)備150執(zhí)行這種卸載時(shí)，插入件 必須被打開，以將半導(dǎo)體裝置從外殼分離。因此，為了打開插入件，兩個(gè)插 入件打開設(shè)備160a和160b(每個(gè)對(duì)應(yīng)地位于裝載設(shè)備110和卸載設(shè)備150的 下側(cè))需要操作鎖扣，以釋放止動(dòng)件，其中，測(cè)試托盤lla位于插入件打開設(shè) 備160a和裝載設(shè)備110之間，測(cè)試托盤lld位于插入件打開設(shè)備160b和卸 載設(shè)備150之間。
圖2是示出傳統(tǒng)的插入件打開設(shè)備(160a或者160b)的示意性透視圖。 傳統(tǒng)的插入件打開設(shè)備(160a或者160b)包括底座161;底座汽缸162, 用于朝著測(cè)試托盤直線傳遞底座161;四個(gè)打開單元163a、163b、163c和163d, 這些打開單元在測(cè)試托盤的方向上按照2x2矩陣形式安裝在底座161上。四 個(gè)打開單元163a、 163b、 163c和163d對(duì)應(yīng)地包括:板打開件163a陽l、 163b-l、 163c-l和163d-l，每個(gè)板打開件占據(jù)測(cè)試托盤的所述四分之一并且按照2x8 矩陣形式排列多對(duì)打開銷163-1，所述板打開件163a-l、 163b-l、 163c-l和 163d-l —體地形成，其中，板打開件163a-l(例如)同時(shí)打開分配給其的四分 之一區(qū)域中的插入件；上升/下降汽缸163a-2和163c-2,用于朝著測(cè)試托盤直 線地傳遞板打開件163a-l、 163b-l、 163c-l和163d-l。這里，板打開件如引 用申請(qǐng)中的"位置確定單元"中所述。另一方面，圖2沒有顯示用于直線傳 遞板打開件163b-l和163d-l的上升/下降汽缸。
以下是對(duì)圖2中所示的傳統(tǒng)的插入件打開設(shè)備160a和160b的操作的描述。
首先，底座汽缸162將底座161傳遞為靠近測(cè)試托盤，以確保打開單元 163a、 163b、 163c和163d的打開操作需要的距離。在此之后，四個(gè)打開單元 163a、 163b、 163c和163d中的任意一個(gè)(例如，打開單元163a)操作以打開按 照對(duì)應(yīng)于打開單元163a的四分之一區(qū)域中排列的插入件。例如，當(dāng)上升/下
降汽缸163a-2朝著測(cè)試托盤傳遞板打開件163a-l時(shí)，板打開件163a-l的成 對(duì)的打開銷163-1推動(dòng)安裝在每個(gè)插入件中的成對(duì)的鎖扣并直線地傳遞所述 成對(duì)的鎖扣，以使成對(duì)的止動(dòng)件旋轉(zhuǎn)，從而打開插入件。
這樣，四個(gè)打開單元163a、 163b、 163c和163d的每個(gè)分別打開排列在 測(cè)試托盤的1/4區(qū)域中排列的16個(gè)插入件，從而可以打開排列在測(cè)試托盤的 全部區(qū)域中的所有插入件。更具體地講，四個(gè)打開單元163a、 163b、 163c和 163d按照如下順序操作例如，打開單元163a打開排列在被分配給它的測(cè)試 托盤的四分之一區(qū)域中的插入件，在半導(dǎo)體裝置被裝載在打開的插入件或者 與打開的插入件分離之后關(guān)閉插入件；然后，打開單元163b打開排列在被分 配給它的測(cè)試托盤的另 一四分之一 區(qū)域中的插入件等。
這樣，打開單元163a、 163b、 163c和163d順序4喿作，從而對(duì)測(cè)試托盤 不會(huì)施加相當(dāng)大的力(相當(dāng)大的力可能會(huì)引起測(cè)試托盤彎曲)。更具體地講，當(dāng) 四個(gè)打開單元同時(shí)操作時(shí)，會(huì)對(duì)測(cè)試托盤施加相當(dāng)大的力，當(dāng)長(zhǎng)時(shí)間保持這
種大的力施加狀態(tài)時(shí)，測(cè)試托盤會(huì)彎曲。同時(shí)，為了快速處理和響應(yīng)速度， 包括裝載設(shè)備110和卸載設(shè)備150的拾取放置設(shè)備應(yīng)該被構(gòu)造得較輕。因此， 拾取放置設(shè)備通常被構(gòu)造成拾取并僅傳遞16個(gè)半導(dǎo)體裝置。因此，由于與拾 取放置設(shè)備的一次處理能力相呼應(yīng)的所述插入件被打開已足夠，所以僅與一 次處理能力對(duì)應(yīng)的一定數(shù)量的插入件被順序打開。因此，施加到測(cè)試托盤上 的力能夠被最小化，以防止測(cè)試托盤彎曲。
另 一方面，測(cè)試分選機(jī)趨向于發(fā)展成一次測(cè)試更多數(shù)量的半導(dǎo)體裝置。 目前，通常使用排列32或者64個(gè)插入件的測(cè)試托盤，但是，近來，已經(jīng)研 發(fā)出具有128或者160個(gè)插入件的大尺寸測(cè)試托盤，并且將在市場(chǎng)上銷售。
但是，由于結(jié)構(gòu)限制，拾取放置設(shè)備仍然僅具有最多測(cè)試16個(gè)插入件的 能力。因此，在當(dāng)使用大尺寸測(cè)試托盤時(shí)應(yīng)當(dāng)安裝8或者IO個(gè)打開單元的情 況下，測(cè)試分選;f幾的產(chǎn)品成本會(huì)增加。
此外，當(dāng)改變將要測(cè)試的半導(dǎo)體裝置的類型或者新類型的測(cè)試器被應(yīng)用 于測(cè)試分選機(jī)時(shí)，必須更換測(cè)試托盤。在這種情況下，需要做額外的工作， 例如調(diào)節(jié)一對(duì)打開銷之間的距離。因此，應(yīng)當(dāng)分別更換所有的打開單元等。 當(dāng)在大尺寸的測(cè)試托盤上安裝8個(gè)或者IO個(gè)打開單元時(shí)，這種更換工作需要 很長(zhǎng)時(shí)間，并且增加了更換成本，從而導(dǎo)致資源浪費(fèi)。

發(fā)明內(nèi)容
技術(shù)問題
因此，鑒于上述問題，提出本發(fā)明，并且本發(fā)明的目的在于提供這樣一
種測(cè)試分選機(jī)，其中，該測(cè)試分選機(jī)可按照以下方式操作打開排列在測(cè)試 托盤的一部分中的插入件，然后運(yùn)動(dòng)到測(cè)試托盤的另一部分，并打開排列在 那的插入件。 技術(shù)方案
根據(jù)本發(fā)明，上述目的可以通過提供一種測(cè)試分選機(jī)來實(shí)現(xiàn)，該測(cè)試分 選機(jī)包括測(cè)試托盤，多個(gè)插入件排列在所述測(cè)試托盤的一側(cè)上，這里，每 個(gè)插入件上能夠裝載有至少一個(gè)半導(dǎo)體裝置；至少一個(gè)打開單元，用于打開 測(cè)試托盤所述一側(cè)的一部分上的插入件；位置改變?cè)O(shè)備，用于使所述至少一 個(gè)打開單元按照所述至少一個(gè)打開單元可位于測(cè)試托盤所述一側(cè)的另一部分 的方式運(yùn)動(dòng)，從而所述至少一個(gè)打開單元打開在測(cè)試托盤所述一側(cè)的另一部 分上的插入件。
優(yōu)選地，所述測(cè)試分選機(jī)還可包括拾取放置設(shè)備，所述拾取放置設(shè)備用 于將半導(dǎo)體裝置裝載到測(cè)試托盤上，或者從測(cè)試托盤拾取半導(dǎo)體裝置。這里，
位置改變?cè)O(shè)備不取決于拾取放置設(shè)備來使所述至少 一個(gè)打開單元運(yùn)動(dòng)。
優(yōu)選地，半導(dǎo)體裝置被裝載到水平狀態(tài)的測(cè)試托盤上或者從水平狀態(tài)的
測(cè)試托盤上被拾取。此外，所述至少一個(gè)打開單元水平地運(yùn)動(dòng)。
優(yōu)選地，所述打開單元可包括打開件，用于接觸測(cè)試托盤所述一側(cè)的
所述一部分上的插入件并打開所述插入件；直線運(yùn)動(dòng)設(shè)備，用于使打開件朝
著所述插入件運(yùn)動(dòng)，以使得打開件可接觸所述插入件。 優(yōu)選地，所述直線運(yùn)動(dòng)設(shè)備是汽缸。
優(yōu)選地，位置改變?cè)O(shè)備可包括驅(qū)動(dòng)源，用于產(chǎn)生使所述至少一個(gè)打開 單元運(yùn)動(dòng)所需要的驅(qū)動(dòng)力；驅(qū)動(dòng)力傳遞設(shè)備，用于將驅(qū)動(dòng)力從驅(qū)動(dòng)源傳遞到 所述打開單元。
優(yōu)選地，所述驅(qū)動(dòng)源是電才幾。
優(yōu)選地，所述驅(qū)動(dòng)力傳遞設(shè)備可包括絲杠，根據(jù)電機(jī)的操作正向或者 反向旋轉(zhuǎn)；內(nèi)置螺母，套在絲杠上，根據(jù)絲杠的旋轉(zhuǎn)沿著絲杠的軸線直線運(yùn) 動(dòng)，并被結(jié)合到打開單元上。
優(yōu)選地，所迷打開單元集成為可拆卸地結(jié)合到驅(qū)動(dòng)力傳遞設(shè)備上的模塊。
優(yōu)選地，所述測(cè)試分選機(jī)還可包括底座，用于通過位置改變?cè)O(shè)備支撐 打開單元，其中，位置改變?cè)O(shè)備安裝在底座上；驅(qū)動(dòng)器，用于使底座朝著測(cè) 試托盤直線運(yùn)動(dòng)，以選擇性地確保所述打開單元的打開操作所需要的距離。
優(yōu)選地，所述驅(qū)動(dòng)器是汽缸。
有益效果
如上所述，根據(jù)本發(fā)明的插入件打開設(shè)備按照以下方式被操作與排列 在測(cè)試托盤上的插入件的一部分對(duì)應(yīng)的至少一個(gè)打開單元順序地運(yùn)動(dòng)，測(cè)試 托盤的所有插入件通過所述打開單元被處理。因此，本發(fā)明可以減少安裝數(shù) 量，從而降低生產(chǎn)成本。此外，本發(fā)明可以降低由于替換工作而造成的維修 成本。另外，由于多個(gè)打開單元通過安裝板被集成為模塊，從而該模塊能夠 可拆卸地結(jié)合到導(dǎo)向塊和連接鎖，可以容易地執(zhí)行測(cè)試托盤的更換，從而縮 短更換的工作時(shí)間。而且，本發(fā)明可以方^i也應(yīng)用于各種類型的測(cè)試器。


將參照附圖進(jìn)行詳細(xì)描述，本發(fā)明的上述目的、特點(diǎn)和其它優(yōu)點(diǎn)將會(huì)更 容易理解，其中
圖1是傳統(tǒng)測(cè)試分選機(jī)的透視圖2是應(yīng)用于圖1的傳統(tǒng)測(cè)試分選機(jī)的插入件打開設(shè)備的透視圖； 圖3是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的插入件打開設(shè)備的透視圖； 圖4是圖3的插入件打開設(shè)備的俯視圖； 圖5是圖3的插入件打開設(shè)備的左視圖； 圖6是圖3的插入件打開設(shè)備的主視圖7至圖IO是描述圖3的插入件打開設(shè)備的操作狀態(tài)的透視圖。
附圖中標(biāo)號(hào)的簡(jiǎn)單描述
300:插入件打開設(shè)備
31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f:打開單元
31a國(guó)l、 31b-l、 31c-l、 31d-l、 31e-l和31f-l:打開件
31a-2、 31b國(guó)2、 31c-2、 31d-2、 31e-2和31f-2:上升/下降汽缸
31-1: —對(duì)打開銷
32:位置改變?cè)O(shè)備
32a:電機(jī)
32b:絲杠 32c:旋轉(zhuǎn)皮帶 32d:內(nèi)置螺母 33:底座 34:底座汽缸 35:安裝板
36: 連接鎖(coupling block)
具體實(shí)施例方式
以下將參照附圖詳細(xì)地描述根據(jù)本發(fā)明的測(cè)試分選才幾的插入件打開設(shè)備 (以下，稱為打開設(shè)備)的優(yōu)選實(shí)施例。
圖3是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的打開設(shè)備300的透視圖。圖4是圖3的打開 設(shè)備300的俯視圖。圖5是圖3的打開設(shè)備300的左視圖。圖6是圖3的打 開設(shè)備300的主視圖。
參照?qǐng)D3,打開設(shè)備300被構(gòu)造為包括6個(gè)打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f、位置改變?cè)O(shè)備32、底座33、底座汽缸34、安裝板35和如圖5所 示的連接鎖36。
6個(gè)打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f用于分別打開排列在測(cè)試 托盤的區(qū)域的各部分上的插入件。6個(gè)打開單元包括打開件31a-l、 31b-l、 31c-l、 31d-l、 31e-l和31f-l和相應(yīng)的上升/下降汽缸31a-2、 31c-2和31e-2。
打開件31a-l、 31b-l、 31c-l、 31d-l、 31e-l和31f隱l朝著測(cè)試托盤直線 運(yùn)動(dòng)。打開件31a-l、 31b陽l、 31c-l、 31d-l、 31e-l和31f-l包括成對(duì)的打開銷 31-1，所述成對(duì)的打開銷31-1通過使在它們面對(duì)測(cè)試托盤的表面上的插入件 的成對(duì)的鎖扣直線地運(yùn)動(dòng)來打開插入件。這里，如圖3和圖4所示，打開件 31a-l、 31b-l、 31e-l和31f-l的每個(gè)包括用于打開16個(gè)插入件的16對(duì)打開 銷31-1。此外，打開銷31c-l和31d-l都包括用于打開8個(gè)插入件的8對(duì)打開 銷31-1。
上升/下降汽缸31a-2、 31c-2和31e-2安裝在安裝板35的上表面上，并 與安裝板35—起運(yùn)動(dòng)。上升/下降汽缸31a-2、 31c-2和31e-2能夠使對(duì)應(yīng)的打 開件31a-l、 31c-l和31e-l朝著測(cè)試托盤直線運(yùn)動(dòng)。這里，在圖3中沒有表 示能夠使各個(gè)打開件31b-l、 31d-l和31f-l朝著測(cè)試托盤直線運(yùn)動(dòng)的上升/下
降汽缸。
位置改變?cè)O(shè)備32被構(gòu)造成使6個(gè)打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和 31f沿著測(cè)試托盤的接觸表面(指的是圖3中箭頭AB的方向)運(yùn)動(dòng)，從而改變 它們的位置。位置改變?cè)O(shè)備32包括具有驅(qū)動(dòng)皮帶輪32a-l的電機(jī)32a、具有 從動(dòng)皮帶輪32b-l的絲杠32b、旋轉(zhuǎn)皮帶32c、如圖5所示的內(nèi)置螺母32d、 一對(duì)導(dǎo)軌32e和一對(duì)導(dǎo)向塊32f等。
如圖6所示，電機(jī)32a通過電機(jī)支架32a-2固定地安裝在底座33上。電 機(jī)32a用作提供驅(qū)動(dòng)力的驅(qū)動(dòng)源，以使得打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e 和31f可以沿著測(cè)試托盤的面對(duì)打開單元的表面(指的是圖3中箭頭AB的方 向)運(yùn)動(dòng)。因此，電機(jī)32a可以正向和反向旋轉(zhuǎn)。優(yōu)選地，電機(jī)32a通過步進(jìn) 電機(jī)或者伺服電機(jī)來實(shí)現(xiàn)，從而容易地控制打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f的位置。
絲杠32b通過電才幾32a旋轉(zhuǎn)。絲杠32b與6個(gè)打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f的運(yùn)動(dòng)方向平行地布置。絲杠32b通過位于其兩端的軸承座 32b-2和32b-3被可旋轉(zhuǎn)地固定到底座33上。
旋轉(zhuǎn)皮帶32c被構(gòu)造成將電機(jī)32a的旋轉(zhuǎn)力從驅(qū)動(dòng)皮帶輪32a-l傳遞到 從動(dòng)皮帶輪32b-l。
內(nèi)置螺母32d被套在絲杠32b上，并且同時(shí)通過連接鎖36被結(jié)合到安裝 板35上，從而當(dāng)絲杠32b旋轉(zhuǎn)時(shí)打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f 可以沿著測(cè)試托盤的面對(duì)打開單元的表面直線運(yùn)動(dòng)。也就是說，內(nèi)置螺母32d 起到將絲杠32b的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為直線運(yùn)動(dòng)的設(shè)備的作用。因此，絲杠32b、 旋轉(zhuǎn)皮帶32c和內(nèi)置螺母32d —起起到將電機(jī)32a的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為直線運(yùn) 動(dòng)并將其傳遞到打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f的驅(qū)動(dòng)力傳遞設(shè)備 的作用。
所述一對(duì)導(dǎo)軌32e安裝在底座33的兩端的位置上，其安裝方式為，導(dǎo)軌 與打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f的運(yùn)動(dòng)方向平行。
所述一對(duì)導(dǎo)向塊32f分別在它們下部可滑動(dòng)地結(jié)合到所述一對(duì)導(dǎo)軌32e。 此外，所述一對(duì)導(dǎo)向塊32f在它們上部結(jié)合到安裝板35。
這里，雖然根據(jù)本發(fā)明的位置改變?cè)O(shè)備32按照這種方式，即，電機(jī)利用 旋轉(zhuǎn)皮帶將其旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳遞給絲杠以改變打開單元的位置，被實(shí)現(xiàn)，但是應(yīng) 該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以進(jìn)行各種改變，從而電才幾可以直接使絲杠旋轉(zhuǎn)，
或者可以用汽缸代替不使用旋轉(zhuǎn)皮帶的電機(jī)和與此相關(guān)的其它部件作為驅(qū)動(dòng)源等。
底座33用于支撐上述元件，并允許它們朝著測(cè)試托盤直線運(yùn)動(dòng)。特別是， 電機(jī)32a、絲杠32b和導(dǎo)軌32e等安裝在底座33上。底座33通過導(dǎo)向塊32f 和連接鎖36支撐安裝板35,從而支撐安裝在安裝板35上的打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f。
底座汽缸34用于使底座33上升或者下降，以選擇性地確保打開單元 31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f打開測(cè)試托盤的插入件所需要的操作距離。
此外，安裝板35形成為板狀，上升/下降汽缸31a-2、 31c-2和31e-2按 照2x3矩陣形式固定地安裝在安裝板35的上側(cè)，連接鎖36和導(dǎo)向塊32f可 拆卸地結(jié)合到安裝板35的下側(cè)。也就是說，由于打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f通過安裝板35集成為模塊，所以當(dāng)安裝板35從連接鎖36和 導(dǎo)向塊32f運(yùn)動(dòng)或者分離時(shí)，打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f也與 安裝板25 —起運(yùn)動(dòng)或者分離。
連接鎖36被構(gòu)造成將內(nèi)置螺母32d結(jié)合到安裝板35上。
因此，當(dāng)電機(jī)32a旋轉(zhuǎn)時(shí)，絲杠32b旋轉(zhuǎn)，這能使內(nèi)置螺母32d直線運(yùn) 動(dòng)。然后，通過連接鎖36結(jié)合到內(nèi)置螺母32d上的安裝板35也運(yùn)動(dòng)。因此， 在安裝板35上的6個(gè)打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f也運(yùn)動(dòng)。
以下，參照?qǐng)D3、圖7、圖8、圖9和圖IO描述根據(jù)本發(fā)明的打開設(shè)備 的操作。
首先，測(cè)試托盤(未顯示)被傳遞并位于如圖3所示的打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f之上。然后，底座汽缸34將底座33提升到特定高度， 以確保打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f寺丸行打開沖乘作所需要的距離， 如圖7所示。這樣，如圖7所示，安裝在底座33上的位置改變?cè)O(shè)備32和安 裝板35也與底座33 —起被提升到所述特定高度，安裝在安裝板35上的打開 單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f也被提升到相同的高度。
之后，如圖8所示，打開單元31a按照以下方式被操作當(dāng)上升/下降汽 缸31a-2朝著測(cè)試托盤提升打開件31a-l時(shí)，打開件31a-l的16對(duì)打開銷提 升對(duì)應(yīng)的插入件對(duì)數(shù)的鎖扣，從而打開插入件。在這種狀態(tài)下，拾取放置設(shè) 備從而將被夾持的16個(gè)半導(dǎo)體裝置供應(yīng)到打開的16個(gè)插入件中，這叫做裝 載。(另一方面，拾取放置設(shè)備通過拾取裝載在插入件上的16個(gè)半導(dǎo)體裝置
來執(zhí)行卸載。)在完成裝載后，上升/下降汽缸31a-2降低打開件31a-l,從而 關(guān)閉插入件。
之后，與打開單元31a相關(guān)的操作一樣，打開單元31b按照如下方式操 作上升/下降汽缸31b-2(未顯示)提升打開件31b-l;打開件31b-l可打開插 入件。
同樣，其余的打開單元31c、 31d、 31e和31f"t喿作，以打開相應(yīng)的插入件。
在打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f完成操作之后，電機(jī)32a 操作以使絲杠32b旋轉(zhuǎn)。根據(jù)絲杠32b的旋轉(zhuǎn)，在測(cè)試托盤處于水平狀態(tài)的 情況下，安裝板35沿著圖3中所示的箭頭B的方向水平運(yùn)動(dòng)特定距離，處于 圖9所示的位置。
在圖9所示的狀態(tài)下，打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f按照 打開相應(yīng)的插入件然后關(guān)閉它們的方式順序操作，操作方式與先前描述的操 作操作相同。當(dāng)所有的打開單元31a、 31b、 31c、 31d、 31e和31f在圖9所示 的狀態(tài)完成它們的操作時(shí)，電機(jī)32a操作，使安裝板35位于圖10所示的位置。
在圖IO所示的狀態(tài)下，僅打開單元31b、 31d和31f相繼操作，執(zhí)行沒
有完成它們的操作的其余的插入件的操作。
因此，順序地執(zhí)行測(cè)試托盤上的所有插入件的打開操作。
當(dāng)完成圖10中所示狀態(tài)的所有操作時(shí)，電機(jī)32a反轉(zhuǎn)，底座汽缸34操
作使底座33降低先前被提升的高度，從而使插入件打開設(shè)備恢復(fù)到圖3所示
的狀態(tài)。
同時(shí)，當(dāng)因?yàn)閷⒁獪y(cè)試的半導(dǎo)體裝置的尺寸與給定的半導(dǎo)體裝置的尺寸 不同而要將當(dāng)前的測(cè)試托盤用另 一個(gè)測(cè)試托盤替換時(shí)，根據(jù)本發(fā)明的插入件 打開設(shè)備按照以下方式使替換工作簡(jiǎn)單化安裝板35與連接鎖36和導(dǎo)向塊 32f分離，然后將具有與替換托盤的打開單元對(duì)應(yīng)的另一個(gè)安裝板重新安裝到 連接鎖36和導(dǎo)向塊32f上。
人員將理解，在不脫離由權(quán)利要求公開的本發(fā)明的范圍和精神的情況下，可 以進(jìn)行各種修改、添加和替換。 工業(yè)實(shí)用性
根據(jù)本發(fā)明的測(cè)試分選機(jī)可以被應(yīng)用于測(cè)試被制造的半導(dǎo)體裝置的系統(tǒng)。
權(quán)利要求
1、一種測(cè)試分選機(jī)，包括測(cè)試托盤，多個(gè)插入件排列在所述測(cè)試托盤的一側(cè)上，其中，在每個(gè)插入件上能夠裝載至少一個(gè)半導(dǎo)體裝置；至少一個(gè)打開單元，用于打開測(cè)試托盤所述一側(cè)的一部分上的插入件；位置改變?cè)O(shè)備，用于使所述至少一個(gè)打開單元按照所述至少一個(gè)打開單元能夠位于測(cè)試托盤所述一側(cè)的另一部分的方式運(yùn)動(dòng)，從而所述至少一個(gè)打開單元能夠打開在測(cè)試托盤所述一側(cè)的所述另一部分上的插入件。
2、 如權(quán)利要求1所述的測(cè)試分選機(jī)，還包括拾取放置設(shè)備，所述拾取放 置設(shè)備用于將半導(dǎo)體裝置裝載到測(cè)試托盤上，或者從測(cè)試托盤拾取半導(dǎo)體裝 置，其中，位置改變?cè)O(shè)備不取決于拾取放置設(shè)備來使所述至少一個(gè)打開單元運(yùn)動(dòng)。
3、 如權(quán)利要求1所述的測(cè)試分選機(jī)，其中半導(dǎo)體裝置被裝載到水平狀態(tài)的測(cè)試托盤上或者從水平狀態(tài)的測(cè)試托盤 上被拾??；所述至少 一個(gè)打開單元水平地運(yùn)動(dòng)。
4、 如權(quán)利要求1所述的測(cè)試分選機(jī)，其中，所述打開單元包括 打開件，用于接觸測(cè)試托盤所述一側(cè)的所述一部分上的插入件并打開所述插入件；直線運(yùn)動(dòng)設(shè)備，用于使打開件朝著所述插入件運(yùn)動(dòng)，以使得打開件能夠 接觸所述插入件。
5、 如權(quán)利要求4所述的測(cè)試分選機(jī)，其中，所述直線運(yùn)動(dòng)設(shè)備是汽缸。
6、 如權(quán)利要求1所述的測(cè)試分選機(jī)，其中，位置改變?cè)O(shè)備包括 驅(qū)動(dòng)源，用于產(chǎn)生使所述至少一個(gè)打開單元運(yùn)動(dòng)所需要的驅(qū)動(dòng)力； 驅(qū)動(dòng)力傳遞設(shè)備，用于將驅(qū)動(dòng)力從驅(qū)動(dòng)源傳遞到所述打開單元。
7、 如權(quán)利要求6所述的測(cè)試分選機(jī)，其中，所述驅(qū)動(dòng)源是電機(jī)。
8、 如權(quán)利要求7所述的測(cè)試分選機(jī)，其中，所述驅(qū)動(dòng)力傳遞設(shè)備包括 絲杠，根據(jù)電機(jī)的操作正向或者反向旋轉(zhuǎn)；內(nèi)置螺母，套在絲杠上，根據(jù)絲杠的旋轉(zhuǎn)沿著絲杠的軸線直線運(yùn)動(dòng)，并 被結(jié)合到打開單元上。
9、 如權(quán)利要求6所述的測(cè)試分選機(jī)，其中，所述打開單元集成為可拆卸 地結(jié)合到驅(qū)動(dòng)力傳遞設(shè)備上的模塊。
10、 如權(quán)利要求1所述的測(cè)試分選機(jī)，還包括底座，用于通過位置改變?cè)O(shè)備支撐打開單元，其中，位置改變?cè)O(shè)備安裝在底座上；驅(qū)動(dòng)器，用于使底座朝著測(cè)試托盤直線運(yùn)動(dòng)，以選擇性地確保所述打開 單元的打開操作所需要的距離。
11、 如權(quán)利要求IO所述的測(cè)試分選機(jī)，其中，所述驅(qū)動(dòng)器是汽缸。
全文摘要
公開了一種測(cè)試分選機(jī)，該測(cè)試分選機(jī)包括測(cè)試托盤、至少一個(gè)打開單元和位置改變?cè)O(shè)備。測(cè)試托盤在其一側(cè)排列多個(gè)插入件。在每個(gè)插入件上裝載至少一個(gè)半導(dǎo)體裝置。所述打開單元打開測(cè)試托盤所述一側(cè)的一部分上的插入件。位置改變?cè)O(shè)備使所述至少一個(gè)打開單元按照所述至少一個(gè)打開單元可以位于測(cè)試托盤所述一側(cè)的另一部分的方式運(yùn)動(dòng)，從而所述至少一個(gè)打開單元可以打開在測(cè)試托盤所述一側(cè)的另一部分的插入件。本發(fā)明可以根據(jù)半導(dǎo)體裝置尺寸的改變減少被替換部件的數(shù)量，降低生產(chǎn)成本和部件替換時(shí)間。此外，本發(fā)明可以被容易地應(yīng)用到各種類型的測(cè)試器上。
文檔編號(hào)H01L21/66GK101366109SQ200780002051
公開日2009年2月11日 申請(qǐng)日期2007年2月9日 優(yōu)先權(quán)日2006年2月10日
發(fā)明者全寅九, 具泰興, 沈裁均, 羅閏成, 金東韓 申請(qǐng)人:泰克元有限公司