專利名稱：熱處理爐和立式熱處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及熱處理爐以及包括該熱處理爐的立式熱處理裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體裝置的制造中，為了對(duì)作為被處理體的半導(dǎo)體晶片實(shí)施
氧化、擴(kuò)散、CVD (Chemical Vapor Deposition:化學(xué)汽相淀積)等處 理，采用各種熱處理裝置。 一般的熱處理裝置包括熱處理爐，該熱處 理爐主要由用于收容半導(dǎo)體晶片并對(duì)其進(jìn)行熱處理處理容器(反應(yīng)管) 和以覆蓋該處理容器的周圍的方式設(shè)置的對(duì)處理容器內(nèi)的晶片進(jìn)行加 熱的加熱器(加熱裝置)構(gòu)成。上述加熱器主要由圓筒狀絕熱部件以 及通過(guò)支持體設(shè)置在該絕熱部件的內(nèi)周的發(fā)熱電阻體構(gòu)成。
作為上述發(fā)熱電阻體，例如在可以批量處理的熱處理裝置的情況 下，采用沿著圓筒狀的絕熱部件的內(nèi)壁面配置的螺旋狀加熱線(發(fā)熱 電阻線)。這樣可以將爐內(nèi)加熱到例如800 1000°C左右的高溫。此外， 作為上述絕熱部件，例如采用通過(guò)將由陶瓷纖維等構(gòu)成的絕熱材料燒 成圓筒狀的絕熱部件。這樣可以減少作為輻射熱和傳導(dǎo)熱損失的熱量， 可以促進(jìn)有效的加熱。作為上述支持體，例如采用陶瓷制的支持體。 這樣，在可能熱膨脹和熱收縮的狀態(tài)下，能夠以規(guī)定的間隔支持上述 加熱線。
可是，在上述熱處理爐中，盡管加熱線形成為螺旋狀，但是由于 加熱線可能熱膨脹和熱收縮，在加熱線和絕熱部件之間設(shè)有間隙的狀 態(tài)下被支持。而且，由于在高溫下使用加熱線，產(chǎn)生蠕變應(yīng)變，其線 長(zhǎng)隨著時(shí)間延長(zhǎng)而逐漸延伸。此外，在加熱時(shí)，加熱線發(fā)生熱膨脹。 另一方面，雖然存在降溫時(shí)通過(guò)向加熱線噴出空氣來(lái)進(jìn)行加熱線的急 速冷卻等類型的裝置，但是如果由于反復(fù)進(jìn)行升降溫而導(dǎo)致加熱線變 形，則存在與鄰接的加熱線短路從而發(fā)生斷線的情況。
特別是，在立式熱處理爐的情況下，通過(guò)升降溫反復(fù)進(jìn)行熱膨脹 和熱收縮，加熱線在支持體內(nèi)移動(dòng)，由于重力而促進(jìn)加熱線漸漸地向下方移動(dòng)，在最下面轉(zhuǎn)彎的地方該移動(dòng)部分累積。即，由于加熱線的 移動(dòng)累積，最下面轉(zhuǎn)彎的巻繞直徑變大。在達(dá)到絕熱部件的內(nèi)面時(shí)， 如果不能進(jìn)一步向外側(cè)膨脹，則在上下方向變形。由此，存在發(fā)生與 鄰接的加熱線短路從而發(fā)生斷線的情況。
為了解決這個(gè)問(wèn)題，就是為了防止由加熱線的蠕變和熱膨脹等弓I 起的延伸向一端側(cè)的累積，提出了一種結(jié)構(gòu)，在加熱線的外側(cè)部通過(guò) 焊接安裝向爐的半徑方向外側(cè)突出的軸狀等固定部件，將該固定部件
的前端掩埋在絕熱部件中而固定(參照日本特開平10—233277號(hào)公 報(bào))。
但是，如上所述，僅在加熱線的外側(cè)部通過(guò)焊接接合固定部件的 結(jié)構(gòu)中，不僅接合部暴露在高溫下，而且伴隨著發(fā)熱電阻體的熱膨脹 和熱收縮，容易在接合部集中應(yīng)力，因此導(dǎo)致耐久性降低(短壽命化)。 此外，如果固定部件為棒軸狀，則容易從絕熱部件拔出，難以確保充 分的保持力。
此外，在想要進(jìn)行晶片的急速升降溫處理的情況下，在急速升溫 時(shí)必須對(duì)加熱線施加大的功率。但是，迄今為止，在一般的加熱線中， 負(fù)荷大則容易斷線。因此，無(wú)法施加大的功率，在急速升降溫處理時(shí) 存在界限。為了消除這一點(diǎn)，在使用難以斷線的高價(jià)加熱線的情況下， 存在成本增大的問(wèn)題。
另一方面，為了降低加熱線的負(fù)荷從而實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)壽命化(提高耐久 性)，增大相對(duì)于投入功率的加熱線表面積(元件表面積)的比例是有 效的。如果增大加熱線表面積，則加熱器表面溫度降低，加熱線的負(fù) 荷也降低。所謂的螺旋型的加熱線適合于作為負(fù)荷降低的設(shè)計(jì)，由于 能夠有效地配置在希望的空間內(nèi)，因此被廣泛使用。
但是，在使用螺旋型加熱線的加熱器乃至熱處理爐中，例如如圖9 所示，采用為了固定加熱線18而將加熱線18埋入到絕熱部件16中的 結(jié)構(gòu)。因此，相對(duì)于爐心的加熱對(duì)象物，由于隔著絕熱部件16進(jìn)行加 熱，因此難以進(jìn)行急速升溫處理。此外，即使在降溫時(shí)，由于隔著絕 熱部件16對(duì)加熱線18進(jìn)行冷卻，此外，也由于絕熱部件16的熱容量 增加的效果，急速降溫也困難。另外，由于不能確保加熱線18的膨脹 部分的間隙，因此加熱線自身膨脹時(shí)受到應(yīng)力，導(dǎo)致加熱線的耐久性降低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決上述課題而提出的，其目的在于提供一種熱處 理爐和立式熱處理裝置，能夠急速升降溫并且可以提高耐久性以及降 低成本。
本發(fā)明提供一種熱處理爐，其特征在于，包括用于收容被處理
體并對(duì)其進(jìn)行熱處理的處理容器；和以覆蓋該處理容器的周圍的方式
設(shè)置的加熱上述被處理體的圓筒狀加熱器，其中，上述加熱器，包括
圓筒狀絕熱部件；在該絕熱部件的內(nèi)周沿著軸方向形成多層的槽狀擱 板部；和沿著各擱板部配置的螺旋圖形的發(fā)熱電阻線，在上述絕熱部 件上以適當(dāng)?shù)拈g隔配設(shè)有銷部件，該銷部件以上述發(fā)熱電阻線在加熱 器的徑方向能夠移動(dòng)并且不從上述擱板部脫落的方式對(duì)上述發(fā)熱電阻 線進(jìn)行保持。
或者是，本發(fā)明提供一種立式熱處理裝置，其特征在于，包括
熱處理爐，具備下部作為爐口開放的用于收容被處理體并對(duì)其進(jìn)行熱 處理的縱長(zhǎng)的處理容器，和以覆蓋該處理容器的周圍的方式設(shè)置的加
熱上述被處理體的圓筒狀加熱器；蓋體，閉塞上述爐口；和升降機(jī)構(gòu)， 在將多層保持被處理體的保持具載置在上述蓋體上的狀態(tài)下，使該蓋 體升降，并進(jìn)行該蓋體的開閉和將保持具在上述處理容器內(nèi)搬入搬出，
其中，上述加熱器包括圓筒狀的絕熱部件；在該絕熱部件的內(nèi)周沿 著上下方向形成多層的槽狀的擱板部；和沿著各擱板部配置的螺旋圖 形的發(fā)熱電阻線，在上述絕熱部件上以適當(dāng)?shù)拈g隔配設(shè)銷部件，該銷 部件以上述發(fā)熱電阻線在加熱器的徑方向能夠移動(dòng)并且不從上述擱板 部脫落的方式對(duì)上述發(fā)熱電阻線進(jìn)行保持。
根據(jù)以上的各發(fā)明，通過(guò)在絕熱部件的內(nèi)周的各擱板上配置螺旋 圖形的發(fā)熱電阻線，能夠容易地采用使發(fā)熱電阻線露出的配置，因此， 能夠急速升降溫。另一方面，由于不妨礙螺旋圖形的發(fā)熱電阻線的熱 膨脹和熱收縮，因此即使在耐久性方面也優(yōu)異。另外，不存在引起格 外的成本增加的問(wèn)題。
例如，上述銷部件形成為以U字部分保持發(fā)熱電阻線的外側(cè)轉(zhuǎn)彎部分的平面U字狀，其兩腳部從內(nèi)側(cè)向外側(cè)貫通絕熱部件，并在絕熱 部件的外面彎折。
此外，優(yōu)選在上述絕熱部件的擱板部上，形成內(nèi)外貫通該擱板部 的強(qiáng)制空冷用空氣噴出孔。
此外，優(yōu)選上述發(fā)熱電阻線以從加熱器的軸方向看作為上述擱板 部的開口邊緣的絕熱部件的內(nèi)周與螺旋圖形的中心一致(對(duì)準(zhǔn))的方 式酉己置。


圖1是概略地表示本發(fā)明一個(gè)實(shí)施方式涉及的立式熱處理裝置的 縱截面圖。
圖2是圖1的A部的放大截面圖。
圖3是概略地表示加熱元件的結(jié)線例子的圖。
圖4是概略地表示加熱元件的其它結(jié)線例子的圖。
圖5是概略地表示加熱元件的另一其它結(jié)線例子的圖。
圖6是立式熱處理爐的一部分的橫截面圖。
圖7A是表示絕熱部件的一個(gè)例子的平面圖。
圖7B是圖7A的B-B線截面圖。
圖8是表示絕熱部件的另一例子的立體圖。
圖9A是表示現(xiàn)有技術(shù)的加熱器的一個(gè)例子的截面圖。
圖9B是表示現(xiàn)有技術(shù)的加熱器的內(nèi)周面的概略圖。
具體實(shí)施例方式
以下，參照附圖對(duì)用于實(shí)施本發(fā)明的最佳方式進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。圖1 是概略地表示本發(fā)明一實(shí)施方式涉及的立式熱處理裝置的縱截面圖。 圖2是圖1的A部的放大截面圖。圖3是概略地表示加熱元件的結(jié)線 例的圖。圖4是概略地表示加熱元件的其它結(jié)線例子的圖。圖5是概 略地表示加熱元件的另一其它結(jié)線例子的圖。圖6是立式熱處理爐的 一部分的橫截面圖。
圖1中表示了作為一個(gè)半導(dǎo)體制造裝置的立式熱處理裝置1。該熱 處理裝置1包括能夠一次收容多個(gè)被處理體例如半導(dǎo)體晶片w并對(duì)其 進(jìn)行氧化、擴(kuò)散、減壓CVD等熱處理的立式熱處理爐2。該熱處理爐2包括用于收容晶片W并對(duì)其進(jìn)行熱處理的處理容器(也稱反應(yīng)管)3
和以覆蓋該處理容器3的周圍的方式設(shè)置的對(duì)晶片w進(jìn)行熱加的圓筒 狀加熱器(加熱裝置)5。
此外，熱處理裝置1包括用于設(shè)置加熱器5的底板6。在該底板6 上形成有用于從下方向上方插入處理容器3的開口部7。在該開口部7 上以覆蓋底板6和處理容器3之間的間隙的方式設(shè)置圖中未示的絕熱 部件。
處理容器3是石英制的，并形成為縱長(zhǎng)的圓筒狀，其上端閉塞、 其下端作為爐口 3a而開口。在處理容器3的開口端形成有朝外的凸緣 3b。凸緣3b通過(guò)圖中未示的凸緣壓板被支撐在底板6上。圖示例的處 理容器3，在下側(cè)部設(shè)置有向處理容器3內(nèi)導(dǎo)入處理氣體和惰性氣體等 的導(dǎo)入口 8、和用于對(duì)處理容器3內(nèi)的氣體進(jìn)行排氣的圖中未示的排氣 口。導(dǎo)入口 8與氣體供給源連接。排氣口與排氣系統(tǒng)連接，該排氣系 統(tǒng)包括能夠減壓控制在例如10 10—Slbrr左右的真空泵。
在處理容器3的下方，用于閉塞處理容器3的下端開口部(爐口) 3a的蓋體IO通過(guò)圖中未示的升降機(jī)構(gòu)能夠升降移動(dòng)地設(shè)置。在該蓋體 10的上部，載置有作為爐口的保溫單元例如保溫筒1。在保溫筒11 的上部載置有作為保持具的石英制的舟12，該舟12在上下方向以規(guī)定 的間隔搭載有多個(gè)例如100 150個(gè)左右例如直徑為300mm的晶片w。 在蓋體10上設(shè)有使舟12圍繞其軸心旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)13。舟12，通過(guò) 蓋體10的下降移動(dòng)，從處理容器3內(nèi)搬出(卸載)到下方的裝載區(qū)域 15內(nèi)，在移換晶片w之后，通過(guò)蓋體10的上升移動(dòng)，搬入(裝載) 到處理容器3內(nèi)。
如圖2 6所示那樣，加熱器5包括圓筒狀絕熱部件16、在該絕熱 部件16的內(nèi)周在軸方向(圖示例子中，為上下方向)形成多層的壟狀 的多個(gè)擱板部17、以及沿著各擱板部17配置的螺旋型(螺旋圖形)的 加熱線(發(fā)熱電阻線)18。絕熱部件例如由含有二氧化硅、氧化鋁或 硅酸鋁的無(wú)機(jī)纖維構(gòu)成。
在絕熱部件16上，以適當(dāng)間隔配設(shè)銷部件20，使加熱線18能夠 在加熱器5的徑向移動(dòng)并且保持不從擱板部17脫落和脫出。此外，在 圓筒狀絕熱部件16的內(nèi)周上在軸方向上以規(guī)定間距乃至以適當(dāng)間隔形成環(huán)狀的多層的與絕熱部件16同心的、擱板部17的(相鄰的)槽部
21。槽部21優(yōu)選截面是方形的，其槽寬和槽深的尺寸優(yōu)選設(shè)定為能夠 保持余量地收容加熱線18。即，優(yōu)選在槽部21上設(shè)有充分容許(吸收) 加熱線18的上下方向和徑方向的熱膨脹和熱收縮的間隙。
加熱線18例如由鐵(Fe)、鉻(Cr)、以及鋁(Al)的合金線(或 坎塔爾鐵鉻鋁電阻線)構(gòu)成。該加熱線18，例如粗細(xì)(直徑)為3mm， 螺旋部18a的內(nèi)徑da為10mm，其外徑db為16mm。此外，從加熱器 5的軸方向看，盡管加熱線18被以作為擱板部17的槽部21的開口邊 緣的絕熱部件的內(nèi)周和螺旋部18a的中心c(螺旋圖形的中心)一致(對(duì) 準(zhǔn))的方式配置保持，但是顯然為了提高升降溫速度這是優(yōu)選的。
加熱線18不像現(xiàn)有的加熱線那樣在上下方向上以螺旋狀連續(xù)延 伸，而是如圖2到圖3所7下、在各層終結(jié)，并分別配置在各層的擱板 部17上。因此，加熱線18不會(huì)由于自重而向下方移動(dòng)并累積。此外， 加熱線18的多個(gè)層的每層(在圖示例中，為4層)，在緊挨著的上層 和下層之間串連連接(參照?qǐng)D3)。此外，該多個(gè)層的各組的最下層的 起始端la和最上層的終端4b分別與電極連接用端子板22a、22b連接。 由此，加熱器5在熱處理爐2內(nèi)的上下方向分為多個(gè)區(qū)域。此外，各 區(qū)域的每個(gè)區(qū)域都可以進(jìn)行溫度控制。
作為加熱線18的結(jié)線圖形，例如，考慮圖3、圖4和圖5所示的 情況。
在圖3中所示的加熱線的結(jié)線圖形中，第一層(最下層)的終端 lb和第二層的起始端2a通過(guò)結(jié)線部23結(jié)線(連接)。同樣，更下層的 終端2b、 3b和更上層(次層)的起始端3a、 4a互相連接。而且，也 可以通過(guò)在各擱板部17上配置加熱線18時(shí)拉伸加熱線18的螺旋部 18a，形成連接各層的部分(結(jié)線部23)。這里，在圖3中所示的加熱 線18的結(jié)線圖形中，將結(jié)線部23配置在絕熱部件的內(nèi)側(cè)。
與此相對(duì)，在圖4中所示的加熱線18的結(jié)線圖形中，將結(jié)線部24 配置在絕熱部件的外側(cè)。具體而言，第一層的終端lb和第二層的起始 端2a分別與端子板22c、 22c連接，這些端子板22c、 22c彼此之間在 絕熱部件的外側(cè)通過(guò)結(jié)線部例如電線25電連接。同樣，更下層的終端 2b、 3b和更上層(次層)的起始端3a、 4a在絕熱部件的外側(cè)互相結(jié)線。圖5所示的加熱線18的結(jié)線圖形是如圖7所示那樣將圓筒狀的絕 熱部件一分為二即在縱向二等分的情況下的優(yōu)選的圖形。在這種情況
下，與二等分的絕熱部件16相對(duì)應(yīng)，加熱線18也在縱向二等分。在 縱向二等分的區(qū)域內(nèi)的加熱線18，最下層和最上層的一端分別與端子 板22a、 22b連接，更下層的終端lb、 2b、 3b與更上層的起始端2a、 3a、 4a依次通過(guò)結(jié)線部26結(jié)線(結(jié)線部26可以配置在絕熱部件的內(nèi) 側(cè)和也可以配置外側(cè)。)。
而且，作為加熱線18的結(jié)線圖形，并不限定于上述情況。
從防止焊接斷開和抑制放熱量的觀點(diǎn)出發(fā)，端子板22a、 22b、 22c 用與加熱線18相同的材料形成為所需截面積的板狀。作為加熱線18 的起始端或終端的端子連接部分預(yù)先向徑方向外側(cè)拉伸，在這種狀態(tài) 下，通過(guò)焊接端子板進(jìn)行接合。通常，端子板22a、 22b、 22c的一端 埋設(shè)在絕熱部件中，其另一端從絕熱部件的外面向徑方向外側(cè)突出。
如圖6所示，優(yōu)選銷部件20形成為以U字部分20a保持加熱線 18的外側(cè)轉(zhuǎn)彎部分27的平面U字形狀，其兩腳部20b、 20b從內(nèi)側(cè)向 外側(cè)貫通絕熱部件]6，并在絕熱部件16的外表面彎折。在這種情況下， 可以容易地安裝銷部件20。此外，在徑方向在規(guī)定范圍內(nèi)可以移動(dòng)地 支持加熱線18，同時(shí)防止向徑方向內(nèi)側(cè)突出乃至脫出。
此外，為了保持絕熱部件16的形狀并加強(qiáng)絕熱部件16，如圖1 所示，優(yōu)選絕熱部件16的外周用金屬制例如不銹鋼制的外皮(外殼) 28覆蓋。此外，為了抑制對(duì)加熱器5的外部的熱影響，優(yōu)選用水冷外 套30覆蓋外皮28的外周。另外，在圖l的例子中，絕熱部件16的頂 部用上部絕熱部件31覆蓋，并在上部絕熱部件31的上部設(shè)置也覆蓋 外皮28的頂部(上端部)的不銹鋼制的頂板32。
為了實(shí)現(xiàn)熱處理后對(duì)晶片急速降溫和處理的速度化乃至提高生產(chǎn) 率，在加熱器5上設(shè)有用于將加熱器5和處理容器3之間的空間33內(nèi) 的氣氛排出外部的排熱系統(tǒng)35、以及用于向上述空間33內(nèi)導(dǎo)入常溫 (20 30°C)空氣從而強(qiáng)制冷卻處理容器3的強(qiáng)制空冷單元36。排熱 系統(tǒng)35主要由例如設(shè)置在加熱器5的上部的排氣口 37和將該排氣口 37與圖中未示的工場(chǎng)排氣系統(tǒng)連接的圖中未示的排熱管構(gòu)成。在排熱 管上設(shè)有圖中未示的排氣風(fēng)箱和熱交換器。強(qiáng)制空冷單元36具有多個(gè)環(huán)狀流路38，在絕熱部件16和外皮28之間在高度方向形成；和強(qiáng)制空冷用空氣噴出孔40，從各環(huán)狀流路 38向絕熱部件16的內(nèi)部在水平傾斜方向噴出空氣從而在上述空間33 的周邊方向產(chǎn)生回旋流、設(shè)置在絕熱部件16上的水平傾斜方向。不過(guò)， 為了使空氣(風(fēng))直接接觸處理容器3，也可以將噴出孔40設(shè)置在相 對(duì)于絕熱部件16的水平直角方向。通過(guò)在絕緣部件16的外周貼上帶 狀或環(huán)狀的絕熱部件41，或者通過(guò)將絕緣部件16的外周切削成環(huán)狀而 形成得到環(huán)狀流路38。如圖7A和7B所示，優(yōu)選以在絕熱部件16的 擱板部17上貫通絕熱部件16的方式形成空氣噴出孔40。在這種情況 下，能夠不妨礙加熱線18，就向上述空間33內(nèi)噴出空氣。在外皮28的外面上沿著高度方向設(shè)置有用于向各環(huán)狀流路38分 配供給冷卻流體的共通的(一個(gè)的)圖中未示的供給管道。此外，在 外皮28上形成有連通供給管道內(nèi)和各環(huán)狀流路38的連通口。供給管 道通過(guò)開閉閥門與吸引并壓送供給作為冷卻流體的清潔室內(nèi)的空氣的 圖中未示的冷卻流體供給源(例如送風(fēng)機(jī))連接。以上構(gòu)成的熱處理爐2以及立式熱處理裝置1包括用于收容晶片 w并對(duì)其進(jìn)行熱處理的處理容器3以及以覆蓋該處理容器3的周圍的 方式設(shè)置并加熱晶片w的圓筒狀加熱器5，上述加熱器5包括圓筒狀 絕緣部件16、在絕熱部件16的內(nèi)周在軸方向上形成多層的壟狀的擱板 部17，以及沿著各擱板部17配置的螺旋型的加熱線18，在上述絕熱 部件16上以適當(dāng)間隔配設(shè)銷部件20，該銷部件20以加熱線18可以在 加熱器5的徑方向移動(dòng)并且不從擱板部17脫落的方式保持該加熱線 18。由此，在絕熱部件16的內(nèi)周的各擱板部17上在露出的狀態(tài)下容 易地設(shè)置螺旋型的加熱線5，并且可以急速升降溫。另一方面，由于不 妨礙螺旋型的加熱線5的熱膨脹和熱收縮，因此在耐久性方面也優(yōu)異。 另外，不存在引起格外的成本增加的問(wèn)題。此外，通過(guò)使用螺旋型的加熱線18，可以有效增加元件表面積的 比例，可以降低加熱線的負(fù)荷，抑制斷裂。由此，可以在加熱線18上 投入大功率進(jìn)行急速升溫。此外，由于抑制了斷線，所以提高了耐久 性和實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)壽命化。另外，由于可以采用便宜的坎塔爾鐵鉻鋁電阻線作為加熱線18，因此也降低了成本。此外，從加熱器5的軸方向看，在以使作為擱板部17的槽部21 的開口邊緣的絕熱部件16的內(nèi)周和螺旋部18a的中心c (螺旋圖形的 中心) 一致(對(duì)準(zhǔn))的方式配置保持加熱線18的情況下，由于相對(duì)于 加熱對(duì)象(晶片)的輻射范圍增大(由于從晶片看到的加熱器元件的 露出部分增多)，優(yōu)選提高了升降溫速度。此外，由于擱板部的長(zhǎng)度越 短，加熱器元件的露出部分?jǐn)U大到上部或下部的晶片，因此提高升溫 速度。此外，擱板部的長(zhǎng)度越短，絕熱部件16的熱容量越小，提高了 降溫速度。另外，擱板部的長(zhǎng)度越短，加熱器元件的開放部分越多， 熱停滯也就越少，而且，加熱器元件更容易與強(qiáng)制空冷的空氣接觸， 因此提高了降溫速度。圖8是表示絕熱部件的另一例子的立體圖。加熱器5的絕熱部件 16存在由于熱膨脹和熱收縮產(chǎn)生的內(nèi)部應(yīng)力而在內(nèi)表面產(chǎn)生龜裂的可 能性。為了防止這一點(diǎn)，如圖8所示，優(yōu)選在內(nèi)面部沿著軸方向預(yù)先 形成切口 (狹縫)42。還可以使加熱線的結(jié)線部通過(guò)該切口 42。此外， 考慮到加熱器的組裝性，優(yōu)選絕熱部件16在各擱板部17的下面位置 上下分割。g卩，優(yōu)選絕熱部件16由在上下方向分割為多層的分割塊16a 構(gòu)成。在這種情況下，如果在第一層的分割塊16a的擱板部17上設(shè)置 加熱線，則堆積第二層的分割塊16a，并在該第二層的分割塊16a的擱 板部17上設(shè)置加熱線18，在這種情況下，可以容易地在擱板部17上 設(shè)置加熱線1S。由此，提高了組裝性。在這種情況下，優(yōu)選在上下鄰 接的分割塊16a的相對(duì)面，沿著周邊方向形成相互配合的定位用的凹 部43a和凸部43b。而且，作為絕熱部件16，如圖7A所示，成形為將 圓筒分割成兩半的形狀，可以有效地減少部件個(gè)數(shù)。以上，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了詳細(xì)地說(shuō)明，但是本 發(fā)明并不限定于上述各實(shí)施方式，在不脫離本發(fā)明的精神的范圍內(nèi)可 以進(jìn)行各種設(shè)計(jì)變更等。例如，處理容器可以在下端部與具有導(dǎo)入管 部和排氣管部的耐熱金屬例如不銹鋼制的圓筒狀的歧管連接，此外， 也可以是雙管結(jié)構(gòu)。
權(quán)利要求
1.一種熱處理爐，其包括用于收容被處理體并進(jìn)行熱處理的處理容器、和以覆蓋該處理容器的周圍的方式設(shè)置的對(duì)所述被處理體進(jìn)行加熱的圓筒狀加熱器，其特征在于所述加熱器包括圓筒狀的絕熱部件；在該絕熱部件的內(nèi)周，在軸方向上形成多層槽狀的擱板部；和沿著各擱板部配置的螺旋圖形的發(fā)熱電阻線，在所述絕熱部件上以適當(dāng)?shù)拈g隔配設(shè)有銷部件，所述銷部件以所述發(fā)熱電阻線在加熱器的徑方向能夠移動(dòng)并且不從所述擱板部脫落的方式保持所述發(fā)熱電阻線。
2. 如權(quán)利要求1所述的熱處理爐，其特征在于 所述銷部件形成為以U字部分保持發(fā)熱電阻線平面U字狀，其兩腳部從內(nèi)側(cè)向外側(cè)貫通絕熱部件 外面彎折。
3. 如權(quán)利要求1所述的熱處理爐，其特征在于在所述絕熱部件的擱板部上形成有內(nèi)外貫通該擱板部的強(qiáng)制空冷 用空氣噴出孔。
4. 如權(quán)利要求1所述的熱處理爐，其特征在于所述發(fā)熱電阻線以從加熱器的軸方向看作為所述擱板部的開口邊 緣的絕熱部件的內(nèi)周邊與螺旋圖形的中心一致(對(duì)準(zhǔn))的方式配置。
5. —種立式熱處理裝置，其特征在于，包括熱處理爐，其具備下部作為爐口開放的用于收容被處理體并進(jìn)行 熱處理的縱長(zhǎng)的處理容器，和以覆蓋該處理容器的周圍的方式設(shè)置的 對(duì)所述被處理體進(jìn)行加熱的圓筒狀的加熱器；蓋體，閉塞所述爐口；禾口升降機(jī)構(gòu)，在將多層保持被處理體的保持具載置在所述蓋體上的部分的 并在絕熱部件的狀態(tài)下，使該蓋體升降，進(jìn)行該蓋體的開閉和向所述處理容器內(nèi)的保 持具的搬入搬出，其中，所述加熱器包括圓筒狀的絕熱部件；在該絕熱部件的內(nèi)周，在上下方向上形成多層槽狀的擱板部；和 沿著各擱板部配置的螺旋圖形的發(fā)熱電阻線，在所述絕熱部件上以適當(dāng)?shù)拈g隔配設(shè)有銷部件，其以所述發(fā)熱電 阻線在加熱器的徑方向能夠移動(dòng)并且不從所述擱板部脫落的方式對(duì)所 述發(fā)熱電阻線進(jìn)行保持。
6. 如權(quán)利要求5所述的立式熱處理裝置，其特征在于 所述銷部件形成為以U字部分保持發(fā)熱電阻線的外側(cè)轉(zhuǎn)彎部分的平面U字狀，其兩腳部從內(nèi)側(cè)向外側(cè)貫通絕熱部件，并在絕熱部件的 外面彎折。
7. 如權(quán)利要求5所述的立式熱處理裝置，其特征在于 在所述絕熱部件的擱板部上形成有內(nèi)外貫通該擱板部的強(qiáng)制空冷用空氣噴出孔。
8. 如權(quán)利要求5記載的立式熱處理裝置，其特征在于 所述發(fā)熱電阻線以從加熱器的軸方向看作為所述擱板部的開口邊緣的絕熱部件的內(nèi)周邊與螺旋圖形的中心一致(對(duì)準(zhǔn))的方式配置。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種熱處理爐，其包括用于收容被處理體并進(jìn)行熱處理的處理容器，和以覆蓋該處理容器的周圍的方式設(shè)置的對(duì)上述被處理體進(jìn)行加熱的圓筒狀加熱器，其特征在于，上述加熱器包括圓筒狀絕熱部件；在該絕熱部件的內(nèi)周在軸方向上形成多層槽狀的擱板部；和沿著各擱板部設(shè)置的螺旋圖形的發(fā)熱電阻線，在上述絕熱部件上以適當(dāng)?shù)拈g隔設(shè)置有銷部件，其以上述發(fā)熱電阻線在加熱器的徑方向能夠移動(dòng)并且不從上述擱板部脫落的方式保持上述發(fā)熱電阻線。
文檔編號(hào)H01L21/00GK101256946SQ20081008817
公開日2008年9月3日 申請(qǐng)日期2008年2月28日 優(yōu)先權(quán)日2007年2月28日
發(fā)明者小林誠(chéng), 山賀健一, 市川貴 申請(qǐng)人:東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社