專利名稱：流體裝置安裝結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種將被安裝到化學(xué)液體管路上的用于安裝流體裝置 的流體裝置安裝結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體器件的制造過(guò)程中，在作為襯底的半導(dǎo)體晶片上進(jìn)行清 洗處理。通過(guò)使用諸如預(yù)定化學(xué)液體和純水的清洗液對(duì)晶片進(jìn)行清洗， 以除去諸如微粒、有機(jī)污染物、以及金屬雜質(zhì)、有機(jī)物質(zhì)和氧化膜的 污染物。
清洗系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)例如圖22和圖23所示。
圖22和圖23所示的清洗系統(tǒng)1100包括用于送入和送出晶片1121 的入/出口 1101;用于承載晶片1121的載物臺(tái)1102;用于清洗晶片1121 的清洗單元1103;用于清洗一個(gè)或多個(gè)載具1120的載具清洗單元 1104;用于存儲(chǔ)(多個(gè))載具1120的載具堆疊單元1105;用于將電能 供應(yīng)至各單元的電源單元1106;以及用于存儲(chǔ)用來(lái)清洗晶片1121的化 學(xué)液體等的化學(xué)液體存儲(chǔ)單元1107。
這些單元1101至1107分別由第一外殼1111至第七外殼1117覆 蓋，從而保護(hù)(多個(gè))晶片1121和(多個(gè))載具1120免受灰塵和污 垢的侵害并防止揮發(fā)的化學(xué)液體滲漏到外界。第二外殼1112和第三外
5殼1113之間的空間由分隔壁1108分隔，但開口 1108a被設(shè)置于分隔壁 1108中，以利用擋板1109打開和關(guān)閉分隔壁1108。
在清洗系統(tǒng)1100中，承載(多個(gè))晶片1121的(多個(gè))載具1120 由運(yùn)載機(jī)構(gòu)1110從入/出口 1101傳送至載物臺(tái)1102。然后，在清洗系 統(tǒng)1100中，擋板1109打開，(多個(gè))載具1120經(jīng)由開口 1108a被傳 送至清洗單元1103中。隨后，擋板1109關(guān)閉。
在清洗單元1103中，將化學(xué)液體排放到(多個(gè))晶片1121上以 進(jìn)行防剝落，之后將水給送到(多個(gè))晶片1121以用于漂洗。隨后， 將揮發(fā)性化學(xué)液體(例如異丙醇)施加到整個(gè)(多個(gè))晶片1121上以 用于干燥，然后通過(guò)吹掃干燥或離心干燥對(duì)(多個(gè))晶片1121進(jìn)行干 燥。
清洗系統(tǒng)1100打開擋板1109并將裝載有(多個(gè))晶片1121的(多 個(gè))載具1120從清洗單元1103傳送至載物臺(tái)1102。通過(guò)運(yùn)載機(jī)構(gòu)1110 進(jìn)一步將(多個(gè))載具1120傳送至入/出口 1101。排放至入/出口 1101 的(多個(gè))晶片1121最終由操作員或自動(dòng)運(yùn)載設(shè)備從(多個(gè))載具U20 取出。這樣，結(jié)束一系列晶片清洗過(guò)程(參見專利文獻(xiàn)l)。
如上所述，在清洗單元1103中，依次供應(yīng)不同種類的流體，諸如 化學(xué)液體、純水、以及揮發(fā)性液體。此外，各流體的濃度和流速大大 地影響(多個(gè))晶片1121的清洗質(zhì)量。因此，清洗單元1103使用下 列流體裝置閥，諸如流速控制閥和開/關(guān)閥；過(guò)濾器；傳感器，諸如 壓力傳感器和流速傳感器；以及管擋塊，例如接頭擋塊和通道擋塊。
圖21示出了流體裝置單元的流體裝置連接構(gòu)造的一個(gè)實(shí)例。具體 而言，第一流體裝置201的第一連接部分203與第二流體裝置202的 第二連接部分204通過(guò)密封構(gòu)件205連接。聯(lián)接構(gòu)件206被裝配在第 一凹槽203a和第二凹槽204a中，第一凹槽203a和第二凹槽204a分別形成在第一連接部分203和第二連接部分204的外周表面上。這樣， 第一流體裝置201和第二流體裝置202保持連接關(guān)系。在這種流體裝 置單元中，流體裝置彼此直接連接，這使得管空間和腳空間均減小(參 見專利文獻(xiàn)2)。
另一方面，流體裝置單元的連接部在其僅由聯(lián)接構(gòu)件206保持時(shí) 剛性更小。因此，例如，當(dāng)操作員用手提起第一流體裝置201以將流 體裝置單元組裝至清洗單元1103時(shí)，第一連接部分203和第二連接部 分204的連接部彎曲，且第二流體裝置202因其自身的重量相對(duì)于第 一流體裝置201傾斜，使得連接部的密封性能退化。通常，用于清洗 單元1103的流體裝置單元包括多個(gè)用于控制若干種類化學(xué)液體的流體 裝置。因此，如果流體裝置僅通過(guò)聯(lián)接構(gòu)件206而互連，則連接部可 能容易彎曲，使得工作費(fèi)勁。
針對(duì)以上問題，先前是在將流體裝置201和202組裝到支架211、 然后組裝到清洗單元1103上之后操縱流體裝置單元。在這種流體裝置 安裝結(jié)構(gòu)中，支架211防止流體裝置單元彎曲，從而密封性能不會(huì)由 于流體裝置連接部上的彎曲而退化。
引用列表 專利文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)1 JP2008-34872A 專利文獻(xiàn)2 JP2007-2902A

發(fā)明內(nèi)容
技術(shù)問題
然而，常規(guī)流體裝置安裝結(jié)構(gòu)具有下列問題。
(1)在常規(guī)流體裝置安裝結(jié)構(gòu)中，參照流體裝置的底表面將流體 裝置安裝在支架211上。但是，如果將具有不同端口高度(豎直方向上的位置)和安裝尺寸的流體裝置安裝在支架211上，則需要預(yù)先調(diào)整流 體裝置的端口高度和安裝尺寸。因此，在常規(guī)流體裝置安裝結(jié)構(gòu)中， 必須按照流體裝置的類型和位置具體設(shè)計(jì)支架211。
(2)另外，在常規(guī)流體裝置安裝結(jié)構(gòu)中，由于二維地將流體裝置 安裝于支架211上，因此需要充裕的空白空間將全部流體裝置布置在 相同平面上?，F(xiàn)今，半導(dǎo)體制造裝置已變得更緊湊，因此，清洗系統(tǒng)
1100的尺寸己越來(lái)越小。根據(jù)此尺寸縮小，清洗單元1103和第三外殼 1113的尺寸也縮小，因此，第三外殼1U3和清洗單元1103之間的空 間變得更小，且該空間并不總是平面。此外，根據(jù)(多個(gè))晶片1121 處理的多樣化和高精度，用于化學(xué)液體控制的流體裝置的數(shù)量和類型 已增加。因此，存在用于在二維空間中安裝流體裝置的常規(guī)流體裝置 安裝結(jié)構(gòu)不能在空白空間中布置的所有流體裝置的憂慮。
己作出本發(fā)明以解決以上問題，本發(fā)明的目的是提供一種流體裝 置安裝結(jié)構(gòu)，該流體裝置安裝結(jié)構(gòu)能在三維空間中自由地安裝流體裝 置，從而減小用于流體裝置的安裝空間。
問題解決方案
為實(shí)現(xiàn)以上目的，本發(fā)明的一個(gè)方面提供了一種流體裝置安裝結(jié) 構(gòu)，包括第一流體裝置；第二流體裝置；以及支承組件，第一流體 裝置和第二流體裝置安裝于該支承組件上，其中，第一流體裝置包括 具有形成有安裝槽的外周表面的第一連接部分，而第二流體裝置包括 具有形成有安裝槽的外周表面的第二連接部分。第一連接部分和第二 連接部分具有相同形狀，以及支承組件包括以可移除方式附接至安裝 槽的支承構(gòu)件，用于由支承組件支承第一連接部分和第二連接部分的 連接部。


圖1是本發(fā)明實(shí)施例中的流體裝置安裝結(jié)構(gòu)的外透視8圖2是圖1所示的支承組件的外透視圖3是圖2所示的支承組件的分解透視圖4是圖2所示的部分A的放大剖面圖5是圖2所示的支承構(gòu)件的外透視圖6是圖1所示的連接部密封結(jié)構(gòu)的放大剖面圖7是圖6所示的連接部密封結(jié)構(gòu)的分解透視圖8是示出了用于將圖1中的流速控制閥從流體裝置單元拆卸下
來(lái)的過(guò)程的說(shuō)明性視圖，示出了接頭擋塊從流速控制閥拆卸下來(lái)的狀
態(tài)；
圖9是示出了用于將圖1中的流速控制閥從流體裝置單元拆卸下
來(lái)的過(guò)程的說(shuō)明性視圖，示出了聯(lián)接構(gòu)件從流速控制閥和流量計(jì)拆卸
下來(lái)的狀態(tài)；
圖IO是示出了用于將圖1中的流速控制閥從流體裝置單元拆卸下 來(lái)的過(guò)程的說(shuō)明性視圖，示出了流速控制閥從流量計(jì)拆卸下來(lái)的狀態(tài)；
圖11是示出了用于在圖6所示的連接部密封結(jié)構(gòu)中聯(lián)接第一連接
部分和第二連接部分的夾的外透視圖12是示出了第一連接部分和第二連接部分由圖11所示的夾拉 向或夾向彼此之前的狀態(tài)的視圖13是示出了第一連接部分和第二連接部分由圖11所示的夾拉 向或夾向彼此之后的狀態(tài)的視圖14是圖1所示的流體裝置單元的電路圖15是圖1所示的流體裝置單元的改進(jìn)電路圖16是示出了流體裝置安裝結(jié)構(gòu)的外透視圖，其中，圖15所示 的流體裝置附接在支承組件上；
圖17是圖16所示的流體裝置安裝結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖18是圖2所示的支承組件的變形；
圖19是本發(fā)明第二實(shí)施例中的流體裝置安裝結(jié)構(gòu)的外透視圖； 圖20是本發(fā)明第三實(shí)施例中的流體裝置安裝結(jié)構(gòu)的外透視圖； 圖21是常規(guī)流體裝置安裝結(jié)構(gòu)的剖面圖； 圖22是清洗系統(tǒng)的外透視圖；以及圖23是圖22所示的清洗系統(tǒng)的平面圖。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在將參照附圖詳細(xì)說(shuō)明實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的流體裝置安裝結(jié)構(gòu)的優(yōu)選 實(shí)施例。
(第一實(shí)施例) <流體裝置單元的構(gòu)造〉
與現(xiàn)有技術(shù)類似，圖14所示的流體裝置單元1用于清洗系統(tǒng)1100。 流體裝置單元1具有主通道2以及從主通道2分支、用以分配單種化 學(xué)液體的第一子通道3和第二子通道4。第一子通道3布置有第一氣動(dòng) 閥11、第一流量計(jì)12、以及第一流速控制閥13。通過(guò)第一氣動(dòng)閥11 引入第一子通道3的化學(xué)液體的流速由第一流量計(jì)12測(cè)量，該化學(xué)液 體的流速由第一流速控制閥13控制。隨后，最終輸出該化學(xué)液體。類 似地，第二子通道4布置有第二氣動(dòng)閥21、第二流量計(jì)22、以及第二 流速控制閥23。通過(guò)第二氣動(dòng)閥21引入第二子通道4的化學(xué)液體的流 速由第二流量計(jì)22得以測(cè)量，該化學(xué)液體的流速由第二流速控制閥23 控制。隨后，最終輸出該化學(xué)液體。
<流體裝置安裝結(jié)構(gòu)的整體構(gòu)造〉
圖l示出了流體裝置安裝結(jié)構(gòu)5的外透視圖。
流體裝置單元1通過(guò)將第一支管15和第二支管25聯(lián)接在一對(duì)接 頭擋塊24之間來(lái)形成主通道2 (參見圖14)。此外，流體裝置單元l 通過(guò)聯(lián)接第一氣動(dòng)閥11、第一流量計(jì)12、第一流速控制閥13、以及接 頭擋塊24而提供第一子通道3，并類似地通過(guò)聯(lián)接第二氣動(dòng)閥21、第 二流量計(jì)22、第二流速控制閥23、以及接頭擋塊24而提供第二子通 道4(參見圖14)。在本實(shí)施例中，各接頭擋塊24、第一支管15和第 二支管25、第一氣動(dòng)閥H和第二氣動(dòng)閥21、第一流量計(jì)12和第二流 量計(jì)22、以及第一流速控制閥13和第二流速控制閥23為"流體裝置"的實(shí)例。從耐腐蝕性的觀點(diǎn)來(lái)看，這些流體裝置U至13、 15、以及
21至25由樹脂部件構(gòu)造，不使用任何金屬。
如圖1所示，流體裝置11至13、 15、以及21至25形成有形狀相 同的連接部分lla至13a、 15a、以及21a至25a并通過(guò)使用稍后將描 述的相同連接部密封結(jié)構(gòu)而彼此聯(lián)接。
在流體裝置安裝結(jié)構(gòu)5中，流體裝置11至13、 15、以及21至25 被安裝在支承組件31上。在流體裝置安裝結(jié)構(gòu)5中，支承組件31通 過(guò)組裝成格子圖案的保持框架32和支承框架33而構(gòu)成，從而由支承 框架33支承流體裝置11至13、 15、以及21至25的各連接部。
<用于連接部的密封結(jié)構(gòu)>
現(xiàn)在參照?qǐng)D6的剖面圖和圖7的分解透視圖，以第一流量計(jì)12的 連接部分12a的連接部以及第一流速控制閥13的連接部分13a的連接 部為例，詳細(xì)說(shuō)明用于連接部的密封結(jié)構(gòu)26。在圖6和圖7中，除了 第一流量計(jì)12的連接部分12a和第一流速控制閥13的連接部分13a， 簡(jiǎn)化了其它部件的圖示。
如圖6和圖7所示，第一流量計(jì)12的連接部分12a和第一流速控 制閥13的連接部分13a由諸如PTFE (聚四氟乙烯)的具有耐熱性和 耐腐蝕性的碳氟樹脂制成。連接部分12a和13a為圓筒狀并形成有分別 通向連接部分12a和13a的端表面的通道12b和13b。此外，在連接部 分12a和13a的端表面上，密封槽12c和13c形成在通道開口部的外圍 上。環(huán)形突起12d和13d在密封槽12c和13c周邊上與通道12b和13b 同軸突出，產(chǎn)生了環(huán)形槽脊線。連接部分12a和13a還形成有沿著端表 面的外周向外突出的環(huán)形凸緣12e和13e。
在連接部分12a和13a的外周表面上，環(huán)狀地形成有安裝槽12f 和13f。更靠近連接部分12a和13a的端表面的安裝槽12f和13f的內(nèi)表面分別與連接部分12a和13a的端表面平行形成，從而當(dāng)連接部分 12a和13a由稍后將說(shuō)明的保持夾50拉向或夾向彼此時(shí)，連接部分12a 和13a的端表面互相形成均勻接觸。連接部分12a在安裝槽12f和連接 部分12a的端表面之間形成有附接槽12g，以與用于保持連接部分12a 的連接狀態(tài)的聯(lián)接構(gòu)件27相連，類似地，連接部分13a在安裝槽13f 和連接部分13a的端表面之間形成有附接槽13g，以與用于保持連接部 分13a的連接狀態(tài)的聯(lián)接構(gòu)件27相連。安裝槽12f和13f以及附接槽 12g和13g具有環(huán)形形狀，從而可在任意方向上安裝稍后將作描述的聯(lián) 接構(gòu)件27和支承構(gòu)件34。因此，能容易地附接和拆卸流體裝置。
如圖7所示，聯(lián)接構(gòu)件27形成有通過(guò)鉸鏈27a連接在一起的第一 分開部分28和第二分開部分29。第一分開部分28、第二分開部分29、 以及鉸鏈27a由諸如PVDF (聚偏二氟乙烯)的具有足夠的強(qiáng)度和耐腐 蝕性的碳氟樹脂制成，通過(guò)注塑成型、切割或其它技術(shù)形成。
第一分開部分28和第二分開部分29在由鉸鏈27a連接的端部中 形成有第一接合突起28d和第二接合突起29d以及第一接合凹陷28e 和第二接合凹陷29e。在不同方向上，即，在分離第一分開部分28和 第二分開部分29的方向上以及與該分離方向垂直的方向上，第一突起 28d裝配并接合到第二凹陷29e中且第二突起29d裝配并接合到第一凹 陷28e中。聯(lián)接構(gòu)件27被設(shè)計(jì)成使得第一分開部分28和第二分開部分 29圍繞以上裝配部旋轉(zhuǎn)。
第一分開部分28和第二分開部分29形成有延伸部28a和29a，延 伸部28a和29a在徑向上朝著與由鉸鏈27a連接的端部相對(duì)的其它端延 伸。延伸部29a形成有通孔29c，延伸部28a形成有突起形式的鎖部28c。 鎖部28c被彎曲或變形以經(jīng)過(guò)通孔29c，然后恢復(fù)其原始形狀，并鉤在 延伸部29a上。因此，第一分開部分28和第二分開29互連，從而延伸 部28a與延伸部29a以適當(dāng)間隙相間隔。如圖6所示，第一分開部分28和第二分開部分29形成有凸起28f 和凸起29f，當(dāng)連接部分12a和13a通過(guò)密封構(gòu)件6連接時(shí)，凸起28f 和凸起29f與更靠近連接部分12a和13a的端表面的附接槽12g和13g 的內(nèi)壁接觸。如圖7所示，當(dāng)?shù)谝环珠_部分28的第一接合突起28d和 第二分開部分29的第二接合突起29d分別裝配在第二接合凹陷29e和 第一接合凹陷28e中時(shí)，延伸部28a和29a打開(分離)。然后，鎖部 28c被插入通孔29c以與延伸部29a接合，從而將凸起28f和29f分別 布置在連接部分12a和13a的附接槽12g和13g中。由此，分開部分 28的凸起28f以及分開部分29的凸起29f將抵抗密封構(gòu)件6的排斥力 的反作用力施加到連接部分12a和13a，因而保持連接部分12a和13a 的連接關(guān)系。
連接部分12a和13a以及聯(lián)接構(gòu)件27由樹脂制成。因此，如果高 溫化學(xué)液體和冷卻純水依次流入通道12b和13b，連接部分12a和13a 以及聯(lián)接構(gòu)件27將反復(fù)膨脹和收縮，導(dǎo)致密封性能退化。為了防止這 種問題，聯(lián)接構(gòu)件27設(shè)置有用于輔助緊固的固定銷30。
固定銷30配置有銷部30a和螺母構(gòu)件30c，銷部30a和螺母構(gòu)件 30c由諸如PVDF (聚偏二氟乙烯)的具有足夠的強(qiáng)度和耐腐蝕性的碳 氟樹脂制成。銷部30a具有易于插入形成在延伸部28a和29a中的插入 孔28b和29b的分叉端。銷部30a的遠(yuǎn)端形成有鉤部30b。螺母構(gòu)件30c 與銷部30a的近端螺紋接合。當(dāng)螺母構(gòu)件30c被旋擰入銷部30a時(shí)，這 樣配置的固定銷30將延伸部28a與29a拉得更靠近，從而，凸起28f 和29f端部的各內(nèi)周上形成的錐形在連接部分12a和13a的各附接槽 12g和13g中形成的錐形上滑動(dòng)。這樣，連接部分12a和13a彼此更加 靠近，從而增強(qiáng)密封強(qiáng)度。
如圖6和圖7所示，密封構(gòu)件6包括環(huán)形主體7，以及從主體7 的外周徑向地向外延伸的腹板部8。保持部9非連續(xù)地設(shè)置在腹板部8 的外邊緣上。主體7的兩個(gè)表面上形成有環(huán)形槽7a和7b，連接部分12a和I3a 的環(huán)形突起12d和13d將被分別裝配在環(huán)形槽7a和7b中。因此，主體 7具有H形橫截面。環(huán)形槽7a和7b被形成為具有等于或稍大于連接部 分12a和13a的各環(huán)形突起12d和13d的寬度(厚度)的槽寬(圖6 中的豎直方向)。各環(huán)形槽7a和7b在從開口朝內(nèi)而定位的內(nèi)壁的里面 和外面形成有壓配容差7c和7d,從而將從開口朝內(nèi)定位的環(huán)形槽7a 和7b的槽寬制成為在厚度方向上小于環(huán)形突起12d和13d的寬度。因 此，當(dāng)環(huán)形突起12d和13d被壓配入環(huán)形槽7a和7b的壓配容差7c和 7d時(shí)，密封構(gòu)件6在通道12b和13b的徑向上提供密封。腹板部8為 膜狀部并在外邊緣上設(shè)置有多個(gè)保持部9。各保持部9形成有將與連接 部分12a和13a的環(huán)形凸緣12e和13e接合的鉤端9a。
<支承組件的構(gòu)造〉
現(xiàn)在說(shuō)明支承組件31的構(gòu)造。圖2是圖1所示的支承組件31的 外透視圖。圖3是圖2所示的支承組件31的分解透視圖。
如圖2和圖3所示，支承組件31包括保持在保持框架32之間的 兩個(gè)支承框架33。定位構(gòu)件35附接至各支承框架33的相對(duì)端以相對(duì) 于保持框架32定位并保持支承框架33。
支承框架33和保持框架32為由樹脂制成的管。保持框架32的兩 端在各自的外周上形成有外螺紋32a和32b的兩端。蓋39擰在各外螺 紋32a和32b上。因此，各保持框架32能通過(guò)調(diào)整各蓋39在外螺紋 32a和32b上的螺旋量來(lái)調(diào)整其總長(zhǎng)。
定位構(gòu)件35形成有中空孔35b，保持框架32被可滑動(dòng)地插入該中 空孔35b。在定位構(gòu)件35的外周表面上，支承框架保持部35a形成在 與中空孔35b的軸向垂直的方向上。保持部35a形成有插入部35g，支 承框架33被可滑動(dòng)地插入該插入部35g中。保持部35a在其外周表面
14上還形成有外螺紋35f，該外螺紋通過(guò)楔構(gòu)件38與螺母構(gòu)件37螺紋相 接。
如圖4的放大剖面圖所示，楔構(gòu)件38為圓筒狀并設(shè)置有多個(gè)被切 割為在軸向上從一個(gè)開口端延伸的狹縫38a。楔構(gòu)件38的外周表面具 有錐形38b，該錐形38b的外徑朝著帶有切口的開口端縮小。插入部 35g的內(nèi)周表面形成有環(huán)形大直徑部35d。開口端側(cè)上的大直徑部35d 的內(nèi)周表面具有錐形35e，該錐形35e的內(nèi)徑在與支承框架保持部35a (插入部35g)的軸向平行的方向上從開口端縮小。錐形35e的錐角大 于楔構(gòu)件38的錐形38b的錐角。
楔構(gòu)件38以形成有狹縫38a的較小直徑開口端面向定位構(gòu)件35 的方式附接在支承框架33上。楔構(gòu)件38由當(dāng)螺母構(gòu)件37的內(nèi)螺紋37a 擰在支承框架保持部35a的外螺紋35f時(shí)所產(chǎn)生的螺旋力被壓向支承框 架保持部35a。此時(shí)，楔構(gòu)件38的較小直徑端被插入保持部35a的大 直徑部35d與支承框架33之間產(chǎn)生的間隙中。然后，錐形38b在P點(diǎn) 處與大直徑部35d的錐形35e形成線接觸，從而楔構(gòu)件38的直徑被固 定裝配在支承框架33上。如上所述，定位構(gòu)件35連接至支承框架33 的端部。
如圖3所示，保持框架32被插入螺母構(gòu)件37和楔構(gòu)件38中，且 還被可滑動(dòng)地插入定位構(gòu)件35的中空孔35b中。與支承框架保持部35a 類似，定位構(gòu)件35在一個(gè)開口端的外周形成有外螺紋35f。當(dāng)定位構(gòu) 件35在保持框架32上滑動(dòng)到確定位置時(shí)，螺母構(gòu)件37通過(guò)楔構(gòu)件38 被疔在外螺紋35f上，從而由楔構(gòu)件38緊固保持框架32。由此，將定 位構(gòu)件35固定至保持框架32的確定位置。另外，將定位構(gòu)件35固定 至保持構(gòu)件32的機(jī)理類似于將定位構(gòu)件35固定至支承構(gòu)件33的機(jī)理， 因此省略其詳細(xì)說(shuō)明。
上述保持框架32、支承框架33、定位構(gòu)件35、螺母構(gòu)件37、楔
15構(gòu)件38、以及蓋39由諸如聚氯乙烯、聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、 聚苯乙烯(PS)、聚四氟乙烯(PTFE) 、 ABS樹月旨(丙烯腈丁二烯苯 乙烯樹脂)和丙烯酸樹脂(PMMA)的具有高的強(qiáng)度和耐腐蝕性的樹 脂制成。
<支承構(gòu)件〉
如圖3所示，支承構(gòu)件34以可移除方式附接至例如連接部分12a 和13a的安裝槽12f和13f (參見圖6)，從而由支承框架33支承連接 部分12a和13a的連接部。支承構(gòu)件34包括安裝在支承框架33和聯(lián)接 部42上的主體41，支承框架33和聯(lián)接部42被裝配在安裝槽12f和13f 中，并進(jìn)一步與主體41接合。由此，以可移除方式將支承構(gòu)件34附 接至支承框架33。
如圖5的外透視圖所示的主體41和聯(lián)接部42利用諸如聚偏二氟 乙烯(PVDF)的具有足夠的強(qiáng)度和耐腐蝕性的碳氟樹脂通過(guò)注塑成型、 切割及其它技術(shù)形成。
主體41形成有夾緊部4la，該夾緊部41a具有在主體41 一端中的 C形開口。夾緊部41a裝配在支承框架33上，從而以可移除方式將主 體41安裝在支承框架33上。在主體41中，夾緊部41a被設(shè)計(jì)為具有 小于支承框架33的直徑的內(nèi)徑以及繞開口端更薄的厚度以提供可彈性 變形的柔性部分41b。主體41被安裝在支承框架上的方式為柔性部分 41b向外彈性變形以將夾緊部41a裝配在支承框架33上，柔性部分41b 隨后恢復(fù)因而抓緊支承框架33。
主體41還形成有從柔性部分41b向上延伸的延伸部41c。例如， 連接部分12a和13a的安裝槽12f和13f將布置在延伸部41c上(參見 圖6)。圖5中，在各延伸部41c的上端，第一接合部41d和第二接合 部41e被設(shè)置為與聯(lián)接部42構(gòu)造不同的兩端接合。第一接合部41d位 于延伸部41c之間的相對(duì)側(cè)，即對(duì)角位置，以防止聯(lián)接部42輕易脫離第一接合部41d，類似地，第二接合部41e位于延伸部41c之間的相對(duì) 偵'J，即對(duì)角位置，以防止聯(lián)接部42輕易脫離第二接合部41e。
各聯(lián)接部42為可彈性變形的U形帶。聯(lián)接部42 —端形成有接合 鉤42a，而另一端形成有配合件42b。配合件42b通過(guò)以直角相對(duì)于聯(lián) 接部42、然后又以直角彎曲而具有狗腿狀。如圖6所示，在各聯(lián)接部 42的內(nèi)周表面上，突起42c被設(shè)置為裝配在安裝槽12f或13f中。
如圖5所示，主體41的第一接合部41d形成有插入孔41f，接合 鉤42a被插入該插入孔41f中，從而第一接合部41d與接合鉤42a的遠(yuǎn) 端接合。
另一方面，主體41的第二接合部41e形成有配合凹陷41g，配合 件42b能裝配在該配合凹陷41g中。配合凹陷41g被形成為在第二接 合部41e的側(cè)表面上水平開口 ，并向下彎曲而在第二接合部41e中具有 封閉端。
在如上構(gòu)造的支承構(gòu)件34中，各聯(lián)接部42的一端通過(guò)將接合鉤 42a插入到插入孔41f中與第一接合部41d接合，而聯(lián)接部42的另一 端通過(guò)將配合件42b裝配在配合凹陷41g中與第二接合部41e接合。聯(lián) 接部42的此狀態(tài)被稱為"接合位置"。當(dāng)各聯(lián)接部42從配合件42b 被裝配在配合凹陷41g中的接合位置旋轉(zhuǎn)180度時(shí)，配合件42b的端 部移動(dòng)到配合凹陷41g的開口端，從而能從配合凹陷41g釋放配合件 42b。聯(lián)接部42的此狀態(tài)被稱為"可釋放位置"。
<流體裝置單元的安裝方法>
現(xiàn)在說(shuō)明用于將圖1中的流體裝置單元1安裝至清洗系統(tǒng)1100的 方法。
例如，當(dāng)?shù)谌鈿?113中存在清洗單元1103與第三外殼1113豎直方向上的側(cè)壁之間的空間時(shí)，操作員將保持框架32豎直地豎立起來(lái)， 以將流體裝置單元1安裝到該空間中。在將流體裝置單元1安裝到空
間中之后，操作員相對(duì)于保持框架32單獨(dú)旋轉(zhuǎn)蓋39，從而將各蓋39 的平坦(頂或底)表面壓向外圍設(shè)備或墻壁，以調(diào)整保持框架32的總 長(zhǎng)。因此，以展開狀態(tài)將保持框架32保持在空間中。結(jié)果，能防止流 體裝置單元1在該空間中倒下。
如果因調(diào)整了保持框架32的總長(zhǎng)而致使流體裝置11至13、 15、 以及21至25移位，則操作員將緊固以將定位構(gòu)件35固定至保持框架 32的(多個(gè))螺母構(gòu)件37松開，并將(多個(gè))定位構(gòu)件35移動(dòng)至(多 個(gè))適當(dāng)位置。然后，操作員再次將(多個(gè))螺母構(gòu)件37緊固在定位 構(gòu)件35上，以將定位構(gòu)件35固定至保持框架32。
由此，即便清洗單元1103與第三外殼1113之間的空間不足，也 能夠通過(guò)松開和緊固蓋39或螺母構(gòu)件37而對(duì)應(yīng)于該空間的尺寸來(lái)安 裝支承組件31。因此，不需要使用任何附加工具以將支承組件31安裝 在清洗系統(tǒng)1100中，從而能容易地將流體裝置II至13、 15、以及21 至25布置在敞開空間中。
<附接和移動(dòng)流體裝置的方法>
現(xiàn)在以第一流速控制閥13的維修為例來(lái)說(shuō)明用于將流體裝置附接 至支承組件31并從支承組件31移除該流體裝置的方法。
首先，如圖8的分解透視圖所示，固定銷30從連接第一流速控制 閥13和接頭擋塊24的聯(lián)接構(gòu)件27被拉出。隨后，接合部28c從通孔 29c拆下，以使得第一分開部分28與第二分開部分29分開。在此狀態(tài)， 第一分開部分28和第二分開部分29并未分離，這是因?yàn)樗鼈內(nèi)杂摄q 鏈27a相連，以便易于操縱聯(lián)接構(gòu)件27。然后，拉出接頭擋塊24以使 得連接部分24a與流速控制閥13的連接部分13a分開。此時(shí)，密封構(gòu) 件6不會(huì)脫落，而是利用鉤在連接部分13a或24a的環(huán)形凸緣13e或24e上的鉤部9a保留在連接部分13a或24a中。
其次，如圖9的分解透視圖所示，使得第一流速控制閥13的連接 部分13a與第一流量計(jì)12的連接部分12a相聯(lián)接的聯(lián)接構(gòu)件27以與如 上所述接頭擋塊24相同的方式被拆卸。這里，支承構(gòu)件34被固定至 連接部分12a和13a,從而將聯(lián)接部42的突起42c裝配在安裝槽12f 和13f中(參見圖6)，這樣由支承框架33通過(guò)支承構(gòu)件34來(lái)支承連 接部分12a和13a。
因此，如圖10的分解透視圖所示，與第一流速控制閥13連接的 支承構(gòu)件34的其中一個(gè)聯(lián)接部42從安裝槽13f被拆卸下來(lái)。具體而言， 接合鉤42a從第一接合部41d的插入孔41f被拉出，以將聯(lián)接部42從 接合位置旋轉(zhuǎn)至可釋放位置，突起42c隨后與安裝槽13f分離。因此， 連接部分13a不再由支承框架33支承，這樣以反方向從第一流量計(jì)12 拉第一流速控制閥13，以將連接部分13a與連接部分12a分開。此時(shí)， 由于密封構(gòu)件6的鉤部9a保持鉤在連接部分12a或13a的鉤部12e或 13e上，所以防止密封構(gòu)件6脫落。
能從配合凹陷41g將位于可釋放位置的聯(lián)接部42的配合件42b拉 出，以將聯(lián)接部42從主體41拆卸下來(lái)。因此，聯(lián)接部42在第一流量 控制闊13的拆卸作業(yè)期間不會(huì)粘在或鉤在連接部分13a上。
在結(jié)束第一流速控制閥13的維修之后，在將圖11所示保持夾50 附接至安裝槽12f和13f之前，以如上所述的相同方式將附接至圖10 中的第一流量計(jì)12的聯(lián)接部42從安裝槽12f拆卸下來(lái)。
圖11所示的保持夾50由金屬(例如不銹鋼)制成，該金屬具有 用于在夾具傳遞力時(shí)防止變形的剛性。保持夾50具有在交點(diǎn)52處可 旋轉(zhuǎn)地彼此連接的兩個(gè)把手51A、 51B。各把手51A、 51B具有向內(nèi)彎 曲端，在所述向內(nèi)彎曲端中，以相對(duì)于旋轉(zhuǎn)方向的垂直方向設(shè)置心軸53。在各心軸53中，以可旋轉(zhuǎn)方式設(shè)置增壓板54的保持部54b。增壓 板54形成有U形槽54a，該U形槽54a例如與連接部分12a的安裝槽 12f或連接部分13a的安裝槽13f配合。
如圖12所示，為了聯(lián)接連接部分12a和13a，將密封構(gòu)件6的鉤 部9a鉤在連接部分12a的環(huán)形凸緣12e上。因此，在密封構(gòu)件6中， 環(huán)形槽7a與連接部分12a的環(huán)形突起12d對(duì)齊。在第一流速控制閥13 中，連接部分13a被插入暫時(shí)被安裝在連接部分12a中的密封構(gòu)件6 的保持部9，而環(huán)形突起13d的前端略微插入環(huán)形槽7b中。
在此階段，連接部分12a和13a的附接槽12g和13g之間的距離 Wl比聯(lián)接構(gòu)件27的凸起28f之間的距離W2更寬。因此，不允許將聯(lián) 接構(gòu)件27附接至連接部分12a和13a。因此，將保持夾50的增壓板54 安裝在連接部分12a和13a的安裝槽12f和13f中，并緊握保持夾50 的把手51A和51B以使得連接部分12a和13a彼此更靠近。
結(jié)果，在圖13中，環(huán)形突起12d和13d被壓配入設(shè)置在密封構(gòu)件 6的環(huán)形槽7a和7b中的壓配容差7c和7d中。當(dāng)附接槽12g和13g之 間的距離Wl變得比聯(lián)接構(gòu)件27的凸起28f和29f之間的距離W2更 窄時(shí)，第一分開部分28和第二分開部分29的凸起28f和29f被插入附 接槽12g和13g，從而將聯(lián)接構(gòu)件27布置為環(huán)繞連接部分12a和13a。 在聯(lián)接構(gòu)件27中，第一分開部分28和第二分開部分29由第一接合突 起28d與第二接合凹陷29e以及第二接合突起29d與第一接合凹陷28e 的接合、并由鎖部28c與延伸部29a的接合聯(lián)接。這樣，連接部分12a 與連接部分Ba最終相連。此外，聯(lián)接構(gòu)件27優(yōu)選為預(yù)先在延伸部28a 和29a中與固定銷30附接，以輔助緊固。
保持夾50與安裝槽12f和13f分離，而支承構(gòu)件34被布置在連接 部分12a和13a與支承組件31的支承框架33之間。通過(guò)使得柔性部分 41b變形從而將支承框架33推入夾緊部4la，將支承構(gòu)件34裝配在支
20承框架33上。隨后，將連接部分12a和13a安置在支承構(gòu)件34的延伸 部41c上。然后，使得聯(lián)接部42圍繞被裝配在主體41的配合凹槽41g 中的配合件42b的接合部轉(zhuǎn)動(dòng)，而接合鉤42a被插入主體41的插入孔 41f中以與第一接合部41d接合。
此外，將聯(lián)接部42的突起42c牢固地裝配在連接部分13a的安裝 槽13f中，以便聯(lián)接部42將連接部分13a壓向延伸部41c，以將連接 部分13a固定至支承構(gòu)件34。類似地，也將連接部分12a固定至支承 構(gòu)件34。這樣，連接部分12a和13a之間的連接部由支承框架33通過(guò) 支承構(gòu)件34支承，因此將第一流速控制閥13和第一流量計(jì)12安裝在 支承組件31中。
在支承組件31中，框架(保持框架32和支承框架33)被組裝成 格子狀。因此，為了進(jìn)行以上流體裝置的附接和移除操作，允許操作 員將其雙手插入保持框架32和支承框架33之間的空間。由此，即使 為了減小布置空間而將第一氣動(dòng)閥11和第二氣動(dòng)閥12、以及第一流速 控制闊13和第二流速控制閥23與第一流量計(jì)12和第二流量計(jì)22相 對(duì)布置，將第一流速控制閥13附接至第一流量計(jì)12或從第一流量計(jì) 12移除第一流速控制閥13對(duì)操作員仍容易。
此外，如果支承組件31在以上流體裝置的附接和移除操作期間變 得不穩(wěn)定，則優(yōu)選的是通過(guò)旋轉(zhuǎn)蓋39來(lái)調(diào)整保持框架32的總長(zhǎng)，從 而將保持框架32牢固地保持在空間中。
<附加流體裝置>
現(xiàn)在通過(guò)利用將附加流體裝置安裝在圖14的流體裝置單元1中以 構(gòu)造圖15所示的流體裝置單元80的情形，說(shuō)明流體裝置的附加。
在圖15所示的流體裝置單元80中，手動(dòng)閥71、氣動(dòng)閥72、以及 調(diào)節(jié)器73被布置在主通道2上用于壓力調(diào)節(jié)。除了第一子通道3和第二子通道4，主通道2還連接至第三子通道61和第四子通道62，以分 配化學(xué)液體。在第三子通道61和第四子通道62中，分別設(shè)置有第三 氣動(dòng)閥74和第四氣動(dòng)闊76、以及第三流速控制閥75和第四流速控制 閥77。
例如，如果清洗單元1103和第三外殼1U3之間的空間(參見圖 22和圖23)為L(zhǎng)狀，則L狀支承組件81被構(gòu)造成如圖16和圖17所 示。支承組件81包括 一對(duì)保持框架32和兩個(gè)支承框架33的第一組 件，該第一組件被布置在豎直方向上；以及長(zhǎng)于保持框架32的兩個(gè)保 持框架32A和長(zhǎng)于支承框架33且被布置在保持框架32A之間的三個(gè)支 承框架33A的第二組件，該第二組件被布置在水平方向上。支承框架 33和33A分別由定位構(gòu)件35固定于保持框架32和32A上的任意位置。
豎直布置的第一組件中，類似于如上所述的支承組件31，流體裝 置11至13、 15、以及21至25的各連接部通過(guò)支承構(gòu)件34附接至支 承框架33。另一方面，在水平布置的第二組件中，附加流體裝置被安 裝在支承框架33A上。
手動(dòng)閥71、氣動(dòng)閥72、調(diào)節(jié)器73、 L狀管82、支管45、 46、 15 和25、以及接頭擋塊24由密封結(jié)構(gòu)26相互聯(lián)接在各自的連接部中， 以形成主通道2 (參見圖15)。在支管45和46上，第三氣動(dòng)閥74和 第四氣動(dòng)閥7以及第三流速控制閥75和第四流速控制閥77由密封結(jié) 構(gòu)26相互連接在各自的連接部中，以形成第三子通道61和第四子通 道62 (參見圖15)。
在支承組件81中，接頭擋塊24與手動(dòng)閥71的連接部由支承框架 33A通過(guò)支承構(gòu)件34支承。接頭擋塊24與第三流速控制閥75及第四 流速控制閥77的連接部由另一支承框架33A通過(guò)支承構(gòu)件34支承。 此外，調(diào)節(jié)器77與L狀管82的連接部、以及第三氣動(dòng)閥74和第四氣 動(dòng)閥76與支管45和46的連接部由其它支承框架33A通過(guò)支承構(gòu)件34支承。
同時(shí)，如圖17所示，手動(dòng)閥71、氣動(dòng)閥72、以及調(diào)節(jié)器73的端
口高度(豎直方向上的位置)和安裝尺寸不同。因此，當(dāng)這些裝置被
安裝在現(xiàn)有技術(shù)中所公開的支架上時(shí)，需要專用支架以將手動(dòng)閥71和 氣動(dòng)閥72的端口高度調(diào)整為位于更高位置的調(diào)節(jié)器73的高度。
然而，在支承組件81中，接頭擋塊24與手動(dòng)閥71的連接部、手 動(dòng)閥71與氣動(dòng)閥72的連接部、以及調(diào)節(jié)器73與L狀管82的連接部 均由支承框架33A通過(guò)支承構(gòu)件34支承。此外，存在于保持框架32A 與支承框架33A之間產(chǎn)生的空間，從而不限制流體裝置的高度和大小。 因此，調(diào)節(jié)器73、氣動(dòng)閥72、手動(dòng)閥71、以及接頭擋塊24不以支架 的底面為基準(zhǔn)布置于該支架上，而以各連接部為基準(zhǔn)安裝在支承組件 81的支承框架33A上。由此，能將調(diào)節(jié)器73、氣動(dòng)閥72、以及手動(dòng)閥 71安裝在支承框架33A上，該支承框架33A支承具有相同端口高度和 相同安裝高度的第三氣動(dòng)閥74及第四氣動(dòng)閥76與第三流速控制閥75 及第四流速控制閥77的連接部。
<支承組件的變形>
如圖18的外透視圖所示，支承組件85被構(gòu)造成通過(guò)利用各具有 不同形狀的定位構(gòu)件35、 86和87組裝成格子狀的保持框架32和支承 框架33。各定位構(gòu)件86連至兩個(gè)支承框架33,而各定位構(gòu)件87連至 三個(gè)支承框架33。定位構(gòu)件86和87到支承構(gòu)件33的的相連機(jī)理與圖 3和圖4所示的定位構(gòu)件35相同，因而省略其說(shuō)明。
在使用普通保持框架32、普通支承框架33、以及普通定位構(gòu)件35、 86和87的流體裝置安裝結(jié)構(gòu)5中，二維支承組件31和三維支承組件 85能夠組裝成任意形狀。因此，能夠適當(dāng)?shù)貥?gòu)造支承組件31和85， 以滿足流體裝置的敞開空間和布局。這樣，不需要設(shè)計(jì)專用支承組件。
23<操作和效果>
在第一實(shí)施例的流體裝置安裝結(jié)構(gòu)5中，多個(gè)框架(兩個(gè)保持框
架32和兩個(gè)支承框架33)組裝成格子狀以構(gòu)成支承組件31，從而由 支承框架33支承流體裝置11至13、 15、以及21至25的連接部，以 將多個(gè)流體裝置11至13、 15、以及21至25安裝在支承組件31中。 具體而言，例如，使得第一流量計(jì)12和第二流量計(jì)22與由其間的支 承組件31保持的第一氣動(dòng)閥11和第二氣動(dòng)閥21以及第一氣動(dòng)閥11 和第二氣動(dòng)閥21相對(duì)布置是可能的。替代地，在豎直方向上布置支管 15和25、第一氣動(dòng)閥11和第二氣動(dòng)閥21、以及第一流速控制閥13和 第二流速控制閥23是可能的。因此，第一實(shí)施例的流體裝置安裝結(jié)構(gòu) 5允許在三維空間中自由布置流體裝置11至13、 15、以及21至25， 從而減小用于流體裝置11至13、 15、以及21至25的安裝空間。具體 而言，較之將流體裝置ll至13、 15、以及21至25二維地布置在支架 上的常規(guī)結(jié)構(gòu)，在第一實(shí)施例的流體裝置安裝結(jié)構(gòu)5中，能將用于流 體裝置的安裝空間減小近乎一半。
由于這種構(gòu)造，如圖17的流體裝置單元80舉例說(shuō)明的，即使手 動(dòng)閥71、氣動(dòng)閥72和調(diào)節(jié)器73的端口高度和安裝尺寸不同，接頭擋 塊24、手動(dòng)閥71、氣動(dòng)閥72、以及調(diào)節(jié)器73的連接部仍能由支承框 架33A支承，以將接頭擋塊24、手動(dòng)閥71、以及調(diào)節(jié)器73安裝在支 承組件81中，省略用于專用支承組件的設(shè)計(jì)工時(shí)。
此外，例如，即使是在用于流體裝置11至13、 15、以及21至25 的預(yù)計(jì)位置不具有用于在相同平面上安裝所有流體裝置11至13、 15、 以及21至25的足夠空間的情況下，如果存在L狀空間，則保持框架 32與支承框架33被組裝以構(gòu)成L狀支承組件81從而被安置在L狀敞 開空間中(參見圖16和圖17)。然后，由支承框架33分別支承流體 裝置11至13、 15、以及21至25的連接部，從而能將所有的流體裝置 11至13、 15、以及21至25容納在敞開空間中。在存在多個(gè)構(gòu)成長(zhǎng)方體空間的流體裝置的另一種情況下，如圖18
所示，例如，組裝保持框架32和支承框架33以構(gòu)成長(zhǎng)方體支承組件 85，使得支承框架33通過(guò)支承構(gòu)件34支承流體裝置的連接部。由于 保持框架32、支承框架33、定位構(gòu)件35、 86和87、以及支承構(gòu)件34 以此方式得以標(biāo)準(zhǔn)化，因此，支承組件35、 81和85 二維或三維地被 構(gòu)造成任意形狀以縮短用于支承組件的設(shè)計(jì)工時(shí)是可能的。此外，能 夠根據(jù)流體裝置的附加容易地對(duì)支承體31、 81、 85進(jìn)行變形。
在第一實(shí)施例的流體裝置安裝結(jié)構(gòu)5中，定位構(gòu)件35被安裝在各 支承框架33的相對(duì)端上，這樣將支承框架33相對(duì)于保持框架32定位 和固定。由此，能容易地調(diào)整各支承框架33的位置以滿足流體裝置的 布置或布局，使得有效率地將流體裝置11至13、 15、以及21至25安 裝在支承組件31上。
在第一實(shí)施例的流體裝置安裝結(jié)構(gòu)5中，例如，第一流量計(jì)12包 括在其外周表面上設(shè)置有安裝槽12f的連接部分12a，類似地，第一流 速控制閥13包括與連接部分12a形狀相同、在其外周表面上設(shè)置有安 裝槽13f的連接部分13a。流體裝置安裝結(jié)構(gòu)5還形成有以可移除方式 與連接部分12a和13a的安裝槽12f和13f聯(lián)接的支承構(gòu)件34，保持支 承框架33以支承連接部分12a和13a之間的連接部。在如此構(gòu)造的第 —實(shí)施例的流體裝置安裝結(jié)構(gòu)5中，能通過(guò)支承構(gòu)件34容易地將第一 流量計(jì)12的連接部分12a與第一流速控制閥13的連接部分13a之間的 連接部附接至支承框架33或從支承框架33移除。
在第一實(shí)施例的流體裝置安裝結(jié)構(gòu)5中，例如，當(dāng)支承構(gòu)件34的 主體41與支承框架33聯(lián)接時(shí)，突起42c被裝配在安裝槽12f和13f中， 以使得聯(lián)接部42與連接部分12a和13a接合，從而由支承框架33支承 連接部分12a和13a。相反， 一旦聯(lián)接部42與主體41脫離，連接部分 12a和13a不由支承框架33支承。因此，根據(jù)第一實(shí)施例的流體裝置 安裝結(jié)構(gòu)5，能通過(guò)聯(lián)接部42容易地將連接部分12a和13a附接至支承框架33并從支承框架33移除。
此外，在第一實(shí)施例的流體裝置安裝結(jié)構(gòu)5中，支承構(gòu)件34以可 移除方式安裝在支承框架33上，從而能對(duì)應(yīng)于流體裝置的布置容易地 布置支承構(gòu)件34。
此外，在第一實(shí)施例的流體裝置安裝結(jié)構(gòu)5中，支承構(gòu)件34通過(guò) 安裝槽12f和13f與流體裝置的連接部聯(lián)接，保持夾50附接至安裝槽 12f和13f用于將流體裝置拉得更靠近并夾緊，由此省略了聯(lián)接支承構(gòu) 件34的進(jìn)一步處理。
(第二實(shí)施例)
現(xiàn)在將參照附圖詳細(xì)說(shuō)明實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的流體裝置安裝結(jié)構(gòu)的第二 實(shí)施例。圖19是根據(jù)第二實(shí)施例的流體裝置安裝結(jié)構(gòu)90的外透視圖。
第二實(shí)施例的流體裝置安裝結(jié)構(gòu)90與第一實(shí)施例的流體裝置安裝 結(jié)構(gòu)的不同點(diǎn)在于保持框架94和支承框架96的形狀，其它部分或部 件與第一實(shí)施例的相同。因此，下列說(shuō)明針對(duì)與第一實(shí)施例不同的部 分或部件，用相同的參考符號(hào)標(biāo)明與第一實(shí)施例相同的構(gòu)造，并省略 對(duì)它們的描述。
在流體裝置安裝結(jié)構(gòu)90中，保持框架94和支承框架96組裝成格 子狀以構(gòu)成支承組件91。各保持框架94和各支承框架96為具有中空 部的管狀形狀。各保持框架94和各支承框架96分別由具有所需長(zhǎng)度 和形成有容納孔94b和96b的管制成，各管在軸向上具有預(yù)定長(zhǎng)度、 以及圓形通孔94a和96a。定位構(gòu)件95形成有用于插入固定銷95a的 插入孔。當(dāng)此插入孔與保持框架94的一個(gè)通孔94a對(duì)準(zhǔn)且固定銷95a 被插入該插入孔和通孔94a時(shí)，定位構(gòu)件95適當(dāng)?shù)乇还潭ㄖ帘３挚蚣?94。另外，在各保持框架94相對(duì)端，蓋97和98由插入通孔94a中的 銷等等固定。此外，在流體裝置安裝結(jié)構(gòu)卯中，至少第一流量計(jì)12和第二流 量計(jì)22的電線或連接至第一氣動(dòng)閥11和第二氣動(dòng)閥21操作端口的管
經(jīng)由容納孔94b和96b引入并容納在保持框架94和支承框架96的中 空的空間中。
因此，在第二實(shí)施例的流體裝置安裝結(jié)構(gòu)90中，能將第一流量計(jì) 12和第二流量計(jì)22的電線以及連接至第一氣動(dòng)閥11和第二氣動(dòng)閥21 的管一起容納在保持框架94和支承框架96中，從而，電線和管不會(huì) 妨礙相對(duì)于支承組件91附接和移除流體裝置。因此，能容易地將流體 裝置附接至支承組件91或從支承組件91移除。
(第三實(shí)施例)
現(xiàn)在將參照附圖詳細(xì)說(shuō)明實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的流體裝置安裝結(jié)構(gòu)的第三 實(shí)施例。圖20是根據(jù)第三實(shí)施例的流體裝置安裝結(jié)構(gòu)IOO的外透視圖。
在流體裝置安裝結(jié)構(gòu)100中，流體裝置通過(guò)管道103連接，且支 承構(gòu)件110的構(gòu)造不同于第一實(shí)施例。因此，下列說(shuō)明針對(duì)與第一實(shí) 施例不同的部分或部件，用相同的參考符號(hào)標(biāo)明與第一實(shí)施例相同的 構(gòu)造，并省略對(duì)它們的描述。
在流體裝置 安裝結(jié)構(gòu)100中，作為"流體裝置"的一個(gè)實(shí)例的氣 動(dòng)閥101通過(guò)由樹脂制成的管道103連接，從而構(gòu)造流體裝置單元。 各管道103通過(guò)接頭102被附接至氣動(dòng)閥101的連接部分101a。在連 接部分101a的外周表面上，安裝槽101f被形成為與第一實(shí)施例的安裝 槽13f類似。
支承構(gòu)件IIO包括形成在的主體111中的具有夾緊部41a單個(gè)延 伸部41c，以及與延伸部41c接合的聯(lián)接部42。夾緊部41a和聯(lián)接部 42的接合結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施例相同，因此省略其說(shuō)明。在如此構(gòu)造的流體裝置安裝結(jié)構(gòu)100中，支承構(gòu)件110包括沿著 氣動(dòng)閥101的一個(gè)側(cè)表面(圖20中的上表面)布置的延伸部41c，且 聯(lián)接部42被裝配在連接部分101a的安裝槽lOlf中，以便將氣動(dòng)閥101 安裝在支承框架33上。支承構(gòu)件110通過(guò)夾緊部41a抓緊框架33而固 定在支承框架33上，因此以懸臂方式支承氣動(dòng)閥101和管道103的連 接部。
因此，在流體裝置安裝結(jié)構(gòu)100中，氣動(dòng)閥101包括在外周表面 上形成有安裝槽lOlf的連接部分101a，且管道103以可移除方式附接 至連接部分101a。在流體裝置安裝結(jié)構(gòu)100中，支承構(gòu)件110被裝配 在安裝槽lOlf中，且連接部分101a和管道103的連接部由支承框架 33通過(guò)支承構(gòu)件110支承。在如此構(gòu)造的第三實(shí)施例的流體裝置安裝 結(jié)構(gòu)100中，能利用支承構(gòu)件110容易地將氣動(dòng)閥101的連接部分101a 和管道103附接至支承框架33并從支承框架33移除。
此外，在第三實(shí)施例的流體裝置安裝結(jié)構(gòu)100中，支承構(gòu)件110 的延伸部41c沿著氣動(dòng)閥101的側(cè)表面布置，因此，以懸臂方式支承連 接部分101a與管道103的連接部。結(jié)果，即使各流體裝置具有不同高 度和安裝尺寸，仍能由支承構(gòu)件110支承各連接部。因此，根據(jù)第三 實(shí)施例的流體裝置安裝結(jié)構(gòu)100，能使用普通支承構(gòu)件110，而不考慮 流體裝置的類型。
在不脫離本發(fā)明的本質(zhì)特征的前提下可以通過(guò)其它具體形式來(lái)實(shí) 現(xiàn)本發(fā)明。
(l)例如，在上述實(shí)施例中，可在軸向上將凹陷設(shè)置于保持框架 的外周表面上，并可將突起設(shè)置在將支承框架與保持框架連接的部件 的內(nèi)周上，因此將突起裝配在該凹陷中，從而能將支承框架的高度調(diào) 節(jié)為保持框架的高度。替代地，可在軸向上將突起形成于保持框架的
28外周表面上，并可將凹陷形成在支承支承框架和保持框架的部件的內(nèi) 周表面上，因此將突起裝配在該凹陷中，從而調(diào)節(jié)支承框架的高度。
(2) 例如，支承構(gòu)件可具有與流體裝置的底表面接觸的底座表面， 從而能將單個(gè)流體裝置附接至支承組件。在底座表面的兩側(cè)上，可通 過(guò)豎立方式形成延伸部41c，以將聯(lián)接部42形成于該延伸部41C上。
(3) 在上述實(shí)施例中，支承構(gòu)件34以可移除方式附接至支承框 架33。替代地，可整體形成支承構(gòu)件34和支承框架33。
(4) 在上述實(shí)施例中，支承框架33和保持框架32通過(guò)由樹脂制 成的管制成。替代地，支承框架33和保持框架32可由諸如棒材和矩 形材的材料制成。
(5) 在上述實(shí)施例中，接合鉤42a被插入主體41的插入孔41f 中，以與主體41和111接合。替代地，聯(lián)接部42可利用銷等等與主 體41和111接合。此外，在以上實(shí)施例中，配合件42b被裝配在配合 凹陷41g中，以通過(guò)可旋轉(zhuǎn)方式保持聯(lián)接部42和主體41。替代地，聯(lián) 接部42可由鉸鏈與主體41和111保持。
盡管己展現(xiàn)和描述了本發(fā)明當(dāng)前的優(yōu)選實(shí)施例，但應(yīng)當(dāng)理解的是， 此公開出于示例目的，且在不脫離如所附權(quán)利要求所闡述的本發(fā)明范 圍的前提下可作出各種改變和變形。
參考符號(hào)列表
5、 90、 100流體裝置安裝結(jié)構(gòu) 6密封構(gòu)件
11、 12、 21至25、 71至77、 101流體裝置
lla、 12a、 21a至25a、 71a至77a、 101a連接部分
llf、 12f、 21f至25f、 71f至77f、 101f安裝槽31、 91支承組件
32、 94保持框架(框架)
33、 96支承框架(框架)
34、 110支承構(gòu)件
35、 86、 87定位構(gòu)件 41、 111主體
42聯(lián)接部 50保持夾
30
權(quán)利要求
1.一種流體裝置安裝結(jié)構(gòu)(1、80、90)，包括第一流體裝置(12)；第二流體裝置(13)；以及支承組件(31、81、85、91)，所述第一流體裝置(12)和所述第二流體裝置(13)安裝于所述支承組件上，其中所述第一流體裝置(12)包括具有形成有安裝槽(12f)的外周表面的第一連接部分，而所述第二流體裝置(13)包括具有形成有安裝槽(13f)的外周表面的第二連接部分，所述第一連接部分和所述第二連接部分具有相同形狀，以及所述支承組件包括以可移除方式附接至所述安裝槽(12f、13f)的支承構(gòu)件(34)，用于由所述支承組件(31、81、85、91)支承所述第一連接部分(12a)和所述第二連接部分(13a)的連接部。
2. —種流體裝置安裝結(jié)構(gòu)(100)，包括第一流體裝置(101); 第二流體裝置(103);以及支承組件(31)，所述第一流體裝置(101) 和所述第二流體裝置(103)安裝于所述支承組件上，其中所述第一流體裝置(101)包括在外周表面上形成有安裝槽(101f) 的連接部分(101a)，以及所述第二流體裝置為可移除地附接至所述連接部分(101a)的管 (103)，以及所述支承組件還包括附接至所述安裝槽(101)的支承構(gòu)件(110)， 用于由所述支承組件(31)支承所述連接部分(101a)和所述管(103) 的連接部。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的流體裝置安裝結(jié)構(gòu)，其中 所述支承組件(31、 81、 85、 91)構(gòu)造有多個(gè)組裝成格子狀的框架(32、 33、 32A、 33A、 94、 96)，以及所述框架(33、 33A、 96)通過(guò)所述支承構(gòu)件支承所述流體裝置 (11~13、 15、 21~23、 25、 71~77)的連接部。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的流體裝置安裝結(jié)構(gòu)(1、 80、 90)，其中所述框架(32、 33、 32A、 33A、 94、 96)包括 用于通過(guò)所述支承構(gòu)件支承所述連接部的支承框架(33、33A、96); 用于保持所述支承框架(33、 33A、 96)的保持框架(32、 32A、 94);以及附接至所述支承框架(33、 33A、 96)的兩端用于相對(duì)于所述保持 框架定位所述支承框架的定位構(gòu)件(35、 86、 87、 95)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的流體裝置安裝結(jié)構(gòu)，其中 所述支承組件(31)構(gòu)造有多個(gè)組裝成格子狀的框架(32、 33)，以及所述框架(33)通過(guò)所述支承構(gòu)件支承所述流體裝置(101、 103) 的連接部。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的流體裝置安裝結(jié)構(gòu)(100)，其中 所述框架(32、 33)包括用于通過(guò)所述支承構(gòu)件支承所述連接部的支承框架(33); 用于保持所述支承框架(33、 33A、 96)的保持框架(32);以及 附接至所述支承框架(33)的兩端用于相對(duì)于所述保持框架定位 所述支承框架的定位構(gòu)件(35)。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體裝置安裝結(jié)構(gòu)(1、 80、卯)，其中所述支承構(gòu)件(34)包括與所述框架(33、 33A、 96)聯(lián)接的主 體(41);以及當(dāng)被裝配在所述安裝槽(12f、 13f、 llf)中時(shí)與所述 主體(41)接合的聯(lián)接部(42)。
8. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的流體裝置安裝結(jié)構(gòu)(100)，其中所述支承構(gòu)件(110)包括與所述框架(33)聯(lián)接的主體(111); 以及當(dāng)被裝配在所述安裝槽(101f)中時(shí)與所述主體(111)接合的聯(lián) 接部(42)。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體裝置安裝結(jié)構(gòu)(1、 80、 90)，其中所述支承構(gòu)件(34)以可移除方式附接至所述支承組件。
10. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的流體裝置安裝結(jié)構(gòu)(100),其中 所述支承構(gòu)件(101)以可移除方式附接至所述支承組件。
11. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的流體裝置安裝結(jié)構(gòu)(1、 80、 90)，其中所述安裝槽(12f、 13f、 llf)被構(gòu)造成允許保持夾(50)附接至 所述安裝槽，從而使得所述流體裝置彼此更靠近。
12. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的流體裝置安裝結(jié)構(gòu)(90)，其中 所述框架(94、 96)為管，所述管具有中空部并包括容納孔(94b、96b)，至少電線或管經(jīng)由所述容納孔被容納到所述中空部中。
全文摘要
提供一種流體裝置安裝結(jié)構(gòu)(5)，該流體裝置安裝結(jié)構(gòu)(5)用于將多個(gè)流體裝置(11-13、15、以及21-25)安裝在支承組件(31)上。所述支承組件(31)包括用于通過(guò)所述支承組件(31)支承所述流體裝置(11-13、15、以及21-25)的連接部的支承構(gòu)件(34)，從而在三維空間中自由地布置所述流體裝置(11-13、15、以及21-25)。
文檔編號(hào)H01L21/00GK101552190SQ200910132970
公開日2009年10月7日 申請(qǐng)日期2009年4月3日 優(yōu)先權(quán)日2008年4月3日
發(fā)明者石原哲哉, 竹田秀行 申請(qǐng)人:喜開理株式會(huì)社