專利名稱：五管式硅片輸送裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種無網(wǎng)帶硅電池片燒結爐，尤其涉及無網(wǎng)帶硅電池片燒結爐中硅片 傳輸裝置。
背景技術：
目前，國內外的太陽能電池生產制造廠家主要使用歐美企業(yè)所生產的燒結爐，這 類燒結爐結構都是網(wǎng)帶式隧道燒結爐，在燒結爐的縱向上依次設有預熱排膠區(qū)、升溫區(qū)、燒 結區(qū)和降溫區(qū)，在不同區(qū)域布置不同密度的加熱燈管，以此來控制各區(qū)域的溫度，印刷電極 的硅片通過網(wǎng)帶傳輸，依次經(jīng)過燒結爐的不同爐溫區(qū)，完成預熱排膠、升溫、燒結和降溫的 電極燒結過程，雖然這種網(wǎng)帶式隧道燒結技術比較成熟，但整個燒結爐的縱向占地面積大， 需要設計很長的爐體才能保證硅片在隧道傳輸過程中的預熱排膠、升溫、燒結、降溫過程， 由于高溫燒結區(qū)的工藝溫度需要在850-950°C之間，因此需要設計2-3米的隧道長度才能 達到如此高的溫度，這使得網(wǎng)帶式燒結爐的體積龐大。若縮小則無法滿足燒結工藝要求。另 外，耐高溫網(wǎng)帶在運轉的過程中，需要繞爐體內外循環(huán)運轉，網(wǎng)帶部分伴隨硅片接受升溫和 降溫的過程，因此，在運轉過程中，網(wǎng)帶會從爐內攜帶出大量的熱量，而這部分熱量將全部 作為損耗，不僅造成了大量能量的浪費，而且也升高了工作環(huán)境溫度，為此，申請人研制了 一種無網(wǎng)帶硅電池片燒結爐，它能很好地克服現(xiàn)有網(wǎng)帶式隧道燒結爐存在的不足，這種設 備占地面積小，熱效率高，耗電量少，節(jié)能效果顯著。所述無網(wǎng)帶硅電池片燒結爐，包括進料臺1、隧道式燒結箱2、出料臺3、硅片輸送 機構4和爐體架5，如圖1所示，進料臺1包括固定底板11、固定架12、導向桿13、導向套 14、活動板15、滑軌16和滑動板17，活動板15與固定底板11之間通過導向桿13與導向套 14的套裝配合結構相連接，滑軌16固定在活動板15上，滑動板17套裝在滑軌16上；出料 臺3包括固定底板31、固定架32、導向桿33、導向套34、活動板35、滑軌36和滑動板37，活 動板35與固定底板31之間通過導向桿33與導向套34的套裝配合結構相連接，滑軌36固 定在活動板35上，滑動板37套裝在滑軌36上；在隧道式燒結箱2的縱向依次設有預熱排 膠區(qū)、升溫區(qū)、燒結區(qū)和降溫區(qū)四個區(qū)域，在各個溫區(qū)之間均設有隔熱板，在預熱排膠區(qū)、升 溫區(qū)和燒結區(qū)內設有加熱燈管；硅片輸送機構4設置在進料臺1和出料臺3之間，它包括固 定托架41和移動托架42，固定托架41的兩端分別固定在進料臺1和出料臺3中的固定架 12和32上，移動托架42的兩端分別固定在進料臺1和出料臺3中的滑動板17、37上，且 固定托架41位于兩相鄰移動托架42之間；在固定底板11和活動板15之間設有往復升降 機構6，在固定底板11與滑動板17之間設有往復平移機構7，固定底板11安裝在爐體架5 上，如圖2所示，往復升降機構6和往復平移機構7帶動移動托架42周期性地完成上升、前 移、下降和后退動作，從而將放置在固定托架上的硅片逐步向前搬移。
發(fā)明內容
本發(fā)明的目的是為無網(wǎng)帶硅電池片燒結爐提供一種五管式硅片輸送裝置。
本發(fā)明所采用的技術方案是所述五管式硅片輸送裝置，其特征是它包括兩根固定托架和三根移動托架，二根 固定托架的兩端分別安裝在固定架上，三根移動托架的兩端分別安裝在滑動板上，且固定 托架間隔地位于移動托架之間，固定托架和移動托架的結構相同，它們都包括石英玻璃管、 金屬套、托腳和限位螺釘，托腳固定在金屬套上，在金屬套上設有螺紋孔，金屬套通過限位 螺釘?shù)乳g距地固定在石英玻璃管上。進一步，在石英玻璃管上沿軸向方向等距離地開有限位孔；在金屬套上還設有開 □。進一步，所述托腳由鋼絲制成，在鋼絲表面涂有陶瓷涂層。進一步，兩根固定托架的兩端通過耳座、固定架分別安裝在固定底板上，在固定托 架中，兩只托腳對稱地固定在金屬套上，且托腳的外伸腳段高于安裝在金屬套上的限位螺 釘?shù)耐饴抖?，兩只托腳的外伸腳段之間的距離為硅片寬度的0. 70 0. 90。進一步，三根移動托架的兩端通過耳座分別安裝在滑動板上，所述移動托架分為 雙腳托架、左腳托架和右腳托架，在雙腳托架中，兩只托腳對稱地固定在金屬套上；在左腳 托架中，一只托腳固定在金屬套的右側上；在右腳托架中，一只托腳固定在金屬套的左側 上；雙腳托架、左腳托架和右腳托架上的所有托腳均處于同一平面上，且左腳托架與雙腳托 架上相鄰托腳的外伸端之間的距離為硅片寬度的0. 70 0. 90 ；右腳托架與雙腳托架上相 鄰托腳的外伸端之間的距離為硅片寬度的0. 70 0. 90。由于固定托架的兩端分別固定在進料臺和出料臺中的固定架上；移動托架的兩端 分別固定在進料臺和出料臺中的滑動臺上；固定架固定在固定底板上，滑動板在往復升降 機構和往復平移構的作用下，依次完成上升、前移、下降、后退動作，使得放置在固定托架上 相鄰兩只金屬套上的硅片在移動托架的作用下依次經(jīng)過隧道式燒結箱中的預熱排膠區(qū)、升 溫區(qū)、燒結區(qū)和降溫區(qū)，順利完成燒結，在這種硅片輸送裝置中，硅片只與托腳接觸，且接觸 形式為點接觸或線接觸，從而降低硅片在燒結過程中由于金屬接觸而引入硅片的金屬離子 玷污。
圖1為無網(wǎng)帶硅電池片燒結爐的結構示意圖；圖2為進料臺和出料臺的結構示意圖；圖3、圖4為本發(fā)明的結構示意圖；圖4為圖3中俯視圖，圖3為圖4中C-C剖視圖；圖5為固定托架的結構示意圖；圖6-1為雙腳移動托架的結構示意圖；，圖6-2左腳移動托架的結構示意圖；圖6-3右腳移動托架的結構示意圖；圖7為托腳、金屬套的結構示意圖；圖中1-進料臺；2-隧道式燒結箱；3-出料臺；4-硅片輸送機構；5-爐體架； 6-往復升降機構；7-往復平移機構；11、31_固定底板；12、32_固定架；13、33_導向桿；14、 34-導向套；15、35_活動臺；16、36_滑軌；17、37_滑動板；41-固定托架；411-石英玻璃管；412-金屬套；413-托腳；414-限位螺釘；415-限位孔；416-螺紋孔；417-開口 ；418-陶瓷 涂層；42-移動托架；43-耳座。
具體實施例方式下面結合說明書
本發(fā)明的
具體實施例方式所述五管式硅片輸送裝置，如圖2 圖7所示，它由固定架12、固定架32、兩根固 定托架41、滑動板17、滑動板37、三根移動托架42和耳座43組成，所述固定托架41由石英 玻璃管411、金屬套412、托腳413和限位螺釘414組成，在石英玻璃管411上，沿軸向方向等 距離地開有限位孔415，在金屬套412上設有螺紋孔416和開口 417，金屬套412通過限位螺 釘414等間距地固定在石英玻璃管411上；托腳413由鋼絲制成，在鋼絲表面涂有陶瓷涂層 418，托腳413的內端固定在金屬套412上，托腳413的外伸腳段高于安裝在金屬套412上的 限位螺釘414的外露端，兩只托腳413的外伸腳段之間的距離為硅片寬度的0. 70 0. 90 ； 所述移動托架42分為雙腳托架、左腳托架和右腳托架，它們都有石英玻璃管411、金屬套 412、托腳413和限位螺釘414組成，在石英玻璃管411上，沿軸向方向等距離地開有限位孔 415，在金屬套412上設有螺紋孔416和開口 417，托腳413固定在金屬套412上，金屬套412 通過限位螺釘414等間距地固定在石英玻璃管411上，所述托腳413由鋼絲制成，在鋼絲表 面涂有陶瓷涂層418，在雙腳托架中，兩只托腳413對稱地固定在金屬套412上；在左腳托 架中，一只托腳413固定在金屬套412的右側上；在右腳托架中，一只托腳413固定在金屬 套412的左側上；雙腳托架、左腳托架和右腳托架上的所有托腳413均處于同一平面上，且 左腳托架與雙腳托架上相鄰托腳413的外伸端之間的距離為硅片寬度的0. 70 0. 90 ；右 腳托架與雙腳托架上相鄰托腳413的外伸端之間的距離為硅片寬度的0. 70 0. 90 ；雙腳 托架、左腳托架和右腳托架的兩端分別通過耳座43固定在滑動板17和37上，固定托架41 的兩端通過耳座43分別固定在固定架12、32上；固定托架41間隔地位于移動托架42之 間。
權利要求
1.一種五管式硅片輸送裝置，其特征是它包括兩根固定托架和三根移動托架 (42)，二根固定托架的兩端分別安裝在固定架(12、3幻上，三根移動托架0 的兩端 分別安裝在滑動板(17、37)上，且固定托架Gl)間隔地位于移動托架0 之間，固定托 架(41)和移動托架(42)的結構相同，它們都包括石英玻璃管(411)、金屬套(412)、托腳 (413)和限位螺釘014)，托腳013)固定在金屬套012)上，在金屬套012)上設有螺紋 孔(416)，金屬套(412)通過限位螺釘(414)等間距地固定在石英玻璃管(411)上。
2.根據(jù)權利要求1所述的五管式硅片輸送裝置，其特征是在石英玻璃管Gll)上沿 軸向方向等距離地開有限位孔G15)；在金屬套G12)上還設有開口 017)。
3.根據(jù)權利要求1所述的五管式硅片輸送裝置，其特征是所述托腳G13)由鋼絲制 成，在鋼絲表面涂有陶瓷涂層G18)。
4.根據(jù)權利要求1所述的五管式硅片輸送裝置，其特征是兩根固定托架Gl)的兩端 通過耳座G3)和固定架(12、32)分別安裝在固定底板(11、31)上，在固定托架中，兩 只托腳(413)對稱地固定在金屬套G12)上，且托腳013)的外伸腳段高于安裝在金屬套 (412)上的限位螺釘(414)的外露端，兩只托腳(413)的外伸腳段之間的距離為硅片寬度的 0. 70 0. 90。
5.根據(jù)權利要求1所述的五管式硅片輸送裝置，其特征是三根移動托架0 的兩端 通過耳座分別安裝在滑動板(17、37)上，所述移動托架0 分為雙腳托架、左腳托 架和右腳托架，在雙腳托架中，兩只托腳(41 對稱地固定在金屬套(41 上；在左腳托架 中，一只托腳G13)固定在金屬套G12)的右側上；在右腳托架中，一只托腳G13)固定在 金屬套(41 的左側上；雙腳托架、左腳托架和右腳托架上的所有托腳(41 均處于同一平 面上，且左腳托架與雙腳托架上相鄰托腳(413)的外伸端之間的距離為硅片寬度的0. 70 0. 90 ；右腳托架與雙腳托架上相鄰托腳G13)的外伸端之間的距離為硅片寬度的0. 70 0. 90。
全文摘要
本發(fā)明為無網(wǎng)帶硅電池片燒結爐提供一種五管式硅片輸送裝置，包括兩根固定托架和三根移動托架，固定托架和移動托架的結構相同，它們都包括石英玻璃管、金屬套、托腳和限位螺釘，托腳固定在金屬套上，在金屬套上設有螺紋孔，金屬套通過限位螺釘?shù)乳g距地固定在石英玻璃管上。由于固定托架安裝在兩固定架上；移動托架安裝在兩滑板上；滑動板在往復升降機構和往復平移構的作用下，依次完成上升、前移、下降、后退動作，使固定托架上的硅片在移動托架的作用下逐步經(jīng)過隧道式燒結箱，順利完成燒結，硅片只與托腳接觸，從而提高硅片的燒結質量。
文檔編號H01L31/18GK102054729SQ20101052365
公開日2011年5月11日 申請日期2010年10月29日 優(yōu)先權日2010年10月29日
發(fā)明者劉志剛, 姚偉忠, 孫鐵囤, 潘盛, 荀建華, 陳瓊, 高玉山 申請人:常州億晶光電科技有限公司