專利名稱：半導(dǎo)體單元的引線連接裝置和連接方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于將太陽(yáng)能電池組件中使用的多個(gè)半導(dǎo)體單元利用引線連接成一串的引線連接裝置和連接方法。
背景技術(shù)：
太陽(yáng)能電池組件有晶體型和薄膜型。晶體型的太陽(yáng)能電池組件，是利用引線將單晶硅或多晶硅等半導(dǎo)體單元連接成一串，并利用樹脂將該半導(dǎo)體單元層壓在玻璃制襯底上一體構(gòu)成的。專利文獻(xiàn)1中示出了這種結(jié)構(gòu)的太陽(yáng)能電池組件。專利文獻(xiàn)1中示出的太陽(yáng)能電池組件是將2個(gè)作為太陽(yáng)能電池單元的半導(dǎo)體單元隔著配置在半導(dǎo)體單元表面的作為導(dǎo)通材料的例如導(dǎo)電性帶，用已彎成曲柄狀的作為連接部件的帶板狀弓I線進(jìn)行電連接而成的。利用上述引線的2個(gè)半導(dǎo)體單元的連接，是將引線的一端部連接到設(shè)置在一個(gè)半導(dǎo)體單元上表面的導(dǎo)電性帶上，將另一端部連接到設(shè)置在另一個(gè)半導(dǎo)體單元下表面的導(dǎo)電性帶上。專利文獻(xiàn)1中示出了利用引線連接2個(gè)半導(dǎo)體單元。但是，在提高太陽(yáng)能電池組件的輸出的情況下，連接的半導(dǎo)體單元的數(shù)量不是2個(gè)，而是例如將10個(gè)以上的許多半導(dǎo)體單元利用引線連接成一串。圖15A示出了將許多半導(dǎo)體單元1(設(shè)為Ia In)利用引線2 (設(shè)為加 2η)連接成一串的狀態(tài)的平面圖，圖15Β示出了放大的側(cè)視圖。如圖15Β所示，在各半導(dǎo)體單元 Ia In的上下表面預(yù)先粘貼有具有粘性的由熱固性樹脂構(gòu)成的上述導(dǎo)電性帶3，在該導(dǎo)電性帶3上虛壓接引線加 2η。接著，對(duì)上述引線加 2η —邊用比虛壓接時(shí)大的加壓力進(jìn)行加壓一邊進(jìn)行加熱。 這樣，因?yàn)樯鲜鰧?dǎo)電性帶3被熔融固化，所以引線加 2η就被實(shí)壓接在半導(dǎo)體單元Ia In的上下表面，即被連接固定。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 日本特開2005-101519號(hào)公報(bào)在如上所述地隔著導(dǎo)電性帶3利用引線加 2η將多個(gè)半導(dǎo)體單元Ia In連接成一串的情況下，期望能使該連接作業(yè)自動(dòng)化，以實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)性能的提高。但是，以前并未開發(fā)出能使利用引線加 2η連接多個(gè)半導(dǎo)體單元Ia In的作業(yè)自動(dòng)化的裝置。假如在使利用引線加 2η連接多個(gè)半導(dǎo)體單元Ia In的作業(yè)自動(dòng)化的情況下， 由于半導(dǎo)體單元Ia In是單晶硅或多晶硅等脆的晶體，因此認(rèn)為，若在導(dǎo)電性帶的粘貼或引線加 2η的虛壓接和實(shí)壓接時(shí)不慎對(duì)半導(dǎo)體單元Ia In加壓或加熱，有時(shí)會(huì)產(chǎn)生損傷，或者因?yàn)閷?shí)壓接時(shí)的不均勻的熱膨脹而產(chǎn)生變形或應(yīng)變。

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的問題本發(fā)明提供一種使利用引線連接多個(gè)半導(dǎo)體單元的作業(yè)自動(dòng)化，并且這時(shí)不會(huì)因?yàn)榧訅毫Χ雽?dǎo)體單元損傷，或者因?yàn)闊岫a(chǎn)生變形或應(yīng)變的半導(dǎo)體單元的引線連接裝置和連接方法。用于解決問題的手段為了解決上述問題，本發(fā)明是一種半導(dǎo)體單元的引線連接裝置，將多個(gè)半導(dǎo)體單元利用引線連接成一串，其特征在于，具備上述半導(dǎo)體單元的供給部；帶粘貼機(jī)構(gòu)，在從該供給部供給的上述半導(dǎo)體單元的上表面和下表面，同時(shí)粘貼已切斷成規(guī)定長(zhǎng)度的粘性的導(dǎo)電性帶；輸送機(jī)構(gòu)，供給已由該帶粘貼機(jī)構(gòu)在上表面和下表面粘貼了上述導(dǎo)電性帶的上述半導(dǎo)體單元，并節(jié)距式進(jìn)給該半導(dǎo)體單元；引線加工機(jī)構(gòu)，將上述引線加工成形為以長(zhǎng)度方向的中途部為邊界向上下方向彎曲的形狀；虛壓接機(jī)構(gòu)，設(shè)置在與由上述輸送機(jī)構(gòu)節(jié)距式進(jìn)給的上述半導(dǎo)體單元相對(duì)置的部位，用于保持已由上述引線加工機(jī)構(gòu)加工成形的引線，并在節(jié)距式進(jìn)給的上述半導(dǎo)體單元的上表面和下表面設(shè)置的導(dǎo)電性帶上反復(fù)進(jìn)行上述引線的虛壓接，來(lái)將相鄰的上述半導(dǎo)體單元的上表面和下表面交替地電連接；和實(shí)壓接機(jī)構(gòu)，與該虛壓接機(jī)構(gòu)相比，配置在與上述輸送機(jī)構(gòu)進(jìn)給半導(dǎo)體單元的進(jìn)給方向下游側(cè)的半導(dǎo)體單元相對(duì)置的部位，對(duì)已由上述虛壓接機(jī)構(gòu)虛壓接在上述半導(dǎo)體單元的上下表面的上下一對(duì)上述弓I線同時(shí)進(jìn)行實(shí)壓接。本發(fā)明是一種半導(dǎo)體單元的引線連接方法，將多個(gè)半導(dǎo)體單元利用引線連接成一串，其特征在于，包括在上述半導(dǎo)體單元的上表面和下表面同時(shí)粘貼粘性的導(dǎo)電性帶的工序；用于將2條上述引線的一個(gè)引線的一端部和另一個(gè)引線的另一端部同時(shí)虛壓接在上述半導(dǎo)體單元的上表面和下表面設(shè)置的上述導(dǎo)電性帶上，來(lái)將相鄰的上述半導(dǎo)體單元的上表面和下表面交替地電連接的工序；和對(duì)上述半導(dǎo)體單元的上表面和下表面虛壓接的上下一對(duì)上述引線同時(shí)進(jìn)行實(shí)壓接的工序。


圖1是示出本發(fā)明的第一實(shí)施方式的引線連接裝置的概略結(jié)構(gòu)的平面圖。圖2是帶粘貼機(jī)構(gòu)的設(shè)置有粘貼臺(tái)的支架的側(cè)視圖。圖3是圖2所示的支架的平面圖。圖4是示出在被供給到粘貼臺(tái)上的半導(dǎo)體單元的上下表面粘貼導(dǎo)電性帶的帶粘貼部的側(cè)視圖。圖5A是將剝離帶上粘貼的粘合帶分?jǐn)喑梢?guī)定長(zhǎng)度時(shí)的說(shuō)明圖。圖5B同樣是將剝離帶上粘貼的粘合帶分?jǐn)喑梢?guī)定長(zhǎng)度時(shí)的說(shuō)明圖。
圖6是用于說(shuō)明利用第一、第二交接裝置將半導(dǎo)體單元從供給部向輸送機(jī)構(gòu)輸送的順序的圖。圖7是輸送機(jī)構(gòu)的環(huán)形帶的一部分?jǐn)嗝娴膫?cè)視圖。圖8是示出構(gòu)成輸送機(jī)構(gòu)和配置在它一側(cè)的引線加工機(jī)構(gòu)上方的虛壓接機(jī)構(gòu)的第一、第二上塊的配置狀態(tài)的平面圖。圖9是將本發(fā)明的…在半導(dǎo)體單元的上下表面虛壓接引線的一對(duì)下塊和上塊取部分?jǐn)嗝婕右员硎镜膫?cè)視圖。圖IOA是示出引線成形加工機(jī)構(gòu)成形加工引線前的狀態(tài)的圖。圖IOB是示出引線成形加工機(jī)構(gòu)正在成形加工引線的狀態(tài)的圖。圖IlA是示出了將引線依次連接在半導(dǎo)體單元上形成串的第一工序的圖。圖IlB是示出了將引線依次連接在半導(dǎo)體單元上形成串的第二工序的圖。圖IlC是示出了將引線依次連接在半導(dǎo)體單元上形成串的第三工序的圖。圖IlD是示出了將引線依次連接在半導(dǎo)體單元上形成串的第四工序的圖。圖IlE是示出了將引線依次連接在半導(dǎo)體單元上形成串的第五工序的圖。圖IlF是示出了將引線依次連接在半導(dǎo)體單元上形成串的第六工序的圖。圖12是示出實(shí)壓接機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。圖13是示出用于從輸送機(jī)構(gòu)中排出一邊由輸送機(jī)構(gòu)輸送半導(dǎo)體單元一邊制作的串的排出機(jī)構(gòu)的平面圖。圖14是上述排出機(jī)構(gòu)的側(cè)視圖。圖15A是利用引線連接了半導(dǎo)體單元而成的串的平面圖。圖15B是放大了串的一部分后的側(cè)視圖。圖16是示出本發(fā)明的第二實(shí)施方式的輸送機(jī)構(gòu)的一部分的正視圖。圖17是圖16所示的輸送機(jī)構(gòu)的平面圖。圖18是示出實(shí)壓接機(jī)構(gòu)的上部加壓工具的側(cè)視圖。圖19是圖18所示的實(shí)壓接機(jī)構(gòu)的一個(gè)上部加壓工具的放大圖。圖20是示出本發(fā)明的第三實(shí)施方式的上部加壓工具的側(cè)視圖。圖21是示出本發(fā)明的第四實(shí)施方式的上部加壓工具的正視圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照

本發(fā)明的實(shí)施方式。圖1至圖14是本發(fā)明的第一實(shí)施方式， 首先說(shuō)明裝置整體的概略結(jié)構(gòu)。圖1是示出引線連接裝置的概略結(jié)構(gòu)的平面圖，該連接裝置包括矩形板狀的底座部件11。在該底座部件11的上表面，從長(zhǎng)度方向一端朝向另一端依次配設(shè)有半導(dǎo)體單元1的供給部12 ；在該半導(dǎo)體單元1的上下表面粘貼導(dǎo)電性帶3的帶粘貼機(jī)構(gòu)13 ；和輸送裝置14，該輸送裝置14間歇地節(jié)距式輸送已用該帶粘貼機(jī)構(gòu)13在上下表面粘貼了導(dǎo)電性帶3的半導(dǎo)體單元1。再有，上述導(dǎo)電性帶3是在具有粘性的合成樹脂中摻入金屬等具有導(dǎo)電性的微粒后帶狀地形成的。在上述輸送機(jī)構(gòu)14的一端部的一側(cè)配置有3個(gè)引線加工機(jī)構(gòu)15a 15c，所述引線加工機(jī)構(gòu)1 15c將引線2加工成形為曲柄狀，所述引線2用于將該輸送機(jī)構(gòu)14依次供給的半導(dǎo)體單元1連接成一串。將已由上述引線加工機(jī)構(gòu)1 15c加工成形為曲柄狀的引線2，利用配置在上述輸送機(jī)構(gòu)14的一端部上方的虛壓接機(jī)構(gòu)15，虛壓接在上述輸送機(jī)構(gòu)14輸送的半導(dǎo)體單元1上。通過如后所述地反復(fù)進(jìn)行引線2的虛壓接，一邊將多個(gè)半導(dǎo)體單元1依次連接成一串，一邊由上述輸送機(jī)構(gòu)14進(jìn)行輸送。在上述輸送機(jī)構(gòu)14的與上述虛壓接機(jī)構(gòu)15相比的輸送方向下游側(cè)，以規(guī)定間隔配置有多個(gè)、本實(shí)施方式中是3個(gè)實(shí)壓接機(jī)構(gòu)16(圖1中用點(diǎn)劃線示出)，該實(shí)壓接機(jī)構(gòu)16 在半導(dǎo)體單元1的上下表面同時(shí)對(duì)已被上述虛壓接機(jī)構(gòu)15虛壓接的引線2進(jìn)行實(shí)壓接。3 個(gè)實(shí)壓接機(jī)構(gòu)16的配置間隔是連接成一串的半導(dǎo)體單元1的連接節(jié)距P的整數(shù)倍，例如， 在這些半導(dǎo)體單元1的數(shù)量是12個(gè)的情況下，以3倍的間隔進(jìn)行配置。并且，在將12個(gè)半導(dǎo)體單元1連接成一串時(shí)，3個(gè)實(shí)壓接機(jī)構(gòu)16與輸送方向的第 1個(gè)、第5個(gè)和第9個(gè)半導(dǎo)體單元1相對(duì)置，同時(shí)對(duì)這3個(gè)半導(dǎo)體單元1上虛壓接的引線2 進(jìn)行實(shí)壓接。接著，當(dāng)以P距離節(jié)距式進(jìn)給了已連接成一串的12個(gè)半導(dǎo)體單元1時(shí)，3個(gè)實(shí)壓接機(jī)構(gòu)16對(duì)第2個(gè)、第6個(gè)和第10個(gè)半導(dǎo)體單元1上虛壓接的引線2進(jìn)行實(shí)壓接。通過反復(fù)進(jìn)行4次這樣的實(shí)壓接，就由3個(gè)實(shí)壓接機(jī)構(gòu)16對(duì)12個(gè)半導(dǎo)體單元1上虛壓接的各個(gè)引線2都進(jìn)行了實(shí)壓接。在上述輸送機(jī)構(gòu)14的另一端部的一側(cè)設(shè)置有排出機(jī)構(gòu)17 (如后所述地在圖13 和圖14中示出)，該排出機(jī)構(gòu)17從上述輸送機(jī)構(gòu)14吸附已由上述實(shí)壓接機(jī)構(gòu)16實(shí)壓接了引線2后連接成一串的12個(gè)半導(dǎo)體單元1(將已連接成一串的半導(dǎo)體單元1稱為串 (string) 1A)并排出。對(duì)于由上述排出機(jī)構(gòu)17從輸送機(jī)構(gòu)14運(yùn)出的串1A，在圖1所示的檢查部18中利用圖像識(shí)別檢查引線2的連接狀態(tài)后，收納在儲(chǔ)料器19中運(yùn)出。接著，對(duì)各部的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。上述供給部12如圖1所示，在與上述輸送機(jī)構(gòu)14的輸送方向(設(shè)該方向?yàn)閄方向)交叉的方向(設(shè)該方向?yàn)閅方向)上，隔有距離地設(shè)置有第一儲(chǔ)存庫(kù)21和第二儲(chǔ)存庫(kù) 22。再有，圖1中用箭頭示出X方向和Y方向。各儲(chǔ)存庫(kù)21、22具有盒子23，在各盒子23中設(shè)置著上述半導(dǎo)體單元1。將各儲(chǔ)存庫(kù)21、22的盒子23向+X方向節(jié)距式進(jìn)給，在各儲(chǔ)存庫(kù)21、22的末端，將一個(gè)儲(chǔ)存庫(kù)21和另一個(gè)儲(chǔ)存庫(kù)22的盒子23分別向-Y方向和+Y方向交替地進(jìn)給，使其定位在各儲(chǔ)存庫(kù)21、 22的Y方向中心上的交接位置D上。將已定位在交接位置D上的盒子23的半導(dǎo)體單元1，由圖6所示的第一交接裝置 24吸附后交接到校準(zhǔn)平臺(tái)25上。對(duì)供給并載置在該校準(zhǔn)平臺(tái)25上的半導(dǎo)體單元1，利用配置在其上方的攝像機(jī)26進(jìn)行攝像，并基于該攝像進(jìn)行外觀檢查和位置識(shí)別。在判斷為半導(dǎo)體單元1的外觀例如有缺損等而不合格時(shí)，根據(jù)來(lái)自未圖示的控制裝置的指令，由上述第一交接裝置M將該半導(dǎo)體單元1排出，在判斷為是合格品時(shí)，由上述第一交接裝置M交替地供給并載置在上述帶粘貼機(jī)構(gòu)13的第一粘貼臺(tái)35和第二粘貼臺(tái) 36(后述)上。在上述交接位置D被第一交接裝置對(duì)取出了半導(dǎo)體單元1而變空的盒子23，向-X方向移動(dòng)，從其末端排出之后被供給半導(dǎo)體單元1，再返回到第一或第二儲(chǔ)存庫(kù)21、22，反復(fù)進(jìn)行上述動(dòng)作。如圖6所示，上述第一交接裝置M具有被X · Y · Z驅(qū)動(dòng)源27向水平方向和上下方向驅(qū)動(dòng)的可動(dòng)體觀。該可動(dòng)體觀設(shè)置有吸附上述半導(dǎo)體單元1上表面四個(gè)角部的4個(gè)吸附墊29(僅圖示2個(gè))。這樣，上述第一交接裝置M就能夠在上述交接位置D利用4個(gè)吸附墊四吸附上述盒子23的半導(dǎo)體單元1的上表面四個(gè)角部來(lái)移載輸送該半導(dǎo)體單元1。在上述校準(zhǔn)平臺(tái)25進(jìn)行了外觀檢查和位置識(shí)別后的半導(dǎo)體單元1，被上述第一交接裝置M供給到上述帶粘貼機(jī)構(gòu)13。再有，也可以不是用上述第一交接裝置24，而是使用其他交接裝置來(lái)進(jìn)行從上述校準(zhǔn)平臺(tái)25向上述帶粘貼機(jī)構(gòu)13的半導(dǎo)體單元1移載，并不限定該點(diǎn)。如圖1所示，上述帶粘貼機(jī)構(gòu)13具有以上述輸送機(jī)構(gòu)14為中心在Y方向上對(duì)稱且隔開距離地配置的相同結(jié)構(gòu)的第一帶粘貼部31和第二帶粘貼部32。第一、第二帶粘貼部 31,32如圖2至圖5所示地構(gòu)成。S卩，上述帶粘貼機(jī)構(gòu)13具有沿Y方向設(shè)置的支架33。如圖3中箭頭所示，在上述支架33上表面的沿X方向的橫向兩端部鋪設(shè)一對(duì)Y導(dǎo)軌34。在該Y導(dǎo)軌34上設(shè)置有可沿上述Y導(dǎo)軌34移動(dòng)的上述第一粘貼臺(tái)35和第二粘貼臺(tái)36。如圖2和圖3所示，在各粘貼臺(tái)35、36的橫向一端部的下表面設(shè)置有連結(jié)片37。 與各連結(jié)片37分別連結(jié)著張緊設(shè)置在驅(qū)動(dòng)輪38和從動(dòng)輪39上的環(huán)形帶41。分別由電動(dòng)機(jī)42旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)一對(duì)驅(qū)動(dòng)輪38。這樣，第一粘貼臺(tái)35可以在上述支架33的沿Y方向的一端部和中間部之間被往復(fù)驅(qū)動(dòng)，第二粘貼臺(tái)36可以在上述支架33的沿Y方向的另一端部和中間部之間被往復(fù)驅(qū)動(dòng)。圖1中用點(diǎn)劃線示出被驅(qū)動(dòng)到上述支架33的Y方向中央部的各粘貼臺(tái)35、36。如圖3所示，在上述第一、第二粘貼臺(tái)35、36形成有貫通上下表面的3個(gè)貫通孔 43。這些貫通孔43沿X方向伸長(zhǎng)，且沿Y方向具有規(guī)定的間隔。如圖1所示，在上述支架33的Y方向的一端部設(shè)置上述第一帶粘貼部31，在另一端部設(shè)置上述第二帶粘貼部32。如圖4所示，各帶粘貼部31、32具有配置在上述各粘貼臺(tái) 35,36的沿X方向的一端部的上方和下方的供給卷筒44。在供給卷筒44上如圖5A、圖5B 所示地卷裝有粘貼在剝離帶4上的上述導(dǎo)電性帶3。利用由刀具構(gòu)成的切斷機(jī)構(gòu)40a，使從上述供給卷筒44與剝離帶4 一起引出的導(dǎo)電性帶3上形成有圖5A所示的一對(duì)切斷線3a。按照規(guī)定的間隔、即與半導(dǎo)體單元1的寬度尺寸對(duì)應(yīng)的間隔，在上述導(dǎo)電性帶3上形成一對(duì)切斷線3a。通過利用去除機(jī)構(gòu)40除去上述導(dǎo)電性帶3的被一對(duì)切斷線3a切斷的部分，就形成圖5B所示的間隙C。從而，上述導(dǎo)電性帶3被分?jǐn)喑膳c半導(dǎo)體單元1的寬度尺寸對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)度。再有，由于去除機(jī)構(gòu)40是公知技術(shù)，因此在此省略詳細(xì)說(shuō)明。這樣地被分?jǐn)喑梢?guī)定長(zhǎng)度的導(dǎo)電性帶3，同剝離帶4一起，被一對(duì)導(dǎo)輥4 導(dǎo)向，在第一、第二粘貼臺(tái)35、36的上表面和下表面平行移動(dòng)。在上述導(dǎo)電性帶3的平行移動(dòng)部分的上方和下方，分別配置由缸等上下驅(qū)動(dòng)源45 向上下方向驅(qū)動(dòng)的上部加壓工具46a和下部加壓工具46b。
對(duì)已供給到上述校準(zhǔn)平臺(tái)25上進(jìn)行了外觀檢查和位置識(shí)別后的半導(dǎo)體單元1，由上述第一交接裝置M從上述校準(zhǔn)平臺(tái)25供給并載置到已定位在上述支架的Y方向中央部的第一或第二粘貼臺(tái)35、36上。當(dāng)從上述支架的Y方向中央部開始向一端部或另一端部驅(qū)動(dòng)已供給并載置了半導(dǎo)體單元1的第一粘貼臺(tái)35或第二粘貼臺(tái)36時(shí)，上述上部加壓工具46a和下部加壓工具 46b被同時(shí)向上升方向和下降方向驅(qū)動(dòng)。這樣，這些加壓工具46a、46b隔著剝離帶4將導(dǎo)電性帶3的已被分?jǐn)喑梢?guī)定長(zhǎng)度的部分同時(shí)接觸按壓在上述半導(dǎo)體單元1的上表面和下表面而粘貼住。之后，利用未圖示的剝離輥等，從粘貼在半導(dǎo)體單元1上的導(dǎo)電性帶3上剝離剝離帶4，并卷繞到卷繞卷筒47 上。S卩，將已在上述校準(zhǔn)平臺(tái)25上進(jìn)行了外觀檢查和位置識(shí)別后的半導(dǎo)體單元1，交替地供給到第一粘貼臺(tái)35和第二粘貼臺(tái)36，用第一帶粘貼部31和第二帶粘貼部32粘貼導(dǎo)電性帶3。上述第一、第二帶粘貼部31、32具有配置在第一、第二粘貼臺(tái)35、36的上方和下方的各自3組的供給卷筒44、卷繞卷筒47和上下部加壓工具46a、46b。這樣，就由與3條導(dǎo)電性帶3同時(shí)接觸的上下加壓工具46a、46b，同時(shí)地在半導(dǎo)體單元1的上下表面分別對(duì)這些導(dǎo)電性帶3進(jìn)行加壓粘貼。通過在半導(dǎo)體單元1的上下表面同時(shí)加壓粘貼導(dǎo)電性帶3，只要一旦定位了半導(dǎo)體單元1，就能夠?qū)ζ渖舷卤砻婢艿囟ㄎ徽迟N導(dǎo)電性帶3。S卩，在為了對(duì)半導(dǎo)體單元1的上下表面粘貼導(dǎo)電性帶3，而在半導(dǎo)體單元1的一個(gè)面上粘貼了導(dǎo)線性帶3后，將該半導(dǎo)體單元1上下倒向，在另一個(gè)面上粘貼導(dǎo)線性帶3的情況下，在使半導(dǎo)體單元1上下倒向時(shí)，產(chǎn)生了位置偏移，從而導(dǎo)致不能夠在其上下表面精密地定位粘貼導(dǎo)線性帶3，或者因?yàn)橛糜诜D(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)的復(fù)雜化或翻轉(zhuǎn)所需的時(shí)間而導(dǎo)致生產(chǎn)性能降低。但是，通過如上所述地對(duì)半導(dǎo)體單元1的上下表面同時(shí)地粘貼導(dǎo)電性帶3，就能實(shí)現(xiàn)粘貼精度或生產(chǎn)性能的提高，還能實(shí)現(xiàn)機(jī)構(gòu)的簡(jiǎn)化。再有，半導(dǎo)體單元1的上下表面粘貼的導(dǎo)電性帶3的數(shù)量不限于3條，也可以是2 條或者4條等，其數(shù)量按照半導(dǎo)體單元1的構(gòu)造等來(lái)設(shè)定。此外，在半導(dǎo)體單元1的上下表面粘貼的導(dǎo)電性帶3的數(shù)量是多個(gè)的情況下，也可以將導(dǎo)線性帶3 —條條地虛壓接在上述半導(dǎo)體單元1的上下表面。該情況下，在第一、第二帶粘貼部31、32中分別設(shè)置1組供給卷筒44、卷繞卷筒47和上下加壓工具46a、46b，每粘貼1條導(dǎo)電性帶3，就使第一、第二粘貼臺(tái)35、36向Y方向移動(dòng)規(guī)定距離，然后粘貼下一個(gè)導(dǎo)電性帶3。S卩，通過成為在各帶粘貼部31、32只設(shè)置1組供給卷筒44、卷繞卷筒47和上下加壓工具46a、46b的結(jié)構(gòu)，能夠?qū)崿F(xiàn)各帶粘貼部31、32的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化或小型化。若在供給到上述第一帶粘貼部31和第二帶粘貼部32的半導(dǎo)體單元1的上下表面分別粘貼了 3條導(dǎo)電性帶3，則將載置了該半導(dǎo)體單元1的第一粘貼臺(tái)35和第二粘貼臺(tái)36 從支架33的Y方向的一端部和另一端部交替地驅(qū)動(dòng)定位到中央部。對(duì)于被定位在上述支架33的中央部的第一粘貼臺(tái)35或第二粘貼臺(tái)36上的半導(dǎo)體單元1，如圖6所示，利用向水平方向和上下方向驅(qū)動(dòng)的第二交接裝置48進(jìn)行吸附保持， 并供給到設(shè)置在上述帶粘貼機(jī)構(gòu)13與輸送機(jī)構(gòu)14之間的粘貼檢查平臺(tái)49上。再有，第二交接裝置48與上述第一交接裝置M結(jié)構(gòu)相同，因此在同一部分上標(biāo)記同一符號(hào)并省略說(shuō)明。在上述粘貼檢查平臺(tái)49，由配置在上下兩個(gè)方向上的攝像機(jī)51，對(duì)半導(dǎo)體單元1 的上下表面同時(shí)攝像并檢查上下表面粘貼的導(dǎo)電性帶3的粘貼狀態(tài)例如是否有外翻等。在攝像機(jī)51的攝像結(jié)果是不合格的情況下，根據(jù)來(lái)自未圖示的控制裝置的指令進(jìn)行排出，在是合格品的情況下，由上述第二交接裝置48供給到上述輸送機(jī)構(gòu)14上。如圖7或圖13所示，上述輸送機(jī)構(gòu)14具有以小于上述半導(dǎo)體單元1的寬度尺寸的間隔在Y方向上隔開距離的一對(duì)環(huán)形帶53。如圖7所示，該環(huán)形帶53張緊設(shè)置在驅(qū)動(dòng)輪 54和從動(dòng)輪56上。由圖8所示的電動(dòng)機(jī)56，對(duì)驅(qū)動(dòng)輪M旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)成上述環(huán)形帶53的上表面?zhèn)葟?X方向朝向+X方向移動(dòng)。圖8中用+X箭頭示出環(huán)形帶53的移動(dòng)方向。以規(guī)定的節(jié)距P間歇地驅(qū)動(dòng)上述環(huán)形帶53。該節(jié)距P在圖13中用P示出，成為與利用引線2連接成一串的相鄰的半導(dǎo)體單元1的間隔相等的距離。如圖7和圖8所示，在上述環(huán)形帶53上，沿X方向按規(guī)定間隔穿透地設(shè)置許多在厚度方向上貫通的吸引孔53a。在環(huán)形帶53的上下內(nèi)面間設(shè)置有塊57，使其上表面和下表面與位于上述環(huán)形帶53的內(nèi)周面的上下的部分接觸。在該塊57中沿長(zhǎng)度方向形成吸引路徑58。從上述吸引路徑58開始，按照與穿透地設(shè)置在上述環(huán)形帶53中的吸引孔53a相對(duì)應(yīng)的間隔，分支形成多個(gè)在上述塊57的上表面開口的分支孔58a。再有，也可以在上述塊 57的下表面開口形成分支孔58a。將上述吸引路徑58的一端閉塞，與另一端連接吸引泵59。這樣，如果上述吸引泵 59動(dòng)作，就通過吸引路徑58和分支孔58a，在上述環(huán)形帶53的上述吸引孔53a中產(chǎn)生吸引力。再有，上述吸引孔53a的間隔設(shè)定為間歇驅(qū)動(dòng)環(huán)形帶53的節(jié)距P的整數(shù)分之一或者與節(jié)距P相等。這樣，通過使環(huán)形帶53的吸引孔53a和上述塊57的分支孔58a在環(huán)形帶53驅(qū)動(dòng)前保持一致，即使間歇驅(qū)動(dòng)環(huán)形帶53，也總是能使吸引孔53a和分支孔58a相對(duì)置。通過這樣做，在對(duì)半導(dǎo)體單元1虛壓接或者實(shí)壓接引線2的時(shí)候，已定位的半導(dǎo)體單元1能夠保持定位在環(huán)形帶53上不偏移。如圖8所示，在構(gòu)成上述輸送機(jī)構(gòu)14的環(huán)形帶53的位于-X方向上的一端部，在一對(duì)環(huán)形帶53之間和外側(cè)配設(shè)有構(gòu)成上述虛壓接機(jī)構(gòu)15的總計(jì)3組的下部加壓部件60。3組下部加壓部件60分別由在X方向上以規(guī)定間隔隔開距離地配置的第一下塊 61和第二下塊62構(gòu)成，將各塊、即總計(jì)6個(gè)塊61、62，分別與由缸等上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)63 (圖9 中示出)上下驅(qū)動(dòng)的裝配板63a的上表面一體地裝配固定。將上述第一下塊61的上端面形成為平坦的第一承受面61a，將第二下塊62的上端面形成為位置比第一承受面61a稍稍低一點(diǎn)的平坦的第二承受面62a。在上述第一承受面61a和第二承受面6 上開口形成吸引孔61b、62b，使得能夠利用未圖示的吸引泵在這些吸引孔61b、62b中產(chǎn)生吸引力。
向上述3組的各下塊61、62的上表面分別同時(shí)供給已由配設(shè)在上述輸送機(jī)構(gòu)14 的一端部側(cè)的上述第一至第三引線加工機(jī)構(gòu)15a 15c加工成形為曲柄狀的引線2。如圖10A、圖IOB所示，各引線加工機(jī)構(gòu)1 15c具有卷裝有上述引線2的供給卷筒65。該供給卷筒65的引線2被拉出爪66夾住而拉出。再有，引線2是帶板狀。上述拉出爪66被未圖示的缸或環(huán)狀移動(dòng)的金屬絲等向圖IOA中箭頭所示的X方向往復(fù)驅(qū)動(dòng)。這樣，就從上述供給卷筒65向-X方向拉出上述引線2。由上述拉出爪66向-X方向拉出的上述引線2經(jīng)過夾具68、第一刀具69、被分割成第一上塊71a和第一下塊71b的第一保持部71、由上下一對(duì)模具72a、72b構(gòu)成的成形金屬模72、被分割成第二上塊73a和第二下塊73b的第二保持部73、和第二刀具74。在比第二刀具74往拉出方向下游側(cè)配置有廢棄箱75。將上述第一至第三引線加工機(jī)構(gòu)15a 15c的上述第一保持部71的上塊71a和上述第二保持部73的第二上塊73a裝配在圖8和圖9所示的裝配板77的下表面。如圖9所示，將第一保持部71的第一上塊71a的下端面設(shè)定得比第二保持部73 的第二上塊73a的下端面稍稍高一點(diǎn)。另外，在一對(duì)上塊71a、73a中形成有在它們的下端面開口的吸引孔82。將上述第一保持部71的第一下塊71b的上端面設(shè)定得比第二保持部73的第二下塊73b的上端面稍稍高一點(diǎn)。將上述裝配板77設(shè)置成，可以在圖8和圖9所示的板狀的可動(dòng)部件79的下表面利用多個(gè)上下缸81向上下方向進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。上述可動(dòng)部件79被水平缸78在Y方向上進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。再有，上述一對(duì)上塊71a、73a兼作上述虛壓接機(jī)構(gòu)15的上部加壓部件。在從圖IOA所示的狀態(tài)開始，由上述拉出爪66如圖IOB所示地從第一至第三引線加工機(jī)構(gòu)1 15c的各供給卷筒65中拉出了上述引線2時(shí)，由上述夾具68保持住該引線2的供給卷筒65側(cè)的基端部。與此同時(shí)，如圖8所示，在第一至第三引線加工機(jī)構(gòu)1 15c上方等待的上述第一保持部71和第二保持部73的第一、第二上塊71a、73a，被上下缸81向下降方向驅(qū)動(dòng)，利用在這些上塊71a、73a的下端面開口的吸引孔82，吸附保持成形加工前的、由拉出爪66拉出的上述引線2。接著，上述成形金屬模72向閉合方向動(dòng)作，在引線2的中途部分形成傾斜部2s。 與此同時(shí)，一對(duì)刀具69、74動(dòng)作，將從供給卷筒65中拉出的引線2切斷成與一對(duì)刀具69、74 間的尺寸對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)度。將引線2的在第二刀具74下游側(cè)的部分排出到上述廢棄箱75中。再有，引線2的一端部和另一端部因?yàn)樯鲜鰞A斜部2s而變成不同的高度，其高度差是與半導(dǎo)體單元1的厚度相對(duì)應(yīng)的尺寸，例如是Imm左右非常小的尺寸。在第一至第三引線加工機(jī)構(gòu)15a 15c中的上述引線2的成形和切斷結(jié)束后，將上述成形金屬模72向打開方向驅(qū)動(dòng)，然后向與引線2正交的水平方向驅(qū)動(dòng)，從引線2的上下方向退避。接著，由第一、第二保持部71、73的各上塊71a、73a的下端面吸附保持已加工形成的引線2。接著，由上下缸81向上升方向驅(qū)動(dòng)裝配有上塊71a、73a的裝配板77，之后，由水平缸78向-Y方向驅(qū)動(dòng)裝配有上述裝配板77的可動(dòng)部件79，將上述上塊71a、73a的下端面上吸附保持的引線2，定位在輸送機(jī)構(gòu)14的一端部設(shè)置的下部加壓部件60的第一、第二塊 61,62的上方。在將已加工成形的引線2定位在了下部加壓部件60的第一、第二塊61、62的上方時(shí)，向下降方向驅(qū)動(dòng)上述上塊71a、73a，如圖IlA所示的第一工序那樣地，將已加工成形的引線2 (2a)交接給第一、第二塊61、62的上端面即第一、第二承受面61a、6h來(lái)吸附保持。這樣地在第一、第二承受面61a、6h上吸附保持了引線2之后，在該引線2的位于上述第二下塊62的第二承受面6 上的、向下彎曲的另一端部，如圖IlB所示的第二工序那樣地，由上述第二交接裝置48供給并載置上下表面已分別粘貼了 3條導(dǎo)電性帶3的半導(dǎo)體單元1。在引線2的另一端部上供給并載置了半導(dǎo)體單元1時(shí)，由上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)63向下降方向驅(qū)動(dòng)第一、第二塊61、62而交接到輸送機(jī)構(gòu)14上，之后由該輸送機(jī)構(gòu)14，將下表面已粘貼了引線的一端部的上述半導(dǎo)體單元1間歇地輸送節(jié)距P的距離。圖IlC中示出該狀態(tài)即第三工序。在節(jié)距式進(jìn)給了上述半導(dǎo)體單元1時(shí)，如圖IlD所示的第四工序那樣地，由上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)63向上升方向驅(qū)動(dòng)第一下塊61和第二下塊62。這樣，就利用第一下塊61的第一承受面61a，使下表面已粘貼了引線2的另一端部的半導(dǎo)體單元1，從輸送機(jī)構(gòu)14的環(huán)形帶 53上升。之后，將已加工成形的下一個(gè)引線W2b)吸附保持在第一保持部71和第二保持部 73的上塊71a、73a上進(jìn)行供給。將該引線2 Qb)的一端部供給到隔著引線2 Qa)吸附保持在下部加壓部件60的第一下塊61的第一承受面61a上的半導(dǎo)體單元1的上表面的與導(dǎo)電性帶3對(duì)應(yīng)的位置上， 將另一端部供給到下部加壓部件60的第二下塊62的承受面6 上。這樣，就利用第一下塊61的承受面61a和第一上塊71的下端面，相對(duì)于保持在第一下塊61的承受面61a上的半導(dǎo)體單元1，對(duì)粘貼在其下表面的引線的另一端部和粘貼在上表面的引線W2b)的一端部同時(shí)加壓。即，將最初供給的引線的另一端部和接著供給的引線2 Qb)的一端部，同時(shí)地虛壓接在半導(dǎo)體單元1的上下表面。再有，在上述第一上塊71a和第二上塊73a取出由第一至第三引線加工機(jī)構(gòu) 1 15c成形后的引線2時(shí)，將由上下缸81賦予到各上塊7la、73a上的加壓力，設(shè)定得比在半導(dǎo)體單元1上虛壓接引線2時(shí)的壓力高。這樣就能夠從各引線加工機(jī)構(gòu)1 15c中可靠地取出引線2，通過虛壓接時(shí)壓力低于取出時(shí)，能夠防止引線2從半導(dǎo)體單元1上粘貼的導(dǎo)電性帶3上脫離。此外，使第一保持部71和第二保持部73裝配在1片裝配板77上，但也可以將各保持部71、73裝配在分別的裝配板上，并由上下缸81分別上下驅(qū)動(dòng)它們。根據(jù)這樣做，通過在吸附引線2時(shí)，將供給到各上下缸81中的氣體壓力控制成各保持部71、73以相同壓力抵接引線2，并且在引線2上如后所述地虛壓接半導(dǎo)體單元1時(shí)， 將供給到一對(duì)上下缸81中的氣體壓力控制成各保持部71、73按照此時(shí)的狀態(tài)加壓半導(dǎo)體單元1的壓力為最優(yōu)，就能夠防止半導(dǎo)體單元1損傷。在這樣地在第一個(gè)供給的半導(dǎo)體單元1的上表面和下表面虛壓接了引線W2a、 2b)后，第一保持部71和第二保持部73的上塊71a、73a上升，并向圖8中箭頭所示的+Y方向移動(dòng)(后退)，然后如圖IlE所示的第五工序那樣地，由第二交接裝置48向引線W2b)的另一端部供給下一個(gè)半導(dǎo)體單元1，在上述引線上粘貼下表面的導(dǎo)電性帶3。接著，向下降方向驅(qū)動(dòng)第一、第二塊61、62，并將已由引線W2b)電連接的2個(gè)半導(dǎo)體單元1交接給環(huán)形帶53，然后如圖IlF所示的第五工序那樣地，由環(huán)形帶53按照節(jié)距P 的距離間歇進(jìn)給這些半導(dǎo)體單元1。之后，向-Y方向驅(qū)動(dòng)下端面吸附保持了已加工成形的引線2的上塊71a、73a，定位在輸送機(jī)構(gòu)14的環(huán)形帶53的上方，然后向下降方向驅(qū)動(dòng)，如圖11(f)中點(diǎn)劃線所示地供給引線W2c)。將上述引線2 Oc)的一端部供給定位在第一下塊61的承受面61a上的半導(dǎo)體單元1的上表面，將另一端部供給定位在第二下塊62的第二承受面6 上。這樣，使用上述第一下塊61的承受面61a和第一上塊71a的下端面，相對(duì)于第一下塊61的承受面61a上的半導(dǎo)體單元1的下表面和上表面，對(duì)引線2 Qb)的另一端部和引線的一端部加壓進(jìn)行虛壓接。通過反復(fù)進(jìn)行這樣的虛壓接，多個(gè)、例如12個(gè)半導(dǎo)體單元1就如圖15A所示地成為由引線加 2η連接成一串的串1Α。即，成為已依次地在半導(dǎo)體單元1的下表面和上表面虛壓接了引線2的另一端部和一端部的虛壓接狀態(tài)的串1Α。再有，在半導(dǎo)體單元1上通過導(dǎo)電性帶3虛壓接了引線2的情況下，有時(shí)導(dǎo)電性帶 3中所含的微粒不被壓碎，這時(shí)候還有時(shí)因?yàn)樘搲航佣雽?dǎo)體單元1和引線2不電連接。通過這樣地在半導(dǎo)體單元1的下表面和上表面依次地虛壓接引線2的另一端部和一端部來(lái)形成虛壓接狀態(tài)的串1Α，構(gòu)成串IA的半導(dǎo)體單元1的數(shù)量可以不僅是12個(gè)，而是
任意數(shù)量。此外，在如圖11Β、圖11D、圖IlF等所示地對(duì)只設(shè)置在第一塊61和第二塊62中的一方上的半導(dǎo)體芯片1虛壓接引線3的情況下，如果如上所述地利用不同的裝配板來(lái)將第一保持部71和第二保持部73連結(jié)到上下缸81上，就可以使施加到將半導(dǎo)體芯片1虛壓接到引線2上的一方保持部71或73上的加壓力比另一方保持部上的加壓力小。這樣能夠防止過度加壓而使半導(dǎo)體芯片1損傷。由輸送機(jī)構(gòu)14輸送由12個(gè)半導(dǎo)體單元1構(gòu)成的虛壓接狀態(tài)的串1Α，在前端的半導(dǎo)體單元1被輸送到與3個(gè)實(shí)壓接機(jī)構(gòu)16的、位于+X方向最前端的實(shí)壓接機(jī)構(gòu)16相對(duì)置的位置為止時(shí)，由3個(gè)實(shí)壓接機(jī)構(gòu)16對(duì)第1個(gè)、第5個(gè)和第9個(gè)半導(dǎo)體單元1上虛壓接的引線2同時(shí)進(jìn)行實(shí)壓接。如圖12所示，上述實(shí)壓接機(jī)構(gòu)16具有配置在上述輸送機(jī)構(gòu)14的環(huán)形帶53的上方，并由上部缸85上下驅(qū)動(dòng)的板狀的上部可動(dòng)部件86 ；以及配置在下方，并由下部缸87上下驅(qū)動(dòng)的板狀的下部可動(dòng)部件88。在上述上部可動(dòng)部件86的下表面，按后述的規(guī)定間隔設(shè)置有被加熱器91a加熱的 3條上部加壓工具91。在上述下部可動(dòng)部件88的上表面，在與上述上部加壓工具91對(duì)應(yīng)的位置上設(shè)置有被加熱器9 加熱的3條下部加壓工具92。再有，各缸85、87對(duì)上部加壓工具91和下部加壓工具92的上升和下降方向的驅(qū)動(dòng)，可以以2級(jí)沖程來(lái)進(jìn)行。按照與半導(dǎo)體單元1的上下表面虛壓接的各自3條引線2相對(duì)應(yīng)的間隔設(shè)置各加壓工具91、92。在上部加壓工具91與半導(dǎo)體單元1的上表面之間夾著安裝有上部緩沖帶94，在下部加壓工具92與半導(dǎo)體單元1的下表面之間夾著安裝有下部緩沖帶95。從供給卷筒96中退繞各緩沖帶94、95，由一對(duì)導(dǎo)輥97引導(dǎo)而在半導(dǎo)體單元1的上表面和下表面平行地移動(dòng)，卷繞到卷繞卷筒98上。再有，未詳細(xì)圖示，上側(cè)和下側(cè)的上述供給卷筒96、導(dǎo)輥97和卷繞卷筒98與上述實(shí)壓接機(jī)構(gòu)16的上側(cè)和下側(cè)的加壓工具91、92 —體地上下運(yùn)動(dòng)。在上述串IA被輸送且第1個(gè)、第5個(gè)和第9個(gè)半導(dǎo)體單元1相對(duì)于3個(gè)實(shí)壓接機(jī)構(gòu)16被定位時(shí)，向下降方向驅(qū)動(dòng)各實(shí)壓接機(jī)構(gòu)16的上部加壓工具91，向上升方向驅(qū)動(dòng)下部加壓工具92。這樣，由各加壓工具91、92對(duì)串IA的第1個(gè)、第5個(gè)和第9個(gè)半導(dǎo)體單元1 的上下表面上虛壓接的各3條引線2 —邊進(jìn)行加壓，一邊進(jìn)行加熱。這樣，將引線2粘貼在半導(dǎo)體單元1上的導(dǎo)電性帶3就被上下加壓工具91、92的熱量熔融固化，從而將上述引線2實(shí)壓接在半導(dǎo)體單元1的上下表面。即，對(duì)半導(dǎo)體單元1 的上下表面同時(shí)、即按相同定時(shí)實(shí)壓接引線2。再有，可以用2級(jí)沖程中的較小的沖程進(jìn)行實(shí)壓接時(shí)的各缸85、87對(duì)上部加壓工具91和下部加壓工具92的上升和下降方向的驅(qū)動(dòng)。這樣能夠縮短實(shí)壓接所需的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間(Takt Time)。在這樣地對(duì)串IA的第1個(gè)、第5個(gè)和第9個(gè)半導(dǎo)體單元1實(shí)壓接了引線2時(shí)，將串IA間歇輸送1個(gè)節(jié)距P。這樣，就將第2個(gè)、第6個(gè)和第10個(gè)半導(dǎo)體單元1定位成與3 個(gè)實(shí)壓接機(jī)構(gòu)16相對(duì)置。然后，使3個(gè)實(shí)壓接機(jī)構(gòu)16動(dòng)作，對(duì)這些半導(dǎo)體單元1實(shí)壓接引線2之后，再以節(jié)距P間歇地輸送串1A，通過總計(jì)4次反復(fù)進(jìn)行上述的這個(gè)實(shí)壓接動(dòng)作，就能夠全部實(shí)壓接 12個(gè)半導(dǎo)體單元1上虛壓接的引線2。對(duì)于這樣做而與12個(gè)半導(dǎo)體單元1連接的全部引線2都被實(shí)壓接了的串1A，由上述排出機(jī)構(gòu)17從輸送機(jī)構(gòu)14上運(yùn)出并保存在上述儲(chǔ)料器19中。在由上述排出機(jī)構(gòu)17運(yùn)出串IA的時(shí)候，用各缸85、87的較大沖程驅(qū)動(dòng)各實(shí)壓接機(jī)構(gòu)16的上部加壓工具91和下部加壓工具92。因?yàn)檫@樣能夠充分增大上部加壓工具91與下部加壓工具92的間隔，所以能夠使上述排出機(jī)構(gòu)17的吸附墊105可靠地進(jìn)入到上述上部加壓工具91與下部加壓工具92之間。上述排出機(jī)構(gòu)17如圖13所示地具有形成為與上述串IA對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)度尺寸的水平可動(dòng)部件101。由多個(gè)、例如2個(gè)水平缸102，在Y方向上，并且在從上述輸送機(jī)構(gòu)14的上方退避的位置、即圖13中實(shí)線示出的在上述儲(chǔ)料器19上方等待的位置，與用點(diǎn)劃線示出的與輸送機(jī)構(gòu)14上方相對(duì)的位置之間，驅(qū)動(dòng)該水平可動(dòng)部件101。如圖13和圖14所示，在上述水平可動(dòng)部件101的下表面設(shè)置著可以由多個(gè)上下缸103向上下方向驅(qū)動(dòng)的上下可動(dòng)部件104。在該上下可動(dòng)部件104上，垂直于軸線地設(shè)置著吸附保持上述串IA的各半導(dǎo)體單元1的四個(gè)角部的4個(gè)一組的多組、例如12組的吸附墊105(圖14中僅示出2個(gè))。各吸附墊105與未圖示的吸引泵連接，產(chǎn)生吸引力。在實(shí)壓接完上述串IA的12個(gè)半導(dǎo)體單元1的引線2后，由上述水平缸102將上述水平可動(dòng)部件101驅(qū)動(dòng)定位到輸送機(jī)構(gòu)14上方的串IA的上方。接著，上下缸103動(dòng)作，向下降方向驅(qū)動(dòng)上下可動(dòng)部件104。這樣，就由上下可動(dòng)部件104上設(shè)置的各組的4個(gè)吸附墊105吸附住12個(gè)半導(dǎo)體單元1的上表面四個(gè)角部。在吸附墊105吸附了半導(dǎo)體單元1時(shí)，上述上下可動(dòng)部件104上升，將水平可動(dòng)部件101向+Y方向即后退方向驅(qū)動(dòng)，定位在上述檢查部8的上方。串IA被供給到檢查部8， 在此檢查上下表面連接的引線2的連接狀態(tài)。在通過檢查進(jìn)行了是否合格的判斷后，保存在檢查部8的后退方向即+Y方向上設(shè)置的上述儲(chǔ)料器19中。對(duì)串聯(lián)連接了 12個(gè)半導(dǎo)體單元1而成的串IA最終要求要有預(yù)先設(shè)定的發(fā)電功率。另一方面，各個(gè)半導(dǎo)體單元1的發(fā)電功率存在偏差。因此，在供給部1的第一儲(chǔ)存庫(kù)21 和第二儲(chǔ)存庫(kù)22中分別設(shè)置不同發(fā)電功率的半導(dǎo)體單元1。并且，在構(gòu)成規(guī)定的發(fā)電功率的串IA的情況下，通過按照要求的串IA的發(fā)電功率來(lái)設(shè)定供給部1向帶粘貼機(jī)構(gòu)13供給的、來(lái)自第一儲(chǔ)存庫(kù)21的半導(dǎo)體單元1的數(shù)量和來(lái)自第二儲(chǔ)存庫(kù)22的半導(dǎo)體單元1的數(shù)量，就能夠構(gòu)成期望的發(fā)電功率的串1A。S卩，通過在供給部12中設(shè)置第一、第二儲(chǔ)存庫(kù)21、22，即使各個(gè)半導(dǎo)體單元1的輸出功率不同，也能夠?qū)⒋甀A的發(fā)電功率設(shè)定成要求的發(fā)電功率。如上所述，根據(jù)上述結(jié)構(gòu)的引線連接裝置，在半導(dǎo)體單元1的上下表面粘貼已切斷成規(guī)定長(zhǎng)度的導(dǎo)電性帶3時(shí)，是對(duì)半導(dǎo)體單元1的上下表面同時(shí)進(jìn)行的。因此，在半導(dǎo)體單元1上粘貼導(dǎo)電性帶3的時(shí)候，可以不用使該半導(dǎo)體單元1向上方或下方彎曲而進(jìn)行，因此能夠防止半導(dǎo)體單元1上產(chǎn)生裂紋。而且，由于是對(duì)半導(dǎo)體單元 1的上下表面同時(shí)粘貼導(dǎo)電性帶3，因此，與分別地進(jìn)行的情況相比，能夠提高生產(chǎn)性能，實(shí)現(xiàn)裝置結(jié)構(gòu)的緊湊化。在對(duì)已粘貼了導(dǎo)電性帶3的半導(dǎo)體單元1虛壓接已加工成形為規(guī)定形狀的引線2 的時(shí)候，是對(duì)上述半導(dǎo)體單元1的上下表面同時(shí)進(jìn)行該虛壓接。因此，根據(jù)該情況，可以不用使該半導(dǎo)體單元1向上方或下方彎曲而進(jìn)行，因此， 能夠防止半導(dǎo)體單元1上產(chǎn)生裂紋。而且，由于是對(duì)半導(dǎo)體單元1的上下表面同時(shí)地虛壓接引線2，因此，與分別地進(jìn)行的情況相比，能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)性能的提高或裝置結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)化。在對(duì)半導(dǎo)體單元1的上下表面虛壓接的引線2進(jìn)行實(shí)壓接的情況下，是對(duì)上述半導(dǎo)體單元1的上下表面同時(shí)進(jìn)行該實(shí)壓接。因此，根據(jù)該情況，可以不用使該半導(dǎo)體單元1向上方或下方彎曲而進(jìn)行，因此， 能夠防止半導(dǎo)體單元1上產(chǎn)生裂紋。而且，由于是對(duì)半導(dǎo)體單元1的上下表面同時(shí)地實(shí)壓接引線2，因此，與分別地進(jìn)行的情況相比，能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)性能的提高或裝置結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)化。另外，在實(shí)壓接的情況下，半導(dǎo)體單元1被在上述加壓工具91上設(shè)置的加熱器91a 和在下部加壓工具92上設(shè)置的加熱器9 加熱到較高的溫度，因此有半導(dǎo)體單元1產(chǎn)生熱變形或熱應(yīng)變的危險(xiǎn)。但是，在引線2的實(shí)壓接時(shí)，半導(dǎo)體單元1上下表面分別被3條上部加壓工具91 和下部加壓工具92同時(shí)并且以相同條件均勻地加熱。因此，半導(dǎo)體單元1即使被各加壓工具91、92加熱，也很難產(chǎn)生熱變形或熱應(yīng)變。此外，如果將多個(gè)半導(dǎo)體單元1利用引線2以節(jié)距P的間隔連接成一串成為串IA 的話，則利用按照半導(dǎo)體單元1的節(jié)距P的整數(shù)倍間隔配置的多個(gè)實(shí)壓接機(jī)構(gòu)16來(lái)同時(shí)地對(duì)多個(gè)半導(dǎo)體單元1上連接的引線2進(jìn)行實(shí)壓接。并且，在實(shí)壓接后，以節(jié)距P間歇地輸送串1A，多次反復(fù)進(jìn)行利用多個(gè)實(shí)壓接機(jī)構(gòu)16的實(shí)壓接。
因此，可以利用多個(gè)實(shí)壓接機(jī)構(gòu)16同時(shí)且高效率地進(jìn)行已在多個(gè)半導(dǎo)體單元1上虛壓接的引線2的實(shí)壓接。接下來(lái)，關(guān)于本發(fā)明的其他實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。再有，在與第一實(shí)施方式的同一部分上標(biāo)記同一符號(hào)并省略說(shuō)明。圖16至圖19示出本發(fā)明的第二實(shí)施方式。該第二實(shí)施方式是輸送機(jī)構(gòu)114的變形例，該輸送機(jī)構(gòu)114具有張緊設(shè)置在與第一實(shí)施方式同樣的驅(qū)動(dòng)輪M和從動(dòng)輪55之間的鋼制的2條環(huán)形帶53。在各環(huán)形帶53中以規(guī)定間隔穿透地設(shè)置了在厚度方向上貫通的吸引孔53a。如圖16所示，在各環(huán)形帶53的環(huán)狀移動(dòng)的上側(cè)部分的下表面，分別與上述環(huán)形帶 53的下表面接觸地配置著帶狀的塊115。上述塊115被除去了與在上述半導(dǎo)體單元1上實(shí)壓接上述引線2的實(shí)壓接機(jī)構(gòu)16相對(duì)應(yīng)的部分。即，上述塊57被與上述實(shí)壓接機(jī)構(gòu)16對(duì)應(yīng)的實(shí)壓接位置B分割成2個(gè)。在各塊115形成與第一實(shí)施方式同樣的吸引路徑58，在該吸引路徑58中穿透地設(shè)置有與上述環(huán)形帶53上形成的吸引孔53a連通的多個(gè)分支孔58a。與上述吸引路徑58連接與第一實(shí)施方式同樣的吸引泵59 (圖16中未圖示)。這樣，通過經(jīng)上述分支孔58a在上述吸引孔53a中產(chǎn)生的吸引力，來(lái)保持被供給到環(huán)形帶53上的半導(dǎo)體單元1。在上述塊57的被分割部分即實(shí)壓接位置B中，代替上述第一實(shí)施方式的下部加壓工具92而設(shè)置輔助工具116，使其上表面設(shè)置得比上述環(huán)形帶53的下表面稍稍低一點(diǎn)。如圖18所示，在上述輔助工具116的上表面，在與上述環(huán)形帶53對(duì)應(yīng)的位置上形成一對(duì)溝槽116a，該一對(duì)溝槽116a用于避免該環(huán)形帶53碰到上述輔助工具116的上表面。在上述輔助工具116的上方，與上述第一實(shí)施方式同樣地，分別與上述輔助工具 116相對(duì)置地設(shè)置3個(gè)上述加壓工具91，將該3個(gè)上述加壓工具91裝配在由上部缸85向上下方向驅(qū)動(dòng)的上述可動(dòng)部件86的下表面。再有，在輔助工具115設(shè)置加熱器116b，在上部加壓工具91也設(shè)置加熱器91a。從而，在將上下表面已由導(dǎo)電性帶3虛壓接了引線2的半導(dǎo)體單元1輸送并定位到上述實(shí)壓接位置B之后，若向下降方向驅(qū)動(dòng)上述上部加壓工具91，則上述半導(dǎo)體單元1的上下表面上虛壓接的引線2被同時(shí)實(shí)壓接。再有，也可以將輔助工具115與上部加壓工具91同樣地分割成3個(gè)，與上述上部加壓工具91相對(duì)置地設(shè)置在一對(duì)環(huán)形帶53之間和兩側(cè)。如圖19所示，將用于在半導(dǎo)體單元1上實(shí)壓接引線2的上述上部加壓工具91的加壓面91a的寬度尺寸W1，設(shè)定得小于引線2的寬度尺寸W2。將半導(dǎo)體單元1的上下表面上設(shè)置的導(dǎo)電性帶3的寬度尺寸W3，設(shè)定得小于引線2的寬度尺寸W2。根據(jù)這樣做，即使在實(shí)壓接時(shí)由上部加壓工具91的加壓面91a加壓加熱了引線2 而上述導(dǎo)電性帶3熔融，利用寬度尺寸大于加壓面91a的引線2，也能防止熔融物上升到加壓工具91 一側(cè)并附著在上述加壓面91a上。這樣，由于防止了加壓面91a上附著熔融物，因此有時(shí)也可以不在引線2與加壓面 91a之間如上述第一實(shí)施方式那樣地設(shè)置緩沖帶。再有，即使導(dǎo)電性帶3的寬度尺寸W3與引線2的寬度尺寸W2同等、或者大于引線2的寬度尺寸W2，只要加壓面91a的寬度尺寸Wl小于引線2的寬度尺寸W2，就能夠防止加壓面91a上附著熔融物。如圖17所示，在上述實(shí)壓接位置B的上游側(cè)和下游側(cè)設(shè)置有第一、第二校準(zhǔn)機(jī)構(gòu) 118A、118B,該第一、第二校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)118A、118B對(duì)由上述環(huán)形帶53輸送來(lái)的半導(dǎo)體單元1的兩側(cè)進(jìn)行按壓以進(jìn)行定位。各校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)118A、118B具有由未圖示的驅(qū)動(dòng)源進(jìn)行開閉驅(qū)動(dòng)的各自一對(duì)的按壓部件119，所述開閉驅(qū)動(dòng)在與被輸送的半導(dǎo)體單元1的輸送方向交叉的方向上進(jìn)行。即，在上述環(huán)形帶53上，相對(duì)于與輸送方向交叉的方向，將半導(dǎo)體單元1分別定位在被輸送定位到上述實(shí)壓接位置B之前的位置和在上述實(shí)壓接位置B實(shí)壓接引線之后的位置上。從而，在將多個(gè)半導(dǎo)體單元1連接成一串的時(shí)候，能夠在這些半導(dǎo)體單元1中不產(chǎn)生彎曲的情況下進(jìn)行連接。在上述實(shí)壓接位置B的上游側(cè)，在一對(duì)環(huán)形帶53之間和外側(cè)的部分設(shè)置預(yù)熱加熱器121，該預(yù)熱加熱器121被分割成3個(gè)，對(duì)被輸送供給到該實(shí)壓接位置B上的半導(dǎo)體單元 1進(jìn)行預(yù)備加熱。在上述實(shí)壓接位置B的下游側(cè)，與預(yù)熱加熱器121同樣地在一對(duì)環(huán)形帶53之間和外側(cè)的部分設(shè)置緩冷加熱器122，該緩冷加熱器122被分割成3個(gè)，對(duì)在該實(shí)壓接位置B上被實(shí)壓接了引線2后運(yùn)出的半導(dǎo)體單元1進(jìn)行緩冷。這樣，在半導(dǎo)體單元1上實(shí)壓接引線2的時(shí)候，由于半導(dǎo)體單元1預(yù)先被預(yù)熱加熱器121預(yù)熱，因此能夠避免急劇的溫度上升。此外，由于實(shí)壓接了引線2后的半導(dǎo)體單元1 利用緩冷加熱器122而溫度緩慢地下降，因此能夠避免急劇的溫度下降。通過這樣地避免半導(dǎo)體單元1的急劇溫度變動(dòng)，能夠在實(shí)壓接引線2的時(shí)候防止半導(dǎo)體單元1產(chǎn)生翹曲、缺損或裂紋。作為上述預(yù)熱加熱器121和緩冷加熱器122，可以是電熱加熱器、紅外線加熱器或其他熱源，不限定其種類。通常，上述半導(dǎo)體單元1通過在虛壓接機(jī)構(gòu)15中虛壓接引線2而溫度上升到大約 80°C，通過在實(shí)壓接機(jī)構(gòu)16中實(shí)壓接引線2而溫度上升到120 180°C，在本實(shí)施方式中溫度上升到大約180°C。因此，最好對(duì)上述半導(dǎo)體單元1用上述預(yù)熱加熱器121從大約80°C 預(yù)熱到140 150°C，用上述緩冷加熱器122從大約180°C緩冷到150°C左右。再有，也可以沿著半導(dǎo)體單元1的輸送方向設(shè)置多個(gè)預(yù)熱加熱器121和緩冷加熱器122，更進(jìn)一步細(xì)致地進(jìn)行半導(dǎo)體單元1的溫度管理。此外，已經(jīng)說(shuō)明了相對(duì)半導(dǎo)體單元1的輸送方向只設(shè)置1個(gè)預(yù)熱加熱器121和緩冷加熱器122進(jìn)行預(yù)熱和緩冷的情況，但是也可以相對(duì)多個(gè)半導(dǎo)體單元1的輸送方向設(shè)置多個(gè)預(yù)先加熱器121和緩冷加熱器122，階段性地預(yù)熱和緩冷半導(dǎo)體單元1。例如，如果將半導(dǎo)體單元1每20°C地進(jìn)行預(yù)熱和緩冷，就能可靠地防止發(fā)生半導(dǎo)體單元1的翹曲、缺損或裂紋。圖20示出本發(fā)明的第三實(shí)施方式。第一實(shí)施方式中設(shè)利用3條引線2連接相鄰的半導(dǎo)體單元1，但是有時(shí)也根據(jù)半導(dǎo)體單元1的大小等而利用2條引線2來(lái)連接。因此，在第三實(shí)施方式中，通過使在半導(dǎo)體單元1上實(shí)壓接3條引線2的3個(gè)上部加壓工具191成為圖20所示的結(jié)構(gòu)，不論引線2是3條還是2條，都能夠進(jìn)行實(shí)壓接。
即，3個(gè)上部加壓工具191并列設(shè)置，位于中央的加壓工具191具有1個(gè)加壓面、即第一加壓面191a。位于兩側(cè)的2個(gè)上部加壓工具191具有位于并列方向外側(cè)的第一加壓面 191a和位于內(nèi)側(cè)的第二加壓面191b。將3個(gè)第一加壓面191a的間隔設(shè)定得與在半導(dǎo)體單元1上實(shí)壓接3條引線2時(shí)的這3條引線2的間隔相同，將2個(gè)第二加壓面191b的間隔設(shè)定得與在半導(dǎo)體單元1上實(shí)壓接2條引線2時(shí)的這些引線2的間隔相同。再有，在各上部加壓工具191分別設(shè)置加熱器191c。在半導(dǎo)體單元1上實(shí)壓接3條引線2的情況下，3個(gè)上部加壓工具191的第一加壓面191a對(duì)引線2加壓。這時(shí)，由于各上部加壓工具191的第一加壓面191a正在對(duì)引線2 加壓，因此，位于兩側(cè)的2個(gè)加壓工具191的第二加壓面191a因?yàn)槠湟€2的厚度而不對(duì)半導(dǎo)體單元1的板面加壓。同樣地，在半導(dǎo)體單元1上實(shí)壓接2條引線2的情況下，2個(gè)上部加壓工具191的第二加壓面191b對(duì)引線2加壓。這時(shí)，由于各上部加壓工具191的第二加壓面191b正在對(duì)引線2加壓，因此，各上部加壓工具191的第一加壓面191a因?yàn)槠湟€2的厚度而不對(duì)半導(dǎo)體單元1的板面加壓。S卩，通過在并列設(shè)置的3個(gè)上部加壓工具191中的位于兩側(cè)的2個(gè)上部加壓工具 191上設(shè)置第一、第二加壓面191a、191b，在中央的上部加壓工具191上僅設(shè)置第一加壓面 191a，不論實(shí)壓接在半導(dǎo)體單元1上的引線是3條還是2條，都能夠?qū)?yīng)。再有，本實(shí)施方式中以適用在實(shí)壓接機(jī)構(gòu)16中的情況為例進(jìn)行了說(shuō)明，但也可以適用在虛壓接機(jī)構(gòu)15中。此外，以利用上部加壓工具191加壓半導(dǎo)體單元1的上表面?zhèn)龋⒂幂o助工具116 加壓下表面的情況為例進(jìn)行了說(shuō)明，但在如第一實(shí)施方式所示地用下部加壓工具92代替輔助工具116對(duì)半導(dǎo)體單元1的下表面進(jìn)行加壓的情況下，只要將下部加壓工具92也設(shè)為與上部加壓工具191同樣的結(jié)構(gòu)即可。圖21示出本發(fā)明的第四實(shí)施方式。本實(shí)施方式可以按照半導(dǎo)體單元1的長(zhǎng)度尺寸來(lái)改變上部加壓工具291或未圖示的下部加壓工具的長(zhǎng)度尺寸。S卩，可以在各加壓工具的加壓面^la的長(zhǎng)度方向兩端部，利用例如榫槽結(jié)合等連結(jié)單元裝配固定有端塊124，該端塊IM可以從圖21中實(shí)線所示的拆下位置開始，如點(diǎn)劃線所示地拆裝在加壓工具91、92的主體部分上。在將端塊IM裝配在加壓工具291的加壓面^la的長(zhǎng)度方向兩端部上時(shí)，該端塊 124的下表面就構(gòu)成加壓面的一部分。因此，若在加壓工具291上裝上端塊124，就能夠使加壓面^la變長(zhǎng)，若拆下端塊124，就能夠使加壓面^la變短。例如，在短的半導(dǎo)體單元1上實(shí)壓接引線2的時(shí)候，如果加壓面^la是長(zhǎng)的，有時(shí)該加壓面^la的前端部和后端部就會(huì)對(duì)位于其前后的半導(dǎo)體單元1的輸送方向的端部進(jìn)行加壓，這種情況下就有被加壓面^la部分加壓后的半導(dǎo)體單元1產(chǎn)生損傷的危險(xiǎn)。因此，在如上所述地半導(dǎo)體單元1的長(zhǎng)度尺寸較短時(shí)，通過從加壓工具四1上拆下端塊IM來(lái)使其加壓面^la變短，就能夠防止位于前后的半導(dǎo)體單元1損傷。工業(yè)上的可利用性根據(jù)本發(fā)明，在半導(dǎo)體單元的上表面和下表面同時(shí)粘貼導(dǎo)電性帶，并且相同地在上表面和下表面同時(shí)進(jìn)行引線對(duì)半導(dǎo)體單元1上粘貼的導(dǎo)電性帶的虛壓接和實(shí)壓接。
因此，在導(dǎo)電性帶的粘貼或引線的虛壓接和實(shí)壓接時(shí)，不容易對(duì)半導(dǎo)體單元施加不均勻的加壓力或熱，因此能夠防止半導(dǎo)體單元損傷、或因?yàn)闊岫a(chǎn)生變形或應(yīng)變。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體單元的引線連接裝置，將多個(gè)半導(dǎo)體單元利用引線連接成一串，其特征在于，具備上述半導(dǎo)體單元的供給部；帶粘貼機(jī)構(gòu)，在從該供給部供給的上述半導(dǎo)體單元的上表面和下表面，同時(shí)粘貼已切斷成規(guī)定長(zhǎng)度的粘性的導(dǎo)電性帶；輸送機(jī)構(gòu)，供給已由該帶粘貼機(jī)構(gòu)在上表面和下表面粘貼了上述導(dǎo)電性帶的上述半導(dǎo)體單元，并節(jié)距式進(jìn)給該半導(dǎo)體單元；引線加工機(jī)構(gòu)，將上述引線加工成形為以長(zhǎng)度方向的中途部為邊界向上下方向彎曲的形狀；虛壓接機(jī)構(gòu)，設(shè)置在與由上述輸送機(jī)構(gòu)節(jié)距式進(jìn)給的上述半導(dǎo)體單元相對(duì)置的部位， 用于保持已由上述引線加工機(jī)構(gòu)加工成形的引線，并在節(jié)距式進(jìn)給的上述半導(dǎo)體單元的上表面和下表面設(shè)置的導(dǎo)電性帶上反復(fù)進(jìn)行上述引線的虛壓接，來(lái)將相鄰的上述半導(dǎo)體單元的上表面和下表面交替地電連接；和實(shí)壓接機(jī)構(gòu)，與該虛壓接機(jī)構(gòu)相比，配置在與上述輸送機(jī)構(gòu)進(jìn)給半導(dǎo)體單元的進(jìn)給方向下游側(cè)的半導(dǎo)體單元相對(duì)置的部位，對(duì)已由上述虛壓接機(jī)構(gòu)虛壓接在上述半導(dǎo)體單元的上下表面的上下一對(duì)上述弓I線同時(shí)進(jìn)行實(shí)壓接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體單元的引線連接裝置，其特征在于，包括第一帶粘貼部和第二帶粘貼部，上述第一帶粘貼部和第二帶粘貼部被從上述供給部交替地供給上述半導(dǎo)體單元。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體單元的引線連接裝置，其特征在于，在上述帶粘貼機(jī)構(gòu)與上述輸送機(jī)構(gòu)之間設(shè)置檢查機(jī)構(gòu)，上述檢查機(jī)構(gòu)檢查由上述帶粘貼機(jī)構(gòu)粘貼在上述半導(dǎo)體單元上的導(dǎo)電性帶的粘貼狀態(tài)是否合格。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至權(quán)利要求3的任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體單元的引線連接裝置，其特征在于，上述虛壓接機(jī)構(gòu)包括下部加壓部件，配置在與上述輸送機(jī)構(gòu)輸送的半導(dǎo)體單元的下表面相對(duì)置的位置，上述下部加壓部件的上端具有吸附保持由上述引線加工機(jī)構(gòu)加工成形后的引線的承受面，上述下部加壓部件被向上下方向驅(qū)動(dòng)；和上部加壓部件，設(shè)置成能夠在上述半導(dǎo)體單元的上方向水平方向和上下方向驅(qū)動(dòng)，用在上述上部加壓部件的下端形成的保持面吸附保持由上述引線加工機(jī)構(gòu)加工成形后的引線，供給到上述下部加壓部件的承受面，并且上述上部加壓部件與上述下部加壓部件同時(shí)對(duì)通過上述引線的供給和上述輸送機(jī)構(gòu)對(duì)上述半導(dǎo)體單元的節(jié)距式進(jìn)給而粘貼在上述半導(dǎo)體單元的上表面和下表面的上述導(dǎo)電性帶上的上述引線進(jìn)行加壓，來(lái)進(jìn)行虛壓接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至權(quán)利要求4的任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體單元的引線連接裝置，其特征在于，上述實(shí)壓接機(jī)構(gòu)包括下部實(shí)壓接頭，設(shè)置在與由虛壓接后的引線連接成一串并由上述輸送機(jī)構(gòu)輸送的上述半導(dǎo)體單元的下表面相對(duì)置的部位，并且能夠向上下方向驅(qū)動(dòng)；和上部實(shí)壓接頭，設(shè)置在上述半導(dǎo)體單元的上表面上與上述下部實(shí)壓接頭相對(duì)置的部位，并且能夠向上下方向驅(qū)動(dòng)，與上述下部實(shí)壓接頭同時(shí)對(duì)上述半導(dǎo)體單元的上表面和下表面上已虛壓接的上述導(dǎo)電性帶進(jìn)行加壓，來(lái)進(jìn)行實(shí)壓接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至權(quán)利要求5的任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體單元的引線連接裝置，其特征在于，在上述輸送機(jī)構(gòu)對(duì)上述半導(dǎo)體單元進(jìn)行輸送的輸送方向上，按照連接成一串的半導(dǎo)體單元的間隔的整數(shù)倍間隔配置多個(gè)實(shí)壓接機(jī)構(gòu)，上述輸送機(jī)構(gòu)按照與這些半導(dǎo)體單元的連接間隔相等的距離，節(jié)距式進(jìn)給已連接成一串的半導(dǎo)體單元，多個(gè)半導(dǎo)體單元每被節(jié)距式進(jìn)給一次，上述多個(gè)實(shí)壓接機(jī)構(gòu)對(duì)多個(gè)半導(dǎo)體單元的上表面和下表面上已虛壓接的引線同時(shí)進(jìn)行實(shí)壓接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至權(quán)利要求6的任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體單元的引線連接裝置，其特征在于，設(shè)置有排出機(jī)構(gòu)，上述排出機(jī)構(gòu)同時(shí)吸附由上述實(shí)壓接機(jī)構(gòu)實(shí)壓接了引線的多個(gè)半導(dǎo)體單元，并向上述輸送機(jī)構(gòu)的一側(cè)排出。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體單元的引線連接裝置，其特征在于，具有預(yù)熱加熱器，對(duì)搬入到上述實(shí)壓接機(jī)構(gòu)的半導(dǎo)體單元進(jìn)行預(yù)熱；和緩冷加熱器，對(duì)由上述實(shí)壓接機(jī)構(gòu)實(shí)壓接了引線并從該實(shí)壓接機(jī)構(gòu)運(yùn)出的上述半導(dǎo)體單元進(jìn)行緩冷。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體單元的引線連接裝置，其特征在于，具有校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)，所述校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)將由上述實(shí)壓接機(jī)構(gòu)實(shí)壓接引線之前的上述半導(dǎo)體單元，在與輸送方向交叉的方向上相對(duì)于上述輸送機(jī)構(gòu)加以定位。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體單元的引線連接裝置，其特征在于，上述實(shí)壓接機(jī)構(gòu)具有對(duì)半導(dǎo)體單元上已虛壓接的引線進(jìn)行實(shí)壓接的加壓工具，該加壓工具的加壓上述引線的加壓面的寬度尺寸設(shè)定得小于上述引線的寬度尺寸。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體單元的引線連接裝置，其特征在于，構(gòu)成為，上述實(shí)壓接機(jī)構(gòu)具有并列設(shè)置的3個(gè)加壓工具，在位于并列設(shè)置方向中央的加壓工具上形成第一加壓面，在位于兩側(cè)的2個(gè)加壓工具上形成第一加壓面和第二加壓面，在將多個(gè)半導(dǎo)體單元連接成一串的引線是3條的情況下，由3個(gè)加壓工具的第一加壓面加壓上述引線，在上述引線是2條的情況下，由位于兩側(cè)的2個(gè)加壓工具的第二加壓面加壓上述引線。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體單元的引線連接裝置，其特征在于，上述實(shí)壓接機(jī)構(gòu)具有對(duì)半導(dǎo)體單元上已虛壓接的引線進(jìn)行實(shí)壓接的加壓工具，在該加壓工具的加壓上述引線的加壓面的長(zhǎng)度方向的兩端部，可拆裝地設(shè)置有用于調(diào)整該加壓面長(zhǎng)度尺寸的端塊。
13.一種半導(dǎo)體單元的弓I線連接方法，將多個(gè)半導(dǎo)體單元利用弓I線連接成一串，其特征在于，包括在上述半導(dǎo)體單元的上表面和下表面同時(shí)粘貼粘性的導(dǎo)電性帶的工序；用于將2條上述引線的一個(gè)引線的一端部和另一個(gè)引線的另一端部同時(shí)虛壓接在上述半導(dǎo)體單元的上表面和下表面設(shè)置的上述導(dǎo)電性帶上，來(lái)將相鄰的上述半導(dǎo)體單元的上表面和下表面交替地電連接的工序；和對(duì)上述半導(dǎo)體單元的上表面和下表面上已虛壓接的上下一對(duì)上述引線同時(shí)進(jìn)行實(shí)壓接的工序。
全文摘要
本發(fā)明具備帶粘貼機(jī)構(gòu)(13)，在從供給部(12)供給的半導(dǎo)體單元的上表面和下表面同時(shí)粘貼粘性的導(dǎo)電性帶；輸送機(jī)構(gòu)(14)，節(jié)距式進(jìn)給已粘貼有導(dǎo)電性帶的半導(dǎo)體單元；引線加工機(jī)構(gòu)(15a～15d)，將引線加工成形；虛壓接機(jī)構(gòu)(15)，設(shè)置在與節(jié)距式進(jìn)給的半導(dǎo)體單元相對(duì)置的部位，保持成形后的引線，在節(jié)距式進(jìn)給的半導(dǎo)體單元的上表面和下表面設(shè)置的導(dǎo)電性帶上反復(fù)進(jìn)行引線的虛壓接，交替地連接相鄰的半導(dǎo)體單元的上表面和下表面；和實(shí)壓接機(jī)構(gòu)(16)，與虛壓接機(jī)構(gòu)相比，配置在半導(dǎo)體單元的進(jìn)給方向下游側(cè)，對(duì)半導(dǎo)體單元的上表面和下表面虛壓接的上下一對(duì)引線同時(shí)進(jìn)行實(shí)壓接。
文檔編號(hào)H01L31/042GK102449781SQ20108002408
公開日2012年5月9日 申請(qǐng)日期2010年5月24日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月3日
發(fā)明者安部光仁, 川崎朋義 申請(qǐng)人:芝浦機(jī)械電子株式會(huì)社