專利名稱：基片傳輸裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及有機(jī)發(fā)光二極管生產(chǎn)制造領(lǐng)域，更具體地涉及一種能實(shí)現(xiàn)基片在各種工藝腔體中勻速、無震動(dòng)地傳輸?shù)幕瑐鬏斞b置。
背景技術(shù)：
有機(jī)發(fā)光顯示屏，0LED，即有機(jī)發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting Diode)，又稱為有機(jī)電激光顯示(Organic Electroluminesence Display，0ELD)。因?yàn)榫邆漭p薄、省電等特性，OLED顯示技術(shù)與傳統(tǒng)的LCD顯示方式不同，無需背光燈，采用非常薄的有機(jī)材料涂層和玻璃基板，當(dāng)有電流通過時(shí)，這些有機(jī)材料就會(huì)發(fā)光。而且OLED顯示屏幕可以做得更輕更薄，可視角度更大，并且能夠顯著節(jié)省電能。OLED的基本結(jié)構(gòu)是由一薄而透明具半導(dǎo)體特性之銦錫氧化物(ITO)，與電力之正極相連，再加上另一個(gè)金屬陰極，包成如三明治的結(jié)構(gòu)。整個(gè)結(jié)構(gòu)層中包括了 空穴傳輸層 (HTL)、發(fā)光層(EL)與電子傳輸層(ETL)。當(dāng)電力供應(yīng)至適當(dāng)電壓時(shí)，正極空穴與陰極電荷就會(huì)在發(fā)光層中結(jié)合，產(chǎn)生光亮，依其配方不同產(chǎn)生紅、綠和藍(lán)RGB三原色，構(gòu)成基本色彩。 OLED的特性是自己發(fā)光，不像TFT LCD需要背光，因此可視度和亮度均高，其次是電壓需求低且省電效率高，加上反應(yīng)快、重量輕、厚度薄，構(gòu)造簡(jiǎn)單，成本低等，被視為21世紀(jì)最具前途的產(chǎn)品之一。OLED基片在加工的過程中需要在真空腔體中有效的傳動(dòng)的傳輸結(jié)構(gòu)，目前現(xiàn)有常用的基片傳輸裝置10(Τ是如圖1所示齒輪r及基片基片載體基片基片載體 上設(shè)置有齒條;T，通過齒輪f與齒條3、的嚙合來傳動(dòng)基片載體2、的目的，但是采用齒輪f與齒條;T嚙合的要求比較高，且在不同時(shí)段調(diào)節(jié)同步時(shí)比較復(fù)雜，使用過程中由于機(jī)械松動(dòng)會(huì)產(chǎn)生齒輪、齒條嚙合問題。因此，亟需一種能實(shí)現(xiàn)基片在各種工藝腔體中勻速、無震動(dòng)地傳輸?shù)幕瑐鬏斞b置。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種能實(shí)現(xiàn)基片在各種工藝腔體中勻速、無震動(dòng)地傳輸?shù)幕瑐鬏斞b置。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是一種基片傳輸裝置，用于實(shí)現(xiàn)基片在各種工藝腔體中傳輸，其中，所述基片傳輸裝置包括驅(qū)動(dòng)裝置、傳動(dòng)輪、橡膠條及承載基片用的基片載體，所述基片載體呈平板結(jié)構(gòu)且兩側(cè)邊分別固定有所述橡膠條，所述傳動(dòng)輪設(shè)置于所述基片載體的兩側(cè)且與所述橡膠條過盈配合，所述驅(qū)動(dòng)裝置與所述傳動(dòng)輪連接， 所述驅(qū)動(dòng)裝置通過所述傳動(dòng)輪帶動(dòng)所述基片載體運(yùn)動(dòng)。較佳地，所述傳動(dòng)輪為齒輪。采用所述齒輪與所述硅橡膠過盈配合，且所述橡膠條是硅膠材質(zhì)的材料制成的，所述齒輪與所述硅膠材質(zhì)的橡膠條之間的摩擦力使得所述基片載體前進(jìn)或者后退，此結(jié)構(gòu)安裝調(diào)試簡(jiǎn)單，無需調(diào)試在各個(gè)模塊之間的齒輪的同步問題，就能夠讓所述基片載體在各個(gè)工藝腔中勻速、無震動(dòng)地傳輸。較佳地，所述傳動(dòng)輪為滾輪。采用所述滾輪與所述橡膠條過盈配合，且所述橡膠條是硅膠材質(zhì)的材料制成的，所述滾輪與所述硅膠材質(zhì)的橡膠條之間的摩擦力使得所述基片載體前進(jìn)或者后退，且所述滾輪與所述硅膠材質(zhì)的橡膠條配合時(shí)，對(duì)所述硅膠材質(zhì)的橡膠條造成的損害甚微，有利于設(shè)備的長(zhǎng)期使用，此結(jié)構(gòu)安裝調(diào)試簡(jiǎn)單，無需調(diào)試在各個(gè)模塊之間的滾輪的同步問題，就能夠讓所述基片載體在各個(gè)工藝腔中勻速、無震動(dòng)地傳輸。與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于在本實(shí)用新型基片傳輸裝置中，所述傳動(dòng)輪設(shè)置于所述基片載體的兩側(cè)且與所述橡膠條過盈配合，所述驅(qū)動(dòng)裝置與所述傳動(dòng)輪連接，所述驅(qū)動(dòng)裝置通過所述傳動(dòng)輪帶動(dòng)所述基片載體運(yùn)動(dòng)。本實(shí)用新型基片傳輸裝置安裝時(shí)應(yīng)根據(jù)所述基片載體的運(yùn)行情況調(diào)節(jié)所述傳動(dòng)輪與所述橡膠條之間的的過盈量，不可過緊，亦不可過松，過緊容易損壞所述橡膠條，而過松會(huì)讓所述傳動(dòng)輪與所述橡膠條出現(xiàn)滑動(dòng)的現(xiàn)象。所述橡膠條與所述基片載體靠粘合連接，而所述橡膠條能夠耐300攝氏度的高溫，且韌性好，不影響真空環(huán)境的優(yōu)良特點(diǎn)。值得一提的是，單邊所述傳動(dòng)輪的運(yùn)轉(zhuǎn)方向及速度應(yīng)是同步，且與對(duì)邊所述傳動(dòng)輪運(yùn)轉(zhuǎn)方向相反，才能確?；d體向前或向后的正常運(yùn)動(dòng)。本實(shí)用新型基片傳輸裝置改變了以前對(duì)齒輪、齒條的嚙合要求比較高，且在不同的模塊調(diào)節(jié)同步的方式比較復(fù)雜，避免了使用過程中由于機(jī)械松動(dòng)而產(chǎn)生齒輪、齒條嚙合不良的問題。通過以下的描述并結(jié)合附圖，本實(shí)用新型將變得更加清晰，這些附圖用于解釋本實(shí)用新型的實(shí)施例。

圖1為本實(shí)用新型基片傳輸裝置一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實(shí)用新型基片傳輸裝置另一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
現(xiàn)在參考附圖描述本實(shí)用新型的實(shí)施例，附圖中類似的元件標(biāo)號(hào)代表類似的元件。如上所述，如圖1及圖2所示，本實(shí)用新型提供的基片傳輸裝置100，用于實(shí)現(xiàn)基片1 在各種工藝腔體中傳輸，其中，所述基片傳輸裝置100包括驅(qū)動(dòng)裝置(圖上未示)、傳動(dòng)輪 20a、橡膠條30及基片載體10，所述基片載體10呈平板結(jié)構(gòu)用于承載基片1，且兩側(cè)邊分別固定有所述橡膠條30，所述傳動(dòng)輪20a設(shè)置于所述基片載體10的兩側(cè)且與所述橡膠條30 過盈配合，所述驅(qū)動(dòng)裝置與所述傳動(dòng)輪20a連接，所述驅(qū)動(dòng)裝置通過所述傳動(dòng)輪20a帶動(dòng)所述基片載體10運(yùn)動(dòng)。較佳者，如圖1所示，所述傳動(dòng)輪20a為齒輪，采用所述齒輪與所述橡膠條30過盈配合，且所述橡膠條30是硅膠材質(zhì)的材料制成的，所述齒輪與所述硅膠材質(zhì)的橡膠條30之間的摩擦力使得所述基片載體10前進(jìn)或者后退，此結(jié)構(gòu)安裝調(diào)試簡(jiǎn)單，無需調(diào)試在各個(gè)模塊之間的傳動(dòng)輪20a的同步問題，安裝便可直接使用，就能夠讓所述基片載體10在各個(gè)工藝腔中勻速、無震動(dòng)地傳輸。較佳者，如圖2所示，所述傳動(dòng)輪20b為滾輪。采用所述滾輪與所述橡膠條30過盈配合，且所述橡膠條30是硅膠材質(zhì)的材料制成的，所述滾輪與所述硅膠材質(zhì)的橡膠條30 之間的摩擦力使得所述基片載體10前進(jìn)或者后退，且所述滾輪與所述橡膠條30配合時(shí)，對(duì)所述橡膠條30造成的損害甚微，有利于增長(zhǎng)設(shè)備的壽命，此結(jié)構(gòu)安裝調(diào)試簡(jiǎn)單，無需調(diào)試在各個(gè)模塊之間的滾輪的同步問題，安裝便可直接使用，就能夠讓所述基片載體10在各個(gè)工藝腔中勻速、無震動(dòng)地傳輸。與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于在本實(shí)用新型基片傳輸裝置100中，所述傳動(dòng)輪20a設(shè)置于所述基片載體10的兩側(cè)且與所述橡膠條30過盈配合，所述驅(qū)動(dòng)裝置與所述傳動(dòng)輪20a連接，所述驅(qū)動(dòng)裝置通過所述傳動(dòng)輪20a帶動(dòng)所述基片載體10運(yùn)動(dòng)。本實(shí)用新型基片傳輸裝置100安裝時(shí)應(yīng)根據(jù)所述基片載體10的運(yùn)行情況調(diào)節(jié)所述傳動(dòng)輪20a與所述橡膠條30之間的的過盈量，不可過緊，亦不可過松，過緊容易損壞所述橡膠條30，而過松會(huì)讓所述傳動(dòng)輪與所述橡膠條30出現(xiàn)滑動(dòng)的現(xiàn)象。所述橡膠條30與所述基片載體10靠粘合連接，而所述橡膠條30能夠耐300攝氏度的高溫，且韌性好，不影響真空環(huán)境的優(yōu)良特點(diǎn)。值得一提的是，單邊所述傳動(dòng)輪的運(yùn)轉(zhuǎn)方向及速度應(yīng)是同步，且與對(duì)邊所述傳動(dòng)輪運(yùn)轉(zhuǎn)方向相反，才能確?；d體10向前或向后的正常運(yùn)動(dòng)。本實(shí)用新型基片傳輸裝置100改變了以前對(duì)齒輪、齒條的嚙合要求比較高，且在不同的模塊調(diào)節(jié)同步的方式比較復(fù)雜，避免了使用過程中由于機(jī)械松動(dòng)而產(chǎn)生齒輪、齒條嚙合不良的問題。以上結(jié)合最佳實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了描述，但本實(shí)用新型并不局限于以上揭示的實(shí)施例，而應(yīng)當(dāng)涵蓋各種根據(jù)本實(shí)用新型的本質(zhì)進(jìn)行的修改、等效組合。
權(quán)利要求1.一種基片傳輸裝置，用于實(shí)現(xiàn)基片在各種工藝腔體中傳輸，其特征在于所述基片傳輸裝置包括驅(qū)動(dòng)裝置、傳動(dòng)輪、橡膠條及承載基片用的基片載體，所述基片載體呈平板結(jié)構(gòu)且兩側(cè)邊分別固定有所述橡膠條，所述傳動(dòng)輪設(shè)置于所述基片載體的兩側(cè)且與所述橡膠條過盈配合，所述驅(qū)動(dòng)裝置與所述傳動(dòng)輪連接，所述驅(qū)動(dòng)裝置通過所述傳動(dòng)輪帶動(dòng)所述基片載體運(yùn)動(dòng)。
2.如權(quán)利要求1所述的基片傳輸裝置，其特征在于所述傳動(dòng)輪為齒輪。
3.如權(quán)利要求1所述的基片傳輸裝置，其特征在于所述傳動(dòng)輪為滾輪。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種基片傳輸裝置，用于實(shí)現(xiàn)基片在各種工藝腔體中傳輸，其中，所述基片傳輸裝置包括驅(qū)動(dòng)裝置、傳動(dòng)輪、橡膠條及承載基片用的基片載體，所述基片載體呈平板結(jié)構(gòu)且兩側(cè)邊分別固定有所述橡膠條，所述傳動(dòng)輪設(shè)置于所述基片載體的兩側(cè)且與所述橡膠條過盈配合，所述驅(qū)動(dòng)裝置與所述傳動(dòng)輪連接，所述驅(qū)動(dòng)裝置通過所述傳動(dòng)輪帶動(dòng)所述基片載體運(yùn)動(dòng)。本實(shí)用新型基片傳輸裝置能實(shí)現(xiàn)基片在各種工藝腔體中勻速、無震動(dòng)地傳輸。
文檔編號(hào)H01L51/56GK202072288SQ20112009642
公開日2011年12月14日 申請(qǐng)日期2011年4月2日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月2日
發(fā)明者劉惠森, 楊明生, 王學(xué)敬, 王曼媛, 范繼良 申請(qǐng)人:東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司