專利名稱：制法報告卡框架和方法
制法報告卡框架和方法 本申請是2009年9月29日提交的中國申請?zhí)枮?00880010615. 5 (國際申請?zhí)枮镻CT/US2008/058319)、發(fā)明名稱為“制法報告卡框架和方法”的發(fā)明專利申請的分案申請。
背景技術：
等離子處理的進步促進了半導體工業(yè)的發(fā)展。半導體工業(yè)早已采用多種制法以生產(chǎn)新器件(例如，MEM，芯片等)。可使用不同的制法來執(zhí)行基片處理。多個制法往往是復合的并且通常在工程師的知識和/或經(jīng)驗的基礎上創(chuàng)建的。考慮這種情況，例如，其中，將處理系統(tǒng)部署于器件制造商工廠。進而，處理系統(tǒng)的制造商會繼承最好的已知方法以輔助器件制造商創(chuàng)建制法。器件制造商會采用這些最好的已知方法來定制制法。另外，所定制的制法也基于器件制造商的工程師的知識和經(jīng)驗、經(jīng)驗數(shù)據(jù)、試錯法等。通常，一種制法的成功執(zhí)行會取決于該制法之外的其他變化因素。其他變化因素包括，但不限于，晶片的狀態(tài)、處理系統(tǒng)的室狀態(tài)、晶片環(huán)境等。結果，工程師不僅要具有制法的豐富知識，還需要理解制法如何與其他變化因素相互作用，如上面提到的那些。在一個示例中，已經(jīng)創(chuàng)建了一個制法并且工程師應用這個制法來生產(chǎn)多個器件。在該制法的執(zhí)行期間，會采集多個數(shù)據(jù)。可能采集的數(shù)據(jù)可以是大量的數(shù)據(jù)點。吸收這些數(shù)據(jù)的能力、確定哪些數(shù)據(jù)點是關鍵數(shù)據(jù)點的能力和/或分析數(shù)據(jù)以修改制法的能力取決于工程師的技能和經(jīng)驗。例如，工程師需要理解制法以及制法如何與可能影響該制法執(zhí)行的其他變化因素相互作用。不幸的是，一個工程師的技術水平和經(jīng)驗會有變化，以及因此反映出制法的“質(zhì)量”。即使工程師具備這些技能和經(jīng)驗，工程師也不能解釋在創(chuàng)建新的制法和/或修改當前制法中的所有不同的變化因素。在另一示例中，在制法的執(zhí)行中會出現(xiàn)問題。分析數(shù)據(jù)以調(diào)試問題的能力也取決于工程師的經(jīng)驗以及他考慮到會導致該問題的不同變化因素而確定該問題的能力。傳統(tǒng)上，可能產(chǎn)生的問題通常假設為硬件問題。結果，會將該處理系統(tǒng)離線以調(diào)試問題。然而，問題的原因并不總是由處理系統(tǒng)導致的。例如，在制法執(zhí)行期間出現(xiàn)的大約60%的脫卡(de-chuck)問題通常不是硬件問題，而是“壞的制法”導致的。不幸的是，到那時，處理系統(tǒng)已經(jīng)被作為問題的潛在源除去了，該制法已經(jīng)被認為是問題的源，蒙受相當?shù)臅r間和資源損失。

發(fā)明內(nèi)容
在一個實施例中，本發(fā)明涉及用于執(zhí)行制法評估的計算機實現(xiàn)的方法。該計算機實現(xiàn)的方法包括將多個數(shù)據(jù)源集成到單個制法報告卡框架。該制法報告卡框架包括編輯器，用以與該多個數(shù)據(jù)源交互。該計算機實現(xiàn)的方法還包括顯示多個圖表顯示。該多個圖表顯不的每個圖表顯不配置為表不用于至少一個基片的一組信號參數(shù)的一個信號參數(shù)。該計算機實現(xiàn)的方法進一步包括為該組信號參數(shù)的每個提供多個準則。該計算機實現(xiàn)的方法又包括為該組信號參數(shù)的每個提供多個范圍。該計算機實現(xiàn)的方法又進一步包括提供專家級指導，其配置為提供制法分析中的指導。上面的概要僅涉及這里公開的本發(fā)明許多實施例的一個，并且不是為了限制本發(fā)明的范圍，其在這里在權利要求中闡述。下面在本發(fā)明詳細描述中結合附圖更詳細的描述本發(fā)明的這些和其他特征。


在附圖中，本發(fā)明作為示例而不是作為限制來說明，其中類似的參考標號指示相似的元件，其中圖I示出，在本發(fā)明的一個實施例中，制法報告卡框架的簡圖。
圖2示出，在一個實施例中，制法報告卡界面主視圖的示例。圖3示出，在本發(fā)明的一個實施例中，信號跟蹤更深入的視圖。圖4示出，在本發(fā)明的一個實施例中，制法報告卡界面的幫助視圖。圖5示出，在本發(fā)明的一個實施例中，說明如何應用制法報告卡編輯器以促進協(xié)作的示例的流程圖。圖6示出，在本發(fā)明的一個實施例中，說明如何應用制法報告卡編輯器來促進創(chuàng)建/修改制法的示例的流程圖。圖7示出，在本發(fā)明的一個實施例中，說明如何應用該制法報告卡編輯器促進故障診斷的示例的流程圖。
具體實施例方式現(xiàn)在將根據(jù)其如在附圖中說明的幾個實施方式來具體描述本發(fā)明。在下面的描述中，闡述許多具體細節(jié)以提供對本發(fā)明的徹底理解。然而，對于本領域技術人員，顯然，本發(fā)明可不利用這些具體細節(jié)的一些或者全部而實施。在其他情況下，公知的工藝步驟和/或結構沒有詳細說明，以避免對本發(fā)明的不必要的混淆。下文描述多個不同的實施例，包括方法和技術。應當記住，本發(fā)明還可涵蓋包括計算機可讀介質(zhì)的制造品，在該介質(zhì)上存儲用于執(zhí)行該創(chuàng)新性技術的實施例的計算機可讀指令。該計算機可讀介質(zhì)可包括，例如，半導體、磁、光磁，光或其他形式的用于存儲計算機可讀代碼的計算機可讀介質(zhì)。進而，本發(fā)明還可涵蓋實施本發(fā)明實施例的設備。這種設備可包括專用和/或可編程的電路以執(zhí)行與本發(fā)明實施例有關的任務。這種設備的實施例包括通用計算機和/或合適編程的專用計算機，以及可包括計算機/計算裝置與適于與本發(fā)明實施例有關的任務的專用/可編程電路的組合。本發(fā)明的一方面，發(fā)明人認識到制法不是在“真空環(huán)境”中創(chuàng)建的。而是，一個制法，尤其是一個好的制法，需要知識、技能以及來自多個變化因素的數(shù)據(jù)源(例如，制法、工藝數(shù)據(jù)、歷史數(shù)據(jù))的集成。并且，一個好的制法需要公司內(nèi)部和外部的多個資源的協(xié)作努力，如工具制造商、基片制造商等。按照本發(fā)明的實施例，計算機實現(xiàn)的裝置提供用戶友好系統(tǒng)，該系統(tǒng)設計為在單個制法報告卡框架下集成多個數(shù)據(jù)源(例如，制法、工具數(shù)據(jù)、傳感器數(shù)據(jù)、最佳已知方法等)。并且，該制法報告卡框架包括能夠評估制法的交互式準則區(qū)域(criteria section)。進而，該制法報告卡框架包括專家級的指導(如幫助區(qū)域)以在制法分析中提供指導。另夕卜，該制法報告卡框架提供用于創(chuàng)建、修改和/或驗證制法的協(xié)作基礎結構。在本發(fā)明的一個實施例中，該制法報告卡框架提供制法報告卡編輯器。利用該制法報告卡編輯器，可以執(zhí)行多個功能。這些功能包括，但不限于，分級功能、指導功能和協(xié)作功能。利用該分級功能，可根據(jù)制法在一個具體工具上執(zhí)行的好壞而將該制法分級。如本領域公知的，一個制法不會在所有的工具上都能相似地執(zhí)行。執(zhí)行的差異可能是由該制法的較窄范圍導致的。并且，該制法的執(zhí)行也會由于處理環(huán)境的變化而受到影響，如設備差異、基片差異、工具差異等。因此，該制法報告卡編輯器可提供制法等級，其可幫助用戶確定如何修改制法以說明例如工具和/或處理環(huán)境的改變。該制法報告卡編輯器可執(zhí)行的另一功能是指導功能。在一個實施例中，該制法報告卡可集成工業(yè)準則、最佳已知方法、專家級的知識和/或過去確定信號參數(shù)的經(jīng)驗以及可能會影響該制法成功執(zhí)行的每個信號參數(shù)的準則。由于該制法報告卡編輯器已經(jīng)識別出 分析制法的實質(zhì)性要素，所以沒有經(jīng)驗的用戶可應用該制法報告卡編輯器來提供分析中的指導。另外，該制法報告卡編輯器可通過包括幫助區(qū)域來提供進一步的指導。該幫助區(qū)域可包括，例如，對不合格準則的解釋、解決該不合格準則的可能解決方案、準則的解釋等。另外，該制法報告卡編輯器可支持協(xié)作功能。通常，制法創(chuàng)建、修改和/或驗證的過程通常不是由一個人執(zhí)行的，而是由一個團隊。另外，該團隊可能包括來自公司內(nèi)部和外部的成員。在一個實施例中，該制法報告卡編輯器提供單個框架，多個用戶可從該框架存儲、查看、分析和操作數(shù)據(jù)。在一個示例中，地理位置分散的和/或處于不同時區(qū)的用戶可以協(xié)作，因為所有的成員都在同樣的框架內(nèi)工作。因此，每個成員在公共前提的基礎上執(zhí)行數(shù)據(jù)分析。為了促進前面所述的功能，該制法報告卡編輯器可將多個輸入數(shù)據(jù)源(例如，制法、工具數(shù)據(jù)、工藝數(shù)據(jù)、最佳已知方法等)集成到單個位置中。在一個實施例中，該輸入數(shù)據(jù)源可上傳到該制法報告卡框架中。通過將該數(shù)據(jù)上傳到該制法報告卡編輯器，能夠容易獲得該數(shù)據(jù)用以分析。在另一實施例中，該制法報告卡編輯器可與多個不同數(shù)據(jù)源連接以提取分析所需的數(shù)據(jù)。通過及時提取數(shù)據(jù)，可以最小化該制法報告卡編輯器的存儲器要求。在本發(fā)明的一個實施例中，該制法報告卡編輯器包括信號參數(shù)的圖表顯示、每個信號參數(shù)的準則和范圍以及專家級指導(例如，幫助區(qū)域)。在一個實施例中，所表述的經(jīng)過提煉的數(shù)據(jù)可基于，但不限于從工具制造商、歷史數(shù)據(jù)和/或工業(yè)準則收集到的專家級知識來選擇。在一個示例中，該制法報告卡編輯器可顯示選定數(shù)目的信號參數(shù)，這些參數(shù)會對制法的成功執(zhí)行具有影響。對于需要更綜合的分析的情況，該制法報告卡編輯器還可提供切片和切塊(slicing-and-dicing)該數(shù)據(jù)的界面。參照附圖和下面的討論，可以更好地理解本發(fā)明的特征和優(yōu)點。圖I示出，在本發(fā)明的一個實施例中，制法報告卡框架100的簡圖。制法報告卡框架100可包括制法報告卡編輯器102、多個輸入數(shù)據(jù)源104和多個數(shù)據(jù)/任務輸出106。與現(xiàn)有技術中分析受限于用戶(例如，工藝工程師、技術員等)知識、經(jīng)驗和訪問多個數(shù)據(jù)源的能力不同，該創(chuàng)新性的制法報告卡框架100提供簡單的基礎結構，用于在單個框架內(nèi)集成多個輸入數(shù)據(jù)源104。在本發(fā)明的一個實施例中，多個輸入數(shù)據(jù)源114可上載到制法報告卡編輯器102。多個輸入數(shù)據(jù)源104的示例可包括，但不限于，執(zhí)行的制法108、處理系統(tǒng)組件(例如，傳感器、計量工具、處理模塊等)采集的工藝數(shù)據(jù)110、最佳已知方法112 (例如，創(chuàng)建制法的最佳實施方式)、專家級知識114、處理環(huán)境數(shù)據(jù)116 (例如，工具ID、晶片ID、室ID、電壓等)通過應用制法報告卡編輯器102，可以查看、分析和/或操作多個輸入數(shù)據(jù)源104以產(chǎn)生多個輸出106。多個輸出106可包括報告以及數(shù)據(jù)分析，其可幫助制法改進114、制法創(chuàng)建116、故障診斷118、最佳已知方法修改120等。在本發(fā)明的一個實施例中，制法報告卡編輯器102可提供三個功能。第一，該制法報告卡編輯器可執(zhí)行分級功能。在一個示例中，該制法報告卡編輯器可提供給定具體工具上的制法執(zhí)行的細節(jié)。第二，制法報告卡編輯器102可執(zhí)行指導功能。在一個示例中，該制法報告卡編輯器可在出現(xiàn)問題時通過識別該問題，該問題的原因和/或解決該問題的可能解決方案提供指導。由于可集成到該制法報告卡編輯器中的現(xiàn)有經(jīng)驗和專家級知識的集成性，該指導功能是可能的。第三，制法報告卡編輯器102可提供協(xié)作功能。在一個示例中，不能完成制法執(zhí)行的制法報告卡的用戶能通過該制法報告卡編輯器與其他團隊成員協(xié)作。因此，該制法報告卡編輯器可提供公共框架，其促進協(xié)作而不管地理距離和時區(qū)差異。下面幾

，在一個實施例中該制法報告卡編輯器如何執(zhí)行這三個功能。更具體地，圖2-4說明制法報告卡界面的示例和圖5-7說明該制法報告卡編輯器可如何用于實現(xiàn)前述功能的示例。圖2示出，在一個實施例中，制法報告卡界面的主視圖的示例。在主視圖中，界面200可包括一個的或多個圖表顯示(202、204、206、208和210)。每個圖表顯示可表示一個信號追蹤。如這里所討論的，信號追蹤指的是在整個制法處理期間為信號參數(shù)集中的過剩數(shù)據(jù)。在本發(fā)明的一個實施例中，每個圖表顯示可包括來源于一個或多個基片的信號追蹤。在制法執(zhí)行期間，可采集數(shù)以百計的信號參數(shù)(例如，偏壓、氣壓、射頻等)?，F(xiàn)有技術中，審查這些過剩數(shù)據(jù)需要時間、資源和經(jīng)驗。因此，沒有經(jīng)驗的工程師因為缺乏知識和經(jīng)驗而受到妨礙。即使工程師具有經(jīng)驗和知識，這個工程師通?？赡軟]有該處理工具的知識，以快速識別可能相關的信號參數(shù)。結果，大多數(shù)工程師會避開數(shù)據(jù)分析直到出現(xiàn)問題。盡管可能采集數(shù)以百計的信號參數(shù)，但是確定制法的成功執(zhí)行不需要所有信號參數(shù)。在一個實施例中，作為圖表顯示出現(xiàn)的信號參數(shù)是在專家級知識的基礎上預先定義的，這些知識可能來自工業(yè)準則、工具制造商的建議和/或有經(jīng)驗的公司技術員/工程師。在一個示例中，在制法執(zhí)行期間可能采集100個信號參數(shù)。然而，這100個信號參數(shù)中，只有18個信號參數(shù)在識別成功的制法執(zhí)行中被識別為關鍵點。因此，該制法報告卡界面可只示出這18個信號參數(shù)。盡管將18個信號參數(shù)識別為關鍵點，但是信號參數(shù)的圖表顯示可以留出空格，如果沒有為該信號參數(shù)采集數(shù)據(jù)。另外，在一個實施例中，盡管可能只用圖標顯示一小部分選定信號參數(shù)，但是如果用戶想要進行更深入的分析，已經(jīng)收集的其余信號參數(shù)也可通過該制法報告卡界面獲得用以分析。在一個實施例中，界面200還可包括準則顯示區(qū)域214，其可包括工藝報告卡區(qū)域216、狀態(tài)區(qū)域218、注釋區(qū)域(note section) 220和幫助區(qū)域222。工藝報告卡區(qū)域216可包括多個準則、疑問和/或標準，可為用戶提供指南，用于分析與所采集的該信號參數(shù)關聯(lián)的制法。在一個實施例中，工藝報告卡區(qū)域216可由工具制造商基于最佳已知方法預先建立。在另一實施例中，工藝報告卡區(qū)域216可由公司的工程師在知識、經(jīng)驗以及由該公司建立的準則的基礎上建立和/或修改。另外，準則區(qū) 域214可包括狀態(tài)區(qū)域218，其可用于定義工藝報告卡區(qū)域216的狀況。在一個實施例中，狀態(tài)區(qū)域218可結合定義這些狀態(tài)的范圍。在一個實施例中，這些范圍可以在最佳已知方法的基礎上定義。在另一實施例中，這些范圍可在由公司實踐所建立的指南的基礎上構建。在一個實施例中，狀態(tài)區(qū)域218可自動和/或手動輸入。在一個示例中，該制法報告卡模塊可具有智能，這種智能能夠在制法執(zhí)行期間通過分析所采集到的數(shù)據(jù)衍生出工藝報告卡區(qū)域216每個準則的狀態(tài)。在另一示例中，一個或多個準則可能需要人工干預。在一個實施例中，失效狀態(tài)要求用戶在注釋區(qū)域220提供，例如，對于該失效的解釋。在一個示例中，準則224具有“失效”狀態(tài)。結果，用戶可能必須為準則224完成注釋區(qū)域220。在另一示例中，因為準則226具有“通過”狀態(tài)，注釋區(qū)域220可以是可選的。注釋區(qū)域220可不僅提供對準則的狀態(tài)的解釋，還可提供進一步分析的指導。在一個示例中，修改制法。來源于過去的制法執(zhí)行的注釋可提供對如何最佳地修改該制法的指導。為了幫助數(shù)據(jù)分析，可提供幫助區(qū)域222。幫助區(qū)域222可包括一組幫助片段(help segments),該片段可以與工藝報告卡區(qū)域214中每個準則關聯(lián)。在一個實施例中，幫助區(qū)域222可用于提供對每個準則的指導。例如，幫助區(qū)域222可提供準則224為什么失效的原因。另外，幫助區(qū)域222可提供如何修正已經(jīng)識別出的問題的指令。如前所述，制法報告卡界面可以顯示一個或多個圖表顯示。對于每個圖表顯示，用戶可進行更廣泛的信號參數(shù)分析。圖3示出，在本發(fā)明的一個實施例中，信號追蹤更深入的視圖。制法報告卡界面300可包括多個信號追蹤的多個圖表顯示?？紤]這種情況，例如，其中用戶想執(zhí)行更廣泛的信號追蹤分析，如圖表顯示302所示。在一個實施例中，該用戶可選擇圖表顯不302來顯不深入視圖304。深入視圖304可提供圖表顯不302的放大視圖。并且，深入視圖還可定義每個信號追蹤，其可以顯示在圖表顯示302上。在一個示例中，對于給定的信號參數(shù)，放大圖表顯示306可示出25個信號追蹤。對于每個信號追蹤，可提供信號說明(signal legend) 3080例如，信號追蹤310與信號說明308中的鍵312相關。在本發(fā)明的一個實施例中，可顯示為一個信號追蹤采集的實際數(shù)據(jù)。在一個示例中，可通過在放大圖表顯示306中選擇信號追蹤、在信號說明308中選擇鍵和/或選擇顯示數(shù)據(jù)按鈕314而顯示所采集的數(shù)據(jù)。如前所述，可應用幫助區(qū)域來為用戶提供指導。圖4示出，在本發(fā)明的一個實施例中，制法報告卡界面的幫助視圖?？紤]這種情況，例如，其中用戶可能沒有理解為什么準則402會具有“失效”狀態(tài)404。通過點擊幫助區(qū)域408的幫助片段406，該用戶可彈出幫助對話框410，其提供該準則的指南和/或該失效狀態(tài)的解釋。在一個實施例中，顯示在幫助對話框410中的知識可以是來源于工業(yè)標準、工具制造商和/或內(nèi)部工程師的很多專家級知識。
利用該制法報告卡框架，多個數(shù)據(jù)源(其傳統(tǒng)上存儲于不同的位置)現(xiàn)在可以以能夠促進分析和/或協(xié)作的方式進行合并和呈現(xiàn)。接下來幾幅圖示出，在本發(fā)明的實施例中，如何應用制法報告卡框架促進協(xié)作、制法創(chuàng)建/修改、故障診斷等的示例。
圖5示出，在本發(fā)明的一個實施例中，說明可如何應用制法報告卡編輯器促進協(xié)作的示例的流程圖。在第一步驟502，激活制法報告卡界面?？紤]這種情況，例如，其中用戶(如技術員)只是完成執(zhí)行制法。在接著的步驟504，用戶可查看該制法報告卡界面的準則區(qū)域以確定準則是否有遺漏狀態(tài)(missing status)。在一個實施例中，該制法報告卡編輯器可具有智能,這種智能能夠在一個或多個輸入數(shù)據(jù)源(例如，制法、制法執(zhí)行期間采集的數(shù)據(jù)、專家級知識、最佳已知方法等)的基礎上自動更新一個或多個準則。在一個實施例中，一個或多個準則可能要求人工干預以更新狀態(tài)。如果一個準則已經(jīng)識別為具有遺漏狀態(tài)，那么在下面的步驟506，根據(jù)用戶的能力作出確認以更新該遺漏狀態(tài)。在一個實施例中，該用戶的登錄狀態(tài)會限制該用戶更新某準則域的能力。在另一實施例中，該用戶可做出確認，其缺少更新該遺漏狀態(tài)所需的知識。如果該用戶能夠更新該遺漏狀態(tài)，那么在接下來的步驟508，該用戶執(zhí)行該更新。在一個實施例中，該幫助區(qū)域可為該用戶提供在更新該遺漏狀態(tài)中的幫助。然而，如果該用戶不能更新該遺漏狀態(tài)，那么在接下來的步驟510，該用戶可導出該數(shù)據(jù)并且將文件轉(zhuǎn)送至一個或多個團隊成員。在一個實施例中，該導出的文件可包括數(shù)據(jù)注釋、每個準則的狀態(tài)等。在現(xiàn)有技術中，來自團隊同伴的響應的質(zhì)量取決于該用戶描述該問題的能力。與現(xiàn)有技術不同，執(zhí)行分析以更新該遺漏狀態(tài)所需的這些數(shù)據(jù)源可能已經(jīng)結合進該制法報告卡的導出文件。因此，該制法報告卡編輯器可通過提供公共框架促進團隊協(xié)作，由該框架，位于不同地理區(qū)域和不同時區(qū)的團隊成員可以協(xié)作。一旦收到該導出的文件，團隊成員可將該導出的文件導入其版本的制法報告卡編輯器。在一個實施例中，該制法報告卡編輯器可提供導入功能以將所導出的文件導入至成員的制法報告卡編輯器。導入/導出的文件的能力可最小化管理團隊協(xié)作的管理任務。因為該制法報告卡編輯器提供基本結構，通過該制法報告卡編輯器協(xié)作的方法提供比僅通過電子郵件協(xié)作更優(yōu)越的通信和協(xié)作工具。該制法報告卡編輯器不僅為制法執(zhí)行期間采集的數(shù)據(jù)提供中心存儲處，也還提供數(shù)據(jù)可以與之對比的實際制法。另外，該制法報告卡還可提供專家級知識和過去的經(jīng)驗的積累以提供對該用戶的指導。另外，可以存儲問題和解決方案，用于以后參考。因此，該制法報告卡編輯器提供提高知識共享程度的框架。結果，一少部分人經(jīng)歷知識可以共享，以及將來類似情況的發(fā)生將從所得到的知識中獲益。盡管按照更新準則的狀態(tài)來討論圖5，但是該制法報告卡框架協(xié)作能力不限于這個示例。而是，圖5是如何將該制法報告卡框架用作協(xié)作工具的說明性示例。因此，該制法報告卡框架提供性能價格比高的工具，用以提高跨越地理距離和時差的協(xié)作。該制法報告卡框架不僅允許同一公司內(nèi)的團隊成員之間的協(xié)作，也可以允許公司之間成員的協(xié)作，如器件制造商的工程師和工具制造商的工程師。圖6示出，在本發(fā)明的一個實施例中，說明如何應用制法報告卡編輯器來促進制法創(chuàng)建/修改的示例的流程圖?？紤]這種情況，例如，其中該工具制造商已經(jīng)開發(fā)了制法。然而，在器件制造商的生產(chǎn)工廠，該制法處于某些原因不能產(chǎn)生同樣結果。在第一步驟602，可激活制法報告卡編輯器。在現(xiàn)有技術中，修改制法的任務不僅取決于工程師的技能和經(jīng)驗，也還取決于工程師查找和分析不同數(shù)據(jù)源的能力和/或意愿。不同于現(xiàn)有技術，該創(chuàng)新性的制法報告卡編輯器可整合多個數(shù)據(jù)源(例如，制法、工藝數(shù)據(jù)等)，因此解除工程師必須進行檢索和查找多種不同數(shù)據(jù)源的繁重工作。另外，沒有經(jīng)驗以及有經(jīng)驗的工程師都可從該專家級知識、最佳已知方法和/或可能集合在該制法報告卡編輯器中的工業(yè)標準中獲益。在接下來的步驟604，該用戶可為單個信號參數(shù)分析該一個或多個信號追蹤。在一個示例中，該用戶可有為信號參數(shù)分析一個或多個信號追蹤以確定制法改變的效果的選擇權。例如，該用戶可分析單個追蹤以確定是否是硬件改變導致準則失效。在另一示例中，該用戶可分析一批單個追蹤以確定哪個信號追蹤背離大多數(shù)。 在接下來的步驟606，該用戶可與其他團隊成員協(xié)作。因為修改制法的過程通常不是獨立事件，所以該用戶導出其發(fā)現(xiàn)并且將其與其團隊成員共享。如圖5所示，該制法報告卡編輯器提供公共框架，其促進信息共享。該制法報告卡框架使得多人能夠共同工作，以便確定怎樣最佳地修改制法。通過在制法報告卡框架內(nèi)執(zhí)行制法修改，該制法可從以該創(chuàng)新性制法報告卡框架為特征的共享知識中獲益。在接下來的步驟608，當前制法可用該修改更新。利用該制法報告卡編輯器，簡化了修改制法的過程，因為該制法報告卡編輯器將多個輸入數(shù)據(jù)源集成到單個源中。進而，由于該制法報告卡界面可包括幫助對話，該幫助對話集成最佳已知方法和專家級知識，該修改制法的過程不再取決于具體工程師的知識和技能。因此，通過應用該制法報告卡框架，在由不同的團隊成員執(zhí)行的分析和集成進該框架專家級知識的基礎上，可以拓寬該制法以容納更多的情況。圖7示出，在本發(fā)明的一個實施例中，說明如何應用該制法報告卡編輯器以促進故障診斷的示例的流程圖?？紤]這種情況，例如，其中在生產(chǎn)車間出現(xiàn)處理問題。在現(xiàn)有技術中，趨勢是假設處理工具是該問題的原因。結果，花費時間和資源來確定該工具的問題。然而，該問題可能不總是與硬件問題相關，可能涉及執(zhí)行的制法和/或設施。在第一步驟702，識別問題。在接下來的步驟704，激活制法報告卡編輯器。在接下來的步驟706，分析該數(shù)據(jù)。在現(xiàn)有技術中，數(shù)據(jù)分析可能要求用戶分析數(shù)據(jù)文件，該數(shù)據(jù)文件可包括過剩的數(shù)據(jù)點。在不具備這些知識和經(jīng)驗的情況下，沒有經(jīng)驗的工程師即使不用幾個星期或幾個月也需要幾天的時間來確定問題的原因。即便工程師有經(jīng)驗，也有很多數(shù)據(jù)需要工程師花大量的時間和資源分析這些數(shù)據(jù)。然而，該制法報告卡編輯器已經(jīng)識別出可能導致制法失效的那些信號參數(shù)。利用該制法報告卡編輯器，該用戶能夠是快速識別需要分析的一個或多個信號參數(shù)。進而，一旦識別出該問題信號參數(shù)，那么用戶從一個或多個基片取出數(shù)據(jù)用以進行更深入的分析。在一個示例中，為一個信號參數(shù)分析25個信號追蹤。該25個信號追蹤之中，一個信號追蹤明顯不同于其他信號追蹤。在下面的步驟708，可識別一個或多個可能的原因。在一個示例中，識別奇數(shù)信號追蹤。可執(zhí)行的快速分析對比各個不同基片之間制法內(nèi)容。如果該奇數(shù)信號追蹤與其他信號追蹤制法相同，那么可排除該制法是問題原因的可能性。然而，如果該奇數(shù)信號追蹤在制法上具有一個或多個不同之處，那么可進行進一步的分析以確定該制法是否是問題原因。在另一示例中，如果確定該制法沒問題并且確定基片良好，那么可能的問題原因是工具和/或設備問題所導致的。利用該制法和該工藝數(shù)據(jù)，該制法報告卡編輯器可用作切片和切塊(dice-and-slice)該數(shù)據(jù)的分析工具以進行深入分析并確定問題源。正如可從本發(fā)明的一個或多個實施例認識到的，該制法報告卡框架提供單個界面用以進行對制法的分析。利用該制法報告卡框架，可將多個輸入數(shù)據(jù)源吸收進單個源。并且，該制法報告卡框架提供專家級知識，降低了工程師在制法開發(fā)和維護所有方面都熟練的必要性。因此，通過將制法創(chuàng)建、修改、維護和故障診斷集中在單個框架下，該制法報告卡框架提供一種性能價格比高的工具，用以在跨越地理距離和時差的共同條件下進行協(xié)作。盡管根據(jù)多個優(yōu)選實施例描述本發(fā)明，但是還有多種改變、置換和等同方式，其落入本發(fā)明的范圍內(nèi)。盡管這里提供了多個不同示例，但是意圖是這些實施例對于本發(fā)明是說明性的而不是限制。 并且，為了方便在這里提供主題和概要，不應當用來解釋這里的權利要求的范圍。進而，摘要是以高度簡略的形式書寫，并且為了方便提供在這里，因此不應當用來解釋或限制表述在權利要求中的整個發(fā)明。如果這里采用術語“組”，那么這種術語是具有通常理解的數(shù)學上的含義，涵蓋零、一或多于一個成員。還應當注意，還有許多可選的方式來實現(xiàn)本發(fā)明的方法和設備。所以，意圖是，下面所附的權利要求解釋為包括落入本發(fā)明主旨和范圍內(nèi)的所有這些改變、置換和等同方式。
權利要求
1.一種用于執(zhí)行制法評估的裝置，所述裝置包括 將多個數(shù)據(jù)源集成進單個制法報告卡框架的模塊，所述制法報告卡框架包括編輯器，用以與所述多個數(shù)據(jù)源交互，所述多個數(shù)據(jù)源包括等離子處理環(huán)境數(shù)據(jù)，所述處理環(huán)境數(shù)據(jù)包括等離子處理工具數(shù)據(jù)； 用于顯示來自所述多個數(shù)據(jù)源的一組信號參數(shù)的多個圖表顯示的模塊； 用于提供用于該組信號參數(shù)的每個的多個準則的模塊； 用于提供用于該組信號參數(shù)的每個的多個范圍的模塊；和 用于提供專家級指導的模塊，所述專家級指導配置為在分析制法中提供指導； 用于提供包括多個幫助片段的幫助區(qū)域的模塊；和 用于提供對用戶點擊所述幫助區(qū)域中的幫助片段作出響應的幫助對話框的模塊，所述幫助對話框提供所述多個準則中的一個或多個的狀態(tài)的一個或多個原因，所述一個或多個原因是至少來源于半導體工業(yè)標準和半導體工業(yè)工具制造的專家級知識的集合。
2.根據(jù)權利要求I所述的裝置，其中所述信號參數(shù)是基片的信號追蹤，所述信號追蹤是在用于所述基片的所述制法的執(zhí)行期間采集的數(shù)據(jù)。
3.根據(jù)權利要求2所述的裝置，其中所述多個準則基于最佳已知方法。
4.根據(jù)權利要求3所述的裝置，其中所述多個范圍顯示為所述狀態(tài)，所述狀態(tài)是通過和失效之一。
5.根據(jù)權利要求4所述的裝置，其中所述制法報告卡框架包括用于提供注釋區(qū)域的模塊，所述注釋區(qū)域為用戶提供用于為所述狀態(tài)提供解釋的位置。
6.根據(jù)權利要求5所述的裝置，進一步包括提供對所述用戶點擊做出反應的所述專家級指導，其中所述專家級指導包括為了針對所述多個準則的每個準則處理問題用戶所要采取的措施的指令。
7.根據(jù)權利要求I所述的裝置，進一步包括提供多個數(shù)據(jù)輸出的模塊，所述數(shù)據(jù)輸出包括報告。
8.根據(jù)權利要求I所述的裝置，其中所述制法報告卡框架配置為提供協(xié)作功能，所述協(xié)作功能促進一組用戶之間的協(xié)作。
9.根據(jù)權利要求I所述的裝置，其中所述制法報告卡框架配置為執(zhí)行分級功能，所述分級功能包括關于所述制法執(zhí)行的信息。
10.根據(jù)權利要求I所述的裝置，其中所述等離子處理環(huán)境數(shù)據(jù)包括等離子處理工具標識符和等離子處理室標識符。
11.根據(jù)權利要求I所述的裝置，其中所述組信號參數(shù)包括氣壓和射頻。
12.根據(jù)權利要求I所述的裝置，其中所述專家級指導進一步配置成為修改所述制法提供指導。
13.根據(jù)權利要求I所述的裝置，進一步包括用于為所述組信號參數(shù)的給定的信號參數(shù)示出多個信號追蹤的模塊。
14.根據(jù)權利要求I所述的裝置，進一步包括 用于將所述多個數(shù)據(jù)源的至少一部分結合進文件的模塊；和 用于導出所述文件的模塊。
15.根據(jù)權利要求14所述的裝置，進一步包括用于將所述文件導入第二編輯器的模塊。
全文摘要
提供一種用于執(zhí)行制法評估的計算機實現(xiàn)的方法。該計算機實現(xiàn)的方法包括將多個數(shù)據(jù)源集成到單個制法報告卡框架。該制法報告卡框架包括編輯器，用以與該多個數(shù)據(jù)源交互。該計算機實現(xiàn)的方法還包括顯示多個圖表顯示。該多個圖表顯示的每個圖表顯示配置為表示用于至少一個基片的一組信號參數(shù)的一個信號參數(shù)。該計算機實現(xiàn)的方法進一步包括為該組信號參數(shù)的每個提供多個準則。該計算機實現(xiàn)的方法又包括為該組信號參數(shù)的每個提供多個范圍。該計算機實現(xiàn)的方法又進一步包括提供專家級指導，其配置為提供制法分析中的指導。
文檔編號H01L21/67GK102637022SQ20121007501
公開日2012年8月15日 申請日期2008年3月26日 優(yōu)先權日2007年3月29日
發(fā)明者安德魯·呂, 戴夫·洪伯德, 查爾斯·波特, 羅伯特·赫夫蒂, 黃忠河 申請人:朗姆研究公司