專利名稱：二液混合型的第一、第二液體及印刷布線板的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于得到混合物形式的感光性組合物的二液混合型的第一、第二液體。更具體而言，本發(fā)明涉及一種優(yōu)選用于在基板上形成阻焊膜或在搭載有發(fā)光二極管芯片的基板上形成反射光的抗蝕膜的二液混合型的第一、第二液體以及使用有該二液混合型的第一、第二液體的印刷布線板的制造方法。
背景技術(shù)：
作為用于保護(hù)印刷布線板免受高溫焊錫損傷的保護(hù)膜，可廣泛使用阻焊膜。另外，在各種電子設(shè)備用途中，在印刷布線板的上面搭載有發(fā)光二極管(以下，簡(jiǎn)稱為L(zhǎng)ED)芯片。在從LED發(fā)出的光中，為了也能夠利用到達(dá)上述印刷布線板的上面?zhèn)鹊墓?，有時(shí)在印刷布線板的上面形成有白色阻焊膜。此時(shí)，不僅能夠利用從LED芯片的表面直接 照射到與印刷布線板相反側(cè)的光，也能夠利用到達(dá)印刷布線板的上面?zhèn)炔⒈话咨韬改に瓷涞姆瓷涔?。因此，能夠提高由LED產(chǎn)生的光的利用效率。作為用于形成上述白色阻焊膜的材料的一例，在下述專利文獻(xiàn)I中，公開(kāi)有一種抗蝕材料，所述抗蝕材料含有利用環(huán)氧樹(shù)脂和水解性烷氧基硅烷的脫醇反應(yīng)而得到的含有烷氧基的硅烷改性環(huán)氧樹(shù)脂、且進(jìn)一步包含含有不飽和基團(tuán)的聚羧酸樹(shù)脂、稀釋劑、光聚合引發(fā)劑及固化密合性賦予劑。在下述專利文獻(xiàn)2中，公開(kāi)有一種包含不具有芳香環(huán)的含羧基樹(shù)脂、光聚合引發(fā)劑、環(huán)氧化合物、金紅石型氧化鈦及稀釋劑的白色阻焊材料?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I :日本特開(kāi)2007-249148號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特開(kāi)2007-322546號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的課題為了在基板上形成抗蝕膜，在基板上涂布如專利文獻(xiàn)廣2中記載那樣的現(xiàn)有的抗蝕材料的情況下，有時(shí)無(wú)法均勻地涂布抗蝕材料而產(chǎn)生涂布不均。例如在利用絲網(wǎng)印刷將現(xiàn)有的抗蝕材料涂布在基板上的情況下，有時(shí)在所涂布的抗蝕材料層中發(fā)現(xiàn)條紋狀的不均。本發(fā)明的目的在于提供一種二液混合型的第一、第二液體以及使用有該二液混合型的第一、第二液體的印刷布線板的制造方法，其中，該第一、第二液體的混合性優(yōu)異且在將混合有第一、第二液體的混合物即感光性組合物涂布在涂布對(duì)象部件上時(shí)，能夠抑制不均而均勻地進(jìn)行涂布。用于解決課題的手段根據(jù)本發(fā)明的主要方面，提供其用于得到作為混合物的感光性組合物的二液混合型的第一、第二液體，該二液混合型的第一、第二液體為混合該第一、第二液體之前的液體，其中，混合有所述第一、第二液體的混合物即感光性組合物整體包含具有羧基的聚合性聚合物、光聚合引發(fā)劑、具有環(huán)狀醚基的化合物、氧化鈦和有機(jī)溶劑，所述感光性組合物中，作為所述有機(jī)溶劑，包含選自一縮二丙二醇單甲醚、一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性(蒸留性狀)中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油中的至少兩種，所述第一液體包含所述聚合性聚合物，并且包含選自一縮二丙二醇單甲醚、一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油中的至少一種作為所述有機(jī)溶劑的一部分，所述第二液體包含所述具有環(huán)狀醚基的化合物，并且包含選自一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯、一縮二丙二醇單甲醚及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的 終餾點(diǎn)為220°C以下的石腦油中的至少一種作為所述有機(jī)溶劑的一部分，所述第一液體包含所述光聚合引發(fā)劑、或包含所述氧化鈦、或包含所述光聚合引發(fā)劑和所述氧化鈦兩者，在所述第一液體不包含所述光聚合引發(fā)劑的情況下，所述第二液體包含所述光聚合引發(fā)劑，在所述第一液體不包含所述氧化鈦的情況下，所述第二液體包含所述氧化鈦。本發(fā)明的印刷布線板的制造方法中，印刷布線板具備在表面具有電路的印刷布線板主體、疊層在該印刷布線板主體的設(shè)有電路的表面上的阻焊膜，該方法包括以下工序混合第一、第二液體，得到混合有所述第一、第二液體的阻焊劑組合物即感光性組合物的工序；在表面具有電路的印刷布線板主體的設(shè)有電路的表面上，涂布混合有所述第一、第二液體的阻焊劑組合物即感光性組合物，形成疊層在所述印刷布線板主體的設(shè)有所述電路的表面上的阻焊膜的工序，混合有所述第一、第二液體的阻焊劑組合物即感光性組合物整體包含具有羧基的聚合性聚合物、光聚合引發(fā)劑、具有環(huán)狀醚基的化合物、氧化鈦和有機(jī)溶劑，所述感光性組合物包含選自一縮二丙二醇單甲醚、一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油中的至少兩種作為所述有機(jī)溶劑，所述第一液體包含所述聚合性聚合物，并且包含選自一縮二丙二醇單甲醚、一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油中的至少一種作為所述有機(jī)溶劑的一部分，所述第二液體包含所述具有環(huán)狀醚基的化合物，并且包含選自一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯、一縮二丙二醇單甲醚及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為220°C以下的石腦油中的至少一種，所述第一液體包含所述光聚合引發(fā)劑、或包含所述氧化鈦、或包含所述光聚合引發(fā)劑和所述氧化鈦兩者，在所述第一液體不包含所述光聚合引發(fā)劑的情況下，所述第二液體包含所述光聚合引發(fā)劑，在所述第一液體不包含所述氧化鈦的情況下，所述第二液體包含所述氧化鈦。在本發(fā)明的二液混合型的第一、第二液體及本發(fā)明的印刷布線板的制造方法的某特定方面中，所述第一液體包含選自一縮二丙二醇單甲醚、一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油中的至少兩種作為所述有機(jī)溶劑的一部分。在本發(fā)明的二液混合型的第一、第二液體及本發(fā)明的印刷布線板的制造方法的其它特定方面中，所述第一液體至少包含一縮二丙二醇單甲醚和一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯作為所述有機(jī)溶劑的一部分、或至少包含一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油作為所述有機(jī)溶劑的一部分。在本發(fā)明的二液混合型的第一、第二液體及本發(fā)明的印刷布線板的制造方法的其它特定方面中，所述第一液體至少包含一縮二丙二醇單甲醚及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油作為所述有機(jī)溶劑的一部分。在本發(fā)明的二液混合型的第一、第二液體及本發(fā)明的印刷布線板的制造方法的其它的特定方面中，所述感光性組合物含有選自一縮二丙二醇單甲醚、一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為220°C以下的石腦油中的至少兩種作為所述有機(jī)溶劑，所述第一液體中的所述蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油為蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為220°C以下的石腦油。在本發(fā)明的二液混合型的第一、第二液體及本發(fā)明的印刷布線板的制造方法的其它的特定方面中，所述第一液體包含所述光聚合弓I發(fā)劑。
在本發(fā)明的二液混合型的第一、第二液體及本發(fā)明的印刷布線板的制造方法的其它的特定方面中，所述第一液體包含所述氧化鈦。在本發(fā)明的二液混合型的第一、第二液體及本發(fā)明的印刷布線板的制造方法的又一其它的特定方面中，所述第一液體包含所述光聚合開(kāi)始劑和所述氧化鈦兩者。在本發(fā)明的二液混合型的第一、第二液體中，混合有所述第一、第二液體的感光性組合物可優(yōu)選用作阻焊劑組合物。在本發(fā)明的二液混合型的第一、第二液體中，優(yōu)選混合有所述第一、第二液體的感光性組合物為阻焊劑組合物。發(fā)明效果本發(fā)明涉及的二液混合型的第一、第二液體，其用于得到作為混合物的感光性組合物，該二液混合型的第一、第二液體為混合該第一、第二液體之前的液體，其中，混合有所述第一、第二液體的混合物即感光性組合物整體包含具有羧基的聚合性聚合物、光聚合引發(fā)劑、具有環(huán)狀醚基的化合物、氧化鈦和有機(jī)溶劑，所述感光性組合物中，作為所述有機(jī)溶齊U，包含選自一縮二丙二醇單甲醚、一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油中的至少兩種，所述第一液體包含所述聚合性聚合物，并且包含選自一縮二丙二醇單甲醚、一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油中的至少一種作為所述有機(jī)溶劑的一部分，所述第二液體包含所述具有環(huán)狀醚基的化合物，并且包含選自一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯、一縮二丙二醇單甲醚及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為220°C以下的石腦油中的至少一種作為所述有機(jī)溶劑的一部分，所述第一液體包含所述光聚合引發(fā)劑、或包含所述氧化鈦、或包含所述光聚合弓I發(fā)劑和所述氧化鈦兩者，因此，所述第一、第二液體的混合性優(yōu)異，在將混合后的感光性組合物涂布在涂布對(duì)象部件上時(shí)，能夠抑制不均而均勻地進(jìn)行涂布。


圖I是局部截?cái)嗾娼孛鎴D，示意性地表示具有使用由本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的二液混合型的第一、第二液體得到的抗蝕膜的LED設(shè)備的一例。標(biāo)記說(shuō)明I. . . LED 設(shè)備2...基板2a···上表面3...抗蝕膜3a...上表面4a、4b. · ·電極7. . . LED 芯片7a...下表面8a、8b...端子9a、9b...焊錫
具體實(shí)施例方式以下，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。本發(fā)明涉及的二液混合型的第一、第二液體用于得到混合物形式的感光性組合物。本發(fā)明涉及的二液混合型的第一、第二液體為用于得到混合物形式的感光性組合物的組合(kit)。本發(fā)明的二液混合型的第一、第二液體在混合后使用。本發(fā)明的二液混合型的第一、第二液體為混合該第一、第二液體之前的液體?；旌现暗牡谝?、第二液體為混合前的感光性組合物?；旌嫌斜景l(fā)明的二液混合型的第一、第二液體的混合物即感光性組合物整體包含具有羧基的聚合性聚合物(A)、光聚合引發(fā)劑(B)、具有環(huán)狀醚基的化合物(C)、氧化鈦(D)和有機(jī)溶劑(E)(以下，有時(shí)將感光性組合物整體中所含的有機(jī)溶劑記為有機(jī)溶劑(E))?；旌嫌猩鲜龅谝弧⒌诙后w的混合物為感光性組合物，所混合的該感光性組合物整體包含具有羧基的聚合性聚合物(A)、光聚合引發(fā)劑(B)、具有環(huán)狀醚基的化合物(C)、氧化鈦(D)和有機(jī)溶劑(E)。上述感光性組合物含有選自一縮二丙二醇單甲醚、一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油中的至少兩種作為有機(jī)溶劑(E)。上述第一液體含有上述聚合性聚合物(A)，且含有選自一縮二丙二醇單甲醚，一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油中的至少一種作為所述有機(jī)溶劑(E)的一部分。上述第二液體含有上述具有環(huán)狀醚基的化合物(C)，且包含選自一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯、一縮二丙二醇單甲醚及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為220°C以下的石腦油中的至少一種作為上述有機(jī)溶劑(E)的一部分。上述第一液體含有上述光聚合引發(fā)劑(B)、或含有上述氧化鈦(D)、或含有上述光聚合引發(fā)劑⑶和上述氧化鈦⑶兩者。在上述第一液體未包含上述光聚合引發(fā)劑⑶的情況下，上述第二液體包含上述光聚合引發(fā)劑(B)。在上述第一液體未包含上述氧化鈦(D)的情況下，上述第二液體包含上述氧化鈦(D)。上述光聚合引發(fā)劑(B)及上述氧化鈦(D)可以分別可以包含在第一液體中，也可、以包含在第二液體中，也可以包含在第一液體和第二液體兩者中。另外，在本發(fā)明的二液混合型的第一、第二液體包含后述的聚合性單體或包含后述的抗氧化劑的情況下，聚合性單體及抗氧化劑可以分別包含在第一液體中，可以包含在第二液體中，也可以包含在第一液體和第二液體兩者中。通過(guò)采用本發(fā)明的二液混合型的第一、第二液體中的上述構(gòu)成，可以提高上述第一、第二液體的混合性。進(jìn)而，在基板等涂布對(duì)象部件上涂布混合后的感光性組合物時(shí)，能夠抑制主要由于氧化鈦產(chǎn)生的不均而均勻地進(jìn)行涂布。特別是，在利用絲網(wǎng)印刷來(lái)涂布混合后的感光性組合物時(shí)，能夠抑制條紋狀的不均。優(yōu)選本發(fā)明的二液混合型的第一、第二液體為利用絲網(wǎng)印刷所涂布的二液混合型的第一、第二液體。優(yōu)選上述光聚合引發(fā)劑(B)包含在第一液體中而不是包含在第二液體中。此時(shí)，上述第一、第二液體的混合性更進(jìn)一步變高，且能夠更進(jìn)一步均勻地涂布感光性組合物。優(yōu)選上述氧化鈦(D)包含在第一液體中而不是包含在第二液體中。此時(shí)，氧化鈦 (D)的分散性變高，進(jìn)而，上述第一、第二液體的混合性更進(jìn)一步變高，且能夠更進(jìn)一步均勻地涂布感光性組合物。優(yōu)選上述光聚合引發(fā)劑(B)和上述氧化鈦(D)兩者包含在第一液體中而不是包含在第二液體中。此時(shí)，氧化鈦(D)的分散性更進(jìn)一步變高，進(jìn)而，上述第一、第二液體的混合性更進(jìn)一步變高，且能夠更加均勻地涂布感光性組合物。以下，對(duì)本發(fā)明的二液混合型的第一、第二液體以及混合后的感光性組合物中所含的各成分進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。(聚合性聚合物(A))上述聚合性聚合物(A)具有羧基。具有羧基的聚合性聚合物(A)具有聚合性，可進(jìn)行聚合。由于上述聚合性聚合物(A)具有羧基，感光性組合物的顯影性變得良好。作為上述聚合性聚合物(A)，例如可以舉出具有羧基的丙烯酸樹(shù)脂、具有羧基的環(huán)氧樹(shù)脂及具有羧基的烯烴樹(shù)脂。需要說(shuō)明的是，“樹(shù)脂”并不限定于固形樹(shù)脂，也包含液狀樹(shù)脂及低聚物。上述聚合性聚合物(A)優(yōu)選為下述含有羧基的樹(shù)脂(a) (e)。(a)通過(guò)不飽和羧酸和具有聚合性不飽和雙鍵的化合物的共聚而得到的含有羧基的樹(shù)脂(b)通過(guò)含有羧基的(甲基)丙烯酸共聚樹(shù)脂(bl)和在一個(gè)分子中具有環(huán)氧乙烷環(huán)及乙烯性聚合性不飽和雙鍵的化合物(b2)的反應(yīng)而得到的含有羧基的樹(shù)脂(c)使不飽和單羧酸與下述共聚物進(jìn)行反應(yīng)后，使飽和或不飽和多元酸酐與生成的反應(yīng)物的仲羥基進(jìn)行反應(yīng)而得到的含有羧基的樹(shù)脂，所述共聚物是在一個(gè)分子中分別具有一個(gè)環(huán)氧基及聚合性不飽和雙鍵的化合物與具有聚合性不飽和雙鍵的化合物形成的聚合物(d)使飽和或不飽和多元酸酐與含有羥基的聚合物進(jìn)行反應(yīng)后，使在一個(gè)分子中分別具有一個(gè)環(huán)氧基及聚合性不飽和雙鍵的化合物與生成的具有羧基的聚合物進(jìn)行反應(yīng)而得到的含有羥基及羧基的樹(shù)脂(e)使具有芳香環(huán)的環(huán)氧化合物和飽和多元酸酐或不飽和多元酸酐進(jìn)行反應(yīng)而得到的樹(shù)脂、或使具有芳香環(huán)的環(huán)氧化合物和至少具有一個(gè)不飽和雙鍵且含有羧基的化合物進(jìn)行反應(yīng)后，進(jìn)一步使之與飽和多元酸酐或不飽和多元酸酐進(jìn)行反應(yīng)而得到的樹(shù)脂。在上述感光性組合物100重量％中，上述具有羧基的聚合性聚合物㈧的含量?jī)?yōu)選為3重量％以上，更優(yōu)選為5重量％以上，優(yōu)選為50重量％以下，更優(yōu)選為40重量％以下。上述具有羧基的聚合性聚合物(A)的含量在上述下限以上及上述上限以下時(shí)，感光性組合物的固化性變得良好。(光聚合引發(fā)劑(B))上述感光性組合物含有光聚合引發(fā)劑(B)，因此，能夠通過(guò)光的照射使感光性組合物固化。光聚合引發(fā)劑(B)沒(méi)有特別限定。光聚合引發(fā)劑(B)可以僅使用一種，也可以組合使用兩種以上。作為上述光聚合引發(fā)劑(B)，例如可以舉出?；趸?、鹵甲基化三嗪、鹵甲基 化噁二唑、咪唑、苯偶姻、苯偶姻烷基醚、蒽醌、苯并蒽酮、二苯甲酮、苯乙酮、噻噸酮、苯甲酸酯、吖啶、吩嗪、茂鈦、α-氨基烷基苯酮、肟及這些的衍生物。上述光聚合引發(fā)劑⑶可以僅使用一種，也可以兩種以上組合使用。相對(duì)于上述具有羧基的聚合性聚合物㈧100重量份，上述光聚合引發(fā)劑⑶的含量?jī)?yōu)選為O. I重量份以上，更優(yōu)選為I重量份以上，優(yōu)選為30重量份以下，更優(yōu)選為15重量份以下。上述光聚合引發(fā)劑(B)的含量在上述下限以上及上述上限以下時(shí)，能夠更進(jìn)一步提高感光性組合物的感光性。(具有環(huán)狀醚基的化合物(C))出于提高抗蝕膜的切出加工性等的目的，上述感光性組合物包含具有環(huán)狀醚骨架的化合物(C)。另外，通過(guò)使用上述具有環(huán)狀醚骨架的化合物(C)，感光性組合物的固化性也變得良好。作為上述具有環(huán)狀醚骨架的化合物(C)，例如可以舉出雙酚S型環(huán)氧樹(shù)脂、鄰苯二甲酸二縮水甘油酯樹(shù)脂、三聚異氰酸三縮水甘油酯等雜環(huán)式環(huán)氧樹(shù)脂、雙二甲苯酚型環(huán)氧樹(shù)脂、雙酚型環(huán)氧樹(shù)脂、四環(huán)氧丙氧基二甲苯酚乙烷樹(shù)脂、雙酚A型環(huán)氧樹(shù)脂、氫化雙酚A型環(huán)氧樹(shù)脂、雙酚F型樹(shù)脂、溴化雙酚A型環(huán)氧樹(shù)脂、酚醛清漆型環(huán)氧樹(shù)脂、甲酚酚醛清漆型環(huán)氧樹(shù)脂、脂環(huán)式環(huán)氧樹(shù)脂、雙酚A的酚醛清漆型環(huán)氧樹(shù)脂、螯合型環(huán)氧樹(shù)脂、乙二醛型環(huán)氧樹(shù)脂、含有氨基的環(huán)氧樹(shù)脂、橡膠改性環(huán)氧樹(shù)脂、二環(huán)戊二烯酚醛型環(huán)氧樹(shù)脂、有機(jī)硅改性環(huán)氧樹(shù)脂及ε-己內(nèi)酯改性環(huán)氧樹(shù)脂。上述具有環(huán)狀醚骨架的化合物(C)可以僅使用一種，也可以兩種以上組合使用。上述具有環(huán)狀醚骨架的化合物(C)與上述具有羧基的聚合性聚合物(A)所具有的羧基進(jìn)行反應(yīng)，并發(fā)揮作用以使感光性組合物固化。相對(duì)于上述具有羧基的聚合性聚合物(A) 100重量份,上述具有環(huán)狀醚骨架的化合物(C)的含量?jī)?yōu)選為O. I重量份以上，更優(yōu)選為I重量份以上，優(yōu)選為50重量份以下，更優(yōu)選為30重量份以下。上述具有環(huán)狀醚骨架的化合物(C)的含量為上述下限以上及上述上限以下時(shí)，可以更進(jìn)一步提高抗蝕膜的電絕緣性。(氧化鈦⑶)上述感光性組合物包含氧化鈦(D)，因此，能夠形成反射率高的抗蝕膜等固化物膜。上述感光性組合物中所含的氧化鈦(D)沒(méi)有特別限定。氧化鈦(D)可以僅使用一種，也可以兩種以上組合使用。與使用氧化鈦(D)之外的其它無(wú)機(jī)填料的情況相比，通過(guò)使用上述氧化鈦(D)能夠形成反射率高的抗蝕膜。上述氧化鈦(D)優(yōu)選為金紅石型氧化鈦或銳鈦礦型氧化鈦。通過(guò)使用金紅石型氧化鈦，能夠形成耐熱黃變性更進(jìn)一步優(yōu)異的抗蝕膜。上述銳鈦礦型氧化鈦比金紅石型氧化鈦的硬度還低。因此，通過(guò)使用銳鈦礦型氧化鈦，能夠提高抗蝕膜的加工性。上述氧化鈦(D)優(yōu)選包含通過(guò)硅氧化物或有機(jī)硅化合物進(jìn)行了表面處理的金紅石型氧化鈦。在上述氧化鈦(D) 100重量％中，通過(guò)上述硅氧化物或有機(jī)硅化合物進(jìn)行表面處理后的金紅石型氧化鈦的含量?jī)?yōu)選為10重量％以上，更優(yōu)選為30重量％以上且100重量％以下。上述氧化鈦(D)的總含量可以為通過(guò)上述硅氧化物或有機(jī)硅化合物進(jìn)行了表面處理的金紅石型氧化鈦。通過(guò)使用通過(guò)上述硅氧化物或有機(jī)硅化合物進(jìn)行了表面處理的金紅石型氧化鈦，可以更進(jìn)一步提高抗蝕膜的耐熱黃變性。

作為通過(guò)硅氧化物或有機(jī)硅化合物進(jìn)行表面處理后的金紅石型氧化鈦，例如可以舉出金紅石氯法氧化鈦即石原產(chǎn)業(yè)公司制的商品編號(hào)CR-90、或金紅石硫酸法氧化鈦即石原產(chǎn)業(yè)公司制的商品編號(hào)R_550等。在上述感光性組合物100重量％中，氧化鈦(D)的含量?jī)?yōu)選為3重量％以上，更優(yōu)選為10重量％以上，進(jìn)一步優(yōu)選為15重量％以上，優(yōu)選為80重量％以下，更優(yōu)選為75重量％以下，進(jìn)一步優(yōu)選為70重量％以下。若氧化鈦(D)的含量為上述下限以上及上述上限以下，則抗蝕膜被暴露在高溫下時(shí)，不易黃變。進(jìn)而，能夠容易地制備具有適于涂布的粘度的感光性組合物。(有機(jī)溶劑(E))上述感光性組合物包含有機(jī)溶劑(E)?；旌嫌猩鲜龅谝?、第二液體的感光性組合物包含有機(jī)溶劑(E)。上述感光性組合物包含至少兩種有機(jī)溶劑。優(yōu)選上述第一液體中所含的有機(jī)溶劑(El)(以下，有時(shí)將第一液體中所含的有機(jī)溶劑記為有機(jī)溶劑(El))和上述第二液體中所含的有機(jī)溶劑(E2)(以下，有時(shí)將第二液體中所含的有機(jī)溶劑記為有機(jī)溶劑(E2))不同。作為通常已知的有機(jī)溶劑，可以舉出甲基乙基酮、環(huán)己酮等酮類、甲苯、二甲苯、四甲基苯等芳香族烴類、溶纖劑、甲基溶纖劑、丁基溶纖劑、卡必醇、甲基卡必醇、丁基卡必醇、丙二醇單甲醚、一縮二丙二醇單甲醚、一縮二丙二醇二乙醚、二縮三丙二醇單甲醚等二醇醚類、醋酸乙酯、醋酸丁酯、乳酸丁酯、溶纖劑乙酸酯、丁基溶纖劑乙酸酯、卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯、一縮二丙二醇單甲醚乙酸酯、碳酸亞丙酯等酯類、辛烷、癸烷等脂肪族烴類以及石油醚、石腦油等石油類溶劑
坐寸ο在上述有機(jī)溶劑中，上述第一液體必須包含選自一縮二丙二醇單甲醚、一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油中的至少一種作為上述有機(jī)溶劑(E)的一部分。一縮二丙二醇單甲醚、一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油中的至少一種為有機(jī)溶劑(El)。另外，在上述有機(jī)溶劑中，上述第二液體包含選自一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯、一縮二丙二醇單甲醚及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為220°C以下的石腦油中的至少一種作為上述有機(jī)溶劑(E)的一部分。選自一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯、一縮二丙二醇單甲醚及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為220°C以下的石腦油中的至少一種為有機(jī)溶劑(E2)。通過(guò)在第一、第二液體中分別含有這樣的有機(jī)溶劑(El)、(E2)，上述第一、第二液體的混合性顯著變好。使用特定的上述有機(jī)溶劑(El)、(E2)、進(jìn)而在第一液體和第二液體中分別各自含有特定的上述有機(jī)溶劑(El)、(E2)大大有助于提高上述第一、第二液體的混合性及抑制混合后的感光性組合物的涂布后的不均。上述“蒸餾特性中的初餾點(diǎn)”及上述“蒸餾特性中的終餾點(diǎn)”表示根據(jù)J1SK2254“石油制品-蒸餾試驗(yàn)方法”所測(cè)定的值。上述第一液體還優(yōu)選包含一縮二丙二醇單甲醚及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為220°C以下的石腦油中的至少一種作為上述有機(jī)溶劑(E)的一 部分。上述第一液體包含一縮二丙二醇單甲醚及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為220°C以下的石腦油兩者作為上述有機(jī)溶劑(E)的一部分的情況下，此時(shí)上述第一液體可以包含，也可以不包含氧化鈦。上述第一液體中，作為上述有機(jī)溶劑(E)的一部分，可以包含一縮二丙二醇單甲醚，也可以包含一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯，可以包含蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油，也可以包含蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為220°C以下的石腦油。另外，上述第二液體中，作為上述有機(jī)溶劑(E)的一部分，可以包含一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯，也可以包含一縮二丙二醇單甲醚，還可以包含蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為220°C以下的石腦油。上述感光性組合物包含選自一縮二丙二醇單甲醚、一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油中的至少兩種。上述感光性組合物也可以包含一縮二丙二醇單甲醚、一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油這三種物質(zhì)。從更進(jìn)一步均勻地涂布感光性組合物的觀點(diǎn)考慮，上述感光性組合物優(yōu)選至少包含一縮二丙二醇單甲醚和一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯或至少包含一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯和蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油。從更進(jìn)一步均勻地涂布感光性組合物的觀點(diǎn)考慮，上述感光性組合物優(yōu)選至少包含一縮二丙二醇單甲醚和一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯。此時(shí)，上述感光性組合物也可以包含蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油。從更進(jìn)一步均勻地涂布感光性組合物的觀點(diǎn)考慮，上述感光性組合物優(yōu)選至少包含一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯和蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油。此時(shí)，上述第一液體優(yōu)選包含一縮二丙二醇單甲醚。從更進(jìn)一步均勻地涂布感光性組合物的觀點(diǎn)考慮，上述感光性組合物優(yōu)選至少包含一縮二丙二醇單甲醚和蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油。此時(shí)，上述第一液體可以包含一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯。從更進(jìn)一步均勻地涂布感光性組合物的觀點(diǎn)考慮，上述感光性組合物中的蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油優(yōu)選為蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為220°C以下的石腦油。上述第一液體中，作為上述有機(jī)溶劑(E)的一部分，優(yōu)選包含選自一縮二丙二醇單甲醚、一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150 V以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油中的至少兩種。此時(shí)，能夠更進(jìn)一步提高上述第一、第二液體的混合性，且能夠更進(jìn)一步均勻地涂布感光性組合物。上述第一液體中，作為上述有機(jī)溶劑(E)的一部分，可以包含一縮二丙二醇單甲醚、一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油這三種物質(zhì)。上述第一液體中，作為上述有機(jī)溶劑(E)的一部分，優(yōu)選至少包含一縮二丙二醇 單甲醚和一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯、或至少包含一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯和蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油。此時(shí)，能夠更進(jìn)一步提高上述第一、第二液體的混合性，且能夠更進(jìn)一步均勻地涂布感光性組合物。從更進(jìn)一步提高上述第一、第二液體的混合性，且更進(jìn)一步均勻地涂布感光性組合物的觀點(diǎn)考慮，上述第一液體中，作為上述有機(jī)溶劑(E)的一部分，優(yōu)選至少包含一縮二丙二醇單甲醚和一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯。此時(shí)，上述第一液體可以包含蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油。從更進(jìn)一步提高上述第一、第二液體的混合性，且更進(jìn)一步均勻地涂布感光性組合物的觀點(diǎn)考慮，上述第一液體中，作為上述有機(jī)溶劑(E)的一部分，優(yōu)選至少包含一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯和蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油。此時(shí)，上述第一液體優(yōu)選包含一縮二丙二醇單甲醚。從更進(jìn)一步提高上述第一、第二液體的混合性，且更進(jìn)一步均勻地涂布感光性組合物的觀點(diǎn)考慮，上述第一液體中，作為上述有機(jī)溶劑(E)的一部分，優(yōu)選至少包含一縮二丙二醇單甲醚和蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油。此時(shí)，上述第一液體可以包含一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯。從更進(jìn)一步提高上述第一、第二液體的混合性，且更進(jìn)一步均勻地涂布感光性組合物的觀點(diǎn)考慮，上述感光性組合物中，作為上述有機(jī)溶劑，優(yōu)選包含選自一縮二丙二醇單甲醚，一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°c以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為2 2 (TC以下的石腦油中的至少兩種，上述第一液體中的蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油優(yōu)選為蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為1500C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為220°C以下的石腦油。上述第一液體可以不包含一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯。上述第二液體中，作為上述有機(jī)溶劑(E)的一部分，可以包含選自一縮二丙二醇單甲醚、一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯和蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150 V以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為220°C以下的石腦油中的至少兩種。上述第二液體中，作為上述有機(jī)溶劑(E)的一部分，可以包含一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯、一縮二丙二醇單甲醚和蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為220°C以下的石腦油這三種物質(zhì)。從更進(jìn)一步提高上述第一、第二液體的混合性，且更進(jìn)一步均勻地涂布感光性組合物的觀點(diǎn)考慮，上述第二液體中，作為上述有機(jī)溶劑(E)的一部分，優(yōu)選至少包含一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯和一縮二丙二醇單甲醚。此時(shí)，上述第二液體也可以包含蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為220°C以下的石腦油。從更進(jìn)一步提高上述第一、第二液體的混合性，且更進(jìn)一步均勻地涂布感光性組合物的觀點(diǎn)考慮，上述第二液體中，作為上述有機(jī)溶劑(E)的一部分，優(yōu)選至少包含一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯和蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為220°C以下的石腦油。此時(shí)，上述第二液體優(yōu)選包含一縮二丙二醇單甲醚。從更進(jìn)一步提高上述第一、第二液體的混合性，且更進(jìn)一步均勻地涂布感光性組合物的觀點(diǎn)考慮，對(duì)上述第二液體而言，作為上述有機(jī)溶劑(E)的一部分，優(yōu)選至少包含一縮二丙二醇單甲醚和蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為220°C以 下的石腦油。此時(shí)，上述第二液體可以包含一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯。上述第二液體也可以不包含一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯。有機(jī)溶劑(E)的含量沒(méi)有特別限定?？紤]感光性組合物的涂布性，有機(jī)溶劑(E)可以以適宜的含量來(lái)使用。在混合后的感光性組合物100重量％中，上述有機(jī)溶劑(E)的總含量(上述有機(jī)溶劑(El)和上述有機(jī)溶劑(E2)的合計(jì)含量)優(yōu)選為10重量％以上，更優(yōu)選為15重量％以上，優(yōu)選為60重量％以下，更優(yōu)選為50重量％以下。從更進(jìn)一步提高上述第一、第二液體的混合性、更進(jìn)一步均勻地涂布感光性組合物的觀點(diǎn)考慮，在二液混合型的第一、第二液體整體中，優(yōu)選上述第一液體中所含的有機(jī)溶劑(El)的含量和上述第二液體中所含的有機(jī)溶劑(E2)的含量以重量比計(jì)為1:99、9:1，更優(yōu)選為1:9 9:1，進(jìn)一步優(yōu)選為2:8 8:2，特別優(yōu)選為3:7 7:3。換言之，在混合后的感光性組合物中，在該感光性組合物中所含的上述有機(jī)溶劑(E)的總含量100重量％中，優(yōu)選上述第一液體中所含的有機(jī)溶劑(El)的含量和上述第二液體中所含的上述有機(jī)溶劑(E2)的含量以重量比計(jì)為1:99 99:1，更優(yōu)選為1:9 9:1，進(jìn)一步優(yōu)選為2:8 8:2，特別優(yōu)選為3:7 7:3。在二液混合型的第一、第二液體整體100重量％中以及在混合后的感光性組合物100重量％中，一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯的含量可以為30重量％以上。在上述第一液體100重量％中，一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯的含量可以為50重量％以下，也可以為55重量％以上。在上述第一液體包含兩種有機(jī)溶劑的情況下及上述第二液體包含兩種有機(jī)溶劑的情況下，在上述第一液體及上述第二液體中，優(yōu)選含量多的有機(jī)溶劑的含量和含量少的有機(jī)溶劑的含量以重量比計(jì)為1:99、9:1，更優(yōu)選為I:擴(kuò)9:1，進(jìn)一步優(yōu)選為2:8 8:2，特別優(yōu)選為3:7 7:3。在上述第一液體包含三種有機(jī)溶劑的情況下及上述第二液體包含三種有機(jī)溶劑的情況下，在上述第一液體及上述第二液體中，優(yōu)選含量最多的有機(jī)溶劑的含量和含量第二多的有機(jī)溶劑的含量以重量比計(jì)為1:99、9:1，更優(yōu)選為1:擴(kuò)9:1，進(jìn)一步優(yōu)選為2:8、:2，特別優(yōu)選為3:7 7:3。此時(shí)，含量最少的有機(jī)溶劑的含量的下限沒(méi)有特別限定。(其它成分)
為了更進(jìn)一步提高固化性，上述感光性組合物優(yōu)選包含聚合性單體作為與具有羧基的聚合性聚合物(A)不同的成分。上述感光性組合物優(yōu)選包含具有羧基的聚合性聚合物(A)和聚合性單體兩者。上述聚合性單體具有聚合性，可進(jìn)行聚合。上述聚合性單體沒(méi)有特別限定。上述聚合性單體可以僅使用一種，也可以兩種以上組合使用。上述聚合性單體優(yōu)選為含有聚合性不飽和基團(tuán)的單體。作為上述聚合性單體中的聚合性不飽和基團(tuán)，例如可以舉出(甲基)丙烯?；耙蚁┗鸦染哂芯酆闲圆伙柡碗p鍵的官能團(tuán)。其中，由于(甲基)丙烯酰基能夠提高抗蝕膜的交聯(lián)密度，故優(yōu)選。上述含有聚合性不飽和基團(tuán)的單體優(yōu)選為具 有(甲基)丙烯?；幕衔铩Ｗ鳛樯鲜鼍哂?甲基)丙烯?；幕衔铮梢耘e出乙二醇、甲氧基四乙二醇、聚乙二醇或者丙二醇等二醇的二(甲基)丙烯酸酯改性物、或多元醇、多元醇的環(huán)氧乙烷加成物或者多元醇的環(huán)氧丙烷加成物的多元(甲基)丙烯酸酯改性物、或苯酚、苯酚的環(huán)氧乙烷加成物或苯酚的環(huán)氧丙烷加成物的(甲基)丙烯酸酯改性物、或甘油二縮水甘油醚或者三羥甲基丙烷三縮水甘油醚等縮水甘油醚的(甲基)丙烯酸酯改性物、或三聚氰胺(甲基)丙烯酸酯。作為上述多元醇，例如可以舉出己二醇、三羥甲基丙烷、季戊四醇、二季戊四醇及三羥乙基三聚異氰酸酯。作為上述苯酚的(甲基)丙烯酸酯，例如可以舉出苯氧基(甲基)丙烯酸酯及雙酚A的二(甲基)丙烯酸酯改性物?！?甲基)丙烯酰基”是指丙烯?；图谆；?。“(甲基)丙烯酸”是指丙烯酸和甲基丙烯酸?！?甲基)丙烯酸酯”是指丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯。在包含上述聚合性單體的情況下，在該聚合性單體和上述具有羧基的聚合性聚合物㈧的合計(jì)100重量％中，上述聚合性單體的含量?jī)?yōu)選為5重量％以上且50重量％以下。上述聚合性單體的含量為上述下限以上及上述上限以下時(shí)，可以使感光性組合物充分固化。進(jìn)而，抗蝕膜的交聯(lián)密度變得適當(dāng)，可以得到充分的分辨率，且抗蝕膜不易黃變。為了降低暴露在高溫下時(shí)阻焊膜黃變的風(fēng)險(xiǎn)，上述感光性組合物優(yōu)選含有抗氧化齊 。上述抗氧化劑優(yōu)選具有路易斯堿性部位。從更進(jìn)一步抑制抗蝕膜黃變的觀點(diǎn)考慮，上述抗氧化劑優(yōu)選為選自酚類抗氧化劑、磷類抗氧化劑及胺類抗氧化劑中的至少一種。從更進(jìn)一步抑制抗蝕膜黃變的觀點(diǎn)考慮，上述抗氧化劑優(yōu)選為酚類抗氧化劑。即，上述感光性組合物優(yōu)選包含酚類抗氧化劑。作為上述酚類抗氧化劑的市售品，可以舉出IRGAN0X 1010、IRGAN0X1035、IRGAN0X 1076、IRGAN0X 1135、IRGANOX 245、IRGANOX 259 及 IRGAN0X 295 (以上，均為Ciba Japan 公司制)、ADEKASTAB A0-30、ADEKASTAB A0-40、ADEKASTAB A0-50、ADEKASTABA0-60、ADEKASTAB A0-70、ADEKASTAB A0-80、ADEKASTAB A0-90 及 ADEKASTAB A0-330 (以上，均為 ADEKA 公司制)、Sumilizer GA-80、SumiIizerMDP-S、Sumilizer BBM-S、SumiIizerGM、Sumilizer GS(F)及 Sumilizer GP (以上，均為住友化學(xué)工業(yè)公司制)、H0STAN0X 010、H0STAN0X 016.H0STAN0X 014 及 H0STAN0X 03 (以上，均為 Clariant 公司制)、Antage BHT、Antage W-300、Antage W-400及Antage W500 (以上，均為川口化學(xué)工業(yè)公司制)以及SEENOX 224M及SEENOX 326M(以上，均為shipro化成公司制)等。作為上述磷類抗氧化劑，可以舉出環(huán)己基膦及三苯基膦等。作為上述磷類抗氧化劑的市售品，可以舉出ADEKASTAB PEP-4C、ADEKASTABPEP-8、ADEKASTAB PEP-24G、ADEKASTAB PEP-36,ADEKASTABHP—I0,ADEKASTAB 2I12、ADEKASTAB 260、ADEKASTAB 522A、ADEKASTAB 1178、ADEKASTAB 1500、ADEKASTAB C、ADEKASTAB135A、ADEKASTAB 3010 及ADEKASTAB TPP (以上，均為 ADEKA 公司制)、Sandostab P-EPQ 及 Hostanox PAR24 (以上，均為 Clariant 公司制)以及 JP-312L、JP-318-0、JPM-308、JPM-313、JPP-613M、JPP-31、JPP-2000PT及JPH-3800 (以上，均為城北化學(xué)工業(yè)公司制)等。作為上述胺類抗氧化劑，可以舉出三乙胺、雙氰胺、三聚氰胺、乙基二氨基-S-三嗪、2，4-二氨基-S-三嗪、2，4-二氨基-6-甲苯基-S-三嗪、2，4-二氨基-6-二甲苯基-S-三嗪及季銨鹽衍生物等。相對(duì)于上述具有羧基的聚合性聚合物(A) 100重量份，上述抗氧化劑的含量?jī)?yōu)選為O. I重量份以上，更優(yōu)選為5重量份以上，優(yōu)選為30重量份 以下，更優(yōu)選為15重量份以下。上述抗氧化劑的含量為上述下限以上及上限以下時(shí)，能夠形成耐熱黃變性更進(jìn)一步優(yōu)異的抗蝕膜。另外，上述感光性組合物也可以包含著色劑、填充劑、消泡劑、固化劑、固化促進(jìn)劑、脫模劑、表面處理劑、阻燃劑、粘度調(diào)節(jié)劑、分散劑、分散助劑、表面改性劑、增塑劑、抗菌齊U、防霉劑、流平劑、穩(wěn)定劑、偶聯(lián)劑、防流掛劑或熒光體等。上述感光性組合物例如可以通過(guò)在攪拌混合各配合成分后，通過(guò)用三輥機(jī)均勻地進(jìn)行混合來(lái)制備。作為用于使上述感光性組合物固化的光源，可以舉出發(fā)出紫外線或可見(jiàn)光線等活性能量線的照射裝置。作為上述光源，例如可以舉出超高壓水銀燈、De印UV燈、高壓水銀燈、低壓水銀燈、金屬鹵化燈及準(zhǔn)分子激光器。這些光源可以根據(jù)感光性組合物的構(gòu)成成分的感光波長(zhǎng)適宜選擇。光的照射能量可以根據(jù)期望的膜厚或感光性組合物的構(gòu)成成分適宜選擇。光的照射能量通常在l(T3000mJ/cm2 的范圍內(nèi)。(LED 設(shè)備)本發(fā)明的二液混合型的第一、第二液體優(yōu)選用于形成LED設(shè)備的抗蝕膜，更優(yōu)選用于形成阻焊膜。本發(fā)明的二液混合型的第一、第二液體優(yōu)選為抗蝕組合物，優(yōu)選為阻焊劑組合物。本發(fā)明的印刷布線板的制造方法用于制造下述印刷布線板，其具備表面具有電路的印刷布線板主體、以及疊層在該印刷布線板主體的設(shè)有上述電路的表面上的抗蝕膜。該抗蝕膜由本發(fā)明的二液混合型的第一、第二液體形成。在圖I中，用局部截?cái)嗾娼孛鎴D示意性地表示具有使用本發(fā)明的一實(shí)施方式涉及的二液混合型的第一、第二液體所形成的阻焊膜的LED設(shè)備的一例。在圖I所示的LED設(shè)備I中，在基板2的上表面2a疊層有由二液混合型的第一、第二液體所形成的抗蝕膜3?？刮g膜3為圖案膜。因此，在基板2的上表面2a的一部分區(qū)域中，未形成有抗蝕膜3。在基板2的未形成抗蝕膜3部分的上表面2a設(shè)有電極4a、4b?；?優(yōu)選為印刷布線板主體。在抗蝕膜3的上表面3a疊層有LED芯片7。在基板2上隔著抗蝕膜3疊層有LED芯片7。在LED芯片7下表面7a的外周緣設(shè)有端子8a、8b。端子8a、8b通過(guò)焊錫9a、9b與電極4a、4b電連接。可以通過(guò)該電連對(duì)LED芯片7供給電力。以下，舉出本發(fā)明的具體實(shí)施例及比較例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行說(shuō)明。本發(fā)明不限定于以下的實(shí)施例。在實(shí)施例及比較例中，使用以下的材料1Γ18)。I)丙烯酸聚合物I (具有羧基的聚合性聚合物、下述合成例I中得到的丙烯酸聚合物I)(合成例I)在具備溫度計(jì)、攪拌機(jī)、滴液漏斗及回流冷凝器的燒瓶中加入作為溶劑的乙基卡必醇乙酸酯和作為催化劑的偶氮二異丁腈，在氮?dú)夥障录訜嶂?0°C，經(jīng)2小時(shí)滴加以30:70的摩爾比混合甲基丙烯酸酸和甲基丙烯酸甲酯而成的單體。滴加后，攪拌I小時(shí)，升溫至120°C。然后，進(jìn)行冷卻。加入丙烯酸縮水甘油酯，其摩爾量相對(duì)于得到的樹(shù)脂的總單體單元的總摩爾量的比為10，使用溴化四丁基銨作為催化劑，在100°C下加熱30小時(shí)，使丙烯酸縮水甘油酯和羧基進(jìn)行加成反應(yīng)。冷卻后，從燒瓶中取出，得到包含50重量％(不揮發(fā)成分) 的固體成分酸值60mgK0H/g、重均分子量15000、雙鍵當(dāng)量1000的含有羧基的樹(shù)脂的溶液。以下，將該溶液稱為丙烯酸聚合物I。2)丙烯酸聚合物2(具有羧基的聚合性聚合物、下述合成例2中所得到的丙烯酸聚合物2)(合成例2)在乙基卡必醇乙酸酯139重量份中，使用二甲基芐基胺O. 5重量份作為催化劑、使用氫醌O. I重量份作為阻聚劑，使環(huán)氧當(dāng)量210、軟化點(diǎn)80°C的甲酚酚醛型環(huán)氧樹(shù)脂("Epotohto YDCN-704”、新日鐵化學(xué)公司制)210重量份、丙烯酸50重量份及醋酸18重量份進(jìn)行反應(yīng)，得到環(huán)氧丙烯酸酯。使得到的環(huán)氧丙烯酸酯278重量份和四氫鄰苯二甲酸酐46重量份(相對(duì)于環(huán)氧丙烯酸酯的羥基I. O摩爾為O. 3摩爾)進(jìn)行反應(yīng)，得到包含65重量％(不揮發(fā)成分)的固體成分酸值為52mgK0H/g的具有芳香環(huán)的含有羧基的樹(shù)脂的溶液。以下，將該溶液稱為丙烯酸聚合物2。3)DPHA(丙烯酸單體、二季戊四醇六丙烯酸酯、比重I. I)4)TMPTA(丙烯酸單體、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、比重I. I)5)TP0(光自由基產(chǎn)生劑即光聚合引發(fā)劑、BASF日本公司制)6)IRGACURE 819 (光自由基產(chǎn)生劑即光聚合引發(fā)劑、BASF日本公司制)7)828(雙酚A型環(huán)氧樹(shù)脂、三菱化學(xué)公司制、比重I. 2)8) 806 (雙酚F型環(huán)氧樹(shù)脂、三菱化學(xué)公司制、比重I. 2)9) CR-50 (氧化鈦、石原產(chǎn)業(yè)公司制、利用氯法所制造的金紅石型氧化鈦)10) R_830(氧化鈦、石原產(chǎn)業(yè)公司制、利用硫酸法所制造的金紅石型氧化鈦)11)乙基卡必醇乙酸酯(一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯、DAICEL化學(xué)公司制、偶極矩IDebye以上、比重I. O)12) Solvesso 150 (石腦油、Exxon Mobil公司制、蒸懼特性中的初懼點(diǎn)為189°C且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為210°C )13) Solvesso 100 (石腦油、Exxon Mobil公司制、蒸懼特性中的初懼點(diǎn)為165°C且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為174°C )14) 一縮二丙二醇單甲醚(日本乳化劑公司制)15) 二甲基丙二醇(日本乳化劑公司制，化學(xué)名一縮二丙二醇二甲醚)
16) 二乙基二甘醇(diethyl diglycol)(日本乳化劑公司制,化學(xué)名一縮二乙二
醇二乙醚)17) Solvesso 200 (石腦油、Exxon Mobil公司制、蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為230°C且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為283°C )18)甲苯(Exxon Mobil 公司制)(實(shí)施例I)混合15g合成例I中得到的丙烯酸聚合物l、5g DPHA(二季戊四醇六丙烯酸酯)、2g ΤΡ0(光自由基產(chǎn)生劑即光聚合引發(fā)劑、BASF日本公司制)、40gCR-50(氧化鈦、石原產(chǎn)業(yè)公司制)和25g Solvesso 150 (石腦油、Exxon Mobil公司制)，用混合機(jī)(練太郎SP-500、THINKY公司制)混合3分鐘后，用三輥機(jī)進(jìn)行混合，得到混合物。然后，使用SP-500對(duì)得到 的混合物進(jìn)行3分鐘脫泡，由此得到第一液體。配合Sg的828 (雙酚A型環(huán)氧樹(shù)脂、三菱化學(xué)公司制)和5g乙基卡必醇乙酸酯(一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯、DAICEL化學(xué)公司制)，用混合機(jī)(練太郎SP-500、THINKY公司制)混合3分鐘后，用三輥機(jī)進(jìn)行混合，得到混合物。然后，使用SP-500對(duì)得到的混合物進(jìn)行3分鐘脫泡，由此得到第二液體。如上準(zhǔn)備具有第一、第二液體的二液混合型感光性組合物。(實(shí)施例2 49/參考例1及比較例1 19)將在第一液體及第二液體中使用的材料的種類及配合量如下述表Γ8所示那樣進(jìn)行變更，除此之外，與實(shí)施例I同樣地得到具有第一、第二液體的二液混合型的第一、第二液體(混合前的感光性組合物)。(評(píng)價(jià))二液的混合性將第一液體和第二液體放入IL的圓型塑料容器(近畿容器公司制BHS-1200)，利用Mesh公司制的自動(dòng)油墨混合機(jī)以50rpm攪拌10秒,制作抗蝕材料(混合后的感光性組合物)。將第一液體和第二液體放入IL的圓型塑料容器(近畿容器公司制BHS-1200)，利用Mesh公司制自動(dòng)油墨混合機(jī)以50rpm攪拌20秒,制作抗蝕材料(混合后的感光性組合物)。將第一液體和第二液體放入IL的圓型塑料容器(近畿容器公司制BHS-1200)，利用Mesh公司制自動(dòng)油墨混合機(jī)以50rpm攪拌I分鐘,制作抗蝕材料(混合后的感光性組合物)。另外，將第一液體和第二液體放入IL的圓型塑料容器(近畿容器公司制BHS-1200),利用Mesh公司制自動(dòng)油墨混合機(jī)以50rpm攪拌5分鐘,制作抗蝕材料(混合后的感光性組合物)。另外，準(zhǔn)備在表面粘貼有銅箔的IOOX IOOmm的FR-4基板。通過(guò)絲網(wǎng)印刷在上述FR-4基板的粘貼有銅箔的面上涂布剛攪拌后的抗蝕材料，形成抗蝕材料層。通過(guò)肉眼觀察基板上的抗蝕材料層的外觀。用下述判定基準(zhǔn)對(duì)第一、第二液體的混合性進(jìn)行判定。[第一、第二液體的混合性的判定基準(zhǔn)]A :在使用攪拌10秒后的抗蝕材料、攪拌20秒后的抗蝕材料、攪拌I分鐘后的抗蝕材料及攪拌5分鐘后的抗蝕材料中的任意一種的情況下，抗蝕材料層都是均勻的。B :在使用攪拌10秒后的抗蝕材料的情況下，在抗蝕材料層中發(fā)現(xiàn)微少的條紋狀的不均，但在使用攪拌20秒后的抗蝕材料、攪拌I分鐘后的抗蝕材料及攪拌5分鐘后的抗蝕材料的情況下，抗蝕材料層均勻。C :在使用攪拌10秒后的抗蝕材料及攪拌20秒后的抗蝕材料的情況下，在抗蝕材料層中發(fā)現(xiàn)微少的條紋狀的不均，但在使用攪拌I分鐘后的抗蝕材料及攪拌5分鐘后的抗蝕材料的情況下，抗蝕材料層均勻。D :在使用攪拌10秒后的抗蝕材料、攪拌20秒后的抗蝕材料及攪拌I分鐘后的抗蝕材料的情況下，在抗蝕材料層中發(fā)現(xiàn)微少的條紋狀的不均，但在使用攪拌5分鐘后的抗蝕材料的情況下，抗蝕材料層均勻。E :在使用攪拌10秒后的抗蝕材料、攪拌20秒后的抗蝕材料、攪拌I分鐘后的抗蝕材料及攪拌5分鐘后的抗蝕材料中的任意一種的情況下，在抗蝕材料層中均發(fā)現(xiàn)條紋狀的不均。
將結(jié)果示于下述表廣8。在下述表Γ8中，所配合的液體的類別中的“(I) ”表示第一液體，“ (2) ”表不第二液體。另外，對(duì)上述第一、第二液體的混合性進(jìn)行評(píng)價(jià)后，可以通過(guò)使基板上的抗蝕材料層固化來(lái)得到抗蝕膜。
權(quán)利要求
1.一種二液混合型的第一、第二液體，其用于得到作為混合物的感光性組合物，該二液混合型的第一、第二液體為混合該第一、第二液體之前的液體，其中， 混合有所述第一、第二液體的混合物即感光性組合物整體包含具有羧基的聚合性聚合物、光聚合引發(fā)劑、具有環(huán)狀醚基的化合物、氧化鈦和有機(jī)溶劑， 所述感光性組合物中，作為所述有機(jī)溶劑，包含選自一縮二丙二醇單甲醚、一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°c以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油中的至少兩種， 所述第一液體包含所述聚合性聚合物，并且包含選自一縮二丙二醇單甲醚、一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油中的至少一種作為所述有機(jī)溶劑的一部分， 所述第二液體包含所述具有環(huán)狀醚基的化合物，并且包含選自一縮二乙二醇單乙醚乙 酸酯、一縮二丙二醇單甲醚及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為220°C以下的石腦油中的至少一種作為所述有機(jī)溶劑的一部分， 所述第一液體包含所述光聚合引發(fā)劑、或包含所述氧化鈦、或包含所述光聚合引發(fā)劑和所述氧化鈦兩者， 在所述第一液體不包含所述光聚合弓I發(fā)劑的情況下，所述第二液體包含所述光聚合引發(fā)劑，在所述第一液體不包含所述氧化鈦的情況下，所述第二液體包含所述氧化鈦。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的二液混合型的第一、第二液體，其中，所述第一液體包含選自一縮二丙二醇單甲醚、一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油中的至少兩種作為所述有機(jī)溶劑的一部分。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的二液混合型的第一、第二液體，其中，所述第一液體至少包含一縮二丙二醇單甲醚和一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯作為所述有機(jī)溶劑的一部分、或至少包含一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油作為所述有機(jī)溶劑的一部分。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的二液混合型的第一、第二液體，其中，所述第一液體至少包含一縮二丙二醇單甲醚及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油作為有機(jī)溶劑的一部分。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的二液混合型的第一、第二液體，其中，所述感光性組合物中包含選自一縮二丙二醇單甲醚、一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為220°C以下的石腦油中的至少兩種作為所述有機(jī)溶劑， 所述第一液體中包含選自一縮二丙二醇單甲醚、一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為220°C以下的石腦油中的至少兩種作為所述有機(jī)溶劑的一部分。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的二液混合型的第一、第二液體，其中，所述感光性組合物包含選自一縮二丙二醇單甲醚、一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為220°C以下的石腦油中的至少兩種作為所述有機(jī)溶劑， 所述第一液體包含一縮二丙二醇單甲醚、一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯作為所述有機(jī)溶劑的一部分，或至少包含一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯和蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為220°C以下的石腦油作為所述有機(jī)溶劑的一部分。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的二液混合型的第一、第二液體，其中，所述感光性組合物包含選自一縮二丙二醇單甲醚、一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為220°C以下的石腦油中的至少兩種作為所述有機(jī)溶劑， 所述第一液體至少包含一縮二丙二醇單甲醚和蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為220°C以下的石腦油作為所述有機(jī)溶劑的一部分。
8.根據(jù)權(quán)利要求廣7中任一項(xiàng)所述的二液混合型的第一、第二液體，其中，所述第一液體包含所述光聚合引發(fā)劑。
9.根據(jù)權(quán)利要求廣7中任一項(xiàng)所述的二液混合型的第一、第二液體，其中，所述第一液體包含所述氧化鈦。
10.根據(jù)權(quán)利要求廣7中任一項(xiàng)所述的二液混合型的第一、第二液體，其中，所述第一液體包含所述光聚合弓I發(fā)劑和所述氧化鈦兩者。
11.根據(jù)權(quán)利要求廣7中任一項(xiàng)所述的二液混合型的第一、第二液體，其中，混合有所述第一、第二液體的感光性組合物為阻焊劑組合物。
12.—種印刷布線板的制造方法，該印刷布線板具備在表面具有電路的印刷布線板主體、疊層在該印刷布線板主體的設(shè)有電路的表面上的阻焊膜， 該方法包括以下工序 混合第一、第二液體，得到混合有所述第一、第二液體的阻焊劑組合物即感光性組合物的工序； 在表面具有電路的印刷布線板主體的設(shè)有電路的表面上，涂布混合有所述第一、第二液體的阻焊劑組合物即感光性組合物，形成疊層在所述印刷布線板主體的設(shè)有所述電路的表面上的阻焊膜的工序， 混合有所述第一、第二液體的阻焊劑組合物即感光性組合物整體包含具有羧基的聚合性聚合物、光聚合引發(fā)劑、具有環(huán)狀醚基的化合物、氧化鈦和有機(jī)溶劑， 所述感光性組合物包含選自一縮二丙二醇單甲醚、一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油中的至少兩種作為所述有機(jī)溶劑， 所述第一液體包含所述聚合性聚合物，并且包含選自一縮二丙二醇單甲醚、一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油中的至少一種作為所述有機(jī)溶劑的一部分， 所述第二液體包含所述具有環(huán)狀醚基的化合物，并且包含選自一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯、一縮二丙二醇單甲醚及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為220°C以下的石腦油中的至少一種作為所述有機(jī)溶劑的一部分， 所述第一液體包含所述光聚合引發(fā)劑、或包含所述氧化鈦、或包含所述光聚合引發(fā)劑和所述氧化鈦兩者， 在所述第一液體不包含所述光聚合引發(fā)劑的情況下，所述第二液體包含所述光聚合引發(fā)劑，在所述第一液體不包含所述氧化鈦的情況下，所述第二液體包含所述氧化鈦。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的印刷布線板的制造方法，其中，所述第一液體中包含選自一縮二丙二醇單甲醚、一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油中的至少兩種作為所述有機(jī)溶劑的一部分。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的印刷布線板的制造方法，其中，所述第一液體至少包含一縮二丙二醇單甲醚和一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯、或至少包含一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯和蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油作為所述有機(jī)溶劑的一部分。
15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的印刷布線板的制造方法，其中，所述第一液體至少包含一縮二丙二醇單甲醚和蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290°C以下的石腦油作為所述有機(jī)溶劑的一部分。
16.根據(jù)權(quán)利要求12所述的印刷布線板的制造方法，其中，所述感光性組合物包含選自一縮二丙二醇單甲醚、一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為220°C以下的石腦油中的至少兩種作為所述有機(jī)溶劑， 所述第一液體中包含選自一縮二丙二醇單甲醚、一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為220°C以下的石腦油中的至少兩種作為所述有機(jī)溶劑的一部分。
17.根據(jù)權(quán)利要求12所述的印刷布線板的制造方法，其中，所述感光性組合物包含選自一縮二丙二醇單甲醚、一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為220°C以下的石腦油中的至少兩種作為所述有機(jī)溶劑， 所述第一液體至少包含一縮二丙二醇單甲醚和一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯作為所述有機(jī)溶劑的一部分、或至少包含一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯和蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為.150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為220°C以下的石腦油作為所述有機(jī)溶劑的一部分。
18.根據(jù)權(quán)利要求12所述的印刷布線板的制造方法，其中，所述感光性組合物包含選自一縮二丙二醇單甲醚、一縮二乙二醇單乙醚乙酸酯及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為220°C以下的石腦油中的至少兩種作為所述有機(jī)溶劑， 所述第一液體至少包含一縮二丙二醇單甲醚和蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150°C以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為220°C以下的石腦油作為所述有機(jī)溶劑的一部分。
19.根據(jù)權(quán)利要求12 18中任一項(xiàng)所述的印刷布線板的制造方法，其中，所述第一液體包含所述光聚合引發(fā)劑。
20.根據(jù)權(quán)利要求12 18中任一項(xiàng)所述的印刷布線板的制造方法，其中，所述第一液體包含所述氧化鈦。
21.根據(jù)權(quán)利要求12 18中任一項(xiàng)所述的印刷布線板的制造方法，其中，所述第一液體包含所述光聚合弓I發(fā)劑和所述氧化鈦兩者。
全文摘要
本發(fā)明提供一種第一、第二液體的混合性優(yōu)異的二液混合型的第一、第二液體。本發(fā)明的二液混合型的第一、第二液體為用于得到作為混合物的感光性組合物的液體。上述感光性組合物包含選自由二丙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚乙酸酯及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150℃以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290℃以下的石腦油構(gòu)成的組中的至少兩種。上述第一液體包含聚合性聚合物。上述第二液體包含具有環(huán)狀醚基的化合物。上述第一、第二液體包含選自由二丙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚乙酸酯及蒸餾特性中的初餾點(diǎn)為150℃以上且蒸餾特性中的終餾點(diǎn)為290℃以下的石腦油構(gòu)成的組中的至少一種。
文檔編號(hào)H01L21/027GK102762627SQ201280000309
公開(kāi)日2012年10月31日 申請(qǐng)日期2012年1月5日 優(yōu)先權(quán)日2011年2月14日
發(fā)明者上田倫久, 中村秀, 渡邊貴志, 高橋駿夫, 鹿毛崇至 申請(qǐng)人:積水化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社