專利名稱：硅舟的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體元件制造使用的裝置，特別是涉及一種硅舟。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體器件加工制造領(lǐng)域，常常需要用到硅舟。硅舟主要用于盛放硅片，并通過(guò)硅舟將硅片放入擴(kuò)散爐中進(jìn)行處理。在將裝有硅片的硅舟放入擴(kuò)散爐內(nèi)進(jìn)行加工之前，一般需要將熱偶插入到擴(kuò)散爐內(nèi)以檢測(cè)擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度是否合適。在將裝有硅片的硅舟放入擴(kuò)散爐內(nèi)進(jìn)行加工時(shí)，擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度也需要保持在合適的范圍之內(nèi)。而此時(shí)擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度卻無(wú)法進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè)。這樣就可能出現(xiàn)擴(kuò)散爐內(nèi)溫度不在合適的溫度范圍內(nèi)，導(dǎo)致加工出來(lái)的硅片不符合要求或者硅片質(zhì)量較低的現(xiàn)象。

實(shí)用新型內(nèi)容基于此，有必要提供一種可以實(shí)時(shí)監(jiān)控?cái)U(kuò)散爐內(nèi)溫度的硅舟。一種硅舟，所述硅舟包括舟體，所述舟體的上沿設(shè)有容納熱偶的凹槽。在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述凹槽為U形凹槽或半圓形凹槽。在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述舟體為U形舟體或半圓形舟體。
在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述舟體的兩個(gè)上沿均設(shè)有容納熱偶的凹槽。上述硅舟在舟體的上沿設(shè)置容納熱偶的凹槽，這樣當(dāng)使用該硅舟時(shí)，凹槽內(nèi)可以設(shè)置熱偶，硅舟被放入擴(kuò)散爐內(nèi)時(shí)就可以實(shí)時(shí)監(jiān)控?cái)U(kuò)散爐內(nèi)的溫度，從而方便控制擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度，提高硅片的加工質(zhì)量。

圖1為一個(gè)實(shí)施例的硅舟的立體圖；圖2為圖1所示硅舟應(yīng)用于擴(kuò)散爐內(nèi)時(shí)的示意圖。
具體實(shí)施方式
請(qǐng)參考圖1，一個(gè)實(shí)施方式提供了一種硅舟110。該硅舟110包括舟體112，舟體112的上沿設(shè)有容納熱偶140的凹槽114。該硅舟110的舟體112可以為U形舟體或半圓形舟體。舟體112上的凹槽114可以為U形凹槽或半圓形凹槽。另外，該硅舟110的舟體112的兩個(gè)上沿均設(shè)有容納熱偶140的凹槽114。也就是說(shuō)，該硅舟110具有兩個(gè)凹槽114。這樣該硅舟110可以根據(jù)實(shí)際需要同時(shí)設(shè)置兩個(gè)熱偶140或一個(gè)熱偶140。當(dāng)該硅舟110采用兩個(gè)熱偶140時(shí)可以更加準(zhǔn)確的得到該硅舟110周圍的溫度，避免出現(xiàn)硅舟110上部分區(qū)域溫度過(guò)高，另一部分溫度正常而導(dǎo)致檢測(cè)結(jié)果不準(zhǔn)確的現(xiàn)象發(fā)生。請(qǐng)參考圖2，使用時(shí)，該硅舟110內(nèi)會(huì)放置硅片130，并在凹槽114內(nèi)放置測(cè)量溫度的熱偶140。當(dāng)將該硅舟110放入擴(kuò)散爐120內(nèi)對(duì)硅舟110上的硅片130進(jìn)行加工時(shí)，凹槽114內(nèi)的熱偶140可以實(shí)時(shí)監(jiān)控?cái)U(kuò)散爐120內(nèi)的溫度。這樣當(dāng)擴(kuò)散爐120出現(xiàn)溫度異常時(shí)可以盡快調(diào)整擴(kuò)散爐120內(nèi)的溫度。這樣就可以加工出質(zhì)量更高、技術(shù)參數(shù)更加一致的硅片。該硅舟在舟體的上沿設(shè)置容納熱偶的凹槽，這樣當(dāng)使用該硅舟時(shí)，凹槽內(nèi)可以設(shè)置熱偶，硅舟被放入擴(kuò)散爐內(nèi)時(shí)就可以實(shí)時(shí)監(jiān)控?cái)U(kuò)散爐內(nèi)的溫度，從而方便控制擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度，提高硅片的加工質(zhì)量。以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本實(shí)用新型的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)本實(shí)用新型專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本實(shí)用新型的保護(hù) 范圍。因此，本實(shí)用新型專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種硅舟，所述硅舟包括舟體，其特征在于，所述舟體的上沿設(shè)有容納熱偶的凹槽。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅舟，其特征在于，所述凹槽為U形凹槽或半圓形凹槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅舟，其特征在于，所述舟體為U形舟體或半圓形舟體。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅舟，其特征在于，所述舟體的兩個(gè)上沿均設(shè)有容納熱偶的凹槽?！?br> 專利摘要本實(shí)用新型提供一種硅舟，所述硅舟包括舟體，所述舟體的上沿設(shè)有容納熱偶的凹槽。該硅舟在舟體的上沿設(shè)置容納熱偶的凹槽，這樣當(dāng)使用該硅舟時(shí)，凹槽內(nèi)可以設(shè)置熱偶，硅舟被放入擴(kuò)散爐內(nèi)時(shí)就可以實(shí)時(shí)監(jiān)控?cái)U(kuò)散爐內(nèi)的溫度，從而提高硅片的加工質(zhì)量。
文檔編號(hào)H01L21/673GK203150529SQ20132008284
公開(kāi)日2013年8月21日 申請(qǐng)日期2013年2月22日 優(yōu)先權(quán)日2013年2月22日
發(fā)明者張朝坤 申請(qǐng)人:深圳深愛(ài)半導(dǎo)體股份有限公司