層疊陶瓷電容器以及層疊陶瓷電容器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種即便在陶瓷電介質(zhì)層進(jìn)一步薄層化的情況下,在高溫負(fù)荷試驗(yàn)中也具有優(yōu)異的耐久性的可靠性高的層疊陶瓷電容器。本發(fā)明的層疊陶瓷電容器(1)具備:陶瓷層疊體(5),其通過層疊多個(gè)陶瓷電介質(zhì)層(2)而成;多個(gè)內(nèi)部電極(3,4),它們以隔著陶瓷電介質(zhì)層而互相對(duì)置的方式配設(shè)于陶瓷層疊體的內(nèi)部;和外部電極(6,7),它們以與內(nèi)部電極電連接的方式配設(shè)于陶瓷層疊體的外表面;其中,內(nèi)部電極含有Ni作為主要成分,并且,構(gòu)成內(nèi)部電極的Ni的晶格常數(shù)在0.3250nm~0.3450nm的范圍內(nèi)。另外,在含有Ni作為主要成分的內(nèi)部電極中含有Sn。
【專利說明】層疊陶瓷電容器以及層疊陶瓷電容器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及層疊陶瓷電容器以及層疊陶瓷電容器的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 近年來,伴隨著電子裝置技術(shù)的發(fā)展,要求層疊陶瓷電容器小型化及大容量化。為 了滿足這些要求,而不斷推進(jìn)構(gòu)成層疊陶瓷電容器的陶瓷電介質(zhì)層的薄層化。然而,若使陶 瓷電介質(zhì)層薄層化,則施加至每一層的電場(chǎng)強(qiáng)度會(huì)相對(duì)提高。因此,要求提高施加電壓時(shí)的 耐久性、可靠性。
[0003] 作為層疊陶瓷電容器,例如,已知具備層疊體與多個(gè)外部電極的層疊陶瓷電容器, 該層疊體具有被層疊的多個(gè)陶瓷電介質(zhì)層、及沿著陶瓷電介質(zhì)層間的界面而形成的多個(gè)內(nèi) 部電極,該多個(gè)外部電極形成于層疊體的外表面且與內(nèi)部電極電連接(參照專利文獻(xiàn)1)。 而且,在該專利文獻(xiàn)1的層疊陶瓷電容器中,作為內(nèi)部電極,公開了使用Ni作為主成分的內(nèi) 部電極。
[0004] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0005] 專利文獻(xiàn)
[0006] 專利文獻(xiàn)1 :日本特開平11-283867號(hào)公報(bào)
【發(fā)明內(nèi)容】
[0007] 發(fā)明要解決的問題
[0008] 然而,在具備使用Ni作為主成分的內(nèi)部電極的上述專利文獻(xiàn)1的層疊陶瓷電容器 中,存在如下問題:為了應(yīng)對(duì)近年來的小型化和大容量化的要求,高溫負(fù)荷試驗(yàn)中的耐久性 尚不充分。
[0009] 本發(fā)明是為了解決上述問題而完成的,其目的在于提供一種即便在陶瓷電介質(zhì)層 進(jìn)一步薄層化的情況下,在高溫負(fù)荷試驗(yàn)中也具有優(yōu)異的耐久性的可靠性高的層疊陶瓷電 容器。
[0010] 用于解決問題的方法
[0011] 為了解決上述問題,本發(fā)明的層疊陶瓷電容器,其特征在于,
[0012] 所述層疊陶瓷電容器具備:陶瓷層疊體,其通過層疊多個(gè)陶瓷電介質(zhì)層而成;多 個(gè)內(nèi)部電極,它們以隔著所述陶瓷電介質(zhì)層而互相對(duì)置的方式配設(shè)于所述陶瓷層疊體的內(nèi) 部;和外部電極,其以與所述內(nèi)部電極導(dǎo)通的方式配設(shè)于所述陶瓷層疊體的外表面,
[0013] 所述內(nèi)部電極含有Ni作為主要成分,并且,
[0014] 構(gòu)成所述內(nèi)部電極的Ni的晶格常數(shù)在0? 3250nm?0? 3450nm的范圍內(nèi)。
[0015] 另外,對(duì)于本發(fā)明的層疊陶瓷電容器而言,含有Ni作為主要成分的所述內(nèi)部電極 優(yōu)選含有Sn。
[0016] 內(nèi)部電極以Ni為主要成分且還含有Sn,由此能夠有效且可靠地使構(gòu)成內(nèi)部電極 的Ni的晶格常數(shù)為0. 3250nm?0. 3450nm的范圍,可以使本發(fā)明更具實(shí)效。
[0017] 另外,本發(fā)明的第1層疊陶瓷電容器的制造方法,其特征在于,
[0018] 所述層疊陶瓷電容器具備:陶瓷層疊體,其通過層疊多個(gè)陶瓷電介質(zhì)層而成;多 個(gè)內(nèi)部電極,它們以隔著所述陶瓷電介質(zhì)層而互相對(duì)置的方式配設(shè)于所述陶瓷層疊體的內(nèi) 部;和外部電極,其以與所述內(nèi)部電極電連接的方式配設(shè)于所述陶瓷層疊體的外表面,
[0019] 所述內(nèi)部電極含有Ni作為主要成分且同時(shí)含有Sn,并且,構(gòu)成所述內(nèi)部電極的Ni 的晶格常數(shù)在0. 3250nm?0. 3450nm的范圍內(nèi),
[0020] 所述層疊陶瓷電容器的制造方法具備如下工序:
[0021] 形成具有多個(gè)未燒成陶瓷電介質(zhì)層和未燒成內(nèi)部電極圖案的未燒成陶瓷層疊體 的工序,所述多個(gè)未燒成陶瓷電介質(zhì)層是被層疊的多個(gè)未燒成陶瓷電介質(zhì)層,且包含含有 Sn的陶瓷原料,所述未燒成內(nèi)部電極圖案是以隔著所述未燒成陶瓷電介質(zhì)層而互相對(duì)置的 方式配設(shè)的多個(gè)未燒成內(nèi)部電極圖案,并且所述未燒成內(nèi)部電極圖案由以Ni為主要成分 的導(dǎo)電性糊劑膜形成;和
[0022] 通過對(duì)所述未燒成陶瓷層疊體進(jìn)行燒成,得到具備多個(gè)陶瓷電介質(zhì)層、和以隔著 該陶瓷電介質(zhì)層而互相對(duì)置的方式配設(shè)的多個(gè)內(nèi)部電極的陶瓷層疊體的工序。
[0023] 另外,本發(fā)明的第2層疊陶瓷電容器的制造方法,其特征在于,
[0024] 所述層疊陶瓷電容器具備:陶瓷層疊體,其通過層疊多個(gè)陶瓷電介質(zhì)層而成;多 個(gè)內(nèi)部電極,它們以隔著所述陶瓷電介質(zhì)層而互相對(duì)置的方式配設(shè)于所述陶瓷層疊體的內(nèi) 部;和外部電極,其以與所述內(nèi)部電極電連接的方式配設(shè)于所述陶瓷層疊體的外表面,
[0025] 所述內(nèi)部電極含有Ni作為主要成分且同時(shí)含有Sn,并且,構(gòu)成所述內(nèi)部電極的Ni 的晶格常數(shù)在0. 3250nm?0. 3450nm的范圍內(nèi),
[0026] 所述層疊陶瓷電容器的制造方法具備如下工序:
[0027] 形成具有被層疊的多個(gè)未燒成陶瓷電介質(zhì)層和未燒成內(nèi)部電極圖案的未燒成陶 瓷層疊體的工序,所述未燒成內(nèi)部電極圖案是以隔著所述未燒成陶瓷電介質(zhì)層而互相對(duì)置 的方式配設(shè)的多個(gè)未燒成內(nèi)部電極圖案,所述未燒成內(nèi)部電極圖案由含有Ni作為主要成 分且含有Sn的導(dǎo)電性糊劑膜形成;和
[0028] 通過對(duì)所述未燒成陶瓷層疊體進(jìn)行燒成,得到具備多個(gè)陶瓷電介質(zhì)層、和以隔著 該陶瓷電介質(zhì)層而互相對(duì)置的方式配設(shè)的多個(gè)內(nèi)部電極的陶瓷層疊體的工序。
[0029] 發(fā)明效果
[0030] 如上所述,本發(fā)明的層疊陶瓷電容器被構(gòu)成為:內(nèi)部電極含有Ni作為主要成分, 并且構(gòu)成內(nèi)部電極的Ni的晶格常數(shù)為0.3250nm?0.3450nm的范圍(需要說明的是,構(gòu)成 內(nèi)部電極的Ni的晶格常數(shù)通常小于0. 3250nm)。而且,通過將Ni的晶格常數(shù)控制在上述范 圍內(nèi),能夠促進(jìn)電子從內(nèi)部電極的電離,使內(nèi)部電極界面的勢(shì)皇變化。結(jié)果能夠得到高溫負(fù) 荷試驗(yàn)中的耐久性優(yōu)異的可靠性高的層疊陶瓷電容器。
[0031] 但是,如果Ni的晶格常數(shù)過大,則Ni變得無法保持單相,可靠性降低,因此在本發(fā) 明中,將構(gòu)成內(nèi)部電極的Ni的晶格常數(shù)規(guī)定在0. 3250nm?0. 3450nm的范圍。
[0032] 另外,對(duì)于本發(fā)明的第1層疊陶瓷電容器的制造方法而言,形成了具有包含含有 Sn的陶瓷原料的多個(gè)未燒成陶瓷電介質(zhì)層、以及由以Ni作為主要成分的導(dǎo)電性糊劑膜形 成的未燒成內(nèi)部電極圖案的未燒成陶瓷層疊體,并且通過對(duì)該未燒成陶瓷層疊體進(jìn)行燒 成,而得到具備多個(gè)陶瓷電介質(zhì)層、和以隔著該陶瓷電介質(zhì)層而互相對(duì)置的方式配設(shè)的多 個(gè)內(nèi)部電極的陶瓷層疊體,因此,從陶瓷電介質(zhì)層側(cè)向內(nèi)部電極側(cè)供給Sn,且Ni的晶格常 數(shù)增大。其結(jié)果是,可以有效且可靠地制造具備Ni的晶格常數(shù)在0. 3250nm?0. 3450nm范 圍內(nèi)的內(nèi)部電極、并且高溫負(fù)荷試驗(yàn)中的耐久性優(yōu)異的可靠性高的層疊陶瓷電容器。
[0033]S卩,通過從陶瓷電介質(zhì)層側(cè)向內(nèi)部電極側(cè)供給Sn,使Sn固溶在構(gòu)成內(nèi)部電極的Ni 中,從而能夠增加Ni的晶格常數(shù)。其結(jié)果是,促進(jìn)了電子從內(nèi)部電極的電離,內(nèi)部電極界面 的勢(shì)皇變化。而且,通過使內(nèi)部電極界面的勢(shì)皇變化,能夠得到高溫負(fù)荷壽命優(yōu)異的可靠性 高的層疊陶瓷電容器。
[0034] 另外,對(duì)于本發(fā)明的第2層疊陶瓷電容器的制造方法而言,形成了具有被層疊的 多個(gè)未燒成陶瓷電介質(zhì)層、以及由含有Ni作為主要成分且同時(shí)含有Sn的導(dǎo)電性糊劑膜 形成的未燒成內(nèi)部電極圖案的未燒成陶瓷層疊體,并且通過對(duì)該未燒成陶瓷層疊體進(jìn)行燒 成,而得到具備多個(gè)陶瓷電介質(zhì)層、和以隔著該陶瓷電介質(zhì)層而互相對(duì)置的方式配設(shè)的多 個(gè)內(nèi)部電極的陶瓷層疊體,因此,無論構(gòu)成陶瓷電介質(zhì)層的材料種類如何,作為內(nèi)部電極, 均形成了以Ni為主成分并且含有Sn的內(nèi)部電極。因此,可以有效地制造構(gòu)成內(nèi)部電極的 Ni的晶格常數(shù)在0. 3250nm?0. 3450nm的范圍內(nèi),并且高溫負(fù)荷試驗(yàn)中的耐久性優(yōu)異的可 靠性高的層疊陶瓷電容器。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0035] 圖1是表示本發(fā)明實(shí)施方式的層疊陶瓷電容器的構(gòu)成的前視剖面圖。
[0036] 圖2是表示通過WDX對(duì)構(gòu)成本發(fā)明的實(shí)施方式的層疊陶瓷電容器的內(nèi)部電極進(jìn)行 Ni和Sn的面掃描(Y7匕° )分析的部位的說明圖。
[0037] 圖3是表示通過WDX對(duì)構(gòu)成本發(fā)明的實(shí)施方式的層疊陶瓷電容器的內(nèi)部電極進(jìn)行 Ni的面掃描分析所得的結(jié)果的圖。
[0038] 圖4是表示通過WDX對(duì)構(gòu)成本發(fā)明的實(shí)施方式的層疊陶瓷電容器的內(nèi)部電極進(jìn)行 Sn的面掃描分析所得的結(jié)果的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0039] 以下示出本發(fā)明的實(shí)施方式,更詳細(xì)地說明本發(fā)明的特征。
[0040] [實(shí)施方式1]
[0041]〈層疊陶瓷電容器的構(gòu)成〉
[0042] 圖1是表示本發(fā)明的一種實(shí)施方式的層疊陶瓷電容器的構(gòu)成的前視剖面圖。
[0043] 該層疊陶瓷電容器1具備陶瓷層疊體5。陶瓷層疊體5具備被層疊的多個(gè)陶瓷電 介質(zhì)層2、和以隔著陶瓷電介質(zhì)層2而互相對(duì)置的方式配設(shè)于其內(nèi)部的多個(gè)內(nèi)部電極3、4。 需要說明的是,配設(shè)于陶瓷電介質(zhì)層2的內(nèi)部的內(nèi)部電極3、4被交替地引出至陶瓷層疊體 5的相反側(cè)的端面。
[0044] 而且,在陶瓷層疊體5的互相對(duì)置的端面,以與內(nèi)部電極3、4電連接的方式配設(shè)有 外部電極6、7。
[0045] 作為構(gòu)成該外部電極6、7的導(dǎo)電材料,例如,可以使用以Ag或Cu為主成分的材料 等。
[0046] 需要說明的是,該實(shí)施方式的層疊陶瓷電容器1是具備2個(gè)外部電極6、7的雙端 子型電容器,但本發(fā)明也可以適用于具有多個(gè)外部電極的多端子型的構(gòu)成的電容器。
[0047] 在該層疊陶瓷電容器1中,內(nèi)部電極3、4是以Ni為主成分且含有Sn的電極。
[0048] 而且,在該實(shí)施方式的層疊陶瓷電容器中,構(gòu)成為構(gòu)成上述內(nèi)部電極3、4的Ni的 晶格常數(shù)為〇? 3250nm?0? 3450nm。
[0049] 在該實(shí)施方式的層疊陶瓷電容器中,由于構(gòu)成內(nèi)部電極3、4的Ni的晶格常數(shù)為 0. 3250nm?0. 3450nm,因此能夠促進(jìn)電子從內(nèi)部電極的電離,使內(nèi)部電極界面的勢(shì)皇發(fā)生 變化。其結(jié)果是,能夠提供高溫負(fù)荷試驗(yàn)中的耐久性優(yōu)異的可靠性高的層疊陶瓷電容器。
[0050] 〈層疊陶瓷電容器的制造〉
[0051] 接下來,對(duì)上述本發(fā)明的一種實(shí)施方式的層疊陶瓷電容器1的制造方法進(jìn)行說 明。
[0052] (1)首先,稱量規(guī)定量的BaC03粉末和TiO2粉末作為含有Ti和Ba的鈣鈦礦化合 物的原料。接著,將稱量的粉末合在一起,通過球磨機(jī)混合后,在規(guī)定的條件下進(jìn)行熱處理, 由此得到用作構(gòu)成陶瓷電介質(zhì)層的材料的主成分的鈦酸鋇系鈣鈦礦化合物粉末。
[0053] (2)接下來,準(zhǔn)備作為副成分的Dy203、Mg0、Mn0、Si0jPSnO^各粉末,并以表1所 示的比例將這些粉末與主成分鈦酸鋇系鈣鈦礦化合物粉末進(jìn)行配合。然后,利用球磨機(jī)混 合一定時(shí)間并干燥后,通過干式粉碎,得到原料粉末(陶瓷原料粉末)。
[0054] (3)接下來,向該原料粉末中加入聚乙烯醇縮丁醛系粘合劑和乙醇等有機(jī)溶劑,利 用球磨機(jī)進(jìn)行濕式混合,制備陶瓷漿料。通過刮刀法將該陶瓷漿料成型為片材,得到厚度為 0. 9ym的陶瓷生片。
[0055] (4)接下來,向作為導(dǎo)電成分的Ni粉末中加入聚乙烯醇縮丁醛系粘合劑和乙醇等 有機(jī)溶劑,利用球磨機(jī)進(jìn)行濕式混合,由此制作內(nèi)部電極形成用的導(dǎo)電性糊劑。
[0056] (5)然后,將這種以Ni粉末作為導(dǎo)電成分的導(dǎo)電性糊劑按規(guī)定的圖案印刷在如上 所述制作的陶瓷生片上,形成在燒成后成為內(nèi)部電極的導(dǎo)電性糊劑層(內(nèi)部電極圖案)。
[0057] (6)接著,以上述內(nèi)部電極圖案的被引出一側(cè)交替地成為相反側(cè)的方式層疊多個(gè) 陶瓷生片,得到未燒成的陶瓷層疊體。
[0058] (7)將該陶瓷層疊體在N2氣氛中加熱至350°C,使粘合劑燃燒后,在氧分壓為 KT1(I?l(T12MPa的由H2-N2-H20氣體構(gòu)成的還原氣氛中以20°C/min的升溫速度升溫,并在 1150°C下燒成20分鐘,由此得到燒成后的陶瓷層疊體。
[0059] (8)接下來,在得到的陶瓷層疊體的兩個(gè)端面上涂布以Ag作為導(dǎo)電成分、且含有 B203-Si02-Ba0系玻璃料的外部電極形成用的導(dǎo)電性糊劑,并在隊(duì)氣氛中、600°C的溫度下進(jìn) 行燒接,由此形成與內(nèi)部電極電連接的外部電極。
[0060] 由此,得到具有如圖1所示結(jié)構(gòu)的層疊陶瓷電容器(表1的試樣編號(hào)1?8的試 樣)1。
[0061] 需要說明的是,在表1中,試樣編號(hào)帶有*的試樣編號(hào)1和8的試樣是不滿足本發(fā) 明必要條件的比較例的試樣,不帶有*的試樣編號(hào)2?7的試樣是滿足本發(fā)明必要條件的 實(shí)施例的試樣。
[0062] 在該實(shí)施方式中得到的層疊陶瓷電容器的外形尺寸是寬度(W) :1.0_、長(zhǎng)度(L): 2. 0mm、厚度⑴0mm,介于內(nèi)部電極間的陶瓷電介質(zhì)層的厚度為0? 6ym。另外,介于內(nèi)部 電極間的有效陶瓷電介質(zhì)層的總數(shù)為100層,每1層的對(duì)置電極的面積為1. 7Xl(T6m2。
[0063] 〈特性的評(píng)價(jià)〉
[0064] 通過以下說明的方法,對(duì)如上所述制作的各層疊陶瓷電容器(表1的試樣編號(hào) 1?8的試樣)進(jìn)行高溫負(fù)荷試驗(yàn),調(diào)查其特性,并且調(diào)查構(gòu)成內(nèi)部電極的Ni的晶格常數(shù)。
[0065] (1)高溫負(fù)荷試驗(yàn)
[0066] 從試樣編號(hào)1?8的各試樣中分別取樣10個(gè)試樣,在150°C、10V的條件下進(jìn)行高 溫負(fù)荷試驗(yàn),將絕緣電阻達(dá)到10KD以下的時(shí)間判定為故障。由該故障時(shí)間算出MTTF(平 均無故障時(shí)間)。將該結(jié)果一并示于表1。
[0067] (2)構(gòu)成內(nèi)部電極的Ni的晶格常數(shù)的測(cè)定
[0068] 另外,分別準(zhǔn)備2g從上述各試樣(層疊陶瓷電容器)除去了外部電極和最外層的 陶瓷電介質(zhì)層(外層部)的試驗(yàn)用樣品,并使用研缽進(jìn)行粉碎。通過粉末XRD衍射分析該 粉末,僅提取Ni的峰,使用Rietveld解析算出Ni的晶格常數(shù)。將算出的晶格常數(shù)一并示 于表1。
[0069]
【權(quán)利要求】
1. 一種層疊陶瓷電容器,其特征在于, 所述層疊陶瓷電容器具備:陶瓷層疊體,其通過層疊多個(gè)陶瓷電介質(zhì)層而成;多個(gè)內(nèi) 部電極,它們以隔著所述陶瓷電介質(zhì)層而互相對(duì)置的方式配設(shè)于所述陶瓷層疊體的內(nèi)部; 和外部電極,其以與所述內(nèi)部電極導(dǎo)通的方式配設(shè)于所述陶瓷層疊體的外表面, 所述內(nèi)部電極含有Ni作為主要成分,并且, 構(gòu)成所述內(nèi)部電極的Ni的晶格常數(shù)在0. 3250nm?0. 3450nm的范圍內(nèi)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的層疊陶瓷電容器,其特征在于,含有Ni作為主要成分的所述 內(nèi)部電極含有Sn。
3. -種層疊陶瓷電容器的制造方法,其特征在于, 所述層疊陶瓷電容器具備:陶瓷層疊體,其通過層疊多個(gè)陶瓷電介質(zhì)層而成;多個(gè)內(nèi) 部電極,它們以隔著所述陶瓷電介質(zhì)層而互相對(duì)置的方式配設(shè)于所述陶瓷層疊體的內(nèi)部; 和外部電極,其以與所述內(nèi)部電極電連接的方式配設(shè)于所述陶瓷層疊體的外表面, 所述內(nèi)部電極含有Ni作為主要成分且同時(shí)含有Sn,并且,構(gòu)成所述內(nèi)部電極的Ni的晶 格常數(shù)在0. 3250nm?0. 3450nm的范圍內(nèi), 所述層疊陶瓷電容器的制造方法具備如下工序: 形成具有多個(gè)未燒成陶瓷電介質(zhì)層和未燒成內(nèi)部電極圖案的未燒成陶瓷層疊體的工 序,所述多個(gè)未燒成陶瓷電介質(zhì)層是被層疊的多個(gè)未燒成陶瓷電介質(zhì)層,且包含含有Sn的 陶瓷原料,所述未燒成內(nèi)部電極圖案是以隔著所述未燒成陶瓷電介質(zhì)層而互相對(duì)置的方式 配設(shè)的多個(gè)未燒成內(nèi)部電極圖案,并且所述未燒成內(nèi)部電極圖案由以Ni為主要成分的導(dǎo) 電性糊劑膜形成;和 通過對(duì)所述未燒成陶瓷層疊體進(jìn)行燒成,得到具備多個(gè)陶瓷電介質(zhì)層、和以隔著該陶 瓷電介質(zhì)層而互相對(duì)置的方式配設(shè)的多個(gè)內(nèi)部電極的陶瓷層疊體的工序。
4. 一種層疊陶瓷電容器的制造方法,其特征在于, 所述層疊陶瓷電容器具備:陶瓷層疊體,其通過層疊多個(gè)陶瓷電介質(zhì)層而成;多個(gè)內(nèi) 部電極,它們以隔著所述陶瓷電介質(zhì)層而互相對(duì)置的方式配設(shè)于所述陶瓷層疊體的內(nèi)部; 和外部電極,其以與所述內(nèi)部電極電連接的方式配設(shè)于所述陶瓷層疊體的外表面, 所述內(nèi)部電極含有Ni作為主要成分且同時(shí)含有Sn,并且,構(gòu)成所述內(nèi)部電極的Ni的晶 格常數(shù)在0. 3250nm?0. 3450nm的范圍內(nèi), 所述層疊陶瓷電容器的制造方法具備如下工序: 形成具有被層疊的多個(gè)未燒成陶瓷電介質(zhì)層和未燒成內(nèi)部電極圖案的未燒成陶瓷層 疊體的工序,所述未燒成內(nèi)部電極圖案是以隔著所述未燒成陶瓷電介質(zhì)層而互相對(duì)置的方 式配設(shè)的多個(gè)未燒成內(nèi)部電極圖案,所述未燒成內(nèi)部電極圖案由含有Ni作為主要成分且 含有Sn的導(dǎo)電性糊劑膜形成;和 通過對(duì)所述未燒成陶瓷層疊體進(jìn)行燒成,得到具備多個(gè)陶瓷電介質(zhì)層、和以隔著該陶 瓷電介質(zhì)層而互相對(duì)置的方式配設(shè)的多個(gè)內(nèi)部電極的陶瓷層疊體的工序。
【文檔編號(hào)】H01G4/12GK104508772SQ201380040668
【公開日】2015年4月8日 申請(qǐng)日期:2013年6月25日 優(yōu)先權(quán)日:2012年8月7日
【發(fā)明者】鈴木祥一郎, 山口晉一 申請(qǐng)人:株式會(huì)社村田制作所