帶擴(kuò)張裝置制造方法
【專利摘要】一種帶擴(kuò)張裝置，即使夾持粘接帶的對(duì)置的2個(gè)邊進(jìn)行拉伸使粘接帶擴(kuò)張垂直的2個(gè)邊也不會(huì)縮小，即使在夾持了垂直的2個(gè)邊的狀態(tài)下也能使粘接帶充分?jǐn)U張。其具備：第1夾持構(gòu)件，夾持帶的第1邊；第2夾持構(gòu)件，夾持與第1邊對(duì)置的第2邊；第3夾持構(gòu)件，夾持與第1邊垂直的第3邊；第4夾持構(gòu)件，夾持與第3邊對(duì)置的第4邊；和擴(kuò)張構(gòu)件，使第1至第4夾持構(gòu)件分別在與所夾持的各邊垂直的方向移動(dòng)，第1至第4夾持構(gòu)件分別具備下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)，在下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)的上部配設(shè)有多個(gè)輥?zhàn)?，在上?cè)夾持機(jī)構(gòu)的下部配設(shè)有多個(gè)輥?zhàn)?，?及第2夾持構(gòu)件和/或者第3及第4夾持構(gòu)件中，下側(cè)和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)由中央夾持區(qū)域和端部夾持區(qū)域構(gòu)成，端部夾持區(qū)域分別配置成比中央夾持區(qū)域向互相對(duì)置的一側(cè)突出。
【專利說(shuō)明】帶擴(kuò)張裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及用于使粘貼有晶片的粘接帶擴(kuò)張來(lái)對(duì)晶片施加外力的帶擴(kuò)張裝置。

【背景技術(shù)】
[0002] 在半導(dǎo)體器件制造工序中，在為大致圓板形狀的半導(dǎo)體晶片的表面由呈格子狀排 列的被稱作間隔道的分割預(yù)定線劃分出多個(gè)區(qū)域，在該劃分出的區(qū)域形成IC (Integrated Circuit:集成電路)、LSI (Large-scale Integration:大規(guī)模集成電路）等器件。并且，通 過(guò)沿間隔道將半導(dǎo)體晶片切斷，由此分割形成有器件區(qū)域，制造出一個(gè)個(gè)的器件。另外，對(duì) 于在藍(lán)寶石基板的表面層疊氮化鎵系化合物半導(dǎo)體等而成的光器件晶片，也通過(guò)沿規(guī)定的 分割預(yù)定線切斷，而將其分割成一個(gè)個(gè)的發(fā)光二極管、激光二極管等光器件，廣泛應(yīng)用于電 氣設(shè)備。
[0003] 作為分割上述的半導(dǎo)體晶片或光器件晶片等被加工物的方法，下述這樣的方法被 實(shí)際應(yīng)用：使用對(duì)該被加工物具有透射性的波長(zhǎng)的脈沖激光光線，將聚光點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)應(yīng)該分割 的區(qū)域的內(nèi)部進(jìn)行照射，沿著間隔道在被加工物的內(nèi)部連續(xù)地形成改性層，沿著因形成該 改性層而強(qiáng)度降低了的間隔道施加外力，由此分割被加工物。（例如，參照專利文獻(xiàn)1。）
[0004] 并且，作為沿著因形成該改性層而強(qiáng)度降低了的間隔道施加外力的技術(shù)，在下述 專利文獻(xiàn)2中記載了這樣的技術(shù)：使粘貼有晶片的粘接帶擴(kuò)張，然后，在使粘接帶擴(kuò)張的狀 態(tài)下，將環(huán)狀的框架圍繞著被分割成一個(gè)個(gè)器件的晶片粘貼于粘接帶。
[0005] 專利文獻(xiàn)1 :日本特許第3408805號(hào)公報(bào)
[0006] 專利文獻(xiàn)2 :日本特開(kāi)2006-229021號(hào)公報(bào)
[0007] 并且，上述專利文獻(xiàn)2所記載的使粘貼有晶片的粘接帶擴(kuò)張的技術(shù)存在這樣的問(wèn) 題：由于是夾著粘接帶的對(duì)置的2個(gè)邊拉伸的方法，因此，垂直的2個(gè)邊縮小，使得粘貼于粘 接帶的一個(gè)個(gè)的分割出的器件受到損傷。另外，如果在夾持著垂直的2個(gè)邊的狀態(tài)下拉伸 對(duì)置的兩個(gè)邊，則存在粘接帶未充分?jǐn)U張這樣的問(wèn)題。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0008] 本發(fā)明是鑒于上述的情況完成的，其主要的技術(shù)課題在于提供一種帶擴(kuò)張裝置， 即使夾持著粘接帶的對(duì)置的2個(gè)邊進(jìn)行拉伸使粘接帶擴(kuò)張，粘接帶的垂直的2個(gè)邊也不會(huì) 縮小，并且，即使在夾持了垂直的2個(gè)邊的狀態(tài)下，也能夠使粘接帶充分?jǐn)U張。
[0009] 為了解決上述的技術(shù)課題，根據(jù)本發(fā)明，提供一種帶擴(kuò)張裝置，其對(duì)矩形的帶進(jìn)行 擴(kuò)張，所述帶擴(kuò)張裝置的特征在于，
[0010] 所述帶擴(kuò)張裝置具備：
[0011] 第1夾持構(gòu)件，其夾持帶的第1邊；第2夾持構(gòu)件，其夾持帶的與該第1邊對(duì)置的 第2邊；第3夾持構(gòu)件，其夾持帶的與該第1邊和該第2邊垂直的第3邊；第4夾持構(gòu)件，其 夾持帶的與該第3邊對(duì)置的第4邊；和擴(kuò)張構(gòu)件，其使該第1夾持構(gòu)件、該第2夾持構(gòu)件、該 第3夾持構(gòu)件和該第4夾持構(gòu)件分別在與所夾持的各邊垂直的方向上移動(dòng)，
[0012] 該第1夾持構(gòu)件、該第2夾持構(gòu)件、該第3夾持構(gòu)件和該第4夾持構(gòu)件分別具備下 側(cè)夾持機(jī)構(gòu)和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)，在該下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)的上部配設(shè)有在沿著所夾持的邊的方向上 旋轉(zhuǎn)的多個(gè)輥?zhàn)樱谠撋蟼?cè)夾持機(jī)構(gòu)的下部，配設(shè)有在沿著所夾持的邊的方向上旋轉(zhuǎn)的多 個(gè)輥?zhàn)樱?br> [0013] 該下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)和該上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)中的任一方由下述部分構(gòu)成：支承塊，其使2 個(gè)輥?zhàn)泳哂幸?guī)定的間隔，并將這2個(gè)輥?zhàn)又С谐赡軌蛐D(zhuǎn)；和按壓構(gòu)件，其按壓該支承塊上 的將2個(gè)輥?zhàn)拥拈g隔2等分的作用位置，
[0014] 在該第1夾持構(gòu)件及該第2夾持構(gòu)件兩者和/或該第3夾持構(gòu)件及該第4夾持構(gòu) 件兩者中，該下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)和該上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)由中央夾持區(qū)域和位于該中央夾持區(qū)域的兩 側(cè)的端部夾持區(qū)域構(gòu)成，該端部夾持區(qū)域分別配置成比該中央夾持區(qū)域向互相對(duì)置的一側(cè) 突出。
[0015] 在被上述第1夾持構(gòu)件、第2夾持構(gòu)件、第3夾持構(gòu)件和第4夾持構(gòu)件包圍的中 央配設(shè)有用于圓形工作臺(tái)，第1夾持構(gòu)件及該第2夾持構(gòu)件兩者和/或第3夾持構(gòu)件及第 4夾持構(gòu)件兩者的下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)中的該端部夾持區(qū)域被定位成以仿照?qǐng)A形 工作臺(tái)的外周的方式突出。
[0016] 上述按壓構(gòu)件由下述部分構(gòu)成：按壓塊，其在2個(gè)支承塊的作用位置處將2個(gè)支承 塊分別支承成能夠旋轉(zhuǎn)；和致動(dòng)器，其按壓該按壓塊上的將2個(gè)支承塊的該作用位置2等分 的按壓位置。
[0017] 在根據(jù)本發(fā)明構(gòu)成的帶擴(kuò)張裝置中，由于第1夾持構(gòu)件、第2夾持構(gòu)件、第3夾持 構(gòu)件和第4夾持構(gòu)件分別具備下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)，在下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)的上部配設(shè) 有在沿著所夾持的邊的方向上旋轉(zhuǎn)的多個(gè)輥?zhàn)?，在上?cè)夾持機(jī)構(gòu)的下部配設(shè)有在沿著所夾 持的邊的方向上旋轉(zhuǎn)的多個(gè)輥?zhàn)?，因此，例如在夾持著粘接帶的第3邊和第4邊進(jìn)行擴(kuò)張 時(shí)，即使利用夾持與第3邊和第4邊垂直的第1邊和第2邊的第1夾持構(gòu)件和第2夾持構(gòu) 件的下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)進(jìn)行了夾持，由于在下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)上配 設(shè)的多個(gè)輥?zhàn)有D(zhuǎn)，因此粘接帶能夠被充分地?cái)U(kuò)張。另外，在夾持著粘接帶的第1邊和第2 邊進(jìn)行擴(kuò)張時(shí)，即使利用夾持與第1邊和第2邊垂直的第3邊和第4邊的第3夾持構(gòu)件和 第4夾持構(gòu)件的下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)進(jìn)行了夾持，由于在下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)和上側(cè)夾 持機(jī)構(gòu)上配設(shè)的多個(gè)輥?zhàn)有D(zhuǎn)，因此粘接帶能夠被充分地?cái)U(kuò)張。
[0018] 另外，在本發(fā)明的帶擴(kuò)張裝置中，由于下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)中的任意一 方具備：支承塊，其使2個(gè)輥?zhàn)泳哂幸?guī)定的間隔，并將這2個(gè)輥?zhàn)又С谐赡軌蛐D(zhuǎn)；和按壓 構(gòu)件，其按壓支承塊上的將2個(gè)輥?zhàn)拥拈g隔2等分的作用位置，因此，支承有2個(gè)輥?zhàn)拥亩?個(gè)支承塊分別在將2個(gè)輥?zhàn)拥拈g隔2等分的作用位置被按壓，因此，構(gòu)成為一對(duì)的所有2個(gè) 輥?zhàn)幽軌蚺c配設(shè)在上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)或下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)的下側(cè)夾持部件上的多個(gè)輥?zhàn)右跃鶆虻?力夾持粘接帶1的各邊。
[0019] 另外，在本發(fā)明的帶擴(kuò)張裝置中，在第1夾持構(gòu)件及第2夾持構(gòu)件兩者和/或第3 夾持構(gòu)件及第4夾持構(gòu)件兩者中，下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)由中央夾持區(qū)域和位于中 央夾持區(qū)域的兩側(cè)的端部夾持區(qū)域構(gòu)成，端部夾持區(qū)域分別配置成比中央夾持區(qū)域向互相 對(duì)置的一側(cè)突出，因此，在擴(kuò)張帶時(shí)，能夠克服四角的帶的拉伸力牢固地進(jìn)行夾持。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0020] 圖1是根據(jù)本發(fā)明構(gòu)成的帶擴(kuò)張裝置的立體圖。
[0021] 圖2是構(gòu)成圖1所示的帶擴(kuò)張裝置的上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)的主要部分立體圖。
[0022] 圖3是將圖2所示的上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)的主要部分分解示出的立體圖。
[0023] 圖4是將構(gòu)成圖1所示的帶擴(kuò)張裝置的夾持構(gòu)件的下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu) 的主要部分放大示出的主視圖。
[0024] 圖5是使用圖1所示的帶擴(kuò)張裝置實(shí)施的帶夾持工序的說(shuō)明圖。
[0025] 圖6是使用圖1所示的帶擴(kuò)張裝置實(shí)施的第1帶擴(kuò)張工序的說(shuō)明圖。
[0026] 圖7是使用圖1所示的帶擴(kuò)張裝置實(shí)施的第2帶擴(kuò)張工序的說(shuō)明圖。
[0027] 圖8是示出在實(shí)施了第1帶擴(kuò)張工序和第2帶擴(kuò)張工序后的粘接帶上粘貼的被分 割成一個(gè)一個(gè)的器件的狀態(tài)的說(shuō)明圖。
[0028] 圖9是使用圖1所示的帶擴(kuò)張裝置實(shí)施的框架安裝工序的說(shuō)明圖。
[0029] 圖10是示出下述狀態(tài)的剖視圖：實(shí)施了圖9所示的框架安裝工序，在分割成一個(gè) 一個(gè)的器件之間形成有間隔（s)的晶片10經(jīng)由粘接帶被支承于環(huán)狀的框架。
[0030] 圖11是通過(guò)帶擴(kuò)張裝置進(jìn)行擴(kuò)張的粘接帶的俯視圖。
[0031] 標(biāo)號(hào)說(shuō)明
[0032] 1 :粘接帶；
[0033] 2 :帶擴(kuò)張裝置；
[0034] 20 :固定基座；
[0035] 3:圓形工作臺(tái)；
[0036] 4a :第1夾持構(gòu)件；
[0037] 4b :第2夾持構(gòu)件；
[0038] 4c :第3夾持構(gòu)件；
[0039] 4d :第4夾持構(gòu)件；
[0040] 41 :可動(dòng)基座；
[0041] 42A、42B :下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)；
[0042] 422A、422B :下側(cè)夾持部件；
[0043] 423 :輥?zhàn)樱?br> [0044] 43A、43B :上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)；
[0045] 433 :輥?zhàn)樱?br> [0046] 4：34 :支承塊；
[0047] 435 :按壓構(gòu)件；
[0048] 436 :按壓塊；
[0049] 437 :致動(dòng)器；
[0050] 44 :第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)；
[0051] 45:第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)；
[0052] 5a :第1帶擴(kuò)張構(gòu)件；
[0053] 5b :第2帶擴(kuò)張構(gòu)件；
[0054] 5c :第3帶擴(kuò)張構(gòu)件；
[0055] 5d :第4帶擴(kuò)張構(gòu)件；
[0056] 7 :環(huán)狀的框架；
[0057] 10:晶片。

【具體實(shí)施方式】
[0058] 以下，參照附圖，對(duì)根據(jù)本發(fā)明構(gòu)成的帶擴(kuò)張裝置的優(yōu)選的實(shí)施方式詳細(xì)地進(jìn)行 說(shuō)明。
[0059] 在圖11中示出了通過(guò)帶擴(kuò)張裝置進(jìn)行擴(kuò)張的粘接帶的俯視圖。圖示的粘接帶1 形成為正方形(矩形)，且具備：第1邊la ;第2邊lb，其與該第1邊la對(duì)置；第3邊lc，其 與該第1邊la和該第2邊lb垂直；和第4邊ld，其與該第3邊lc對(duì)置。在這樣形成的粘 接帶1的表面涂布有粘接層，在其表面的中央部粘貼有晶片10。并且，對(duì)于晶片10,在圖示 的實(shí)施方式中，在表面l〇a呈格子狀形成有多個(gè)間隔道101，并且，晶片10由在被該多個(gè)間 隔道101劃分出的多個(gè)區(qū)域中分別形成有器件102的半導(dǎo)體晶片構(gòu)成，晶片10被沿著間隔 道101分割成了一個(gè)個(gè)器件102。
[0060] 接下來(lái)，對(duì)于用于擴(kuò)張粘接帶1的帶擴(kuò)張裝置參照?qǐng)D1至圖3進(jìn)行說(shuō)明，在所述粘 接帶1上粘貼有被分割成上述的一個(gè)個(gè)器件102的晶片10。
[0061] 在圖1中示出了根據(jù)本發(fā)明構(gòu)成的帶擴(kuò)張裝置的一個(gè)實(shí)施方式的立體圖。
[0062] 圖1所示的實(shí)施方式中的帶擴(kuò)張裝置2具備：固定基座20 ;圓形工作臺(tái)3,其配設(shè) 在該固定基座20的中央部上表面，載置上述粘接帶1 ;第1夾持構(gòu)件4a、第2夾持構(gòu)件4b、 第3夾持構(gòu)件4c和第4夾持構(gòu)件4d，它們圍繞著該圓形工作臺(tái)3配設(shè)，對(duì)被載置于圓形工 作臺(tái)3上的上述粘接帶1進(jìn)行夾持；以及第1帶擴(kuò)張構(gòu)件5a、第2帶擴(kuò)張構(gòu)件5b、第3帶擴(kuò) 張構(gòu)件5c和第4帶擴(kuò)張構(gòu)件5d，它們分別使該第1夾持構(gòu)件4a、該第2夾持構(gòu)件4b、該第 3夾持構(gòu)件4c和該第4夾持構(gòu)件4d沿圓形工作臺(tái)3的徑向移動(dòng)。并且，在圖示的實(shí)施方 式中，第1夾持構(gòu)件4a夾持上述粘接帶1的第1邊la，第2夾持構(gòu)件4b夾持與第1邊la 對(duì)置的第2邊lb，第3夾持構(gòu)件4c夾持與第1邊la和第2邊lb垂直的第3邊lc，第4夾 持構(gòu)件4d夾持與第3邊lc對(duì)置的第4邊Id。另外，第1帶擴(kuò)張構(gòu)件5a、第2帶擴(kuò)張構(gòu)件 5b、第3帶擴(kuò)張構(gòu)件5c和第4帶擴(kuò)張構(gòu)件5d使第1夾持構(gòu)件4a、第2夾持構(gòu)件4b、第3夾 持構(gòu)件4c和第4夾持構(gòu)件4d分別在與所夾持的粘接帶1的各邊垂直的方向移動(dòng)。
[0063] 上述固定基座20形成為矩形，在其上表面形成有第1引導(dǎo)槽201a、第2引導(dǎo)槽 201b、第3引導(dǎo)槽201c和第4引導(dǎo)槽201d，這些引導(dǎo)槽互相具有90度的角度地朝向上述圓 形工作臺(tái)3的中心而形成。另外，固定基座20的形成有上述第1引導(dǎo)槽201a、第2引導(dǎo)槽 201b、第3引導(dǎo)槽201c和第4引導(dǎo)槽201d的外周部形成為向外方突出。
[0064] 上述圓形工作臺(tái)3被支承構(gòu)件30支承于固定基座20的上表面。該支承構(gòu)件30 在圖示的實(shí)施方式中構(gòu)成為能夠使圓形工作臺(tái)3在上下方向上移動(dòng)。
[0065] 上述第1夾持構(gòu)件4a、第2夾持構(gòu)件4b、第3夾持構(gòu)件4c和第4夾持構(gòu)件4d分 別配設(shè)在形成于上述固定基座20的第1引導(dǎo)槽201a、第2引導(dǎo)槽201b、第3引導(dǎo)槽201c 和第4引導(dǎo)槽20Id上方。即，4個(gè)夾持構(gòu)件4a、4b、4c、4d配設(shè)成在周向上互相具有相等的 角度。像這樣配設(shè)在固定基座20上的第1夾持構(gòu)件4a和第2夾持構(gòu)件4b在圖示的實(shí)施 方式中為相同的結(jié)構(gòu)，且分別具備：可動(dòng)基座41，其形成為L(zhǎng)字狀；下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42A和上 側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43A，它們以能夠在上下方向上移動(dòng)的方式安裝于該可動(dòng)基座41 ;以及第1移動(dòng) 機(jī)構(gòu)44和第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)45,它們使該下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42A和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43A分別在上下 方向上移動(dòng)。另外，第3夾持構(gòu)件4c和第4夾持構(gòu)件4d在圖示的實(shí)施方式中為相同的結(jié) 構(gòu)，且分別具備：可動(dòng)基座41，其形成為L(zhǎng)字狀；下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42B和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43B，它 們以能夠在上下方向上移動(dòng)的方式安裝于該可動(dòng)基座41 ;以及第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)44和第2移 動(dòng)機(jī)構(gòu)45,它們使該下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42B和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43B分別在上下方向上移動(dòng)。這樣， 第1夾持構(gòu)件4a及第2夾持構(gòu)件4b、同第3夾持構(gòu)件4c及第4夾持構(gòu)件4d除了下側(cè)夾持 機(jī)構(gòu)42A及上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43A和下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42B及上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43B以外，構(gòu)成為相同 的結(jié)構(gòu)。
[0066] 可動(dòng)基座41由移動(dòng)部411和支承部412構(gòu)成，該支承部412從該移動(dòng)部411的上 表面立起設(shè)置而形成。在移動(dòng)部411的下表面設(shè)置有分別嵌合于上述第1引導(dǎo)槽201a、第 2引導(dǎo)槽201b、第3引導(dǎo)槽201c和第4引導(dǎo)槽201d中的被引導(dǎo)軌道411a，通過(guò)將該被引導(dǎo) 軌道411a分別嵌合于上述第1引導(dǎo)槽201a、第2引導(dǎo)槽201b、第3引導(dǎo)槽201c、第4引導(dǎo) 槽201d中，可動(dòng)基座41以能夠分別沿著上述第1引導(dǎo)槽201a、第2引導(dǎo)槽201b、第3引導(dǎo) 槽201c、第4引導(dǎo)槽201d移動(dòng)的方式構(gòu)成在固定基座20上。另外，在移動(dòng)部411中貫穿形 成有內(nèi)螺紋411b。在上述支承部412的內(nèi)側(cè)的面(互相對(duì)置的一側(cè)的面）上設(shè)置有在上下 方向上延伸的導(dǎo)軌412a，在上述支承部412的外側(cè)的面上形成有在上下方向上延伸的長(zhǎng)槽 412b。另外，在導(dǎo)軌412a上形成有長(zhǎng)孔412c，該長(zhǎng)孔412c從內(nèi)側(cè)的面到達(dá)上述長(zhǎng)槽412b， 且在上下方向上延伸。
[0067] 上述第1夾持構(gòu)件4a和第2夾持構(gòu)件4b的下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42A、42A分別由下述 部分構(gòu)成：支承臂421，其配設(shè)成能夠沿著在上述可動(dòng)基座41的支承部412上設(shè)置的導(dǎo)軌 412a移動(dòng)；和下側(cè)夾持部件422A，其安裝于該支承臂421。在支承臂421的基端設(shè)置有與 上述導(dǎo)軌412a嵌合的被引導(dǎo)槽421a，通過(guò)將該被引導(dǎo)槽421a與導(dǎo)軌412a嵌合，由此，支承 臂421構(gòu)成為能夠沿著可動(dòng)基座41的支承部412的導(dǎo)軌412a在上下方向上移動(dòng)。另外， 在支承臂421的基部設(shè)置有內(nèi)螺紋塊421c，該內(nèi)螺紋塊421c具備內(nèi)螺紋421b，該內(nèi)螺紋塊 421c配設(shè)成貫插于上述長(zhǎng)孔412c中。上述下側(cè)夾持部件422A在圖示的實(shí)施方式中形成為 長(zhǎng)方體狀，并且配設(shè)成長(zhǎng)度方向朝向與被引導(dǎo)軌道411a垂直的方向。這樣構(gòu)成的下側(cè)夾持 機(jī)構(gòu)42A、42A的下側(cè)夾持部件422A、422A分別具備中央夾持區(qū)域422a和位于該中央夾持 區(qū)域422a的兩側(cè)的端部夾持區(qū)域422b、422b，該端部夾持區(qū)域422b、422b配設(shè)成分別比中 央夾持區(qū)域422a向互相對(duì)置的一側(cè)突出。在這樣構(gòu)成的下側(cè)夾持部件422A、422A的夾持 面?zhèn)燃瓷媳砻妫湓O(shè)有在下側(cè)夾持部件422A的長(zhǎng)度方向上旋轉(zhuǎn)的多個(gè)輥?zhàn)?23。
[0068] 上述第3夾持構(gòu)件4c和第4夾持構(gòu)件4d的下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42B、42B分別由下述 部分構(gòu)成：支承臂421，其配設(shè)成能夠沿著在上述可動(dòng)基座41的支承部412上設(shè)置的導(dǎo)軌 412a移動(dòng)；和下側(cè)夾持部件422B，其安裝于該支承臂421。在支承臂421的基端設(shè)置有與 上述導(dǎo)軌412a嵌合的被引導(dǎo)槽421a，通過(guò)將該被引導(dǎo)槽421a與導(dǎo)軌412a嵌合，由此，支承 臂421構(gòu)成為能夠沿著可動(dòng)基座41的支承部412的導(dǎo)軌412a在上下方向上移動(dòng)。另外， 在支承臂421的基部設(shè)置有內(nèi)螺紋塊421c，該內(nèi)螺紋塊421c具備內(nèi)螺紋421b，該內(nèi)螺紋塊 421c配設(shè)成貫插在上述長(zhǎng)孔412c中。上述下側(cè)夾持部件422在圖示的實(shí)施方式中形成為 長(zhǎng)方體狀，并且配設(shè)成長(zhǎng)度方向朝向與被引導(dǎo)軌道411a垂直的方向。這樣構(gòu)成的下側(cè)夾持 機(jī)構(gòu)42B、42B的下側(cè)夾持部件422B、422B形成為直線狀，且在夾持面?zhèn)燃瓷媳砻媾湓O(shè)有在 下側(cè)夾持部件422B的長(zhǎng)度方向上旋轉(zhuǎn)的多個(gè)輥?zhàn)?23。
[0069] 上述第1夾持構(gòu)件4a和第2夾持構(gòu)件4b的上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43A、43A具備：支承臂 431，其配設(shè)成能夠沿著在上述可動(dòng)基座41的支承部412上設(shè)置的導(dǎo)軌412a移動(dòng)；和支承 罩432A、432A，它們安裝于該支承臂431上。在支承臂431的基端設(shè)置有與上述導(dǎo)軌412a 嵌合的被引導(dǎo)槽431a，通過(guò)將該被引導(dǎo)槽431a與導(dǎo)軌412a嵌合，由此，支承臂431構(gòu)成為 在可動(dòng)基座41的支承部412上能夠沿著導(dǎo)軌412a在上下方向上移動(dòng)。另外，在支承臂431 的基部設(shè)置有內(nèi)螺紋塊431c，該內(nèi)螺紋塊431c具備內(nèi)螺紋431b，該內(nèi)螺紋塊421c配設(shè)成 貫插在上述長(zhǎng)孔412c中。
[0070] 上述支承罩432A、432A分別具備中央夾持區(qū)域432a和位于該中央夾持區(qū)域432a 的兩側(cè)的端部夾持區(qū)域432b、432b，該端部夾持區(qū)域432b、432b配設(shè)成分別比中央夾持區(qū) 域432a向互相對(duì)置的一側(cè)突出。對(duì)于上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43A、43A的配設(shè)在像這樣構(gòu)成的支承 罩432A、432A內(nèi)的構(gòu)成部件，參照?qǐng)D2和圖3進(jìn)行說(shuō)明。圖2和圖3所示的上側(cè)夾持機(jī)構(gòu) 43A、43A分別具備：支承塊434,其使2個(gè)輥?zhàn)?33具有規(guī)定的間隔并將它們支承成能夠旋 轉(zhuǎn)；和按壓構(gòu)件435,其按壓該支承塊上的將2個(gè)輥?zhàn)拥拈g隔2等分的作用位置。支承塊 434具備輥?zhàn)又С胁?34a和按壓作用部434b，該按壓作用部434b在該輥?zhàn)又С胁?34a上 從上端水平延伸。在輥?zhàn)又С胁?34a上隔開(kāi)規(guī)定的間隔地配設(shè)有2個(gè)支承軸433a，輥?zhàn)?433分別以能夠旋轉(zhuǎn)的方式支承于該2個(gè)支承軸433a。并且，在構(gòu)成支承塊434的按壓作 用部434b上的將2個(gè)支承軸433a (2個(gè)輥?zhàn)?33)的間隔2等分的作用位置設(shè)有軸貫插孔 434c。這樣構(gòu)成的支承塊434以2個(gè)為一對(duì)被按壓構(gòu)件435按壓。
[0071] 按壓構(gòu)件435由下述部分構(gòu)成：按壓塊436,其在2個(gè)支承塊434的作用位置處將 2個(gè)支承塊434分別支承成能夠旋轉(zhuǎn)；和致動(dòng)器437,其按壓該按壓塊436上的將2個(gè)支承 塊434的作用位置2等分的按壓位置。按壓塊436由上壁436a、側(cè)壁436b及436c、和端壁 436d及436e構(gòu)成，按壓塊436形成為下側(cè)敞開(kāi)的箱狀。在像這樣形成的按壓塊436的側(cè)壁 436b上安裝的2個(gè)支承軸(未圖示)分別以能夠旋轉(zhuǎn)的方式嵌合于上述的在構(gòu)成支承塊434 的按壓作用部434b上設(shè)置的軸貫插孔434c中。在像這樣構(gòu)成的按壓塊436的上壁436a 上，安裝有用于連結(jié)致動(dòng)器437的一對(duì)連結(jié)部件438a、438b。在一個(gè)連結(jié)部件438a上形成 有貫插孔438c，在另一個(gè)連結(jié)部件438b上形成有螺紋孔438d。致動(dòng)器437在圖示的實(shí)施 方式中由氣缸機(jī)構(gòu)構(gòu)成，在其活塞桿437a的末端部形成有連結(jié)孔437b。將這樣構(gòu)成的致動(dòng) 器437的活塞桿437a的末端部定位在一對(duì)連結(jié)部件438a、438b之間，將連結(jié)螺栓439貫穿 插入到在一個(gè)連結(jié)部件438a上形成的貫插孔438c和在活塞桿437a的末端部形成的連結(jié) 孔437b中，并螺合于在另一個(gè)連結(jié)部件438b上形成的螺紋孔438d中，由此，將構(gòu)成致動(dòng)器 437的活塞桿437a與安裝在按壓塊436的上壁436a的上一對(duì)連結(jié)部件438a、438b連結(jié)起 來(lái)。這樣構(gòu)成的致動(dòng)器437被安裝在上述支承罩432A的上壁。
[0072] 如以上這樣構(gòu)成的上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43A、43A配設(shè)成與上述下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42A、42A對(duì) 置。S卩，將構(gòu)成上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43A、43A的支承罩432A、432A的中央夾持區(qū)域432a和端部夾 持區(qū)域432b、432b定位成分別與構(gòu)成下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42A、42A的下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42A、42A的中 央夾持區(qū)域422a和端部夾持區(qū)域422b、422b對(duì)置。并且，在上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43A的多個(gè)支承 塊434上分別支承有2個(gè)的多個(gè)輥?zhàn)?33被配設(shè)成與在上述下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42A的下側(cè)夾持 部件422A上配設(shè)的多個(gè)輥?zhàn)?23對(duì)置。并且，下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42A、42A中的端部夾持區(qū)域 422b、422b和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43A、43A中的端部夾持區(qū)域432b、432b被定位成以仿照?qǐng)A形工 作臺(tái)3的外周的方式突出。
[0073] 返回圖1繼續(xù)說(shuō)明，上述第3夾持構(gòu)件4c和第4夾持構(gòu)件4d的上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43B、 43B分別具有：支承臂431，其配設(shè)成能夠沿著在上述可動(dòng)基座41的支承部412上設(shè)置的導(dǎo) 軌412a移動(dòng)；和支承罩432、432,它們安裝于該支承臂431上。在支承臂431的基端設(shè)置 有與上述導(dǎo)軌412a嵌合的被引導(dǎo)槽431a，通過(guò)將該被引導(dǎo)槽431a與導(dǎo)軌412a嵌合，由此， 支承臂431構(gòu)成為在可動(dòng)基座41的支承部412上能夠沿著導(dǎo)軌412a在上下方向上移動(dòng)。 另外，在支承臂431的基部設(shè)置有內(nèi)螺紋塊431c，該內(nèi)螺紋塊431c具備內(nèi)螺紋431b，該內(nèi) 螺紋塊421c配設(shè)成貫插在上述長(zhǎng)孔412c中。
[0074] 上述支承罩432、432與下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42B、42B的下側(cè)夾持部件422B、422B相對(duì) 應(yīng)地形成為直線狀，并且被定位成與下側(cè)夾持部件422B、422B對(duì)置。在這樣形成的支承罩 432、432內(nèi)，在上述多個(gè)支承塊434上分別支承有2個(gè)的多個(gè)輥?zhàn)?33配設(shè)成與在下側(cè)夾持 部件422B上配設(shè)的多個(gè)輥?zhàn)?23對(duì)置。
[0075] 參照?qǐng)D1繼續(xù)說(shuō)明，使上述下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42A、42A和下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42B、42B分別 在上下方向上移動(dòng)的第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)44由下述部分構(gòu)成：外螺紋桿441，其與導(dǎo)軌412a平行 地配設(shè)于在上述可動(dòng)基座41的支承部412上形成的長(zhǎng)槽412b內(nèi)，并且與在上述支承臂421 的基部處設(shè)置的內(nèi)螺紋塊421c的內(nèi)螺紋421b螺合；軸承442,其配設(shè)于可動(dòng)基座41的支承 部412,將外螺紋桿441的一端部支承成能夠旋轉(zhuǎn)；以及脈沖馬達(dá)443,其與外螺紋桿441的 另一端連結(jié)，用于驅(qū)動(dòng)外螺紋桿441旋轉(zhuǎn)。這樣構(gòu)成的第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)44驅(qū)動(dòng)脈沖馬達(dá)443 使外螺紋桿441向一個(gè)方向或另一個(gè)方向轉(zhuǎn)動(dòng)，由此分別使下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42A、42A和下側(cè) 夾持機(jī)構(gòu)42B、42B沿著導(dǎo)軌412a在上下方向上移動(dòng)。
[0076] 使上述上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43A、43A和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43B、43B分別在上下方向上移動(dòng)的 第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)45是與上述第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)44相同的結(jié)構(gòu)，且配設(shè)在第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)44的上 偵k即，第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)45由下述部分構(gòu)成：外螺紋桿451，其與導(dǎo)軌412a平行地配設(shè)于在 上述可動(dòng)基座41的支承部412上形成的長(zhǎng)槽412b內(nèi)，并且與在上述支承臂431的基部處 設(shè)置的內(nèi)螺紋塊431c的內(nèi)螺紋431b螺合；軸承452,其配設(shè)于可動(dòng)基座41的支承部412， 將外螺紋桿451的一端部支承成能夠旋轉(zhuǎn)；以及脈沖馬達(dá)453,其與外螺紋桿451的另一端 連結(jié)，用于驅(qū)動(dòng)外螺紋桿451旋轉(zhuǎn)。這樣構(gòu)成的第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)45驅(qū)動(dòng)脈沖馬達(dá)453使外螺 紋桿451向一個(gè)方向或另一個(gè)方向轉(zhuǎn)動(dòng)，由此分別使上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43A、43A和上側(cè)夾持機(jī) 構(gòu)43B、43B沿著導(dǎo)軌412a在上下方向上移動(dòng)。
[0077] 分別使上述第1夾持構(gòu)件4a、第2夾持構(gòu)件4b、第3夾持構(gòu)件4c、第4夾持構(gòu)件 4d沿著圓形工作臺(tái)3的徑向移動(dòng)的第1帶擴(kuò)張構(gòu)件5a、第2帶擴(kuò)張構(gòu)件5b、第3帶擴(kuò)張構(gòu) 件5c、第4帶擴(kuò)張構(gòu)件5d，分別沿著在上述固定基座20上形成的上述第1引導(dǎo)槽201a、第 2引導(dǎo)槽201b、第3引導(dǎo)槽201c、第4引導(dǎo)槽201d配設(shè)。該第1帶擴(kuò)張構(gòu)件5a、第2帶擴(kuò) 張構(gòu)件5b、第3帶擴(kuò)張構(gòu)件5c、第4帶擴(kuò)張構(gòu)件5d分別由下述部分構(gòu)成：外螺紋桿51，其 配設(shè)成與第1引導(dǎo)槽201a、第2引導(dǎo)槽201b、第3引導(dǎo)槽201c、第4引導(dǎo)槽201d平行，且與 在上述可動(dòng)基座41的移動(dòng)部411上形成的內(nèi)螺紋411b螺合；軸承52,其配設(shè)于上述固定 基座20,并且將外螺紋桿51的一端部支承成能夠旋轉(zhuǎn)；以及脈沖馬達(dá)53,其與外螺紋桿51 的另一端連結(jié)，用于驅(qū)動(dòng)外螺紋桿51旋轉(zhuǎn)。這樣構(gòu)成的第1帶擴(kuò)張構(gòu)件5a、第2帶擴(kuò)張構(gòu) 件5b、第3帶擴(kuò)張構(gòu)件5c、第4帶擴(kuò)張構(gòu)件5d分別驅(qū)動(dòng)脈沖馬達(dá)53使外螺紋桿51向一個(gè) 方向或另一個(gè)方向轉(zhuǎn)動(dòng)，由此使第1夾持構(gòu)件4a、第2夾持構(gòu)件4b、第3夾持構(gòu)件4c、第4 夾持構(gòu)件4d分別沿著圓形工作臺(tái)3的徑向移動(dòng)。
[0078] 圖1至圖3所示的實(shí)施方式中的帶擴(kuò)張裝置2如以上這樣構(gòu)成，下面對(duì)其作用進(jìn) 行說(shuō)明。
[0079] 上述圖11所示的在表面中央部粘貼有晶片10 (被分割成一個(gè)個(gè)的器件102)的粘 接帶1通過(guò)未圖示的搬送裝置而被載置于圓形工作臺(tái)3上。此時(shí)，粘接帶1被載置成使第1 邊la朝向第1夾持構(gòu)件4a，使第2邊lb朝向第2夾持構(gòu)件4b，使第3邊lc朝向第3夾持 構(gòu)件4c，使第4邊Id朝向第4夾持構(gòu)件4d。并且，此時(shí)圓形工作臺(tái)3的上表面被定位在上 述第1夾持構(gòu)件4a和第2夾持構(gòu)件4b的下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42A、42A以及第3夾持構(gòu)件4c和 第4夾持構(gòu)件4d的下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42B、42B、與第1夾持構(gòu)件4a和第2夾持構(gòu)件4b的上側(cè) 夾持機(jī)構(gòu)43A、43A以及第3夾持構(gòu)件4c和第4夾持構(gòu)件4d的上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43B、43B的中 間位置的高度。
[0080] 接下來(lái)，使第1帶擴(kuò)張構(gòu)件5a、第2帶擴(kuò)張構(gòu)件5b、第3帶擴(kuò)張構(gòu)件5c、第4帶擴(kuò) 張構(gòu)件5d工作，將第1夾持構(gòu)件4a和第2夾持構(gòu)件4b的下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42A、42A以及第3 夾持構(gòu)件4c和第4夾持構(gòu)件4d的下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42B、42B、與第1夾持構(gòu)件4a和第2夾持 構(gòu)件4b的上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43A、43A以及第3夾持構(gòu)件4c和第4夾持構(gòu)件4d的上側(cè)夾持機(jī) 構(gòu)43B、43B定位在能夠夾持粘接帶1的位置。然后，使構(gòu)成第1夾持構(gòu)件4a、第2夾持構(gòu) 件4b、第3夾持構(gòu)件4c、第4夾持構(gòu)件4d的第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)44和第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)45工作，并 且，使構(gòu)成上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43 (A、B)的致動(dòng)器437工作，經(jīng)按壓塊436將支承塊434向下方 按壓。其結(jié)果是，如圖4和圖5所示，利用在下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42 (A、B)的下側(cè)夾持部件422 (A、B)上配設(shè)的多個(gè)輥?zhàn)?23、和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43 (A、B)的在支承塊434 (參照?qǐng)D3)(分 別被上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43 (A、B)的多個(gè)按壓塊436按壓）各支承有2個(gè)的輥?zhàn)?33,夾持粘接 帶1的各邊(帶夾持工序)。此時(shí)，各對(duì)2個(gè)輥?zhàn)?33進(jìn)行支承的多個(gè)支承塊434分別在將2 個(gè)輥?zhàn)?33的間隔2等分的作用位置被按壓，因此，構(gòu)成為一對(duì)的所有2個(gè)輥?zhàn)?33能夠與 配設(shè)在下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42 (A、B)的下側(cè)夾持部件422 (A、B)上的多個(gè)輥?zhàn)?23以均勻的力 夾持粘接帶1的各邊。在像這樣夾持著粘接帶1的各邊的狀態(tài)下，如圖5所示，構(gòu)成第1帶 擴(kuò)張構(gòu)件5a和第2帶擴(kuò)張構(gòu)件5b的上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43A、43A中的端部夾持區(qū)域432b、432b 的按壓塊436被定位成比中央夾持區(qū)域432a的按壓塊436向互相對(duì)置的一側(cè)（中央側(cè)）突 出。并且，雖然在圖5中沒(méi)有示出，但是，構(gòu)成第1帶擴(kuò)張構(gòu)件5a和第2帶擴(kuò)張構(gòu)件5b的下 側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42A、42A中的端部夾持區(qū)域422b、422b也被定位成比中央夾持區(qū)域422a靠互 相對(duì)置的一側(cè)（中央側(cè))，并且被定位在與上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43A、43A中的端部夾持區(qū)域432b、 432b對(duì)置的位置。
[0081] 如圖4和圖5所示，在利用在下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42 (A、B)的下側(cè)夾持部件422 (A、B) 上配設(shè)的多個(gè)輥?zhàn)?23、和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43 (A、B)的在支承塊434 (參照?qǐng)D3)(分別被多 個(gè)按壓塊436按壓)各支承有2個(gè)的輥?zhàn)?33夾持粘接帶1的各邊后，例如使第3帶擴(kuò)張構(gòu) 件5c和第4帶擴(kuò)張構(gòu)件5d工作，如圖6所示，使構(gòu)成第3夾持構(gòu)件4c和第4夾持構(gòu)件4d 的下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42B和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43B向圖6中箭頭A1和A2所示的方向（在圖6中為 左右方向)移動(dòng)。其結(jié)果是，粘接帶1被向箭頭A1和A2所示的方向(在圖6中為左右方向） 拉伸而擴(kuò)張(第1帶擴(kuò)張工序)。此時(shí)，粘接帶1的第3邊lc和第4邊Id被構(gòu)成第3夾持 構(gòu)件4c和第4夾持構(gòu)件4d的下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42B和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43B夾持，第1夾持構(gòu)件 4a和第2夾持構(gòu)件4b夾持與粘接帶1的第3邊lc和第4邊Id垂直的第1邊la和第2邊 lb，在第1夾持構(gòu)件4a和第2夾持構(gòu)件4b的構(gòu)成下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42A的下側(cè)夾持部件422A 上配設(shè)的多個(gè)輥?zhàn)?23和分別支承于支承塊434 (分別被構(gòu)成上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43A的多個(gè)按 壓塊436按壓）的2個(gè)輥?zhàn)?33配設(shè)成在長(zhǎng)度方向（沿著第1邊la和第2邊lb的方向）上 旋轉(zhuǎn)，因此，當(dāng)粘接帶1被向箭頭A1和A2所示的方向（在圖6中為左右方向）拉伸而擴(kuò)張 時(shí)，在構(gòu)成下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42A的下側(cè)夾持部件422A上配設(shè)的多個(gè)輥?zhàn)?23和分別支承于支 承塊434 (分別被構(gòu)成上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43A的多個(gè)按壓塊436按壓)的2個(gè)輥?zhàn)?33旋轉(zhuǎn)。因 此，在夾持著粘接帶1的第3邊lc和第4邊Id進(jìn)行擴(kuò)張時(shí)，即使利用夾持與第3邊lc和 第4邊Id垂直的第1邊la和第2邊lb的第1夾持構(gòu)件4a和第2夾持構(gòu)件4b的下側(cè)夾持 機(jī)構(gòu)42A和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43A進(jìn)行了夾持，由于在構(gòu)成下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42A的下側(cè)夾持部件 422A上配設(shè)的多個(gè)輥?zhàn)?23和分別支承于支承塊434 (分別被構(gòu)成上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43A的多 個(gè)按壓塊436按壓）的2個(gè)輥?zhàn)?33旋轉(zhuǎn)，因此粘接帶1能夠被充分地?cái)U(kuò)張。另外，構(gòu)成第 1帶擴(kuò)張構(gòu)件5a和第2帶擴(kuò)張構(gòu)件5b的下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42A、42A中的端部夾持區(qū)域422b、 422b、和構(gòu)成第1帶擴(kuò)張構(gòu)件5a和第2帶擴(kuò)張構(gòu)件5b的上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43A、43A中的端部 夾持區(qū)域432b、432b分別被定位成比中央夾持區(qū)域422a和432a向互相對(duì)置的一側(cè)（中央 偵D突出，因此，在擴(kuò)張了粘接帶1時(shí)，能夠克服四角的帶的拉伸力牢牢地進(jìn)行夾持。并且， 由于上述下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42A、42A中的端部夾持區(qū)域422b、422b和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43A、43A中 的端部夾持區(qū)域432b、432b被定位成以仿照?qǐng)A形工作臺(tái)3的外周的方式突出，因此，在擴(kuò)張 了粘接帶1時(shí)，能夠克服四角的帶的拉伸力牢牢地進(jìn)行夾持。
[0082] 接下來(lái)，在上述的第6圖所示的夾持著粘接帶1的第3邊lc和第4邊Id進(jìn)行了 擴(kuò)張的狀態(tài)下，如圖7所示，使構(gòu)成第1夾持構(gòu)件4a和第2夾持構(gòu)件4b的下側(cè)夾持機(jī)構(gòu) 42A和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43A向圖7中箭頭B1和B2所示的方向（在圖7中為上下方向）移動(dòng)。 其結(jié)果是，粘接帶1被向箭頭B1和B2所示的方向(在圖7中為上下方向）拉伸而擴(kuò)張(第2 帶擴(kuò)張工序)。此時(shí)，粘接帶1的第1邊la和第2邊lb被構(gòu)成第1夾持構(gòu)件4a和第2夾 持構(gòu)件4b的下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42A和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43A夾持，第3夾持構(gòu)件4c和第4夾持構(gòu) 件4d夾持與粘接帶1的第1邊la和第2邊lb垂直的第3邊lc和第4邊ld，在第3夾持 構(gòu)件4c和第4夾持構(gòu)件4d的下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42B的下側(cè)夾持部件422B上配設(shè)的多個(gè)輥?zhàn)?423和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43B的分別支承于支承塊434(分別被上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43B的多個(gè)按壓塊 436按壓）的2個(gè)輥?zhàn)?33被配設(shè)成在長(zhǎng)度方向（沿著第3邊lc和第4邊Id的方向）上旋 轉(zhuǎn)，因此，當(dāng)粘接帶1被向箭頭B1和B2所示的方向（在圖7中為上下方向）拉伸而擴(kuò)張時(shí)， 在構(gòu)成下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42B的下側(cè)夾持部件422B上配設(shè)的多個(gè)輥?zhàn)?23和分別支承于支承 塊434 (分別被構(gòu)成上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43B的多個(gè)按壓塊436按壓）的2個(gè)輥?zhàn)?33旋轉(zhuǎn)。因 此，在夾持粘接帶1的第1邊la和第2邊lb進(jìn)行擴(kuò)張時(shí)，即使利用夾持與第1邊la和第 2邊lb垂直的第3邊lc和第4邊Id的第3夾持構(gòu)件4c和第4夾持構(gòu)件4d的下側(cè)夾持 機(jī)構(gòu)42B和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43B進(jìn)行了夾持，由于在構(gòu)成下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42B的下側(cè)夾持部件 422B上配設(shè)的多個(gè)輥?zhàn)?23和分別支承于支承塊434 (分別被構(gòu)成上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43B的多 個(gè)按壓塊436按壓）的2個(gè)輥?zhàn)?33旋轉(zhuǎn)，因此粘接帶1能夠被充分地?cái)U(kuò)張。
[0083] 并且，在上述的實(shí)施方式中，示出了這樣的例子：在夾持著粘接帶1的第1邊la及 第2邊lb和第3邊lc及第4邊Id的狀態(tài)下，分開(kāi)實(shí)施使粘接帶1的第3邊lc和第4邊 Id擴(kuò)張的第1帶擴(kuò)張工序、和使粘接帶1的第1邊la和第2邊lb擴(kuò)張的第2帶擴(kuò)張工序， 但是，也可以同時(shí)實(shí)施第1帶擴(kuò)張工序和第2帶擴(kuò)張工序。
[0084] 通過(guò)如以上這樣擴(kuò)張粘接帶1的第3邊lc及第4邊Id和第1邊la及第2邊lb， 由此，如圖8所示，在粘貼在粘接帶1上的晶片10被分割成一個(gè)個(gè)而成的器件102之間形 成了間隙S。
[0085] 并且，即使在器件的縱向和橫向的尺寸不同、且配設(shè)于晶片的器件的縱列和橫列 的數(shù)目不同的情況下，通過(guò)對(duì)應(yīng)于配設(shè)的器件的數(shù)量調(diào)整粘接帶1的第1邊la及第2邊lb 的擴(kuò)張量和第3邊lc及第4邊Id的擴(kuò)張量，能夠使分割成一個(gè)個(gè)的器件之間的間隙S恒 定，并且能夠使間隙形成在一條直線上。
[0086] 接下來(lái)，在粘貼于上述的粘接帶1上的晶片10被分割成一個(gè)個(gè)而成的器件102之 間形成有間隙S的狀態(tài)下，如圖9所示，將環(huán)狀的框架7安裝于粘接帶1的涂布有粘接層的 表面，該框架7具有收納晶片10的大小的開(kāi)口部70 (框架安裝工序)。其結(jié)果是，如圖10 所示，在分割成一個(gè)個(gè)的器件102之間形成有間隔（s)的晶片10被收納于環(huán)狀的框架7的 開(kāi)口部70,該晶片10經(jīng)由粘接帶1被環(huán)狀的框架7支承。這樣，在將環(huán)狀的框架7安裝于 粘接帶1的表面后，沿著環(huán)狀的框架7的外周切斷粘接帶1。然后，經(jīng)由粘接帶1而被支承 于環(huán)狀的框架7的晶片10 (在器件102之間形成有間隔（s))被搬送至拾取器件的拾取工 序。
[0087] 以上，基于圖示的實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明并不僅僅限定于實(shí)施 方式，能夠在本發(fā)明的宗旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變形。在上述的實(shí)施方式中，示出了這樣的 例子：構(gòu)成第1帶擴(kuò)張構(gòu)件5a和第2帶擴(kuò)張構(gòu)件5b的下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42A、42A中的端部夾 持區(qū)域422b、422b、和構(gòu)成第1帶擴(kuò)張構(gòu)件5a和第2帶擴(kuò)張構(gòu)件5b的上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43A、 43A中的端部夾持區(qū)域432b、432b分別被定位成比中央夾持區(qū)域422a和432a向互相對(duì)置 的一側(cè)（中央側(cè))突出，但是，也可以將第3夾持構(gòu)件4c和第4夾持構(gòu)件4d的下側(cè)夾持機(jī)構(gòu) 42B、42B和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43B、43B的端部夾持區(qū)域定位成比中央夾持區(qū)域向互相對(duì)置的一 偵W中央側(cè)）突出，也可以將構(gòu)成第1帶擴(kuò)張構(gòu)件5a及第2帶擴(kuò)張構(gòu)件5b的下側(cè)夾持機(jī)構(gòu) 42A、42A、和第3夾持構(gòu)件4c及第4夾持構(gòu)件4d的下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42B、42B及上側(cè)夾持機(jī)構(gòu) 43B、43B雙方的端部夾持區(qū)域定位成比中央夾持區(qū)域向互相對(duì)置的一側(cè)（中央側(cè)）突出。
[0088] 另外，在上述的實(shí)施方式中，示出了這樣的例子：將2個(gè)輥?zhàn)?33支承成能夠旋轉(zhuǎn) 的多個(gè)支承塊434和按壓多個(gè)支承塊434的多個(gè)按壓構(gòu)件435配設(shè)于上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)43A、 43B，但是，也可以將多個(gè)支承塊434和多個(gè)按壓構(gòu)件435配設(shè)于下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)42A、42B。
[0089] 而且，在上述的實(shí)施方式中，示出了使粘貼有沿著間隔道101被分割開(kāi)的晶片10 的粘接帶1擴(kuò)張的例子，但是，本發(fā)明的帶擴(kuò)張裝置也可以用于這樣的情況：使粘貼著沿 間隔道101在內(nèi)部形成有改性層的晶片的粘接帶擴(kuò)張，沿著形成有改性層的間隔道分割晶 片。
【權(quán)利要求】
1. 一種帶擴(kuò)張裝置，其對(duì)矩形的帶進(jìn)行擴(kuò)張， 所述帶擴(kuò)張裝置的特征在于， 所述帶擴(kuò)張裝置具備：第1夾持構(gòu)件，其夾持帶的第1邊；第2夾持構(gòu)件，其夾持帶的與 該第1邊對(duì)置的第2邊；第3夾持構(gòu)件，其夾持帶的與該第1邊和該第2邊垂直的第3邊； 第4夾持構(gòu)件，其夾持帶的與該第3邊對(duì)置的第4邊；和擴(kuò)張構(gòu)件，其使該第1夾持構(gòu)件、該 第2夾持構(gòu)件、該第3夾持構(gòu)件和該第4夾持構(gòu)件分別在與所夾持的各邊垂直的方向上移 動(dòng)， 該第1夾持構(gòu)件、該第2夾持構(gòu)件、該第3夾持構(gòu)件和該第4夾持構(gòu)件分別具備下側(cè)夾 持機(jī)構(gòu)和上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)，在該下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)的上部配設(shè)有在沿著所夾持的邊的方向上旋轉(zhuǎn) 的多個(gè)輥?zhàn)樱谠撋蟼?cè)夾持機(jī)構(gòu)的下部，配設(shè)有在沿著所夾持的邊的方向上旋轉(zhuǎn)的多個(gè)輥 子， 該下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)和該上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)中的任一方由下述部分構(gòu)成：支承塊，其使2個(gè)輥 子具有規(guī)定的間隔，并將這2個(gè)輥?zhàn)又С谐赡軌蛐D(zhuǎn)；和按壓構(gòu)件，其按壓該支承塊上的將 2個(gè)輥?zhàn)拥拈g隔2等分的作用位置， 在該第1夾持構(gòu)件及該第2夾持構(gòu)件兩者和/或該第3夾持構(gòu)件及該第4夾持構(gòu)件 兩者中，該下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)和該上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)由中央夾持區(qū)域和位于該中央夾持區(qū)域的兩側(cè) 的端部夾持區(qū)域構(gòu)成，該端部夾持區(qū)域分別配置成比該中央夾持區(qū)域向互相對(duì)置的一側(cè)突 出。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶擴(kuò)張裝置，其特征在于， 在被該第1夾持構(gòu)件、該第2夾持構(gòu)件、該第3夾持構(gòu)件和該第4夾持構(gòu)件包圍的中央 配設(shè)有用于載置該矩形的帶的圓形工作臺(tái)，該第1夾持構(gòu)件及該第2夾持構(gòu)件兩者和/或 該第3夾持構(gòu)件及該第4夾持構(gòu)件兩者的該下側(cè)夾持機(jī)構(gòu)和該上側(cè)夾持機(jī)構(gòu)中的該端部夾 持區(qū)域被定位成以仿照?qǐng)A形工作臺(tái)的外周的方式突出。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的帶擴(kuò)張裝置，其特征在于， 上述按壓構(gòu)件由下述部分構(gòu)成：按壓塊，其在2個(gè)支承塊的作用位置處將2個(gè)支承塊分 別支承成能夠旋轉(zhuǎn)；和致動(dòng)器，其按壓該按壓塊上的將2個(gè)支承塊的作用位置2等分的按壓 位置。
【文檔編號(hào)】H01L21/78GK104103585SQ201410144272
【公開(kāi)日】2014年10月15日 申請(qǐng)日期:2014年4月11日 優(yōu)先權(quán)日:2013年4月15日
【發(fā)明者】關(guān)家一馬, 高澤徹 申請(qǐng)人:株式會(huì)社迪思科