加速激活藥液的裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種加速激活藥液的裝置，屬于晶硅太陽(yáng)能電池【技術(shù)領(lǐng)域】，主要特點(diǎn)是設(shè)置存放亞硝酸鹽溶液的緩存槽，緩存槽的藥液管路插入主槽體，藥液管路中串接電磁閥，電磁閥接電腦，緩存槽經(jīng)管道外接氮?dú)猓彺娌凵显O(shè)置排風(fēng)管連接外圍排風(fēng)抽走氮?dú)?，主槽體內(nèi)設(shè)置鼓泡機(jī)構(gòu)，鼓泡機(jī)構(gòu)連接氮?dú)?。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了在PM之后或者暫停生產(chǎn)之后，再進(jìn)行生產(chǎn)時(shí)添加亞硝酸鹽溶液以提高亞硝酸根濃度，加速激活藥液，減少由于藥液激活所帶來的產(chǎn)能浪費(fèi)問題，也降低了硅片成本；本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，實(shí)用性強(qiáng)，有利于降低由于藥液激活所帶來的產(chǎn)能浪費(fèi)問題和降低硅片成本。
【專利說明】加速激活藥液的裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種加速激活藥液的裝置，屬于晶硅太陽(yáng)能電池【技術(shù)領(lǐng)域】。
【背景技術(shù)】
[0002]在常規(guī)晶硅太陽(yáng)能電池工藝中，酸制絨和濕法刻蝕是普遍使用的成熟技術(shù)，酸制絨可以減少反射率，去除損傷層，濕法刻蝕可以實(shí)現(xiàn)背面拋光，邊緣絕緣，均可以提高太陽(yáng)能電池轉(zhuǎn)換效率。
[0003]各電池廠商采用的酸制絨和濕法刻蝕設(shè)備在設(shè)計(jì)上有一個(gè)共同點(diǎn)，即主槽體的工藝原理是類似的:HN03與HF的混合液與硅片反應(yīng)時(shí)，HN03先將硅片氧化，HF再與其氧化產(chǎn)物反應(yīng)。該工藝過程可以穩(wěn)定、有效的實(shí)現(xiàn)酸制絨和濕法刻蝕設(shè)備功能，并且比較容易控制，適合量產(chǎn)使用，但卻存在一個(gè)問題，即藥液激活問題。此反應(yīng)前序反應(yīng)(氧化反應(yīng))為慢反應(yīng)，是影響反應(yīng)速率的主要部分；而在氧化反應(yīng)中，起氧化作用的并不是HN03，而是HN03在反應(yīng)過程中的副產(chǎn)物亞硝酸根離子，因此激活藥液的主要目的是為了提高藥液中的亞硝酸根濃度。因此在PM之后或者暫停生產(chǎn)之后，再進(jìn)行生產(chǎn)時(shí)，需要使用硅片進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間試跑，以提高藥液中的亞硝酸根濃度，激活藥液，保證刻蝕速率穩(wěn)定可控，這樣就會(huì)帶來2個(gè)負(fù)面影響:一是需要消耗大量硅片；二是需要消耗2-3小時(shí)的時(shí)間，極大地影響車間正常生產(chǎn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的是提供一種加速激活藥液的裝置，解決上述現(xiàn)有設(shè)備存在的缺陷，通過本發(fā)明使酸制絨和濕法刻蝕設(shè)備的藥液激活時(shí)間大幅減少，減少由于藥液激活所帶來的產(chǎn)能浪費(fèi)問題，降低硅片成本。
[0005]本發(fā)明的目的是通過以下裝置實(shí)現(xiàn)的，一種加速激活藥液的裝置，包括主槽體，其特征是，設(shè)置存放亞硝酸鹽溶液的緩存槽，緩存槽經(jīng)藥液管路連接主槽體，藥液管路中串接電磁閥，電磁閥接電腦，緩存槽經(jīng)管道外接氮?dú)?，緩存槽上設(shè)置排風(fēng)管連接外圍排風(fēng)抽走氮?dú)猓鞑垠w內(nèi)設(shè)置鼓泡裝置，鼓泡機(jī)構(gòu)連接氮?dú)狻?br> [0006]所述鼓泡機(jī)構(gòu)是一根布滿氣孔的氮?dú)夤埽獨(dú)夤苓B接氮?dú)狻?br> [0007]本發(fā)明有如下優(yōu)點(diǎn):1)在現(xiàn)有酸制絨和濕法刻蝕設(shè)備的基礎(chǔ)上，對(duì)槽體的構(gòu)造進(jìn)行改善，但配置變動(dòng)較少，改造成本較??；2)在本發(fā)明中，實(shí)現(xiàn)了一種加速激活藥液的裝置，可以在PM之后或者暫停生產(chǎn)之后，再進(jìn)行生產(chǎn)時(shí)添加亞硝酸鹽溶液以提高亞硝酸根濃度，加速激活藥液，減少由于藥液激活所帶來的產(chǎn)能浪費(fèi)問題，也降低了硅片成本；本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，實(shí)用性強(qiáng)，有利于降低由于藥液激活所帶來的產(chǎn)能浪費(fèi)問題和降低硅片成本。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]圖1為本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2為本發(fā)明中的鼓泡機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖； 圖中，I緩存槽，2藥液管路，3主槽體，4鼓泡機(jī)構(gòu)，5氣孔，6管道，7氮?dú)庠矗?排風(fēng)管，9電磁閥。
【具體實(shí)施方式】
[0009]結(jié)合附圖和實(shí)施例進(jìn)一步說明本發(fā)明，如圖1、2所示，本發(fā)明是在現(xiàn)有酸制絨和濕法刻蝕設(shè)備的基礎(chǔ)上進(jìn)行的改進(jìn)，硬件配置變動(dòng)較少，包括存放亞硝酸鹽溶液的緩存槽1，緩存槽I經(jīng)藥液管路2連接的主槽體3，藥液管路2中串接電磁閥9，電磁閥9接電腦，緩存槽I經(jīng)管道6外接氮?dú)庠?，緩存槽I通過其排風(fēng)管8連接外圍排風(fēng)抽走氮?dú)?，主槽體3內(nèi)設(shè)置鼓泡機(jī)構(gòu)4，鼓泡機(jī)構(gòu)4是一根布滿氣孔5的氮?dú)夤埽獨(dú)夤苓B接氮?dú)?，在緩存槽I中存有亞硝酸鹽溶液，在酸制絨和濕法刻蝕設(shè)備PM之后或者暫停生產(chǎn)之后，再進(jìn)行生產(chǎn)時(shí)，可以控制電磁閥9通過藥液管路2向主槽體3中添加一定量的亞硝酸鹽溶液，然后向鼓泡機(jī)構(gòu)4中通入氮?dú)?，在主槽體3產(chǎn)生大量氣泡，可以使藥液混合均勻；由于本裝置可以向主槽體3中添加亞硝酸鹽溶液，提高了亞硝酸根濃度，加速激活藥液，減少由于藥液激活所帶來的產(chǎn)能浪費(fèi)問題，也降低了硅片成本。
[0010]以上所述的具體實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的目的，技術(shù)方案，有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說明，所應(yīng)理解的是，以上所述的僅是本發(fā)明的具體實(shí)施例而已，并不用限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改，等同替換，改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種加速激活藥液的裝置，其特征是，所述裝置設(shè)置存放亞硝酸鹽溶液的緩存槽，緩存槽的藥液管路插入主槽體，藥液管路中串接電磁閥，電磁閥接電腦，緩存槽經(jīng)管道外接氮?dú)猓彺娌凵显O(shè)置排風(fēng)管連接外圍排風(fēng)抽走氮?dú)?，主槽體內(nèi)設(shè)置鼓泡機(jī)構(gòu)，鼓泡機(jī)構(gòu)連接氮?dú)狻?br> 2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加速激活藥液的裝置，其特征是，所述鼓泡機(jī)構(gòu)是一根布滿氣孔的氮?dú)夤埽獨(dú)夤苓B接氮?dú)狻?br> 【文檔編號(hào)】H01L31/18GK103972328SQ201410176430
【公開日】2014年8月6日 申請(qǐng)日期:2014年4月29日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月29日
【發(fā)明者】趙建東, 鄭飛 申請(qǐng)人:中電電氣（揚(yáng)州）光伏有限公司