激光束照射裝置及用該裝置制造有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法
【專利摘要】在此提供了一種激光束照射裝置及用該裝置制造有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法。激光束照射裝置，包括：激光源，配置成發(fā)射光；準(zhǔn)直器，配置成校準(zhǔn)所發(fā)射的光；掃描儀，配置成調(diào)整校準(zhǔn)后的光以改變其照射方向；第一透鏡部，配置成聚焦調(diào)整后的光以在密封部上照射激光束；相機(jī)，配置成接收穿過(guò)所述掃描儀的可視光；熱感應(yīng)部，配置成接收穿過(guò)所述掃描儀的紅外光；以及控制部，配置成控制所述激光束的移動(dòng)方向和強(qiáng)度。
【專利說(shuō)明】激光束照射裝置及用該裝置制造有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法
[0001]相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用
[0002]本申請(qǐng)要求于2013年5月31日提交的第10-2013-0063083號(hào)韓國(guó)專利申請(qǐng)的權(quán)利，該申請(qǐng)?jiān)诖送ㄟ^(guò)引用并入以用于所有目的，如同其已完全在本文中闡述。

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0003]本公開(kāi)涉及用于密封基板的激光束照射裝置以及通過(guò)采用該裝置制造有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法。

【背景技術(shù)】
[0004]近來(lái)，便攜式和薄型式平板顯示裝置越來(lái)越多地被用作電子設(shè)備的顯示器。在平板顯示裝置中，電致發(fā)光顯示裝置為具有諸如視角寬、對(duì)比度好、以及響應(yīng)時(shí)間快的特點(diǎn)的一種自發(fā)光型顯示裝置，并且作為下一代顯示裝置備受矚目。并且，與無(wú)機(jī)發(fā)光顯示裝置相t匕，以有機(jī)材料形成發(fā)射層的有機(jī)發(fā)光顯示裝置以較好的亮度、驅(qū)動(dòng)電壓、和相應(yīng)時(shí)間特點(diǎn)而著稱，并且可以實(shí)現(xiàn)多色發(fā)光。
[0005]通常，有機(jī)發(fā)光顯示裝置具有包括在一雙電極之間的發(fā)射層的、排列有一個(gè)或多個(gè)有機(jī)層的配置結(jié)構(gòu)。
[0006]對(duì)有機(jī)發(fā)光顯示裝置而言，當(dāng)濕氣或氧氣從周圍的環(huán)境滲透到裝置內(nèi)部時(shí)電極材料可能被氧化和剝落，并且由此縮短了有機(jī)發(fā)光裝置的使用壽命、降低了發(fā)光效率、以及使得發(fā)光顏色衰退。
[0007]因此，為了防止?jié)駳獾臐B透，在有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造中通常地執(zhí)行將有機(jī)發(fā)光裝置與外部隔離的密封工序。傳統(tǒng)的密封方法包括:在有機(jī)發(fā)光顯示裝置的第二電極上層疊有機(jī)薄膜和諸如聚酯纖維(PET)的有機(jī)聚合物的方法；以及在封裝基板中形成濕氣吸收劑、給封裝基板充入氮?dú)怏w、和用諸如環(huán)氧樹(shù)脂的密封劑密封封裝基板的邊緣的方法。
[0008]但是，由于這些方法無(wú)法百分之百地防止諸如濕氣和氧氣的損害性因素從外部滲透，并且這些方法實(shí)施起來(lái)非常復(fù)雜，因此在未進(jìn)行修改的前提下無(wú)法將這些應(yīng)用于對(duì)濕氣非常脆弱的有機(jī)發(fā)光顯示裝置。為了解決這樣的問(wèn)題，開(kāi)發(fā)出了通過(guò)采用諸如熔塊的密封劑提高有機(jī)發(fā)光裝置基板和封裝基板之間粘性的基板-密封方法。
[0009]通過(guò)采用以涂布在玻璃基板上的熔塊密封有機(jī)發(fā)光顯示裝置的結(jié)構(gòu)，完全地密封在有機(jī)發(fā)光裝置基板和封裝基板之間的空間，因此可以更有效地保護(hù)有機(jī)發(fā)光顯示裝置。
[0010]在用諸如熔塊的密封劑密封基板的方法中，將熔塊涂布在有機(jī)發(fā)光顯示裝置的密封部上，并且激光束照射裝置把激光束照射在移動(dòng)中的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的密封部上以固化熔塊，從而密封基板。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]本發(fā)明示例性實(shí)施例提供了一種用于將期望的激光強(qiáng)度局部地輸送給密封部的激光束照射裝置，以及采用該裝置制造有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法。
[0012]根據(jù)本發(fā)明一示例性實(shí)施例，提供一種激光束照射裝置，包括:激光源，配置成發(fā)射光；準(zhǔn)直器，配置成校準(zhǔn)所發(fā)射的光；掃描儀，配置成調(diào)整校準(zhǔn)后的光以改變其照射方向；第一透鏡部，配置成聚焦調(diào)整后的光以在密封部上照射激光束；相機(jī)，配置成接收穿過(guò)所述掃描儀的可視光；熱感應(yīng)部，配置成接收穿過(guò)所述掃描儀的紅外光；以及控制部，配置成控制所述激光束的移動(dòng)方向和強(qiáng)度。
[0013]根據(jù)一示例性實(shí)施例，提供一種激光束照射裝置，包括:激光源，用于發(fā)射光；準(zhǔn)直器，配置成校準(zhǔn)所發(fā)射的光；掃描儀，配置成調(diào)整校準(zhǔn)后的光以改變其照射方向；第一分色鏡，配置成反射調(diào)整后的光；第一透鏡部，配置成聚焦所述反射的光以在密封部上照射激光束；相機(jī)，配置成接收入射到第一透鏡部上并且穿過(guò)所述第一分色鏡的可視光；熱感應(yīng)部，配置成接收入射到所述第一透鏡部上并且穿過(guò)所述第一分色鏡的紅外光；以及控制部，配置成控制所述激光束的移動(dòng)方向和強(qiáng)度。
[0014]根據(jù)一示例性實(shí)施例，提供一種采用激光束照射裝置制造有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法，包括:形成有機(jī)發(fā)光部；形成圍繞所述有機(jī)發(fā)光部的密封部，所述密封部被形成在第一基板或第二基板上；對(duì)準(zhǔn)所述第一基板和所述第二基板；以及照射激光束，以使得所述激光束在執(zhí)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)沿著所述密封部移動(dòng)，并且當(dāng)所述激光束執(zhí)行所述旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)改變所述激光束的強(qiáng)度。
[0015]應(yīng)當(dāng)理解，以上的總體說(shuō)明和以后的詳細(xì)說(shuō)明為示例性的和解釋性的，并且意在提供對(duì)要求保護(hù)的發(fā)明的進(jìn)一步解釋。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0016]通過(guò)參考附圖詳細(xì)地說(shuō)明示例性實(shí)施例，將使得本發(fā)明的上述特征及其它特征及其優(yōu)點(diǎn)變得更為清楚。
[0017]圖1為激光束照射裝置和有機(jī)發(fā)光顯示裝置的部分截面圖。
[0018]圖2為圖1的激光束照射裝置和有機(jī)發(fā)光顯示裝置的部分俯視圖。
[0019]圖3為說(shuō)明根據(jù)一示例性實(shí)施例的激光束照射裝置的示意圖。
[0020]圖4為說(shuō)明根據(jù)一示例性實(shí)施例的激光束照射裝置的示意圖。
[0021]圖5為說(shuō)明根據(jù)一示例性實(shí)施例的激光束的運(yùn)動(dòng)路徑的示意圖。
[0022]圖6為說(shuō)明根據(jù)一示例性實(shí)施例的激光束的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)和直線運(yùn)動(dòng)的示意圖。
[0023]圖7為說(shuō)明根據(jù)一示例性實(shí)施例的激光束的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)中激光束的強(qiáng)度變化示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0024]以下，參考附圖更詳細(xì)地說(shuō)明本發(fā)明示例性實(shí)施例。通過(guò)包含附圖從而提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，附圖并入和構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分，其用于說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例，并與說(shuō)明書(shū)一同用于解釋本發(fā)明的原理。
[0025]在圖中，為了清楚可能夸大了層、膜、面板、區(qū)域等的厚度。在整個(gè)說(shuō)明書(shū)中，相同的附圖標(biāo)記指代相同的要素。應(yīng)當(dāng)理解，當(dāng)諸如層、膜、區(qū)域、或者基板在另一要素“上”時(shí)，其可以直接在其它要素上面或者可以存在介入要素。相反，當(dāng)要素“直接”在另一要素“上”時(shí)，不存在介入要素。應(yīng)當(dāng)理解，為了本公開(kāi)的目的，“x、Y、和Z中至少一個(gè)”可以解釋為僅X、僅Y、僅z、或者X、Y、和Z的任意兩個(gè)或多個(gè)的組合(例如，XYZ、XYY、TL、ZZ)。
[0026]圖1為有機(jī)發(fā)光顯示裝置1000和激光束照射裝置I和2的部分截面圖。圖2為圖1的激光束照射裝置I和2和有機(jī)發(fā)光顯示裝置1000的部分俯視圖。
[0027]參考圖1和圖2，將有機(jī)發(fā)光部30和圍繞有機(jī)發(fā)光部30的密封部40設(shè)置在第一基板10和第二基板20之間，并且將可以從激光束照射裝置I和/或2發(fā)射的激光束60照射在密封部40上。
[0028]根據(jù)一示例性實(shí)施例，有機(jī)發(fā)光部30形成在第一基板10上。第一基板10可以為適于支撐在其上面覆蓋的結(jié)構(gòu)的基板。第一基板10可以包括:柔性材料、玻璃基板、石英基板等等。例如，可以以玻璃形成第一基板。
[0029]根據(jù)一不例性實(shí)施例，第二基板20為用于封裝形成在第一基板10上的有機(jī)發(fā)光部30的封裝基板，并且可以包括使得激光束60穿過(guò)其中的基板，如下面將要進(jìn)行說(shuō)明的。第二基板20可以包括:柔性材料、玻璃基板、石英基板等等。例如，可以以玻璃形成第二基板20。
[0030]進(jìn)一步地，有機(jī)發(fā)光部30可以包括:一個(gè)或多個(gè)有機(jī)發(fā)光裝置(簡(jiǎn)稱為0LED)(未圖不)，在有機(jī)發(fā)光裝置中設(shè)置有一個(gè)或多個(gè)有機(jī)層(未圖不)，有機(jī)層包括位于第一電極(未圖示)和第二電極(未圖示)之間的發(fā)射層。在此，第一電極(未圖示)可以用作供應(yīng)空穴的陽(yáng)極，第二電極(未圖示)可以用作供應(yīng)電子的陰極。
[0031]根據(jù)是否采用薄膜晶體管(TFT)控制OLED的驅(qū)動(dòng)，可以將OLED分為無(wú)源矩陣型和有源矩陣型。本公開(kāi)的示例性實(shí)施例均可應(yīng)用于無(wú)源矩陣和有源矩陣型。
[0032]根據(jù)一示例性實(shí)施例，可以將密封部40形成在與上述的有機(jī)發(fā)光部30相鄰的第二基板20上。例如，可以將密封部40形成在第二基板20上以圍繞有機(jī)發(fā)光部30。
[0033]密封部40可以形成閉環(huán)，以防止有機(jī)發(fā)光部30與外部的濕氣或氧氣接觸。
[0034]如圖1和圖2所示，將形成閉環(huán)的密封部40的每個(gè)角落處形成為具有特定曲率的曲線形狀。但是該主題的示例性實(shí)施例并不限于此。例如，可以將密封部40的每個(gè)角落處形成為具有小曲率或者沒(méi)有曲率的、基本上為直角的形狀。
[0035]根據(jù)一示例性實(shí)施例，適當(dāng)?shù)拿芊鈩┛梢杂米鞔_保在第一基板10和第二基板20之間的密封能力的密封部40，并且更有效地保護(hù)有機(jī)發(fā)光部30。通過(guò)諸如絲網(wǎng)印刷方法或筆點(diǎn)膠方法的多種方法，可以將密封劑形成為具有特定寬度FW。密封劑可以為有機(jī)和/或無(wú)機(jī)材料。例如，密封劑可以為熔塊。
[0036]根據(jù)一示例性實(shí)施例，在將密封部40形成在第二基板20上并且將有機(jī)發(fā)光部30形成在第一基板10上之后，可以將第一基板10和第二基板20相互對(duì)準(zhǔn)。但是，該主題的示例性實(shí)施例并不限于此。例如，可以在將密封部40形成在已形成有有機(jī)發(fā)光部30的第一基板10上之后，將第一基板10與第二基板20進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)和耦合。
[0037]并且，雖然在附圖中示出了提供一個(gè)有機(jī)發(fā)光部30的示例，但是本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員會(huì)意識(shí)到在第一基板10和第二基板20之間可以提供多個(gè)有機(jī)發(fā)光部30和分別圍繞多個(gè)有機(jī)發(fā)光部30的多個(gè)密封部40。
[0038]激光束照射裝置I和2可以沿著設(shè)置在第一基板10和第二基板20之間的密封部40的路徑照射激光束60。激光束60可以以具有平頂輪廓的點(diǎn)波束的形式照射在密封部40上。
[0039]根據(jù)一示例性實(shí)施例，可以將第一基板10安裝在基板臺(tái)70上，從而使得基板臺(tái)70在第一基板10下方。通過(guò)移動(dòng)基板臺(tái)70，可以相對(duì)移動(dòng)激光束60照射在密封部40上的位置?？蛇x地/附加地，通過(guò)激光束照射裝置I和2的運(yùn)動(dòng)可以移動(dòng)激光束60的位置。
[0040]圖3為說(shuō)明根據(jù)一示例性實(shí)施例的激光束照射裝置I的示意圖。
[0041]參考圖3，根據(jù)一示例性實(shí)施例的激光束照射裝置I可以包括:激光源110、掃描儀120、第一透鏡部130、相機(jī)140、熱感應(yīng)部150、控制部160、照明部170、第一分色鏡181、和第二分色鏡182。
[0042]激光源110可以產(chǎn)生激光。根據(jù)一實(shí)施例，從激光源110可以發(fā)射具有808nm波長(zhǎng)的激光。
[0043]準(zhǔn)直器115可以與激光源110的輸出連接。準(zhǔn)直器115將從激光源110發(fā)射的光改變?yōu)樾?zhǔn)光191。準(zhǔn)直器115可以具有50nm的焦距。
[0044]可以將掃描儀120設(shè)置在來(lái)自準(zhǔn)直器115的校準(zhǔn)光191的路徑上。通過(guò)第一分色鏡181，可以將來(lái)自準(zhǔn)直器115的校準(zhǔn)光191反射到掃描儀120上。
[0045]掃描儀120可以包括:反射部(未圖不)，用于將來(lái)自準(zhǔn)直器115的校準(zhǔn)光191反射到密封部40上；以及驅(qū)動(dòng)部(未圖示)，用于驅(qū)動(dòng)反射部。反射部(未圖示)的一部分可以使用精確地控制激光束的位置和速度的檢流計(jì)反射鏡，例如用于根據(jù)一示例性實(shí)施例的激光束60的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。檢流計(jì)反射鏡在450nm至2600nm波段可以具有高反射性。
[0046]根據(jù)一示例性實(shí)施例，可以將第一透鏡部130設(shè)置在穿過(guò)掃描儀120的光的路徑上。通過(guò)第一透鏡部130，可以收集穿過(guò)掃描儀120的光。第一透鏡部130可以包括F-theta透鏡。F-theta透鏡可以具有80nm的焦距。
[0047]根據(jù)一示例性實(shí)施例，被密封部40反射的所有波長(zhǎng)的光穿過(guò)掃描儀120。
[0048]例如，被密封部40反射的可視光193入射至相機(jī)140。因此，通過(guò)相機(jī)140，可以與密封操作同步地提供與操作有關(guān)的可視信息。根據(jù)一示例性實(shí)施例，相機(jī)140可以為電荷率禹合器件(charged coupled device,簡(jiǎn)稱為CCD)相機(jī)。
[0049]聚焦透鏡143可以與相機(jī)140耦合。聚焦透鏡143可以用于調(diào)整反饋到相機(jī)140的圖像的放大率。例如，聚焦透鏡143可以具有80nm的焦距。帶通濾波器146可以與聚焦透鏡143耦合。帶通濾波器146可以為只讓532nm至615nm波段的光穿過(guò)的濾波器。
[0050]根據(jù)一示例性實(shí)施例，被密封部40反射的紅外(IR)光194入射至熱感應(yīng)部150。因此，通過(guò)熱感應(yīng)部150，可以與密封操作同步地提供與密封操作有關(guān)的熱量信息。例如，熱感應(yīng)部150可以為高溫計(jì)或IR相機(jī)。
[0051]聚焦透鏡153可以與熱感應(yīng)部150耦合。聚焦透鏡153可以具有40nm或80nm的焦距。IR阻斷過(guò)濾器156可以與聚焦透鏡153耦合。IR阻斷過(guò)濾器156能夠防止紅外光泄漏至外部。
[0052]根據(jù)一示例性實(shí)施例，控制部160控制激光束60的移動(dòng)方向和強(qiáng)度。控制部160可以包括:用于控制檢流計(jì)反射鏡(未圖示)的程序，其中檢流計(jì)反射鏡(未圖示)控制激光束60的位置和速度以使得激光束60具有不同的強(qiáng)度和旋轉(zhuǎn)的移動(dòng)；以及激光驅(qū)動(dòng)器，用于在激光束60的每個(gè)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)分段中改變激光束60的強(qiáng)度。
[0053]根據(jù)一示例性實(shí)施例，照明部170可以在密封部40上照射光以照亮密封部40的周圍。照明部170可以使用發(fā)光二極管(LED)，并且具有532nm波長(zhǎng)以避免與激光束60的波段、可以用作實(shí)時(shí)測(cè)量的可視光波段，以及可以用作實(shí)時(shí)測(cè)量的IR波段重疊。
[0054]可以將第一分色鏡181設(shè)置在穿過(guò)準(zhǔn)直器115的光的路徑和被密封部40反射并穿過(guò)掃描儀120的所有波長(zhǎng)的光的路徑上。第一分色鏡181可以在穿過(guò)準(zhǔn)直器115的光波長(zhǎng)上具有高反射率，并且可以在可視光波段和IR波段具有高透明度。例如，第一分色鏡181可以在808nm波段具有高反射率，并且可以在532nm至615nm和1.5 μ m至2.3 μ m波段具有高透明度。因此來(lái)自激光源110和準(zhǔn)直器115的光被第一分色鏡181反射，并入射到掃描儀120。在被密封部40反射并穿過(guò)掃描儀120的所有波長(zhǎng)的光中，具有與來(lái)自激光源110和準(zhǔn)直器115的光相同的波段的光192被第一分色鏡181過(guò)濾掉。在被密封部40反射并穿過(guò)掃描儀120的所有波長(zhǎng)的光中,可視光193和紅外光194穿過(guò)第一分色鏡181。
[0055]可以將第二分色鏡182設(shè)置在穿過(guò)第一分色鏡181的光的路徑上。第二分色鏡182可以在可視光波段具有高反射率，并且可以在IR波段具有高透明度。例如，第二分色鏡182可以在532nm至615nm波段具有高反射率，并且可以在1.5 μ m至2.3 μ m波段具有高透明度。因此，可視光193被第二分色鏡182反射并入射至相機(jī)140，并且紅外光194穿過(guò)第二分色鏡182并入射至熱感應(yīng)部150。由此，通過(guò)相機(jī)140，可以與密封操作同步地提供可視信息；并且通過(guò)熱感應(yīng)部150，可以與密封操作同步地提供熱量信息。
[0056]從激光源110發(fā)射的光通過(guò)準(zhǔn)直器115被改變?yōu)樾?zhǔn)光191，被第一分色鏡181反射，并且入射至掃描儀120。入射至掃描儀120的光方向可以被掃描儀120改變，并且由此可以將激光束60照射在密封部40上。
[0057]在被密封部40反射的所有波長(zhǎng)的光中，具有與從激光源110發(fā)射的光的波段相同的光的方向被掃描儀120改變，并且被第一分色鏡181過(guò)濾掉。在被密封部40反射的所有波長(zhǎng)的光中，可視光193的方向被掃描儀120改變，穿過(guò)第一分色鏡181，被第二分色鏡182反射，并且照射到相機(jī)140上。在被密封部40反射的所有波長(zhǎng)的光中，紅外光194的方向被掃描儀120改變，穿過(guò)第一分色鏡181和第二分色鏡182，并且照射到熱感應(yīng)部150上。
[0058]圖4為說(shuō)明根據(jù)一示例性實(shí)施例的激光束照射裝置2的示意圖。
[0059]參考圖4，根據(jù)一示例性實(shí)施例的激光束照射裝置2可以包括:激光源210、掃描儀220、第二透鏡部230、相機(jī)240、熱感應(yīng)部250、控制部260、照明部270、第三分色鏡281、第四分色鏡282、和第五分色鏡283。
[0060]激光源210可以產(chǎn)生激光。例如，從激光源210可以發(fā)射具有808nm波長(zhǎng)的激光。
[0061]準(zhǔn)直器215可以與激光源210的輸出連接。準(zhǔn)直器215將從激光源210發(fā)射的光改變?yōu)樾?zhǔn)光291。準(zhǔn)直器215可以具有30nm焦距。
[0062]可以將掃描儀220設(shè)置在來(lái)自準(zhǔn)直器215的校準(zhǔn)光291的路徑上。來(lái)自準(zhǔn)直器215的校準(zhǔn)光291可以直接地入射至掃描儀220。
[0063]掃描儀220可以包括:將來(lái)自準(zhǔn)直器215的校準(zhǔn)光291反射到密封部40的反射部(未圖示)；以及驅(qū)動(dòng)反射部的驅(qū)動(dòng)部(未圖示)。反射部(未圖示)的一部分可以使用檢流計(jì)反射鏡，根據(jù)一示例性實(shí)施例，所述檢流計(jì)反射鏡對(duì)于激光束60的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)精確地控制激光束的位置和速度。檢流計(jì)反射鏡可以在808nm波段具有高反射率。
[0064]根據(jù)一示例性實(shí)施例，可以將第二透鏡部230設(shè)置在穿過(guò)掃描儀220的光292的路徑上。穿過(guò)掃描儀220的光292可以被第三分色鏡281反射，并且照射在第二透鏡部230上。穿過(guò)掃描儀220的光292可以被第二透鏡部230收集。第二透鏡部230可以包括F-theta透鏡。F-theta透鏡可以具有2”到3”的尺寸。
[0065]根據(jù)一示例性實(shí)施例，被密封部40反射的所有波長(zhǎng)的光穿過(guò)第二透鏡部230。
[0066]例如，被密封部40反射的可視光293入射至相機(jī)240。通過(guò)相機(jī)240，可以與密封操作同步地提供與操作相關(guān)的可視信息。相機(jī)240可以為CCD相機(jī)。
[0067]聚焦透鏡243可以與相機(jī)240耦合。聚焦透鏡243可以用于調(diào)整反饋到相機(jī)240的圖像的放大率。聚焦透鏡243可以具有10nm的焦距。帶通濾波器246可以與聚焦透鏡243耦合。帶通濾波器246可以為只允許525nm波段的光穿過(guò)的濾波器。
[0068]根據(jù)一示例性實(shí)施例，被密封部40反射的紅外光294入射至熱感應(yīng)部250。因此，通過(guò)熱感應(yīng)部250，可以與密封操作同步地提供與操作有關(guān)的熱量信息。熱感應(yīng)部250可以為高溫計(jì)或IR相機(jī)。
[0069]IR阻斷過(guò)濾器256可以與熱感應(yīng)部250耦合。阻斷過(guò)濾器256能夠隔絕具有與激光源210的光的波長(zhǎng)相同的波長(zhǎng)的光。IR阻斷過(guò)濾器256可以隔絕具有808nm波長(zhǎng)的光，由此可以只讓紅外光到達(dá)熱感應(yīng)部150。
[0070]根據(jù)一示例性實(shí)施例，控制部260控制激光束60的移動(dòng)方向和強(qiáng)度。控制部260可以包括:用于控制檢流計(jì)反射鏡(未圖示)的程序，其中檢流計(jì)反射鏡(未圖示)控制激光束60的位置和速度以使得激光束60具有不同的強(qiáng)度和旋轉(zhuǎn)的移動(dòng)；以及激光驅(qū)動(dòng)器，用于在激光束60的每個(gè)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)分段中改變激光束60的強(qiáng)度。
[0071]根據(jù)一示例性實(shí)施例，照明部270在密封部40上照射光以照亮密封部40的周圍。照明部270可以使用發(fā)光二極管，并且具有532nm波長(zhǎng)以避免與激光束60的波段、可以用作實(shí)時(shí)測(cè)量的可視光波段、以及可以用作實(shí)時(shí)測(cè)量的IR波段重疊。
[0072]可以將第三分色鏡281設(shè)置在穿過(guò)掃描儀220的光292的路徑上和被密封部40反射并穿過(guò)第二透鏡部230的所有波長(zhǎng)的光的路徑上。第三分色鏡281可以在激光源210的波段具有高反射率，并且可以在可視光波段和IR波段具有高透明度。例如，第三分色鏡281可以在808nm波段具有高反射率，并且可以在532nm波段和1，OOOnm至7，OOOnm波段具有高透明度。因此來(lái)自掃描儀220的光被第三分色鏡281反射，并且入射至第二透鏡部230。在被密封部40反射并穿過(guò)第二透鏡部230的所有波長(zhǎng)的光中，具有與來(lái)自激光源210和準(zhǔn)直器215的光相同的波段的光292被第三分色鏡281過(guò)濾掉。在被密封部40反射并穿過(guò)第二透鏡部230的所有波長(zhǎng)的光中，可視光293和紅外光294穿過(guò)第三分色鏡281。
[0073]可以將第四分色鏡282設(shè)置在穿過(guò)第三分色鏡281的光的路徑上。第四分色鏡282可以在可視光波段具有高反射率，并且可以在IR波段具有高透明度。例如，第四分色鏡282可以在525nm波段具有高反射率，并且可以在100nm至7000nm波段具有高透明度。因此，可視光293被第四分色鏡282反射，而紅外光294穿過(guò)第四分色鏡282并入射至熱感應(yīng)部250。由此，通過(guò)熱感應(yīng)部250，可以與密封操作同步地提供與操作有關(guān)的熱量信息。
[0074]可以將第五分色鏡283設(shè)置在被第四分色鏡282反射的光的路徑上。第五分色鏡283可以在可視光波段具有高反射率。例如，第五分色鏡283可以在525nm波段具有高反射率。因此，可視光293被第五分色鏡283反射，并且入射至相機(jī)240。由此，通過(guò)相機(jī)240，可以與密封操作同步地提供與操作相關(guān)的可視信息。
[0075]從激光源210發(fā)射的光通過(guò)準(zhǔn)直器115被改變?yōu)樾?zhǔn)光291，并且入射至掃描儀220。通過(guò)掃描儀220可以改變?nèi)肷渲翏呙鑳x220的光方向，并且穿過(guò)掃描儀220的光292被第三分色鏡281反射。被第三分色鏡281反射的光可以被第二透鏡部230收集，由此可以將激光束60照射到密封部40上。
[0076]在被密封部40反射的所有波長(zhǎng)的光中，具有與從激光源210發(fā)射的光的波段相同的光穿過(guò)第二透鏡部230，并且被第三分色鏡281過(guò)濾掉。在被密封部40反射的所有波長(zhǎng)的光中，可視光293穿過(guò)第二透鏡部230和第三分色鏡281，被第四分色鏡282和第五分色鏡283反射，并且照射到相機(jī)240上。在被密封部40反射的所有波長(zhǎng)的光中，紅外光294依次穿過(guò)第二透鏡部230、第三分色鏡281、和第四分色鏡282，并照射到熱感應(yīng)部250上。
[0077]圖5為說(shuō)明根據(jù)一不例性實(shí)施例的激光束60的運(yùn)動(dòng)路徑P的不意圖。圖6為說(shuō)明根據(jù)一示例性實(shí)施例的激光束60的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)R和直線運(yùn)動(dòng)T的示意圖。圖7為說(shuō)明根據(jù)一示例性實(shí)施例的激光束60的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)R中激光束60的強(qiáng)度變化示意圖。
[0078]參考圖5和圖6，根據(jù)一示例性實(shí)施例的激光束60具有結(jié)合有旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)R和直線運(yùn)動(dòng)T的運(yùn)動(dòng)路徑P，并且沿著密封部40的密封路徑緩慢移動(dòng)。如上所述，可以將激光束60的運(yùn)動(dòng)路徑P設(shè)計(jì)為具有例如適當(dāng)?shù)叵嗷ブ丿B的環(huán)形軌跡。就是說(shuō)，可以有意地將環(huán)形軌跡適當(dāng)?shù)赜枰韵嗷ブ丿B，從而將最適宜的能量傳輸給熔塊以有效地進(jìn)行密封。激光束60可以以特定的旋轉(zhuǎn)半徑r0執(zhí)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)R。激光束60可以以具有平頂輪廓的點(diǎn)波束形式進(jìn)行照射。參考圖6，激光束60以點(diǎn)波束的形式圍繞軸線執(zhí)行旋轉(zhuǎn)半徑為r0的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)R0根據(jù)一示例性實(shí)施例，當(dāng)點(diǎn)波束的中心點(diǎn)畫(huà)一個(gè)圓回到原點(diǎn)時(shí)，激光束60可以完成旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)R的一個(gè)環(huán)(或者一個(gè)周期)。
[0079]通過(guò)掃描儀120和220和控制部160和260，可以執(zhí)行激光束60的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)R。通過(guò)線性電機(jī)可以移動(dòng)激光束照射裝置I和2，從而激光束60可以執(zhí)行直線運(yùn)動(dòng)T。并且，位于密封部40下方的基板臺(tái)70移動(dòng)，從而激光束60可以執(zhí)行直線運(yùn)動(dòng)T。
[0080]為了使得期望的光束變形(morphing)成為可能，激光束60的截面直徑應(yīng)當(dāng)足夠大，但是可以小于密封部40的寬度FW。具體地，點(diǎn)波束的直徑可以為熔塊寬度的1/4至3/4倍。
[0081]進(jìn)一步地，根據(jù)一示例性實(shí)施例，在執(zhí)行點(diǎn)波束的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)R過(guò)程中，基本上為環(huán)狀的點(diǎn)波束可以被旋轉(zhuǎn)，從而在旋轉(zhuǎn)一個(gè)圓周期間其環(huán)形軌跡不會(huì)重疊。因此，點(diǎn)波束的最小旋轉(zhuǎn)半徑可以被確定為在旋轉(zhuǎn)一個(gè)圓周期間點(diǎn)波束的環(huán)形軌跡不重疊的最小的旋轉(zhuǎn)半徑。因此，最小的旋轉(zhuǎn)半徑可以為點(diǎn)波束的半徑。例如，當(dāng)點(diǎn)波束的直徑為1.3_時(shí)，點(diǎn)波束旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)R的最小的旋轉(zhuǎn)半徑為0.65mm。例如，當(dāng)點(diǎn)波束的直徑為1.3mm,并且點(diǎn)波束旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)R的最小的旋轉(zhuǎn)半徑r0為1.3mm時(shí),基于點(diǎn)波束旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)R的最外面的圓周的直徑為 3.9mm。
[0082]激光束60可以以比直線運(yùn)動(dòng)T更快的速度循環(huán)地執(zhí)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)R。當(dāng)熔塊寬度為10mm時(shí)，點(diǎn)波束旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)R的旋轉(zhuǎn)頻率可以為50Hz或更高。例如，旋轉(zhuǎn)頻率可以在40 - 60Hz范圍內(nèi)。激光束60以高速循環(huán)地執(zhí)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)R，從而使得期望的光束變形成為可能。
[0083]參考圖7，當(dāng)激光束60執(zhí)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)R時(shí)，可以改變激光束60的強(qiáng)度。
[0084]激光束60具有結(jié)合有旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)R和直線運(yùn)動(dòng)T的運(yùn)動(dòng)路徑P，并且激光束60的強(qiáng)度在旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)R的每個(gè)分段中被改變。因此，使得期望的光束變形變?yōu)榭赡?，并且可以將期望的多樣化的激光?qiáng)度傳輸給熔塊。
[0085]根據(jù)一示例性實(shí)施例，將旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)R路徑的圓周以特定的角度α分割為多個(gè)分段，并且分段可以有不同的激光強(qiáng)度。通過(guò)控制部160和260的激光驅(qū)動(dòng)器支持這些變化。根據(jù)一示例性實(shí)施例，可以以45度間隔分割旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)R路徑的圓周。因此，可以將旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)R路徑的圓周分割為第一分段S1、第二分段S2、第三分段S3、第四分段S4、第五分段S5、第六分段S6、第七分段S7、和第八分段S8。第一分段SI具有第一激光束強(qiáng)度，第二分段S2具有第二激光束強(qiáng)度，第三分段S3具有第三激光束強(qiáng)度，第四分段S4具有第四激光束強(qiáng)度，第五分段S5具有第五激光束強(qiáng)度,第六分段S6具有第六激光束強(qiáng)度,第七分段S7具有第七激光束強(qiáng)度，以及第八分段S8具有第八激光束強(qiáng)度。
[0086]激光束60具有結(jié)合有旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)R和直線運(yùn)動(dòng)T的運(yùn)動(dòng)路徑P，旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)R路徑的圓周被分割為具有不同強(qiáng)度的8個(gè)分段，并且控制8個(gè)分段的強(qiáng)度，由此實(shí)現(xiàn)了期望的光束輪廓。因此，在熔塊下部層的類型被局部地改變或其幾何形狀被改變的分段中，光束輪廓可根據(jù)改變隨時(shí)調(diào)整，從而防止了對(duì)局部排線等的損傷。并且，熔塊角落處內(nèi)部的激光強(qiáng)度應(yīng)當(dāng)減少到約角落處外部的激光強(qiáng)度的一半，并且由于可以在角落處調(diào)整光束輪廓，因此可以維持角落處的外部和內(nèi)部的密封質(zhì)量一致。
[0087]根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例，在未對(duì)周圍器件進(jìn)行熱損壞的前提下可以執(zhí)行高質(zhì)量熔塊密封工序。
[0088]雖然參考示例性實(shí)施例圖示并說(shuō)明了本發(fā)明，但是本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員會(huì)理解在未脫離本發(fā)明宗旨和權(quán)利要求書(shū)確定的范圍的前提下可進(jìn)行多種在形式上和細(xì)節(jié)上的改變。
【權(quán)利要求】
1.一種激光束照射裝置，包括: 激光源，配置成發(fā)射光； 準(zhǔn)直器，配置成校準(zhǔn)所發(fā)射的光； 掃描儀，配置成調(diào)整校準(zhǔn)后的光以改變其照射方向； 第一透鏡部，配置成聚焦調(diào)整后的光以在密封部上照射激光束； 相機(jī)，配置成接收穿過(guò)所述掃描儀的可視光； 熱感應(yīng)部，配置成接收穿過(guò)所述掃描儀的紅外光；以及 控制部，配置成控制所述激光束的移動(dòng)方向和強(qiáng)度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光束照射裝置，進(jìn)一步包括: 分色鏡，配置成將來(lái)自所述準(zhǔn)直器的校準(zhǔn)后的光反射至所述掃描儀，并且對(duì)具有與激光相同的波長(zhǎng)并且入射到所述掃描儀的光進(jìn)行過(guò)濾。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光束照射裝置，進(jìn)一步包括: 分色鏡，配置成將所述可視光反射到所述相機(jī)上，并且使得所述紅外光穿過(guò)并照射到所述熱感應(yīng)部上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光束照射裝置，進(jìn)一步包括: 照明部，配置成將照明光照射在所述密封部上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光束照射裝置，其中， 所述控制部進(jìn)一步配置成使所述激光束在執(zhí)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)沿著第一方向移動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光束照射裝置，其中， 所述旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的頻率在50 - 60Hz范圍內(nèi)。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光束照射裝置，其中， 所述控制部進(jìn)一步配置成將所述激光束的所述旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)控制為使得所述激光束形成在一個(gè)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)周期期間不重疊的軌跡。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光束照射裝置，其中， 所述掃描儀包括:檢流計(jì)反射鏡，配置成使得所述旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)能夠?qū)崿F(xiàn)；以及 所述控制部配置成控制所述檢流計(jì)反射鏡。
9.一種采用激光束照射裝置制造有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法，所述方法包括: 形成有機(jī)發(fā)光部； 形成圍繞所述有機(jī)發(fā)光部的密封部，所述密封部被形成在第一基板或第二基板上； 對(duì)準(zhǔn)所述第一基板和所述第二基板；以及 照射激光束，以使得所述激光束在執(zhí)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)沿著所述密封部移動(dòng)，以及當(dāng)所述激光束執(zhí)行所述旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)改變所述激光束的強(qiáng)度。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中， 所述第一基板和第二基板中的至少一個(gè)使得所述激光束穿過(guò)。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中， 所述旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的頻率在50 - 60Hz范圍內(nèi)。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中， 所述旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)被執(zhí)行為使得所述激光束形成在一個(gè)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)周期期間不重疊的軌跡。
13.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中， 通過(guò)掃描儀執(zhí)行所述旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，所述掃描儀包括配置成改變所述激光束的照射方向的檢流計(jì)反射鏡；以及 通過(guò)控制部控制所述檢流計(jì)反射鏡，所述控制部配置為控制所述檢流計(jì)。
14.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中， 通過(guò)所述激光束照射裝置，以小于所述旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)速度的速度執(zhí)行沿著所述第一方向的直線運(yùn)動(dòng)。
15.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中， 當(dāng)所述激光束執(zhí)行所述旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)，以45度間隔控制所述激光束的所述強(qiáng)度。
16.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中， 以點(diǎn)波束的形式照射所述激光束，以及 通過(guò)包括程序以進(jìn)行控制的控制部控制所述激光束的強(qiáng)度和移動(dòng)方向。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其中， 所述點(diǎn)波束的直徑小于所述密封部的寬度。
18.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中， 所述密封部包括熔塊。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法，其中， 所述熔塊形成閉環(huán)以圍繞所述有機(jī)發(fā)光部。
【文檔編號(hào)】H01L51/56GK104347823SQ201410231251
【公開(kāi)日】2015年2月11日 申請(qǐng)日期:2014年5月28日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月31日
【發(fā)明者】李廷敏, 亞歷山大·奧洛溫斯基, 埃爾馬·格倫, 海德龍·金德 申請(qǐng)人:三星顯示有限公司, 弗勞恩霍夫應(yīng)用研究促進(jìn)協(xié)會(huì)