一種用于調(diào)整半導(dǎo)體設(shè)備的噴嘴位置的裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，特別涉及一種用于調(diào)整半導(dǎo)體設(shè)備的噴嘴位置的裝置。包括用于夾持噴嘴的夾具和用于發(fā)射激光光束的激光頭，所述激光頭一端為激光發(fā)射端，所述激光發(fā)射端發(fā)出的激光光束與所述噴嘴噴吐方向相同；所述激光頭另一端與所述夾具相連接，所述夾具與所述激光頭同軸設(shè)置；所述夾具包括容納所述噴嘴的夾頭和設(shè)置在夾頭上用于調(diào)整所述噴嘴位置的固定螺絲。本實用新型的裝置為化學(xué)品噴嘴的定位提供直觀、準(zhǔn)確的參照，在噴嘴噴涂過程中，不再需要通過目測或者在晶圓上進行反復(fù)噴涂試驗來驗證噴嘴位置，操作簡單，不僅可以大幅提高工作效率和噴涂質(zhì)量，而且可以節(jié)約化學(xué)品成本。
【專利說明】—種用于調(diào)整半導(dǎo)體設(shè)備的噴嘴位置的裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，特別涉及一種用于調(diào)整半導(dǎo)體設(shè)備的噴嘴位置的裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]噴嘴(Nozzle)位置調(diào)整是半導(dǎo)體設(shè)備維護中十分重要的一個環(huán)節(jié)，其直接決定了化學(xué)品噴涂到晶圓上的位置。以光刻工藝中涂膠顯影機為例，光阻噴嘴的位置直接影響到光阻膜厚的均勻性，洗邊噴嘴的位置直接影響到洗邊寬度和質(zhì)量。因為絕大部分噴嘴在制程中并不和晶圓接觸，所以其位置調(diào)整缺乏直接參照。而目前在12英寸制程中，還沒有專門為此過程提供參照的裝置，只能通過目測估量噴嘴的位置，或者通過化學(xué)品在晶圓上的反復(fù)噴涂試驗來進行驗證噴涂位置，噴涂質(zhì)量和效率完全取決于工程師的經(jīng)驗，而且需要耗費額外的成本。
實用新型內(nèi)容
[0003]本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種用于調(diào)整半導(dǎo)體設(shè)備的噴嘴位置的裝置，解決了現(xiàn)有技術(shù)中，噴嘴噴涂過程沒有參照物，噴涂質(zhì)量和效率低下且需要耗費額外化學(xué)品成本的問題。
[0004]本實用新型解決上述技術(shù)問題的技術(shù)方案如下:一種用于調(diào)整半導(dǎo)體設(shè)備的噴嘴位置的裝置，包括用于夾持噴嘴的夾具和用于發(fā)射激光光束的激光頭，所述激光頭一端為激光發(fā)射端，所述激光發(fā)射端發(fā)出的激光光束與所述噴嘴噴吐方向相同；所述激光頭另一端與所述夾具相連接，所述夾具與所述激光頭同軸設(shè)置；所述夾具包括容納所述噴嘴的夾頭和設(shè)置在夾頭上用于調(diào)整所述噴嘴位置的固定螺絲。
[0005]在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本實用新型還可以做如下改進。
[0006]進一步，所述激光頭包括LED激光器和用于為所述LED激光器供電的紐扣電池，所述LED激光器發(fā)射出的激光與所述夾具同軸設(shè)置。
[0007]進一步，所述夾具與所述激光頭均為圓柱形。
[0008]進一步，所述固定螺絲上均設(shè)有刻度值。
[0009]本實用新型的有益效果是:本實用新型的裝置為化學(xué)品噴嘴的定位提供直觀、準(zhǔn)確的參照，在噴嘴噴涂過程中，不再需要通過目測或者在晶圓上進行反復(fù)噴涂試驗來驗證噴嘴位置，操作簡單，不僅可以大幅提高工作效率和噴涂質(zhì)量，而且可以節(jié)約化學(xué)品成本。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1為本實用新型的主視圖；
[0011]圖2為本實用新型的俯視圖；
[0012]圖3a?3c為本實用新型的使用過程圖；
[0013]圖4為本實用新型的使用效果圖。

【具體實施方式】
[0014]以下結(jié)合附圖對本實用新型的原理和特征進行描述，所舉實例只用于解釋本實用新型，并非用于限定本實用新型的范圍。
[0015]如圖1所示，為本實用新型用于調(diào)整半導(dǎo)體設(shè)備的噴嘴位置的裝置的主視圖，包括夾具I和激光頭2，所述夾具I包括圓筒狀的夾頭3和設(shè)置在所述夾頭上的三個固定螺絲4，如圖2所示，本實施例中，噴嘴5容納在所述夾頭3內(nèi)，所述固定螺絲4兩兩間的夾角為120度，且所述固定螺絲4上均設(shè)有刻度值，通過分別旋緊每個固定螺絲4，且旋轉(zhuǎn)到同一的刻度值，即可保證夾具I的中心軸與噴嘴的中心軸在同一直線上。本實施的激光頭2為圓柱形，所述激光頭2和所述夾具I同軸設(shè)置，且所述激光頭2發(fā)射出的激光光束與所述噴嘴5噴吐方向相同；激光頭2包括LED激光器6和用于為所述LED激光器6供電的紐扣電池7，所述LED激光器6發(fā)射出的激光與所述夾具I的中心軸在同一直線上。
[0016]如圖3a?3c所示，為本實用新型裝置的使用過程圖:首先將所述裝置的夾具I上的固定螺絲4松開，套在化學(xué)品噴嘴5上；然后旋緊3個固定螺絲4夾緊噴嘴5，并使3個固定螺絲4上的刻度讀值相同，則該裝置和化學(xué)品噴嘴5同軸；最后以涂膠顯影劑光阻噴嘴為例，需要使光阻噴涂在晶圓正中心，即須使噴嘴對準(zhǔn)晶圓的真空吸盤正中心，裝上該裝置后，只需調(diào)整噴嘴位置，使激光光斑和真空吸盤中點標(biāo)記重疊即可，如圖4所示，這樣，激光的光斑就模擬出了化學(xué)品噴吐的準(zhǔn)確位置，為化學(xué)品噴嘴的位置調(diào)整提供了參照。
[0017]本實用新型的裝置為化學(xué)品噴嘴的定位提供直觀、準(zhǔn)確的參照，在噴嘴噴涂過程中，不再需要通過目測或者在晶圓上進行反復(fù)噴涂試驗來驗證噴嘴位置，操作簡單，不僅可以大幅提高工作效率和噴涂質(zhì)量，而且可以節(jié)約化學(xué)品成本。
[0018]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種用于調(diào)整半導(dǎo)體設(shè)備的噴嘴位置的裝置，其特征在于:包括用于夾持噴嘴的夾具和用于發(fā)射激光光束的激光頭，所述激光頭一端為激光發(fā)射端，所述激光發(fā)射端發(fā)出的激光光束與所述噴嘴噴吐方向相同；所述激光頭另一端與所述夾具相連接，所述夾具與所述激光頭同軸設(shè)置；所述夾具包括容納所述噴嘴的夾頭和設(shè)置在夾頭上用于調(diào)整所述噴嘴位置的固定螺絲。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于:所述激光頭包括LED激光器和用于為所述LED激光器供電的紐扣電池，所述LED激光器發(fā)射出的激光與所述夾具同軸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的裝置，其特征在于:所述夾具與所述激光頭均為圓柱形。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于:所述夾具包括圓筒狀的夾頭和設(shè)置在所述夾頭上的三個固定螺絲，所述兩兩固定螺絲間的夾角為120度。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于:所述固定螺絲上均設(shè)有刻度值。
【文檔編號】H01L21/00GK204029765SQ201420511582
【公開日】2014年12月17日 申請日期:2014年9月5日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月5日
【發(fā)明者】詹云 申請人:武漢新芯集成電路制造有限公司