本技術屬于晶圓盒處理裝置，涉及一種晶圓盒的開關鎖裝置、以及具有這種開關鎖裝置的清洗設備及烘干設備。

背景技術：

1、隨著半導體制程技術的不斷發(fā)展，晶圓制程和存儲過程中對環(huán)境潔凈度的要求越來越高，需要對晶圓的潔凈度進行控制，而晶圓的潔凈度很大程度上取決于晶圓盒內的環(huán)境，因此需要對晶圓盒進行清洗、烘干以保證清潔度?，F(xiàn)有的晶圓盒具有盒體和蓋子，蓋子蓋合于盒體上形成密封腔室，需要通過伸入旋鈕孔內的旋鈕轉動一定角度實現(xiàn)打開或關閉。對于晶圓盒的自動清洗設備或烘干設備，需要配置自動的開關鎖裝置來將蓋子自動打開或鎖上。已有的開關鎖裝置需要分別設置直線移動驅動機構和旋轉驅動機構，來使開鎖件能夠直線運動以及旋轉一定角度，如cn115020302a中采用的開關鎖裝置結構復雜，對于加工及組裝要求高，使用較長時間后容易造成磨損及卡住問題，不易維護。

技術實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的是提供一種晶圓盒的開關鎖裝置，結構簡單，組裝方便，穩(wěn)定性較高，檢修維護方便。本實用新型的另一目的在于提供一種采用上述開關鎖裝置的清洗設備及烘干設備。

2、本實用新型采用的一種技術方案如下：

3、一種晶圓盒的開關鎖裝置，包括移動基座及設置在所述移動基座上的多個開關鎖單元，每個所述開關鎖單元包括一個氣缸和與所述氣缸連接的旋鈕，所述氣缸包括與所述旋鈕連接的活塞桿、第一氣體接口、傳動組件以及第二氣體接口，所述第一氣體接口配置為通入氣體后能夠驅動所述活塞桿帶動所述旋鈕作直線運動，以伸入或退出所述晶圓盒的盒蓋；所述第二氣體接口配置為通入氣體后能夠驅動所述傳動組件以使所述活塞桿帶動所述旋鈕轉動，以鎖定或解鎖所述晶圓盒的盒體和盒蓋。

4、優(yōu)選地，所述旋鈕包括導桿及連接于所述導桿的末端上的插入件，所述插入件具有初始位置和解鎖位置；自所述初始位置切換至所述解鎖位置時，所述插入件被配置為由所述導桿帶動所述插入件伸入所述盒蓋鎖孔并旋轉，以將所述盒蓋和所述盒體解鎖；自所述解鎖位置切換至所述初始位置時，所述插入件被配置為由所述導桿帶動所述插入件旋轉并退出所述盒蓋的鎖孔，以將所述盒蓋和所述盒體鎖定。

5、優(yōu)選地，所述旋鈕設置于所述活塞桿上或和所述活塞桿是一體的。

6、優(yōu)選地，所述開關鎖單元還包括能夠吸附以固定解鎖后的所述盒蓋的吸附組件。

7、優(yōu)選地，所述開關鎖單元包括安裝板，所述安裝板設置于所述移動基座上，所述氣缸設置于所述安裝板上；其中，所述安裝板可拆卸地設置于所述移動基座上，和/或，所述氣缸可拆卸地安裝于所述安裝板上。

8、優(yōu)選地，所述傳動組件包括齒輪，所述氣缸包括與所述第二氣體接口連通的旋轉腔及設置在所述旋轉腔內的旋轉活塞，所述旋轉活塞具有齒條部，所述齒條部和所述齒輪相互嚙合，所述旋轉活塞能夠在所述旋轉腔內移動以帶動所述活塞桿轉動。

9、優(yōu)選地，所述旋轉活塞包括第一旋轉活塞和第二旋轉活塞，所述齒輪設置于所述第一旋轉活塞和所述第二旋轉活塞之間，并分別和所述第一旋轉活塞的齒條部及所述第二旋轉活塞的齒條部相互嚙合；所述齒條部的長度方向垂直于所述活塞桿的長度方向。

10、優(yōu)選地，所述氣缸還包括與所述第一氣體接口連通的移動腔及設置在所述移動腔內的移動活塞，所述活塞桿可繞自身軸心線轉動地和所述移動活塞插接，所述移動活塞能夠在所述移動腔內移動以帶動所述移動活塞移動。

11、本實用新型采用的另一種技術方案如下：

12、一種晶圓盒的清洗設備，包括具有清洗腔的清洗槽及蓋在所述清洗槽上以將所述清洗腔封閉的蓋體，所述清洗設備還包括所述開關鎖裝置，其中所述開關鎖裝置能夠解鎖或鎖定所述晶圓盒的盒蓋。

13、本實用新型采用的另一種技術方案如下：

14、一種晶圓盒的烘干設備，包括具有干燥腔的干燥槽及蓋在所述干燥槽上以將所述干燥腔封閉的蓋體，所述干燥設備還包括所述開關鎖裝置，其中所述開關鎖裝置能夠解鎖或鎖定所述晶圓盒的盒蓋。

15、本實用新型采用以上方案，相比現(xiàn)有技術具有如下優(yōu)點：

16、本實用新型的開關鎖裝置，通過一個氣缸實現(xiàn)晶圓盒盒蓋的解鎖，結構簡單，組裝方便，單氣缸運行的穩(wěn)定性較高而且卡死的風險較小，檢修維護方便；適宜應用在對晶圓盒進行清洗的自動清洗設備或進行干燥的自動干燥設備中。

技術特征：

1.一種晶圓盒的開關鎖裝置，包括移動基座及設置在所述移動基座上的多個開關鎖單元，其特征在于，每個所述開關鎖單元包括一個氣缸和與所述氣缸連接的旋鈕，所述氣缸包括與所述旋鈕連接的活塞桿、第一氣體接口、傳動組件以及第二氣體接口，所述第一氣體接口配置為通入氣體后能夠驅動所述活塞桿帶動所述旋鈕作直線運動，以伸入或退出所述晶圓盒的盒蓋；所述第二氣體接口配置為通入氣體后能夠驅動所述傳動組件以使所述活塞桿帶動所述旋鈕轉動，以鎖定或解鎖所述晶圓盒的盒體和盒蓋。

2.根據(jù)權利要求1所述的開關鎖裝置，其特征在于，所述旋鈕包括導桿及連接于所述導桿的末端上的插入件，所述插入件具有初始位置和解鎖位置；自所述初始位置切換至所述解鎖位置時，所述插入件被配置為由所述導桿帶動所述插入件伸入所述盒蓋鎖孔并旋轉，以將所述盒蓋和所述盒體解鎖；自所述解鎖位置切換至所述初始位置時，所述插入件被配置為由所述導桿帶動所述插入件旋轉并退出所述盒蓋的鎖孔，以將所述盒蓋和所述盒體鎖定。

3.根據(jù)權利要求1所述的開關鎖裝置，其特征在于，所述旋鈕設置于所述活塞桿上或和所述活塞桿是一體的。

4.根據(jù)權利要求1所述的開關鎖裝置，其特征在于，所述開關鎖單元還包括能夠吸附以固定解鎖后的所述盒蓋的吸附組件。

5.根據(jù)權利要求1所述的開關鎖裝置，其特征在于，所述開關鎖單元包括安裝板，所述安裝板設置于所述移動基座上，所述氣缸設置于所述安裝板上；

6.根據(jù)權利要求1所述的開關鎖裝置，其特征在于，所述傳動組件包括齒輪，所述氣缸包括與所述第二氣體接口連通的旋轉腔及設置在所述旋轉腔內的旋轉活塞，所述旋轉活塞具有齒條部，所述齒條部和所述齒輪相互嚙合，所述旋轉活塞能夠在所述旋轉腔內移動以帶動所述活塞桿轉動。

7.根據(jù)權利要求6所述的開關鎖裝置，其特征在于，所述旋轉活塞包括第一旋轉活塞和第二旋轉活塞，所述齒輪設置于所述第一旋轉活塞和所述第二旋轉活塞之間，并分別和所述第一旋轉活塞的齒條部及所述第二旋轉活塞的齒條部相互嚙合；所述齒條部的長度方向垂直于所述活塞桿的長度方向。

8.根據(jù)權利要求1或6所述的開關鎖裝置，其特征在于，所述氣缸還包括與所述第一氣體接口連通的移動腔及設置在所述移動腔內的移動活塞，所述活塞桿可繞自身軸心線轉動地和所述移動活塞插接，所述移動活塞能夠在所述移動腔內移動以帶動所述移動活塞移動。

9.一種晶圓盒的清洗設備，其特征在于，包括具有清洗腔的清洗槽及蓋在所述清洗槽上以將所述清洗腔封閉的蓋體，所述清洗設備還包括如權利要求1至8任一項所述的開關鎖裝置，其中所述開關鎖裝置能夠解鎖或鎖定所述晶圓盒的盒蓋。

10.一種晶圓盒的烘干設備，其特征在于，包括具有干燥腔的干燥槽及蓋在所述干燥槽上以將所述干燥腔封閉的蓋體，所述烘干設備還包括如權利要求1至8任一項所述的開關鎖裝置，其中所述開關鎖裝置能夠解鎖或鎖定所述晶圓盒的盒蓋。

技術總結
本技術公開了一種晶圓盒的開關鎖裝置、清洗設備及烘干設備，開關鎖裝置包括移動基座及設置在移動基座上的多個開關鎖單元，每個開關鎖單元包括一個氣缸和與氣缸連接的旋鈕，氣缸包括與旋鈕連接的活塞桿、第一氣體接口、傳動組件及第二氣體接口，第一氣體接口配置為通入氣體后能夠驅動活塞桿帶動旋鈕作直線運動，以伸入或退出晶圓盒的盒蓋；第二氣體接口配置為通入氣體后能夠驅動傳動組件以使活塞桿帶動旋鈕轉動，以鎖定或解鎖晶圓盒的盒體和盒蓋。開關鎖單元通過設置一個氣缸即可實現(xiàn)對晶圓盒的盒蓋的解鎖，開關鎖裝置結構簡單，組裝方便，穩(wěn)定性較高，檢修維護方便。

技術研發(fā)人員：請求不公布姓名,請求不公布姓名
受保護的技術使用者：江蘇芯夢半導體設備有限公司
技術研發(fā)日：20231130
技術公布日：2024/12/19