本發(fā)明屬于半導(dǎo)體器件加工領(lǐng)域，具體涉及半導(dǎo)體器件表面加工預(yù)氧化處理裝置。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體器件是導(dǎo)電性介于良導(dǎo)電體與絕緣體之間，利用半導(dǎo)體材料特殊電特性來完成特定功能的電子器件，可用來產(chǎn)生、控制、接收、變換、放大信號和進行能量轉(zhuǎn)換。半導(dǎo)體器件的半導(dǎo)體材料是硅、鍺或砷化鎵，可用作整流器、振蕩器、發(fā)光器、放大器、測光器等器材。

2、現(xiàn)有技術(shù)中需要對加工成型的半導(dǎo)體器件外表面殼體進行預(yù)氧化加工測試，在預(yù)氧化處理時，需要先對半導(dǎo)體器件表面噴灑雙氧水，然后進行烘干處理，噴灑雙氧水后直接進行烘干會造成雙氧水的浪費，為此提出一種半導(dǎo)體器件表面加工預(yù)氧化處理裝置。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明的目的在于提供半導(dǎo)體器件表面加工預(yù)氧化處理裝置，解決了現(xiàn)有技術(shù)中的問題。

2、本發(fā)明的目的可以通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)：

3、半導(dǎo)體器件表面加工預(yù)氧化處理裝置，包括箱體，箱體內(nèi)設(shè)置有固定框架，固定框架上通過螺栓連接的方式固定有壓板，并能將半導(dǎo)體器件壓緊在固定框架上；固定框架的上方和下方分別設(shè)置有第二噴灑組件和第一噴灑組件，來對半導(dǎo)體器件的兩側(cè)面噴灑雙氧水；

4、所述固定框架的一端設(shè)置有轉(zhuǎn)軸，箱體內(nèi)側(cè)壁上設(shè)置能夠往復(fù)滑動的滑塊，轉(zhuǎn)軸與滑塊轉(zhuǎn)動連接，轉(zhuǎn)軸上固定有第一齒輪，箱體上固定有與第一齒輪嚙合的齒條，從而帶動固定框架繞往復(fù)翻轉(zhuǎn)的，來執(zhí)行甩干作業(yè)，并能夠?qū)⒍嘤嗟碾p氧水甩進箱體內(nèi)，方便集中回收利用。

5、進一步地，所述滑塊與箱體滑動連接，箱體上設(shè)置能夠轉(zhuǎn)動的第一絲桿，第一絲桿貫穿滑塊并與其螺紋連接；第一絲桿的螺紋升角小于當(dāng)量摩擦角。

6、進一步地，所述箱體外側(cè)固定有支撐板，第二噴灑組件包括與支撐板滑動連接的第二安裝板，第二安裝板上設(shè)置有多個第二噴灑管，第二噴灑管上設(shè)置有噴頭；支撐板上設(shè)置能夠轉(zhuǎn)動的第二絲桿，第二絲桿貫穿第二安裝板并與其螺紋連接；

7、所述箱體上方設(shè)置有連接板，連接板下方設(shè)置有上蓋，連接板的一側(cè)設(shè)置有第一固定板，第一固定板與支撐板滑動連接，第二絲桿貫穿第一固定板并與其螺紋連接，且上蓋能夠移動至箱體上端并將箱體上端封堵。

8、進一步地，所述第二絲桿的螺紋升角小于當(dāng)量摩擦角。

9、進一步地，所述上蓋的上端設(shè)置有兩個導(dǎo)桿，導(dǎo)桿沿著豎直方向貫穿連接板并與其滑動連接，導(dǎo)桿的上端設(shè)置有圓臺，圓臺的直徑大于導(dǎo)桿的直徑，導(dǎo)桿上套設(shè)有第一彈簧，第一彈簧的兩端分別與上蓋以及連接板固定，在第一彈簧的彈力作用下，圓臺緊貼在連接板的上端面。

10、進一步地，所述上蓋的一側(cè)設(shè)置有第一斜面，箱體上端的一側(cè)設(shè)置有第二斜面，在上蓋朝著箱體靠近過程中，第一斜面與第二斜面接觸，并帶上蓋上升擠壓第一彈簧，使得上蓋在第一彈簧的彈力作用下緊貼在箱體的上端。

11、進一步地，所述第一絲桿上固定有第二齒輪，箱體的外側(cè)設(shè)置卡合組件，卡合組件包括固定在箱體外側(cè)的固定架，固定架上滑動連接有滑動桿，滑動桿的一端設(shè)置有卡塊，另一端設(shè)置有第二固定板，滑動桿上套設(shè)有第二彈簧，第二彈簧的兩端分別有固定架以及第二固定板固定連接，在第二彈簧的拉力作用下，滑動桿的一端緊貼在箱體外側(cè)，此時卡塊與第二齒輪的相鄰兩齒間卡合。

12、進一步地，所述滑動桿的上端固定有擋桿，連接板的一側(cè)設(shè)置有頂桿，在上蓋朝著箱體正上端靠近時，頂桿能夠與擋桿接觸，并帶動卡塊克服第二彈簧的拉力朝著遠離第二齒輪的方向滑動；并且，當(dāng)上蓋剛好達到箱體的正上端并將箱體上端完全封堵遮擋時，卡塊剛好離開第二齒輪。

13、進一步地，所述第一噴灑組件包括固定在箱體外側(cè)的第一安裝板，第一安裝板上設(shè)置有多個第一噴灑管，第一噴灑管貫穿箱體的側(cè)壁并進入箱體內(nèi)部，第一噴灑管末端設(shè)置噴頭，在泵的作用下，能夠?qū)Π雽?dǎo)體器件的下表面進行噴灑作業(yè)。

14、本發(fā)明的有益效果：

15、1、通過在箱體內(nèi)設(shè)置固定組件來對半導(dǎo)體器件進行固定，并在固定組件的上下兩側(cè)分別設(shè)置第二噴灑組件和第一噴灑組件，來對半導(dǎo)體器件的兩側(cè)面噴灑雙氧水；并通過在固定組件中設(shè)置能夠往復(fù)翻轉(zhuǎn)的固定框架，來執(zhí)行甩干作業(yè)，并能夠?qū)⒍嘤嗟碾p氧水甩進箱體內(nèi)，方便集中回收利用。

16、2、通過在箱體上端設(shè)置上蓋組件來對箱體上端進行遮擋封閉，并設(shè)置卡合組件來控制甩干時機，保證只有在箱體上端被上蓋完全遮擋時，滑塊才能往復(fù)滑動，執(zhí)行甩干動作，避免雙氧水被甩出箱體造成浪費。

技術(shù)特征：

1.半導(dǎo)體器件表面加工預(yù)氧化處理裝置，包括箱體(1)，其特征在于，箱體(1)內(nèi)設(shè)置有固定框架(41)，固定框架(41)上通過螺栓連接的方式固定有壓板(42)，并能將半導(dǎo)體器件壓緊在固定框架(41)上；固定框架(41)的上方和下方分別設(shè)置有第二噴灑組件(3)和第一噴灑組件(2)，來對半導(dǎo)體器件的兩側(cè)面噴灑雙氧水；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件表面加工預(yù)氧化處理裝置，其特征在于，所述滑塊(44)與箱體(1)滑動連接，箱體(1)上設(shè)置能夠轉(zhuǎn)動的第一絲桿(47)，第一絲桿(47)貫穿滑塊(44)并與其螺紋連接；第一絲桿(47)的螺紋升角小于當(dāng)量摩擦角。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體器件表面加工預(yù)氧化處理裝置，其特征在于，所述箱體(1)外側(cè)固定有支撐板(5)，第二噴灑組件(3)包括與支撐板(5)滑動連接的第二安裝板(31)，第二安裝板(31)上設(shè)置有多個第二噴灑管(32)，第二噴灑管(32)上設(shè)置有噴頭；支撐板(5)上設(shè)置能夠轉(zhuǎn)動的第二絲桿(6)，第二絲桿(6)貫穿第二安裝板(31)并與其螺紋連接；

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體器件表面加工預(yù)氧化處理裝置，其特征在于，所述第二絲桿(6)的螺紋升角小于當(dāng)量摩擦角。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體器件表面加工預(yù)氧化處理裝置，其特征在于，所述上蓋(72)的上端設(shè)置有兩個導(dǎo)桿(721)，導(dǎo)桿(721)沿著豎直方向貫穿連接板(71)并與其滑動連接，導(dǎo)桿(721)的上端設(shè)置有圓臺(722)，圓臺(722)的直徑大于導(dǎo)桿(721)的直徑，導(dǎo)桿(721)上套設(shè)有第一彈簧(73)，第一彈簧(73)的兩端分別與上蓋(72)以及連接板(71)固定，在第一彈簧(73)的彈力作用下，圓臺(722)緊貼在連接板(72)的上端面。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體器件表面加工預(yù)氧化處理裝置，其特征在于，所述上蓋(72)的一側(cè)設(shè)置有第一斜面(723)，箱體(1)上端的一側(cè)設(shè)置有第二斜面(11)，在上蓋(72)朝著箱體(1)靠近過程中，第一斜面(723)與第二斜面(11)接觸，并帶上蓋(72)上升擠壓第一彈簧(73)，使得上蓋(72)在第一彈簧(73)的彈力作用下緊貼在箱體(1)的上端。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體器件表面加工預(yù)氧化處理裝置，其特征在于，所述第一絲桿(47)上固定有第二齒輪(48)，箱體(1)的外側(cè)設(shè)置卡合組件(8)，卡合組件(8)包括固定在箱體(1)外側(cè)的固定架(81)，固定架(81)上滑動連接有滑動桿(82)，滑動桿(82)的一端設(shè)置有卡塊(83)，另一端設(shè)置有第二固定板(84)，滑動桿(82)上套設(shè)有第二彈簧(85)，第二彈簧(85)的兩端分別有固定架(81)以及第二固定板(84)固定連接，在第二彈簧(85)的拉力作用下，滑動桿(82)的一端緊貼在箱體(1)外側(cè)，此時卡塊(83)與第二齒輪(48)的相鄰兩齒間卡合。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體器件表面加工預(yù)氧化處理裝置，其特征在于，所述滑動桿(82)的上端固定有擋桿(86)，連接板(71)的一側(cè)設(shè)置有頂桿(712)，在上蓋(72)朝著箱體(1)正上端靠近時，頂桿(712)能夠與擋桿(86)接觸，并帶動卡塊(83)克服第二彈簧(85)的拉力朝著遠離第二齒輪(48)的方向滑動；并且，當(dāng)上蓋(72)剛好達到箱體(1)的正上端并將箱體(1)上端完全封堵遮擋時，卡塊(83)剛好離開第二齒輪(48)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件表面加工預(yù)氧化處理裝置，其特征在于，所述第一噴灑組件(2)包括固定在箱體(1)外側(cè)的第一安裝板(21)，第一安裝板(21)上設(shè)置有多個第一噴灑管(22)，第一噴灑管(22)貫穿箱體(1)的側(cè)壁并進入箱體(1)內(nèi)部，第一噴灑管(21)末端設(shè)置噴頭，在泵的作用下，能夠?qū)Π雽?dǎo)體器件的下表面進行噴灑作業(yè)。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開半導(dǎo)體器件表面加工預(yù)氧化處理裝置，屬于半導(dǎo)體器件加工領(lǐng)域；半導(dǎo)體器件表面加工預(yù)氧化處理裝置包括箱體，箱體內(nèi)設(shè)置有固定框架，固定框架上通過螺栓連接的方式固定有壓板，并能將半導(dǎo)體器件壓緊在固定框架上；固定框架的上方和下方分別設(shè)置有第二噴灑組件和第一噴灑組件，來對半導(dǎo)體器件的兩側(cè)面噴灑雙氧水；所述固定框架的一端設(shè)置有轉(zhuǎn)軸，箱體內(nèi)側(cè)壁上設(shè)置能夠往復(fù)滑動的滑塊，轉(zhuǎn)軸與滑塊轉(zhuǎn)動連接，轉(zhuǎn)軸上固定有第一齒輪，箱體上固定有與第一齒輪嚙合的齒條，從而帶動固定框架繞往復(fù)翻轉(zhuǎn)的，來執(zhí)行甩干作業(yè)，并能夠?qū)⒍嘤嗟碾p氧水甩進箱體內(nèi)，方便集中回收利用。

技術(shù)研發(fā)人員：黃漢勇,劉祖詞,崔明月,柏加法
受保護的技術(shù)使用者：銅陵市慧智機電有限責(zé)任公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/17