專利名稱:激光器密封接頭的制作方法
本發(fā)明屬激光技術(shù)領(lǐng)域：
現(xiàn)有技術(shù)中，Xecl準(zhǔn)分子激光電極引線與器壁(外殼)間的密封結(jié)構(gòu)采用滑動密封，見圖4，(渡部俊太郎，《應(yīng)用物理》1978、47、№6、560)，其缺點(diǎn)是工藝復(fù)雜，真空密封性較差。采用密封圈側(cè)擠密封結(jié)構(gòu)，見圖5，工藝簡單，但密封性較差。直接用環(huán)氧等粘結(jié)劑膠封，雖工藝簡單，密封性良好，但不可拆。
本發(fā)明的目的是研制一種工藝簡單。裝拆方便，在高氣壓差下真空密封性好的用于準(zhǔn)分子激光器的電極引線密封接頭和真空接頭。
本發(fā)明為達(dá)到上述目的，其特征在于采用盤片螺桿和密封圈等組成直接正向壓緊密封接頭。本發(fā)明的工作原理是通過螺桿的盤片和密封圈，用螺帽壓緊，密封圈和準(zhǔn)分子激光器壁表面、螺桿的盤片表面之間直接壓緊，達(dá)到密封目的，因壓力大，在高氣壓差下仍保持良好密封。
本發(fā)明與現(xiàn)有準(zhǔn)分子激光器電極引線接頭相比具有工藝簡單，裝拆方便和在高氣壓差下真空密封性好的優(yōu)點(diǎn)，還可用于其它真空設(shè)備。
圖1是本發(fā)明的真空密封接頭的剖面圖圖2是可接真空橡皮管的帶孔道盤片螺桿剖面圖。
圖3是可接金屬真空管道的帶孔道盤片螺桿的剖面圖。
圖4是滑動真空密封接頭的剖面圖。
圖5是密封圈側(cè)擠真空密封接頭的剖面圖。
本發(fā)明的真空密封接頭，其盤片螺桿(1)采用銅元由車床加工制成，也可用不銹鋼或鋼材表面鍍鎳加工而成。實(shí)施例1，內(nèi)密封圈(3)為考慮準(zhǔn)分子激光器工作氣體的腐蝕性，可采用氟橡膠或塑料王做成，外密封圈(2)可采用如氯丁橡膠做成，將外殼(5)加工成階梯形，然后將內(nèi)層密封圈、盤片螺桿、外層密封圈(該層僅為增加密封可靠性)，金屬墊片、螺帽(4)相繼排列，另一端亦用螺帽，然后擰緊，顯然密封圈和器壁、盤片之間產(chǎn)生的正向緊密壓緊接觸，達(dá)到即使兩側(cè)存在高氣壓差下仍有優(yōu)良真空密封性，(6)(7)為電極引線。實(shí)施例2，與橡皮管連接的盤片螺桿(8)，加工成帶孔道，可直接接上真空橡皮管(9)，作為真空管道接頭。實(shí)施例3，與金屬管道連接的盤片螺桿(13)，加工成帶孔道，通過密封圈(12)，壓緊螺帽(11)可與金屬管道(10)實(shí)現(xiàn)可拆連接，作為真空管道接頭。
權(quán)利要求
1.激光器密封接頭由螺桿、密封圈、壓緊螺帽組成，其特征是將螺桿做成盤片式。
2.根據(jù)權(quán)利要求
1中所述的接頭，其特征是盤片式螺桿用銅材料、不銹鋼材料或鋼材表面鍍鎳制成。
3.根據(jù)權(quán)利要求
1或2所述的接頭，其特征在于盤片螺桿在軸向打孔，作為真空管道接頭。
4.根據(jù)權(quán)利要求
1或2所述的接頭，其特征在于密封圈采用雙層結(jié)構(gòu)，用氟橡膠、塑料王或氯丁橡膠材料做成。
專利摘要
本激光器密封接頭屬于激光技術(shù)領(lǐng)域：
。現(xiàn)有準(zhǔn)分子激光器電極引線采用滑動密封，密封圈側(cè)擠密封式等。這種密封接頭工藝較復(fù)雜，真空密封性較差。本發(fā)明的真空密封接頭特征在于采用盤片式螺桿，從而實(shí)現(xiàn)對密封圈的正向壓緊密封。這種密封接頭適用于準(zhǔn)分子激光器和其它真空設(shè)備上的電極引線接頭和真空接頭。
文檔編號H01S3/02GK85201072SQ85201072
公開日1986年1月8日 申請日期1985年4月1日
發(fā)明者劉金綬, 印義言, 張翼翔, 包振華, 肖紅 申請人:南京工學(xué)院導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan