一種更換sesam工作點(diǎn)方法及相關(guān)設(shè)備的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供的更換半導(dǎo)體可飽和吸收鏡SESAM工作點(diǎn)的方法及相關(guān)設(shè)備，利用位置調(diào)整機(jī)構(gòu)對(duì)SESAM和SESAM前反射鏡的反射角度進(jìn)行調(diào)節(jié)，每次更換工作點(diǎn)只需要SESAM轉(zhuǎn)動(dòng)第一角度和SESAM前反射鏡轉(zhuǎn)動(dòng)第二角度即可，操作簡單、不需要打開激光器就可實(shí)現(xiàn)SESAM工作點(diǎn)的更換，保證激光器內(nèi)部器件的潔凈度。
【專利說明】
-種更換化SAM工作點(diǎn)方法及相關(guān)設(shè)備
技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本發(fā)明設(shè)及激光技術(shù)領(lǐng)域，特別設(shè)及一種更換半導(dǎo)體可飽和吸收鏡SESAM工作點(diǎn) 的方法及相關(guān)設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002] 產(chǎn)生激光超短脈沖的技術(shù)常稱為鎖模技術(shù)，實(shí)現(xiàn)鎖模的方法有很多種，但一般可 W分成兩大類：即主動(dòng)鎖模和被動(dòng)鎖模。主動(dòng)鎖模指的是通過由外部向激光器提供調(diào)制信 號(hào)的途徑來周期性地改變激光器的增益或損耗從而達(dá)到鎖模目的；而被動(dòng)鎖模則是利用材 料的非線性吸收或非線性相變的特性來產(chǎn)生激光超短脈沖，SESAM(中文:半導(dǎo)體可飽和吸 收鏡，英文，Semiconductor Saturable Absorber Mirror)鎖模技術(shù)已成為獲得超短（皮 秒、飛秒)激光脈沖的主要途徑。
[0003] 由于SESAM工作時(shí)承載的激光脈沖的峰值功率密度已接近于本身的損傷闊值，因 而極易被損傷，損傷后的SESAM無法繼續(xù)產(chǎn)生超短脈沖。因?yàn)镾ESAM的工作面積大于光脈沖 損傷面積，可通過更換SESAM的工作點(diǎn)來延長SESAM的工作壽命，圖1中展示了一種典型的使 用SESAM鎖模技術(shù)的全固態(tài)激光器光學(xué)實(shí)施方案，該方案提供的更換SESAM工作點(diǎn)的方法 為:首先在激光晶體后插入輸出鏡，調(diào)節(jié)輸出鏡角度形成諧振腔輸出激光，利用該激光作為 指示光，調(diào)整SESAM前反射鏡M3避開SESM上的損傷點(diǎn)。粗調(diào)SESAM角度使指示光沿原光路返 回，取出輸出鏡精細(xì)調(diào)整SESAM角度，優(yōu)化激光器輸出功率和輸出波形。
[0004] 可見，現(xiàn)有更換SESAM工作點(diǎn)方法的缺點(diǎn)是操作時(shí)需要激光器提供激光、操作復(fù) 雜、更換時(shí)間長、還有可能污染激光器內(nèi)部的光學(xué)元器件。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 有鑒于此，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種更換半導(dǎo)體可飽和吸收鏡SESAM工作點(diǎn)方法 及相關(guān)設(shè)備。
[0006] -種更換半導(dǎo)體可飽和吸收鏡SESAM工作點(diǎn)的裝置，包括：
[0007] SESAM、SESAM前反射鏡、位置調(diào)整機(jī)構(gòu)W及控制器；
[000引所述SESAM前反射鏡，用于將激光器生成的激光反射到所述半導(dǎo)體可飽和吸收鏡；
[0009] 所述半導(dǎo)體可飽和吸收鏡，用于為所述激光提供工作點(diǎn)；
[0010] 所述位置調(diào)整機(jī)構(gòu)包括與所述半導(dǎo)體可飽和吸收鏡連接到的第一位置調(diào)整組件 及與所述SESAM前反射鏡連接第二位置調(diào)整組件；
[0011] 所述控制器，用于控制所述第一位置調(diào)整組件使所述SESAM第一角度，控制所述第 二位置調(diào)整組件使所述SESAM前反射鏡轉(zhuǎn)動(dòng)第二角度，W完成工作點(diǎn)的更換，其中，所述第 一角度為所述第二角度的二倍，所述第一角度根據(jù)所述激光在所述半導(dǎo)體可飽和吸收鏡上 的光斑直徑W及所述半導(dǎo)體可飽和吸收鏡和所述SESAM前反射鏡之間的直線距離確定。
[0012] 可選地、所述第一角度由下式確定：
[0013]
[0014] 其中，0為所述第一角度，d為所述激光在所述SESAM上的光斑直徑，L為所述SESAM 和所述SESAM前反射鏡之間的直線距離。
[0015] 可選地、所述第一位置調(diào)整組件和所述第二位置調(diào)整組件為伺服電機(jī)組件或壓電 陶瓷組件。
[0016] -種更換半導(dǎo)體可飽和吸收鏡SESAM工作點(diǎn)的方法，包括：
[0017] 根據(jù)激光在SESAM上的光斑直徑W及所述SESAM和SESAM前反射鏡之間的直線距離 確定光路偏移角度；
[0018] 控制所述SESAM在第一位置調(diào)整組件的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)所述光路偏移角度并控制所述 SESAM前反射鏡在第二位置調(diào)整組件的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)所述光路偏移角度的一半，W完成工作 點(diǎn)的更換。
[0019] 可選地、所述根據(jù)激光在半導(dǎo)體可飽和吸收鏡上的光斑直徑W及所述半導(dǎo)體可飽 和吸收鏡和SESAM前反射鏡之間的直線距離確定光路偏移角度包括：
[0020] 獲取所述激光在所述半導(dǎo)體可飽和吸收鏡SESAM上的光斑直徑；
[0021] 獲取所述半導(dǎo)體可飽和吸收鏡和SESAM前反射鏡之間的直線距離；
[0022] 根據(jù)所述光斑直徑和所述直線距離確定所述光路偏移角度。
[0023] 可選地、所述第一角度巧
其中，d為所述激光在所述半導(dǎo)體可飽和吸 收鏡上的光斑直徑，L為所述半導(dǎo)體可飽和吸收鏡和所述SESAM前反射鏡之間的直線距離。
[0024] 可選地、所述第一位置調(diào)整組件和所述第二位置調(diào)整組件為伺服電機(jī)組件或壓電 陶瓷組件。
[0025] 一種激光器，所述激光器包括：
[0026] 累浦系統(tǒng)、激光晶體、諧振腔W及更換SESAM工作點(diǎn)裝置，所述更換SESAM工作點(diǎn)裝 置為本發(fā)明所提供的更換SESAM工作點(diǎn)裝置。
[0027] 一種更換SESAM工作點(diǎn)設(shè)備，所述設(shè)備包括：
[00巧]處理器和存儲(chǔ)器，其中，
[0029] 所述存儲(chǔ)器中存有計(jì)算機(jī)可讀程序；
[0030] 所述處理器通過運(yùn)行所述存儲(chǔ)器中的程序，W用于完成更換SESAM工作點(diǎn)。
[0031] 從W上技術(shù)方案可W看出，本發(fā)明實(shí)施例具有W下優(yōu)點(diǎn)：
[0032] 本發(fā)明提供的更換半導(dǎo)體可飽和吸收鏡SESAM工作點(diǎn)方法及相關(guān)設(shè)備，利用位置 調(diào)整機(jī)構(gòu)對(duì)SESAM和SESAM前反射鏡的反射角度進(jìn)行調(diào)節(jié)，每次更換工作點(diǎn)只需要SESAM第 一角度和SESAM前反射鏡轉(zhuǎn)動(dòng)第二角度即可，操作簡單、不需要打開激光器就可實(shí)現(xiàn)SESAM 工作點(diǎn)的更換，保證激光器內(nèi)部器件的潔凈度。
【附圖說明】
[0033] 圖1是現(xiàn)有技術(shù)中一種使用SESAM鎖模技術(shù)的全固態(tài)激光器；
[0034] 圖2是本發(fā)明的更換半導(dǎo)體可飽和吸收鏡SESAM工作點(diǎn)的裝置的一種實(shí)施例的結(jié) 構(gòu)示意圖；
[0035] 圖3a是本發(fā)明的更換半導(dǎo)體可飽和吸收鏡SESAM工作點(diǎn)的裝置的一種實(shí)施例的工 作點(diǎn)更換的示意圖；
[0036] 圖3b是本發(fā)明的更換半導(dǎo)體可飽和吸收鏡SESAM工作點(diǎn)的裝置的一種實(shí)施例的 SESAM前反射鏡的反射路徑的示意圖；
[0037] 圖3c是本發(fā)明的更換半導(dǎo)體可飽和吸收鏡SESAM工作點(diǎn)的裝置的一種實(shí)施例的半 導(dǎo)體可飽和吸收鏡的反射路徑的示意圖；
[0038] 圖4是本發(fā)明的更換半導(dǎo)體可飽和吸收鏡SESAM工作點(diǎn)的方法的一種實(shí)施例的流 程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0039] 為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本發(fā)明方案，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的 附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是 本發(fā)明一部分的實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人 員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都應(yīng)當(dāng)屬于本發(fā)明保護(hù)的范 圍。
[0040] 本發(fā)明的說明書和權(quán)利要求書及上述附圖中的術(shù)語"第一"、"第二"、"第第 四"等是用于區(qū)別類似的對(duì)象，而不必用于描述特定的順序或先后次序。應(yīng)該理解運(yùn)樣使用 的數(shù)據(jù)在適當(dāng)情況下可W互換，W便運(yùn)里描述的實(shí)施例能夠W除了在運(yùn)里圖示或描述的內(nèi) 容W外的順序?qū)嵤?。此外，術(shù)語"包括"和"具有"W及他們的任何變形，意圖在于覆蓋不排他 的包含，例如，包含了一系列步驟或單元的過程、方法、系統(tǒng)、產(chǎn)品或設(shè)備不必限于清楚地列 出的那些步驟或單元，而是可包括沒有清楚地列出的或?qū)τ谶\(yùn)些過程、方法、產(chǎn)品或設(shè)備固 有的其它步驟或單元。
[0041] SESAM工作時(shí)承載的激光脈沖的峰值功率密度已接近于本身的損傷闊值，因而 SESAM極易被損傷，損傷后的SESAM無法繼續(xù)產(chǎn)生超短脈沖。因?yàn)镾ESAM的工作面積大于激光 脈沖損傷面積，可通過更換SESAM的工作點(diǎn)來延長SESAM的工作壽命，將激光脈沖在SESAM上 的位置從損傷點(diǎn)進(jìn)行移動(dòng)到新的工作點(diǎn)的過程是我們運(yùn)里要解決的技術(shù)問題，下面進(jìn)行具 體介紹。
[0042] 結(jié)合圖2所示，本發(fā)明提供的更換半導(dǎo)體可飽和吸收鏡SESAM工作點(diǎn)裝置的一種實(shí) 施例，包括：
[0043] 沈SAM200、沈SAM前反射鏡201、位置調(diào)整機(jī)構(gòu)W及控制器202;
[0044] 所述SESAM前反射鏡201，用于將激光器生成的激光反射到所述SESAM200;
[0045] 所述SESAM200，用于為所述激光提供工作點(diǎn)；
[0046] 所述位置調(diào)整機(jī)構(gòu)包括與所述SESAM200連接到的第一位置調(diào)整組件203及與所述 SESAM前反射鏡201連接第二位置調(diào)整組件204;
[0047] 在所述控制器202的控制下，所述第一位置調(diào)整組件203使得所述SESAM200轉(zhuǎn)動(dòng) 第一角度，所述第二位置調(diào)整組件使所述SESAM前反射鏡轉(zhuǎn)動(dòng)第二角度，W完成工作點(diǎn)的更 換，其中，所述第一角度為所述第二角度的二倍，所述第一角度根據(jù)所述激光在所述SESAM 上的光斑直徑W及所述SESAM和所述SESAM前反射鏡之間的直線距離確定。
[0048] 運(yùn)里為了方便介紹，只介紹了SESAM的工作點(diǎn)更換的結(jié)構(gòu)，對(duì)于激光脈沖的來源并 未作限定，只需要將產(chǎn)生激光的裝置與本發(fā)明提供的裝置位置安裝好，使得激光脈沖可W 經(jīng)過SESAM前反射鏡的反射到SESAM即可，可W理解的是，對(duì)于如何產(chǎn)生激光脈沖的過程不 進(jìn)行限定，并且在上一時(shí)刻完成工作后，需要更換工作點(diǎn)，可W不需要產(chǎn)生激光脈沖的裝置 繼續(xù)提供激光脈沖進(jìn)行輔助調(diào)整，只需要調(diào)整所述SESAM和所述SESAM前反射鏡的相對(duì)位置 即可。
[0049] 可選地，所述第一位置調(diào)整組件和所述第二位置調(diào)整組件為伺服電機(jī)組件或壓電 陶瓷組件，壓電陶瓷組件可W在通電時(shí)改變SESAM和SESAM前反射鏡的位置，當(dāng)采用伺服電 機(jī)組件時(shí)候，伺服電機(jī)可W采用只留無刷伺服電機(jī)，當(dāng)采用壓電陶瓷組件時(shí)候，壓電陶瓷組 件可W包括壓電陶瓷安裝架，SESAM和SESAM前反射鏡可W分別夾持在壓電陶瓷安裝架上， 即SESAM夾持在第一壓電陶瓷安裝架上，SESAM前反射鏡夾持在第二壓電陶瓷安裝架上，所 述第一位置調(diào)整組件和所述第二位置調(diào)整組件均為直流無刷位置調(diào)整組件，具體不做限 定。
[0050] 為了避開SESAM上的損傷點(diǎn)，可通過調(diào)整第二位置調(diào)整組件來改變SESAM前反射鏡 的反射角度移動(dòng)在SESAM上的激光脈沖的光斑位置，同時(shí)調(diào)整第一位置調(diào)整組件來調(diào)節(jié) SESAM的角度W自動(dòng)補(bǔ)償光路偏移。
[0051] 結(jié)合圖3a至圖3c所示，具體實(shí)施方法可W如下：
[0化2] 定義SESAM和SESAM前反射鏡之間的直線距離為L，激光脈沖在SESAM上的光斑直徑 為d，為了完全避開SESAM上的損傷點(diǎn)，移動(dòng)激光脈沖的光斑的距離至少為2d，則光路H偏移 的角度為
如圖3a所示；
[0053] 通過調(diào)整調(diào)整第二位置調(diào)整組件來改變SESAM前反射鏡的放射面的放射角度W偏 移出射光路，如圖3b所示。其中R、R '為沈SM前反射鏡的反射面，N、N '分別為SESAM前反射鏡 的反射面R、R'的法線。由光的反射定律可知，法線N均分入射光路和出射光路H之間的夾 角。當(dāng)出射光路由H變?yōu)镠'時(shí)偏移角度為目，法線N和N'之間的夾角為!則SESAM前反射鏡的 反射面R轉(zhuǎn)動(dòng)的第二角度為f
[0054] 為了補(bǔ)償光路偏移帶來的諧振腔失諧，需要控制第一位置調(diào)整組件轉(zhuǎn)動(dòng)來調(diào)節(jié) SESAM的角度，如圖3 C所示。其中Q、Q '為SESAM的反射面，出射光路H偏移帶來SESAM的反射面 偏移的角度9,即需要第一位置調(diào)整組件需要帶動(dòng)SESAM轉(zhuǎn)動(dòng)的第一角度為0。
[0055] 為了更好的實(shí)現(xiàn)工作點(diǎn)的更換，可W設(shè)置時(shí)鐘，時(shí)鐘可W單獨(dú)設(shè)置與控制器連接， 也可W設(shè)置在控制器內(nèi)中，利用時(shí)鐘可W周期性的對(duì)工作點(diǎn)繼續(xù)進(jìn)行自動(dòng)更換，保證工作 點(diǎn)更換的及時(shí)性。
[0056] 為了防止工作點(diǎn)在更換過程中出現(xiàn)重復(fù)的情況，可W預(yù)先獲取SESAM可W容納的 工作點(diǎn)個(gè)數(shù)，當(dāng)控制器判斷工作點(diǎn)的更換個(gè)數(shù)達(dá)到SESAM可W提供的工作點(diǎn)個(gè)數(shù)的最大值 則提醒用戶進(jìn)行SESAM的更換。
[0057] 對(duì)于SESAM還可W預(yù)先配置合適的工作點(diǎn)更換路徑，將工作點(diǎn)更換路徑儲(chǔ)存在控 制器中，使得控制器控制第一位置調(diào)整組件和第二位置調(diào)整組件調(diào)整SESAM和SESAM前反射 鏡的反射角度W實(shí)現(xiàn)對(duì)工作點(diǎn)的更換，可W將SESAM的利用率提升。
[005引本發(fā)明提供的更換SESAM工作點(diǎn)裝置，利用位置調(diào)整機(jī)構(gòu)對(duì)SESAM和SESAM前反射 鏡的反射角度進(jìn)行調(diào)節(jié)，每次更換工作點(diǎn)只需要SESAM轉(zhuǎn)動(dòng)第一角度和SESAM前反射鏡轉(zhuǎn)動(dòng) 第二角度即可，操作簡單、不需要打開激光器就可實(shí)現(xiàn)SESAM工作點(diǎn)的更換，保證激光器內(nèi) 部器件的潔凈度。
[0059] 前文中介紹了更換SESAM工作點(diǎn)裝置，對(duì)應(yīng)的，本文中還介紹基于更換SESAM工作 點(diǎn)裝置的工作方法，下面進(jìn)行介紹。
[0060] 結(jié)合圖4所示，本發(fā)明提供的更換SESAM工作點(diǎn)方法的一種實(shí)施例，包括：
[0061 ] S401、根據(jù)激光在SESAM上的光斑直徑W及所述SESAM和SESAM前反射鏡之間的直 線距離確定光路偏移角度。
[0062] 可選地，所述根據(jù)激光在SESAM上的光斑直徑W及所述SESAM和SESAM前反射鏡之 間的直線距離確定光路偏移角度包括：
[0063] Al、獲取所述激光在所述SESAMSESAM上的光斑直徑；
[0064] A2、獲取所述SESAM和SESAM前反射鏡之間的直線距離；
[0065] A3、根據(jù)所述光斑直徑和所述直線距離確定所述光路偏移角度。
[0066] S402、控制所述SESAM在第一位置調(diào)整組件的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)所述光路偏移角度并控 制所述SESAM前反射鏡在第二位置調(diào)整組件的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)所述光路偏移角度的一半，W完 成工作點(diǎn)的更換。
[0067] 通過調(diào)整調(diào)整第二位置調(diào)整組件來改變SESAM前反射鏡的放射面的放射角度W偏 移出射光路。其中R、R '為SESAM前反射鏡的反射面，N、N '分別為SESAM前反射鏡的反射面R、 R'的法線。由光的反射定律可知，法線N均分入射光路和出射光路H之間的夾角。當(dāng)出射光路 0 由H變?yōu)镠'時(shí)偏移角度為0，法線N和N'之間的夾角為^貝化ESAM前反射鏡的反射面R轉(zhuǎn)動(dòng)的 王， 第二角度為^
[0068] 為了補(bǔ)償光路偏移帶來的諧振腔失諧，需要控制第一位置調(diào)整組件轉(zhuǎn)動(dòng)來調(diào)節(jié) SESAM的角度。其中Q、Q'為SESAM的反射面，出射光路H偏移帶來SESAM的反射面偏移的角度 白，即需要第一位置調(diào)整組件需要帶動(dòng)SESAM轉(zhuǎn)動(dòng)的第一角度為白。
[0069] 可選地，所述第一角度0為
其中，d為所述激光在所述SESAM上的光斑 直徑，L為所述SESAM和所述SESAM前反射鏡之間的直線距離。
[0070] 本發(fā)明提供的更換SESAM工作點(diǎn)的方法，利用位置調(diào)整機(jī)構(gòu)對(duì)SESAM和SESAM前反 射鏡的反射角度進(jìn)行調(diào)節(jié)，每次更換工作點(diǎn)只需要SESAM轉(zhuǎn)動(dòng)第一角度和SESAM前反射鏡轉(zhuǎn) 動(dòng)第二角度即可，操作簡單、不需要打開激光器就可實(shí)現(xiàn)SESAM工作點(diǎn)的更換，保證激光器 內(nèi)部器件的潔凈度。
[0071 ] 本發(fā)明還提供了一種激光器，所述激光器包括：
[0072] 累浦系統(tǒng)、激光晶體、諧振腔W及更換SESAM工作點(diǎn)裝置，所述更換SESAM工作點(diǎn)裝 置為前面描述的更換SESAM工作點(diǎn)裝置。
[0073] 本發(fā)明還提供的一種更換SESAM工作點(diǎn)設(shè)備，所述設(shè)備包括：
[0074] 處理器和存儲(chǔ)器，其中，
[0075] 所述存儲(chǔ)器中存有計(jì)算機(jī)可讀程序；
[0076] 所述處理器通過運(yùn)行所述存儲(chǔ)器中的程序，W用于完成前面描述更換SESAM工作 點(diǎn)方法。
[0077] 所述處理器用于：
[0078] 根據(jù)激光在SESAM上的光斑直徑W及所述SESAM和SESAM前反射鏡之間的直線距離 確定光路偏移角度；
[0079] 將所述光路偏移角度確定為所述SESAM轉(zhuǎn)動(dòng)的第一角度；
[0080] 將所述光路偏移角度的一半作為SESAM前反射鏡轉(zhuǎn)動(dòng)的第二角度；
[0081] 控制所述SESAM在第一位置調(diào)整組件的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)第一角度并控制所述SESAM前 反射鏡在第二位置調(diào)整組件的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)第二角度，W完成工作點(diǎn)的更換。
[0082] 本發(fā)明提供的更換SESAM工作點(diǎn)設(shè)備，利用位置調(diào)整機(jī)構(gòu)對(duì)SESAM和SESAM前反射 鏡的反射角度進(jìn)行調(diào)節(jié)，每次更換工作點(diǎn)只需要SESAM轉(zhuǎn)動(dòng)第一角度和SESAM前反射鏡轉(zhuǎn)動(dòng) 第二角度即可，操作簡單、不需要打開激光器就可實(shí)現(xiàn)SESAM工作點(diǎn)的更換，保證激光器內(nèi) 部器件的潔凈度。
[0083] 所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員可W清楚地了解到，為描述的方便和簡潔，上述描述的系統(tǒng)， 裝置和單元的具體工作過程，可W參考前述方法實(shí)施例中的對(duì)應(yīng)過程，在此不再寶述。
[0084] 在本申請(qǐng)所提供的幾個(gè)實(shí)施例中，應(yīng)該理解到，所掲露的系統(tǒng)，裝置和方法，可W 通過其它的方式實(shí)現(xiàn)。例如，W上所描述的裝置實(shí)施例僅僅是示意性的，例如，所述單元的 劃分，僅僅為一種邏輯功能劃分，實(shí)際實(shí)現(xiàn)時(shí)可W有另外的劃分方式，例如多個(gè)單元或組件 可W結(jié)合或者可W集成到另一個(gè)系統(tǒng)，或一些特征可W忽略，或不執(zhí)行。另一點(diǎn)，所顯示或 討論的相互之間的禪合或直接禪合或通信連接可W是通過一些接口，裝置或單元的間接禪 合或通信連接，可W是電性，機(jī)械或其它的形式。
[0085] 所述作為分離部件說明的單元可W是或者也可W不是物理上分開的，作為單元顯 示的部件可W是或者也可W不是物理單元，即可W位于一個(gè)地方，或者也可W分布到多個(gè) 網(wǎng)絡(luò)單元上?？蒞根據(jù)實(shí)際的需要選擇其中的部分或者全部單元來實(shí)現(xiàn)本實(shí)施例方案的目 的。
[0086] 另外，在本發(fā)明各個(gè)實(shí)施例中的各功能單元可W集成在一個(gè)處理單元中，也可W 是各個(gè)單元單獨(dú)物理存在，也可W兩個(gè)或兩個(gè)W上單元集成在一個(gè)單元中。上述集成的單 元既可W采用硬件的形式實(shí)現(xiàn)，也可W采用軟件功能單元的形式實(shí)現(xiàn)。
[0087] 本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可W理解上述實(shí)施例的各種方法中的全部或部分步驟是可 W通過程序來指令相關(guān)的硬件來完成，該程序可W存儲(chǔ)于一計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)中，存儲(chǔ) 介質(zhì)可W包括：只讀存儲(chǔ)器（ROM, Read Only Memo巧）、隨機(jī)存取存儲(chǔ)器（RAM, Random Access Memory)、磁盤或光盤等。
[0088] 本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可W理解實(shí)現(xiàn)上述實(shí)施例方法中的全部或部分步驟是可W 通過程序來指令相關(guān)的硬件完成，所述的程序可W存儲(chǔ)于一種計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)中，上 述提到的存儲(chǔ)介質(zhì)可W是只讀存儲(chǔ)器，磁盤或光盤等。
[0089] W上對(duì)本發(fā)明所提供的一種更換SESAM工作點(diǎn)方法及相關(guān)設(shè)備進(jìn)行了詳細(xì)介紹， 對(duì)于本領(lǐng)域的一般技術(shù)人員，依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的思想，在【具體實(shí)施方式】及應(yīng)用范圍上均 會(huì)有改變之處，綜上所述，本說明書內(nèi)容不應(yīng)理解為對(duì)本發(fā)明的限制。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種更換半導(dǎo)體可飽和吸收鏡SESAM工作點(diǎn)的裝置，其特征在于，包括： SESAM、SESAM前反射鏡、位置調(diào)整機(jī)構(gòu)W及控制器； 所述SESAM前反射鏡，用于將激光器產(chǎn)生的激光反射到所述SESAM上； 所述SESAM，用于為所述激光提供工作點(diǎn)； 所述位置調(diào)整機(jī)構(gòu)包括與所述SESAM連接的第一位置調(diào)整組件及與所述SESAM前反射 鏡連接的第二位置調(diào)整組件； 所述控制器，用于控制所述第一位置調(diào)整組件使所述SESAM轉(zhuǎn)動(dòng)第一角度，控制所述第 二位置調(diào)整組件使所述SESAM前反射鏡轉(zhuǎn)動(dòng)第二角度，W完成工作點(diǎn)的更換，其中，所述第 一角度為所述第二角度的二倍，所述第一角度是根據(jù)所述激光在所述SESAM上的光斑直徑 W及所述SESAM和所述SESAM前反射鏡之間的直線距離確定的。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第一角度由下式確定：其中，目為所述第一角度，d為所述激光在所述SESAM上的光斑直徑，L為所述SESAM和所 述SESAM前反射鏡之間的直線距離。3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第一位置調(diào)整組件和所述第二位置調(diào) 整組件為伺服電機(jī)組件或壓電陶瓷組件。4. 一種更換半導(dǎo)體可飽和吸收鏡SESAM工作點(diǎn)的方法，其特征在于，包括： 根據(jù)激光在SESAM上的光斑直徑W及所述SESAM和SESAM前反射鏡之間的直線距離確定 光路偏移角度； 控制所述SESAM在第一位置調(diào)整組件的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)所述光路偏移角度并控制所述 SESAM前反射鏡在第二位置調(diào)整組件的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)所述光路偏移角度的一半，W完成工作 點(diǎn)的更換。5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述根據(jù)激光在SESAM上的光斑直徑W及 所述SESAM和SESAM前反射鏡之間的直線距離確定光路偏移角度，包括： 獲取所述激光在所述SESAM上的光斑直徑； 獲取所述SESAM和SESAM前反射鏡之間的直線距離； 根據(jù)所述光斑直徑和所述直線距離確定所述光路偏移角度。6. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述根據(jù)所述光斑直徑和所述直線距離確 定所述光路偏移角度包括： 根據(jù)下式確定所述光路偏移角度：其中，Θ為所述光路偏移角度，d為所述光斑直徑，L為所述直線距離。7. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述第一位置調(diào)整組件和所述第二位置調(diào) 整組件為伺服電機(jī)組件或壓電陶瓷組件。8. -種激光器，其特征在于，所述激光器包括： 累浦系統(tǒng)、激光晶體、諧振腔W及更換SESAM工作點(diǎn)的裝置，所述更換SESAM工作點(diǎn)的裝 置為權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的更換SESAM工作點(diǎn)的裝置。9. 一種更換SESAM工作點(diǎn)的設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備包括： 處理器和存儲(chǔ)器，其中，所述處理器和所述存儲(chǔ)器通過總線系統(tǒng)相連， 所述存儲(chǔ)器中存有計(jì)算機(jī)可讀程序； 所述處理器通過運(yùn)行所述存儲(chǔ)器中的所述計(jì)算機(jī)可讀程序，使得所述設(shè)備執(zhí)行上述權(quán) 利要求4至7任一項(xiàng)所述的方法。
【文檔編號(hào)】H01S3/098GK105977777SQ201610333769
【公開日】2016年9月28日
【申請(qǐng)日】2016年5月19日
【發(fā)明人】黃玉濤, 麻云鳳, 樊仲維, 石朝輝, 閆瑩, 連富強(qiáng), 劉學(xué)松, 白振岙
【申請(qǐng)人】中國科學(xué)院光電研究院