一種防止單晶硅片片盒錯誤放置的工裝的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及硅單晶拋光片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,具體地說是涉及一種防止單晶硅片片盒錯誤放置的工裝。
【背景技術(shù)】
[0002]硅單晶拋光片生產(chǎn)工序中,粘片崗位是不可缺少的重要崗位,也是拋光工序的首要崗位,而片盒是硅單晶拋光片生產(chǎn)過程中各個工序相互傳遞硅片必須需要的物品,單晶硅片每25片放置在一個片盒中從切磨車間運送到拋光車間準備進行拋光生產(chǎn),粘片崗位員工對每盒硅片清洗后開始進行粘片,然后進行拋光。
[0003]目前粘片時直接把片盒放置在工作臺上進行粘片,由于硅片分正反面,片盒分U面和H面,硅片正面放置在片盒的H面,這樣把片盒H面朝上放置在工作臺上,粘片操作工依次從H面取硅片放置粘片模具進行粘片,如果操作工工作中出現(xiàn)失誤,把片盒U面朝上放置,就會造成把硅片正反面粘反,拋光后造成硅片報廢,產(chǎn)生損失。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型主要是為解決上述存在的問題,提供一種防止單晶硅片片盒錯誤放置的工裝,本工裝直接放在工作臺上,只有片盒H面朝上,U面朝下才能放置在片盒放置器中正常進行粘片操作,否則片盒不能平穩(wěn)放置,粘片不能正常進行,有效避免了片盒U面與H面放反造成的加工損失。
[0005]為解決上述存在的問題,本實用新型所采用的技術(shù)方案是:
[0006]—種防止單晶硅片片盒錯誤放置的工裝,該單晶硅片片盒的U型面為正確的放置端,U型面上設(shè)置有U型凹槽和長方形凹槽I,所述工裝包括底座基板,底座基板上設(shè)有U型凸起和長方形凸起,且U型凸起和長方形凸起同時插入到U型凹槽和長方形凹槽I中,以使U型面放置端固定在底座基板上。
[0007]進一步地,所述U型凸起、長方形凸起與基板為一體成型結(jié)構(gòu)。
[0008]進一步地,所述U型凸起和長方形凸起均焊接在基板上。
[0009]進一步地,所述U型凸起和長方形凸起均粘結(jié)在基板上。
[0010]進一步地,所述U型凸起和長方形凸起的材質(zhì)為橡膠或塑料。
[0011]進一步地,所述底座基板、U型凸起和長方形凸起均采用有機玻璃材料加工制成。
[0012]本實用新型所帶來的有益效果為:加工工藝簡單,操作方便,克服了粘片過程中硅片粘反的情況,明顯地杜絕了加工失誤,降低生產(chǎn)損失。
【附圖說明】
[0013]圖1是片盒的U型面;
[0014]圖2是片盒的H型面;
[0015]圖3是本實用新型的主視圖;
[0016]圖4是本實用新型的側(cè)視圖。
[0017]圖中標記:1、基板,2、U型凸起,3、長方形凸起,4、U型面,401、U型凹槽,402、長方形凹槽I,5、H型面,501、H型凹槽,502、長方形凹槽II。
【具體實施方式】
[0018]下面結(jié)合附圖及具體實施例對本實用新型作進一步的詳細說明。
[0019]如圖所示,一種防止單晶硅片片盒錯誤放置的工裝,該單晶硅片片盒的U型面4為正確的放置端,U型面4上設(shè)置有U型凹槽401和長方形凹槽I 402,該單晶硅片片盒的H型面5為錯誤的放置端,H型面5上設(shè)置有H型凹槽501和長方形凹槽II 502,所述工裝包括底座基板1,底座基板I上設(shè)有U型凸起2和長方形凸起3,且U型凸起2和長方形凸起3同時插入到U型凹槽401和長方形凹槽I 402中,以使U型面4放置端固定在底座基板I上;當(dāng)H型面5朝下放置,U型凸起2不能完全卡進H型凹槽501內(nèi),片盒放置不穩(wěn)。
[0020]所述U型凸起2、長方形凸起3與基板I為一體成型結(jié)構(gòu)。
[0021]作為另一種改進,所述U型凸起2和長方形凸起3均焊接在基板I上。
[0022]作為另一種改進,所述U型凸起2和長方形凸起3均粘結(jié)在基板I上。
[0023]作為另一種改進,所述U型凸起2和長方形凸起3的材質(zhì)為橡膠或塑料。
[0024]所述底座基板1、U型凸起2和長方形凸起3均采用有機玻璃材料加工制成。
[0025]所述基板I選用長條形有機玻璃。
【主權(quán)項】
1.一種防止單晶硅片片盒錯誤放置的工裝,該單晶硅片片盒的U型面(4)為正確的放置端,U型面(4)上設(shè)置有U型凹槽(401)和長方形凹槽I (402),其特征在于:所述工裝包括底座基板(1),底座基板(I)上設(shè)有U型凸起(2)和長方形凸起(3),且U型凸起(2)和長方形凸起(3)同時插入到U型凹槽(401)和長方形凹槽I (402)中,以使U型面(4)放置端固定在底座基板(I)上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防止單晶硅片片盒錯誤放置的工裝,其特征在于:所述U型凸起(2)、長方形凸起(3)與基板(I)為一體成型結(jié)構(gòu)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防止單晶硅片片盒錯誤放置的工裝,其特征在于:所述U型凸起(2)和長方形凸起(3)均焊接在基板(I)上。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防止單晶硅片片盒錯誤放置的工裝,其特征在于:所述U型凸起(2 )和長方形凸起(3 )均粘結(jié)在基板(I)上。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防止單晶硅片片盒錯誤放置的工裝,其特征在于:所述U型凸起(2)和長方形凸起(3)的材質(zhì)為橡膠或塑料。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防止單晶硅片片盒錯誤放置的工裝,其特征在于:所述底座基板(I)、U型凸起(2 )和長方形凸起(3 )均采用有機玻璃材料加工制成。
【專利摘要】一種防止單晶硅片片盒錯誤放置的工裝,該單晶硅片片盒的U型面為正確的放置端,U型面上設(shè)置有U型凹槽和長方形凹槽Ⅰ,所述工裝包括底座基板,底座基板上設(shè)有U型凸起和長方形凸起,且U型凸起和長方形凸起同時插入到U型凹槽和長方形凹槽Ⅰ中,以使U型面放置端固定在底座基板上。本工裝加工工藝簡單,操作方便,克服了粘片過程中硅片粘反的情況,明顯地杜絕了加工失誤,降低生產(chǎn)損失。
【IPC分類】H01L21/673
【公開號】CN204834581
【申請?zhí)枴緾N201520609286
【發(fā)明人】高燁, 李宏儒, 趙文龍, 胡曉亮, 崔小換, 郭光燦, 卓元
【申請人】麥斯克電子材料有限公司
【公開日】2015年12月2日
【申請日】2015年8月14日