一種掃描電鏡測試平臺的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種掃描電鏡測試平臺，尤其適用于測試磁性材料的樣品。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有技術(shù)中，掃描電鏡是一種樣品制備簡單、分辨高、綜合分析能力強的測試分析設(shè)備，目前廣泛應(yīng)用于各類材料的表面和截面微觀分析。其中，樣品臺是掃描電鏡設(shè)備的核心部件，其一般為鋁制的圓形平臺。在樣品表面測試時，以薄片型樣品為例，通常通過導(dǎo)電膠將樣品粘貼于樣品臺面上做觀察。而要對樣品做截面測試，需要在樣品臺的四周貼上導(dǎo)電膠，再將樣品貼于平臺側(cè)邊上。
[0003]目前，由于電鏡的鏡頭在通電時會產(chǎn)生磁場，為了避免測試樣品被磁力吸在鏡頭上損壞電鏡，所以對于鐵鈷鎳等磁性材料的金屬片或金屬塊，在對其進行表面形貌觀察或者EDS成分掃描時，需要測試者根據(jù)經(jīng)驗在測試樣品周圍貼滿導(dǎo)電膠，操作非常繁瑣，而且具有相當?shù)娘L(fēng)險。因此，目前通常不對這些材料做任何電鏡測試。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實用新型的發(fā)明目的是提供一種掃描電鏡測試平臺，適用于測試磁性材料的樣品O
[0005]為達到上述發(fā)明目的，本實用新型采用的技術(shù)方案是:一種掃描電鏡測試平臺，包括樣品平臺，所述樣品平臺上層疊設(shè)有活動連接的測試輔助平臺，并通過限位機構(gòu)對所述測試輔助平臺的位置進行限定，所述測試輔助平臺上設(shè)有測試孔。
[0006]上述技術(shù)方案中，所述樣品平臺和測試輔助平臺上以平臺縱軸為對稱軸分別對稱設(shè)有一對對稱的螺孔，所述樣品平臺和測試輔助平臺經(jīng)螺絲固定連接。
[0007]上述技術(shù)方案中，所述限位機構(gòu)包括設(shè)于樣品平臺上的至少2個定位片和設(shè)于測試輔助平臺上對應(yīng)于所述定位片的定位片孔。
[0008]上述技術(shù)方案中，所述測試孔至少有2個，以平臺中心為圓心沿圓周均勻分布于測試輔助平臺上。
[0009]優(yōu)選的，所述測試孔的直徑為0.5~5 mm。所述測試孔的大小既要方便測試，又要小于樣品，以起到防止樣品被吸氣損壞鏡頭。
[0010]優(yōu)選的，所述測試孔的直徑為2 mm。
[0011]本實用新型的測試平臺在使用時，在樣品平臺上找好對應(yīng)位置用導(dǎo)電膠沾好樣品，將定位片孔和定位片對齊使得測試輔助平臺和樣品平臺重疊在一起，再用螺絲穿過螺孔進行固定，電鏡可以通過測試孔找到待測的磁性樣品進行測試。
[0012]由于上述技術(shù)方案運用，本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點:
[0013]1.本實用新型通過在樣品平臺上活動設(shè)置測試輔助平臺，并在測試輔助平臺上設(shè)置測試孔，在測試磁性樣品時，不會因電鏡鏡頭通電產(chǎn)生的磁場將樣品吸氣而損壞鏡頭。
[0014]2.本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，不需要考慮測試人員的經(jīng)驗。
【附圖說明】
[0015]圖1是實施例一中本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖2是實施例一中本實用新型的樣品平臺的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖3是實施例一中本實用新型的測試輔助平臺的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖4是圖3的側(cè)面剖視圖。
[0019]其中:1、樣品平臺；2、測試輔助平臺；3、定位片；4、定位片孔；5、螺孔；6、測試孔。
【具體實施方式】
[0020]下面結(jié)合附圖及實施例對本實用新型作進一步描述:
[0021]實施例一:
[0022]參見圖1至4所示，一種掃描電鏡測試平臺，包括樣品平臺1，所述樣品平臺上設(shè)有活動連接的測試輔助平臺2，并通過限位機構(gòu)對測試輔助平臺位置進行限定，所述測試輔助平臺上設(shè)有測試孔6。
[0023]所述樣品平臺和測試輔助平臺上以平臺縱軸為對稱軸分別對稱設(shè)有一對對應(yīng)的螺孔5，所述樣品平臺和測試輔助平臺經(jīng)螺絲固定。
[0024]所述限位機構(gòu)包括設(shè)于樣品平臺上的兩個定位片3和設(shè)于測試輔助平臺上對應(yīng)于定位片的定位片孔4，所述定位片以平臺縱軸為對稱軸對稱設(shè)置，將定位片孔和定位片對齊使得測試輔助平臺和樣品平臺重疊在一起。
[0025]所述測試孔以平臺中心為圓心沿圓周均勻分布于測試輔助平臺上，測試孔數(shù)目設(shè)為四個。
【主權(quán)項】
1.一種掃描電鏡測試平臺，包括樣品平臺，其特征在于:所述樣品平臺上層疊設(shè)有活動連接的測試輔助平臺，并通過限位機構(gòu)對所述測試輔助平臺的位置進行限定，所述測試輔助平臺上設(shè)有測試孔。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掃描電鏡測試平臺，其特征在于:所述樣品平臺和測試輔助平臺上以平臺縱軸為對稱軸分別對稱設(shè)有一對對稱的螺孔，所述樣品平臺和測試輔助平臺經(jīng)螺絲固定連接。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掃描電鏡測試平臺，其特征在于:所述限位機構(gòu)包括設(shè)于樣品平臺上的至少2個定位片和設(shè)于測試輔助平臺上對應(yīng)于所述定位片的定位片孔。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掃描電鏡測試平臺，其特征在于:所述測試孔至少有2個，以平臺中心為圓心沿圓周均勻分布于測試輔助平臺上。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種掃描電鏡測試平臺，其特征在于:所述測試孔的直徑為0.5?5 mmD6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種掃描電鏡測試平臺，其特征在于:所述測試孔的直徑為2mmD
【專利摘要】本實用新型公開了一種掃描電鏡測試平臺，包括樣品平臺，所述樣品平臺上層疊設(shè)有活動連接的測試輔助平臺，并通過限位機構(gòu)對所述測試輔助平臺的位置進行限定，所述測試輔助平臺上設(shè)有測試孔。本實用新型通過在樣品平臺上活動設(shè)置測試輔助平臺，并在測試輔助平臺上設(shè)置測試孔，在測試磁性樣品時，不會因電鏡鏡頭通電產(chǎn)生的磁場將樣品吸氣而損壞鏡頭。
【IPC分類】G01N1/28, G01N23/225, H01J37/20, H01J37/28
【公開號】CN204927233
【申請?zhí)枴緾N201520753550
【發(fā)明人】李琰琪, 王栩生, 邢國強
【申請人】蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司, 鹽城阿特斯協(xié)鑫陽光電力科技有限公司
【公開日】2015年12月30日
【申請日】2015年9月25日