專利名稱：雙路調(diào)制脈沖電化學(xué)沉積裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種雙路調(diào)制脈沖電化學(xué)沉積裝置。
背景技術(shù)：
目前，性能優(yōu)異、種類繁多的納米材料引發(fā)了人們的極大興趣。納米材料的制備方法也是多種多樣的，利用電化學(xué)沉積方法是其中之一，實(shí)現(xiàn)此方法的設(shè)備多為脈沖電解電鍍電源，如在2004年9月29日公開(kāi)的中國(guó)發(fā)明專利說(shuō)明書(shū)CN 1169282C中披露的一種“電鍍電流供應(yīng)系統(tǒng)”。它意欲提供一種可使被電鍍的有著通孔或通路孔的多層印刷電路板能獲得均勻厚度的電鍍層。它由提供正電流的第一直流電源和提供負(fù)電流的第二直流電源組成的電鍍電流電源單元，以及控制第一直流電源和第二直流電源提供給被電鍍物體的正電流和負(fù)電流的大小和持續(xù)時(shí)間間隔比的處理單元構(gòu)成。使用時(shí)，電鍍電流電源單元在處理單元的控制下，輸出電鍍時(shí)所需大小的正電流和負(fù)電流，以及相應(yīng)的持續(xù)時(shí)間。但是，這種系統(tǒng)輸出的只是一路脈沖電解電鍍電流，不能輸出兩路調(diào)制脈沖電解電鍍電流，而對(duì)于合成具有兩種不同材料交替排列的納米絲，往往卻是需要雙路調(diào)制脈沖信號(hào)來(lái)實(shí)時(shí)地調(diào)節(jié)兩路輸出電壓的頻率、占空比、幅度、電平的。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題為克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足之處，提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，實(shí)用，使用方便的雙路調(diào)制脈沖電化學(xué)沉積裝置。
所采用的技術(shù)方案包括電源和與其電連接的輸出端子，特別是還包含依次電連接的信號(hào)發(fā)生模塊、倍頻分頻模塊、四象限乘法模塊和功放模塊，以及經(jīng)雙路定時(shí)模塊與這些模塊中的不同模塊電連接的其輸出均為兩路的電平調(diào)節(jié)器、調(diào)制信號(hào)器、占空比設(shè)置器和頻率給定器，其中，信號(hào)發(fā)生模塊由U1芯片AD654及其外圍電路組成，其中，U1芯片AD654的輸入端腳④與雙路定時(shí)模塊的頻率給定端口電連接、輸出端腳①與倍頻分頻模塊的輸入端電連接，用于產(chǎn)生10Hz～10KHz的方波信號(hào)；倍頻分頻模塊由依次相互電連接的U2芯片CD4046、U3芯片CD4518、U41/2芯片CD4518、U42/2芯片CD4518和U5芯片CD4585、U6芯片CD4585及其外圍電路組成，其中，U2芯片CD4046的輸入端腳與信號(hào)發(fā)生模塊的輸出端腳①電連接，U6芯片CD4585的輸出端腳與四象限乘法模塊的輸入端電連接，U5芯片CD4585和U6芯片CD4585的腳、腳⑨、腳①、腳均與雙路定時(shí)模塊的占空比設(shè)置端口控制的八線開(kāi)關(guān)電連接，用于先將信號(hào)發(fā)生模塊輸出的方波的頻率提升100倍，再進(jìn)行分頻，并根據(jù)占空比設(shè)置器的輸出，來(lái)獲得占空比范圍為5～98％的輸出；四象限乘法模塊由U7芯片MC1494及其外圍電路組成，其中，U7芯片MC1494的輸入端腳⑩與倍頻分頻模塊的U6芯片CD4585的輸出端腳電連接，U7芯片MC1494的輸入端腳⑨與雙路定時(shí)模塊的調(diào)制信號(hào)端口電連接、輸出端腳與功放模塊的輸入端電連接，用于將來(lái)自倍頻分頻模塊的脈沖高頻信號(hào)和來(lái)自調(diào)制信號(hào)器的調(diào)制信號(hào)相乘后，輸出所需的復(fù)合電脈沖信號(hào)；功放模塊由U8芯片LF351與U9芯片OPA551級(jí)連及其外圍電路組成，其中，U8芯片LF351的輸入端腳②與四象限乘法模塊的輸出端腳電連接、腳③與雙路定時(shí)模塊的電平調(diào)節(jié)端口電連接，U9芯片OPA551的輸出端腳⑥與輸出端子電連接，用于將所需的復(fù)合電脈沖信號(hào)放大至可用的功率和設(shè)定靜態(tài)工作點(diǎn)，以便于輸出端子輸出所需波形的電脈沖信號(hào)；雙路定時(shí)模塊由帶有八位數(shù)字撥盤(pán)開(kāi)關(guān)的同步定時(shí)開(kāi)關(guān)DHC9A和雙路同步繼電器以及電平調(diào)節(jié)器、調(diào)制信號(hào)器、占空比設(shè)置器和頻率給定器的兩路輸出端組成，其中，雙路同步繼電器的工作線圈與同步定時(shí)開(kāi)關(guān)DHC9A及它的驅(qū)動(dòng)電路電連接構(gòu)成電子式四刀雙擲開(kāi)關(guān)，所說(shuō)電子式四刀雙擲開(kāi)關(guān)的兩組八路輸入端分別與電平調(diào)節(jié)器的兩路輸出端、調(diào)制信號(hào)器的兩路輸出端、占空比設(shè)置器的兩路輸出信號(hào)的兩只合成端口、頻率給定器的兩路輸出端電連接，一組四路輸出端分別與電平調(diào)節(jié)端口、調(diào)制信號(hào)端口、占空比設(shè)置端口和頻率給定端口電連接，用于以手動(dòng)方式于同步定時(shí)開(kāi)關(guān)DHC9A的八位數(shù)字撥盤(pán)開(kāi)關(guān)上分別設(shè)置兩組時(shí)間段的時(shí)間，以及將分別設(shè)定的電平調(diào)節(jié)器、調(diào)制信號(hào)器、占空比設(shè)置器和頻率給定器的輸出經(jīng)由同步定時(shí)開(kāi)關(guān)DHC9A和雙路同步繼電器構(gòu)成的電子式四刀雙擲開(kāi)關(guān)同步輸出至相應(yīng)的模塊。
作為技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述的電平調(diào)節(jié)器為電壓調(diào)壓部件，其兩路輸出端均為分別置于裝置前面板上的兩只電位器的電壓輸出端；所述的調(diào)制信號(hào)器為電壓調(diào)壓部件，其兩路輸出端均為分別置于裝置前面板上的兩只電位器的電壓輸出端；所述的占空比設(shè)置器為四位數(shù)字撥盤(pán)開(kāi)關(guān)，其兩路輸出端為置于裝置前面板上的四位數(shù)字撥盤(pán)開(kāi)關(guān)的輸出端；所述的頻率給定器為電壓調(diào)壓部件，其兩路輸出端均為分別置于裝置前面板上的兩只電位器的電壓輸出端；所述的功放模塊的U9芯片OPA551的腳⑥經(jīng)電阻R21與腳②和反饋采樣器的連接點(diǎn)相連接，用于穩(wěn)定功放模塊的輸出；所述的反饋采樣器為電阻R22，所說(shuō)電阻R22的另一端接地。
相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)的有益效果是，其一，在現(xiàn)有的電源和與其電連接的輸出端子的基礎(chǔ)上，增設(shè)依次電連接的信號(hào)發(fā)生模塊、倍頻分頻模塊、四象限乘法模塊和功放模塊，以及經(jīng)雙路定時(shí)模塊與這些模塊中的不同模塊電連接的其輸出均為兩路的電平調(diào)節(jié)器、調(diào)制信號(hào)器、占空比設(shè)置器和頻率給定器的構(gòu)造，獲得了輸出頻率、占空比、振幅、靜態(tài)工作點(diǎn)可調(diào)的雙路調(diào)制的脈沖電化學(xué)沉積裝置，其中，頻率調(diào)節(jié)范圍為10Hz～10KHz，占空比調(diào)節(jié)范圍為5～98％，振幅調(diào)節(jié)范圍為0.4～12V，靜態(tài)工作點(diǎn)的調(diào)節(jié)范圍為-5V～+5V；其二，每路脈沖信號(hào)的頻率、占空比、振幅、靜態(tài)工作點(diǎn)(電平)均可獨(dú)自調(diào)節(jié)，相互不影響，且能同步切換；其三，工作時(shí)，兩路脈沖經(jīng)手動(dòng)切換而交替出現(xiàn)，分別為每路脈沖的時(shí)間片t1或t2的變化范圍均為1秒～1天可調(diào)。頻率的低頻部分為1/(t1+t2)，高頻頻率為1MHz～10Hz。占空比在時(shí)間片t1和t2內(nèi)，均獨(dú)立可調(diào)，精度為1％。振幅的V1H為0～10v可調(diào)，V2H為0～10v可調(diào)，V1L為-6～0v可調(diào)，V2L為-6～0v可調(diào)。靜態(tài)工作點(diǎn)的(V1H+V1L)/2＞V0，(V2H+V2L)/2＞V0。其中，V1H、V1L分別為第一路脈沖的高電平和低電平，V2H、V2L分別為第二路脈沖的高電平和低電平，V0為電勢(shì)零點(diǎn)；其四，采用直接撥動(dòng)和調(diào)節(jié)裝置前面板上的開(kāi)關(guān)和電位器旋鈕來(lái)實(shí)現(xiàn)手動(dòng)控制，直觀、方便，若需自動(dòng)控制則只需將雙路定時(shí)模塊更換成相應(yīng)的控制部件即可。


下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選方式作進(jìn)一步詳細(xì)的描述。
圖1是本發(fā)明的一種基本結(jié)構(gòu)原理示意圖；圖2是本發(fā)明的輸出波形圖，圖中V0是電勢(shì)零點(diǎn)，V1H、V1L分別為第一路脈沖的高電平和低電平，f1為第一路脈沖的頻率，t1為第一路脈沖的有效時(shí)間，V2H、V2L分別為第二路脈沖的高電平和低電平，f2為第二路脈沖的頻率，t2為第二路脈沖的有效時(shí)間；圖3是實(shí)現(xiàn)圖1中原理的一種實(shí)施例電路結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施例方式
參見(jiàn)圖1、圖2和圖3，雙路調(diào)制脈沖電化學(xué)沉積裝置由依次電連接的信號(hào)發(fā)生模塊2、倍頻分頻模塊3、四象限乘法模塊4、功放模塊6和輸出端子5，以及經(jīng)雙路定時(shí)模塊1與這些模塊中的不同模塊電連接的其輸出均為兩路的電平調(diào)節(jié)器7、調(diào)制信號(hào)器9、占空比設(shè)置器10和頻率給定器11構(gòu)成，其中信號(hào)發(fā)生模塊2是由U1芯片AD654及其外圍電路組成的一種電壓轉(zhuǎn)換頻率電路；其中，工作電壓VCC1為+15V。U1芯片AD654的輸入端腳④與雙路定時(shí)模塊1的頻率給定端口A電連接，用于接收由頻率給定端口A送來(lái)的0～5V的電壓控制信號(hào)。U1芯片AD654的輸出端腳①與倍頻分頻模塊3的輸入端電連接，以將變換出的頻率信號(hào)輸出。U1芯片AD654的腳③接可變電阻(R1+VAR1)到地，腳⑥和腳⑦之間接電容C1，用于產(chǎn)生10Hz～10KHz的方波信號(hào)。U1芯片AD654的腳②和腳⑤接地，腳⑧與腳①間接有上拉電阻R2，以調(diào)節(jié)腳①輸出信號(hào)的電平。
倍頻分頻模塊3由依次相互電連接的U2芯片CD4046、U3芯片CD4518、U4 1/2芯片CD4518、U4 2/2芯片CD4518和U5芯片CD4585、U6芯片CD4585及其外圍電路組成；其中，U2芯片CD4046的輸入端腳與信號(hào)發(fā)生模塊2的輸出端腳①電連接，以獲得需倍頻的信號(hào)，外圍電路的電容C4、電阻R3、R4和R5與U2芯片CD4046的連接是出于確定信號(hào)頻率的工作范圍在1.3MHz以內(nèi)。U2芯片CD4046與U3芯片CD4518組成頻率提升電路單元，以提供100倍的信號(hào)頻率提升，該單元的工作電壓VCC2為+5V，其中U2為鎖相器，倍頻后的信號(hào)由U3的腳①輸出，U3的腳⑥與腳⑩相連。在此之后是占空比及分頻電路單元，由分頻器U4 1/2芯片CD4518、U4 2/2芯片CD4518和預(yù)置計(jì)數(shù)器U5芯片CD4585、U6芯片CD4585組成，該電路單元的電源VCC2提供的電壓為+5V；其中，U4 1/2芯片CD4518的腳⑥與U4 2/2芯片CD4518的腳⑩相連，設(shè)置最大量程為100，作為1/100分頻器，U4 1/2芯片CD4518的腳⑨、腳⑧、腳⑦和接地；U5芯片CD4585和U6芯片CD4585的腳、腳⑨、腳①和腳共八只引腿，分別接1K偏置電阻到地，以防這八個(gè)輸入端所加電平(“0”、“1”)誤動(dòng)作；它們接帶限流500歐姆電阻的+5V電源的為“1”，否則為零，從而組成8位二進(jìn)制預(yù)置門(mén)檻，將在每100脈沖中，劃分為高電平和低電平，也即確定占空比，每一路由裝置前面板上的作為占空比設(shè)置器的兩位數(shù)字撥盤(pán)開(kāi)關(guān)組成，每位數(shù)字由8421碼合成，兩位數(shù)字共需八線信號(hào)連接端，這八線均經(jīng)由雙路定時(shí)模塊1的占空比設(shè)置端口B控制其連接，兩路的占空比互相不影響，同樣由雙路定時(shí)模塊1來(lái)控制其同步切換。帶有占空比的信號(hào)由U6芯片CD4585的輸出端腳輸出，其電平為0～4.8v，經(jīng)過(guò)由電阻R14、電阻R19和電容C14組成的阻容電路，送到四象限乘法模塊4的輸入端以進(jìn)行脈沖調(diào)制，用于先將信號(hào)發(fā)生模塊2輸出的方波的頻率提升100倍，再進(jìn)行分頻，并根據(jù)占空比設(shè)置器10的輸出，來(lái)獲得占空比范圍為5～98％的輸出；四象限乘法模塊4由U7芯片MC1494及其外圍電路組成，其中，U7芯片MC1494的輸入端腳⑩與倍頻分頻模塊3的U6芯片CD4585的輸出端腳電連接，U7芯片MC1494的輸入端腳⑨與雙路定時(shí)模塊1的調(diào)制信號(hào)端口C電連接、輸出端腳與功放模塊6的輸入端電連接；外圍電路的電阻R17接于U7芯片MC1494的腳、腳間，電阻R18接于U7芯片MC1494的腳⑦、腳⑧間，電阻VR1和電阻VR2均接于U7的腳②、腳④間，其動(dòng)觸點(diǎn)分別接U7的腳⑥和腳，以為U7的腳②、腳④提供穩(wěn)定的正負(fù)電壓參考信號(hào)；工作電壓VCC1為+15V；用于將來(lái)自倍頻分頻模塊3的頻率范圍為10Hz～10KHz，占空比調(diào)節(jié)范圍為5％至95％，高電平為4.8V的脈沖高頻信號(hào)和來(lái)自調(diào)制信號(hào)器9的調(diào)制信號(hào)相乘后，輸出所需的復(fù)合電脈沖信號(hào)；功放模塊6由U8芯片LF351與U9芯片OPA551級(jí)連及其外圍電路組成，其中，U8芯片LF351的輸入端腳②與四象限乘法模塊4的輸出端腳電連接、腳③與雙路定時(shí)模塊1的電平調(diào)節(jié)端口D電連接，U9芯片OPA551的輸出端腳⑥與輸出端子5電連接；外圍電路的反饋電阻R20跨接于U8芯片LF351的腳②、腳⑥間，U9芯片OPA551的腳②接電阻R22到地、并同時(shí)再經(jīng)過(guò)電阻R21與腳⑥電連接，以穩(wěn)定功放模塊6的輸出，整個(gè)U9工作于同相放大器模式；功放模塊6的工作電壓VCC1為+15V；用于將所需的復(fù)合電脈沖信號(hào)放大至可用的功率和設(shè)定靜態(tài)工作點(diǎn)，以便于輸出端子5輸出所需波形的電脈沖信號(hào)；雙路定時(shí)模塊1由帶有八位數(shù)字撥盤(pán)開(kāi)關(guān)的同步定時(shí)開(kāi)關(guān)DHC9A和雙路同步繼電器以及電平調(diào)節(jié)器7、調(diào)制信號(hào)器9、占空比設(shè)置器10和頻率給定器11的兩路輸出端組成，其中，雙路同步繼電器的工作線圈與同步定時(shí)開(kāi)關(guān)DHC9A及它的驅(qū)動(dòng)電路電連接，以與同步定時(shí)開(kāi)關(guān)DHC9A內(nèi)含的一只雙路同步繼電器一起共同構(gòu)成了電子式四刀雙擲開(kāi)關(guān)，所說(shuō)電子式四刀雙擲開(kāi)關(guān)的兩組八路輸入端分別與電平調(diào)節(jié)器7的兩路輸出端(t1-7，t2-7)、調(diào)制信號(hào)器9的兩路輸出端(t1-9，t2-9)、占空比設(shè)置器10的兩路輸出信號(hào)的兩只合成端口(t1-10，t2-10)、頻率給定器11的兩路輸出端(t1-11，t2-11)電連接，一組四路輸出端分別與電平調(diào)節(jié)端口D、調(diào)制信號(hào)端口C、占空比設(shè)置端口B和頻率給定端口A電連接；電平調(diào)節(jié)器7為電壓調(diào)壓部件，其兩路輸出端(t1-7，t2-7)均為分別置于裝置前面板上的兩只電位器的電壓輸出端，調(diào)制信號(hào)器9為電壓調(diào)壓部件，其兩路輸出端(t1-9，t2-9)均為分別置于裝置前面板上的兩只電位器的電壓輸出端，占空比設(shè)置器10為四位數(shù)字撥盤(pán)開(kāi)關(guān)，其兩路輸出端為置于裝置前面板上的四位數(shù)字撥盤(pán)開(kāi)關(guān)的輸出端，頻率給定器11為電壓調(diào)壓部件，其兩路輸出端(t1-11，t2-11)均為分別置于裝置前面板上的兩只電位器的電壓輸出端；用于以手動(dòng)方式于同步定時(shí)開(kāi)關(guān)DHC9A的八位數(shù)字撥盤(pán)開(kāi)關(guān)上分別設(shè)置兩組時(shí)間段(t1，t2)的時(shí)間片，以及將分別設(shè)定的電平調(diào)節(jié)器7、調(diào)制信號(hào)器9、占空比設(shè)置器10和頻率給定器11的輸出經(jīng)由同步定時(shí)開(kāi)關(guān)DHC9A和雙路同步繼電器構(gòu)成的電子式四刀雙擲開(kāi)關(guān)同步輸出至相應(yīng)的模塊。
使用時(shí)，先于裝置前面板上的八位數(shù)字撥盤(pán)開(kāi)關(guān)上設(shè)定時(shí)間片t1或t2，再分別于裝置前面板上的六只電位器和四位數(shù)字撥盤(pán)開(kāi)關(guān)上設(shè)定頻率給定數(shù)值、調(diào)制信號(hào)數(shù)值、電平調(diào)節(jié)數(shù)值和占空比數(shù)值，本發(fā)明的輸出端子5即可輸出如圖2所示波形的電脈沖信號(hào)。
顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本發(fā)明的雙路調(diào)制脈沖電化學(xué)沉積裝置進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種雙路調(diào)制脈沖電化學(xué)沉積裝置，包括電源和與其電連接的輸出端子(5)，其特征在于包含依次電連接的信號(hào)發(fā)生模塊(2)、倍頻分頻模塊(3)、四象限乘法模塊(4)和功放模塊(6)，以及經(jīng)雙路定時(shí)模塊(1)與這些模塊中的不同模塊電連接的其輸出均為兩路的電平調(diào)節(jié)器(7)、調(diào)制信號(hào)器(9)、占空比設(shè)置器(10)和頻率給定器(11)等，其中，1.1、信號(hào)發(fā)生模塊(2)由U1芯片AD654及其外圍電路組成，其中，U1芯片AD654的輸入端腳④與雙路定時(shí)模塊(1)的頻率給定端口A電連接、輸出端腳①與倍頻分頻模塊(3)的輸入端電連接，用于產(chǎn)生10Hz～10KHz的方波信號(hào)；1.2、倍頻分頻模塊(3)由依次相互電連接的U2芯片CD4046、U3芯片CD4518、U41/2芯片CD4518、U42/2芯片CD4518和U5芯片CD4585、U6芯片CD4585及其外圍電路組成，其中，U2芯片CD4046的輸入端腳與信號(hào)發(fā)生模塊(2)的輸出端腳①電連接，U6芯片CD4585的輸出端腳與四象限乘法模塊(4)的輸入端電連接，U5芯片CD4585和U6芯片CD4585的腳、腳⑨、腳①、腳均與雙路定時(shí)模塊(1)的占空比設(shè)置端口B控制的八線開(kāi)關(guān)電連接，用于先將信號(hào)發(fā)生模塊(2)輸出的方波的頻率提升100倍，再進(jìn)行分頻，并根據(jù)占空比設(shè)置器(10)的輸出，來(lái)獲得占空比范圍為5～98％的輸出；1.3、四象限乘法模塊(4)由U7芯片MC1494及其外圍電路組成，其中，U7芯片MC1494的輸入端腳⑩與倍頻分頻模塊(3)的U6芯片CD4585的輸出端腳電連接，U7芯片MC1494的輸入端腳⑨與雙路定時(shí)模塊(1)的調(diào)制信號(hào)端口C電連接、輸出端腳與功放模塊(6)的輸入端電連接，用于將來(lái)自倍頻分頻模塊(3)的脈沖高頻信號(hào)和來(lái)自調(diào)制信號(hào)器(9)的調(diào)制信號(hào)相乘后，輸出所需的復(fù)合電脈沖信號(hào)；1.4、功放模塊(6)由U8芯片LF351與U9芯片OPA551級(jí)連及其外圍電路組成，其中，U8芯片LF351的輸入端腳②與四象限乘法模塊(4)的輸出端腳電連接、腳③與雙路定時(shí)模塊(1)的電平調(diào)節(jié)端口D電連接，U9芯片OPA551的輸出端腳⑥與輸出端子(5)電連接，用于將所需的復(fù)合電脈沖信號(hào)放大至可用的功率和設(shè)定靜態(tài)工作點(diǎn)，以便于輸出端子(5)輸出所需波形的電脈沖信號(hào)；1.5、雙路定時(shí)模塊(1)由帶有八位數(shù)字撥盤(pán)開(kāi)關(guān)的同步定時(shí)開(kāi)關(guān)DHC9A和雙路同步繼電器以及電平調(diào)節(jié)器(7)、調(diào)制信號(hào)器(9)、占空比設(shè)置器(10)和頻率給定器(11)的兩路輸出端組成，其中，雙路同步繼電器的工作線圈與同步定時(shí)開(kāi)關(guān)DHC9A及它的驅(qū)動(dòng)電路電連接構(gòu)成電子式四刀雙擲開(kāi)關(guān)，所說(shuō)電子式四刀雙擲開(kāi)關(guān)的兩組八路輸入端分別與電平調(diào)節(jié)器(7)的兩路輸出端(t1-7，t2-7)、調(diào)制信號(hào)器(9)的兩路輸出端(t1-9，t2-9)、占空比設(shè)置器(10)的兩路輸出信號(hào)的兩只合成端口(t1-10，t2-10)、頻率給定器(11)的兩路輸出端(t1-11，t2-11)電連接，一組四路輸出端分別與電平調(diào)節(jié)端口D、調(diào)制信號(hào)端口C、占空比設(shè)置端口B和頻率給定端口A電連接，用于以手動(dòng)方式于同步定時(shí)開(kāi)關(guān)DHC9A的八位數(shù)字撥盤(pán)開(kāi)關(guān)上分別設(shè)置兩組時(shí)間段(t1，t2)的時(shí)間，以及將分別設(shè)定的電平調(diào)節(jié)器(7)、調(diào)制信號(hào)器(9)、占空比設(shè)置器(10)和頻率給定器(11)的輸出經(jīng)由同步定時(shí)開(kāi)關(guān)DHC9A和雙路同步繼電器構(gòu)成的電子式四刀雙擲開(kāi)關(guān)同步輸出至相應(yīng)的模塊。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙路調(diào)制脈沖電化學(xué)沉積裝置，其特征是電平調(diào)節(jié)器(7)為電壓調(diào)壓部件，其兩路輸出端(t1-7，t2-7)均為分別置于裝置前面板上的兩只電位器的電壓輸出端。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙路調(diào)制脈沖電化學(xué)沉積裝置，其特征是調(diào)制信號(hào)器(9)為電壓調(diào)壓部件，其兩路輸出端(t1-9，t2-9)均為分別置于裝置前面板上的兩只電位器的電壓輸出端。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙路調(diào)制脈沖電化學(xué)沉積裝置，其特征是占空比設(shè)置器(10)為四位數(shù)字撥盤(pán)開(kāi)關(guān)，其兩路輸出端為置于裝置前面板上的四位數(shù)字撥盤(pán)開(kāi)關(guān)的輸出端。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙路調(diào)制脈沖電化學(xué)沉積裝置，其特征是頻率給定器(11)為電壓調(diào)壓部件，其兩路輸出端(t1-11，t2-11)均為分別置于裝置前面板上的兩只電位器的電壓輸出端。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙路調(diào)制脈沖電化學(xué)沉積裝置，其特征是功放模塊(6)的U9芯片OPA551的腳⑥經(jīng)電阻R21與腳②和反饋采樣器(8)的連接點(diǎn)相連接，用于穩(wěn)定功放模塊(6)的輸出。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的雙路調(diào)制脈沖電化學(xué)沉積裝置，其特征是反饋采樣器(8)為電阻R22，所說(shuō)電阻R22的另一端接地。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種雙路調(diào)制脈沖電化學(xué)沉積裝置。它的信號(hào)發(fā)生模塊(2)由U1芯片AD654及外圍電路組成；倍頻分頻模塊(3)由依次相互電連接的U2芯片CD4046、U3芯片CD4518、U4 1/2芯片CD4518、U4 2/2芯片CD4518和U5芯片CD4585、U6芯片CD4585及外圍電路組成；四象限乘法模塊(4)由U7芯片MC1494及外圍電路組成；功放模塊(6)由U8芯片LF351與U9芯片OPA551級(jí)連及外圍電路組成；雙路定時(shí)模塊(1)由帶八位數(shù)字撥盤(pán)開(kāi)關(guān)的同步定時(shí)開(kāi)關(guān)DHC9A和雙路同步繼電器以及電平調(diào)節(jié)器(7)、調(diào)制信號(hào)器(9)、占空比設(shè)置器(10)和頻率給定器(11)的兩路輸出端組成。它能雙路輸出振幅、頻率、占空比、靜態(tài)工作點(diǎn)均可獨(dú)自調(diào)節(jié)、且能同步切換的用于合成具有不同結(jié)構(gòu)的兩種不同材料交替排列的納米絲的電能量。
文檔編號(hào)H02M7/00GK1924111SQ20051009424
公開(kāi)日2007年3月7日 申請(qǐng)日期2005年9月2日 優(yōu)先權(quán)日2005年9月2日
發(fā)明者吳兵, 薛方紅, 費(fèi)廣濤, 崔平 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院