專利名稱：鍵合機(jī)上的z向電機(jī)的冷卻裝置、冷卻方法及鍵合機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種專門(mén)適用于制造或處理半導(dǎo)體的設(shè)備，特別是涉及一種鍵合機(jī)上的Z向電機(jī)的冷卻裝置、冷卻方法及鍵合機(jī)。
背景技術(shù)：
鍵合是把電路芯片上已金屬化的電路引出端或電極與裝配芯片的金屬引線框架或外殼引出電極線一一對(duì)應(yīng)連接起來(lái)的焊接工藝。作為鍵合設(shè)備的一種，鍵合機(jī)通過(guò)陶瓷細(xì)管(劈刀)引導(dǎo)金屬引線(金線)在三維空間中作復(fù)雜高速的運(yùn)動(dòng)，形成各種滿足不同封裝形式需要的特殊線弧形狀。其工作原理是使用電子打火裝置使金屬引線端部成球形，然后對(duì)金屬引線和焊點(diǎn)同時(shí)加熱加超聲，在IC芯片上完成球焊，在管殼基片上完成楔焊，完成芯片和管殼的連接。
鍵合機(jī)主要包括XY工作平臺(tái)、鍵合頭、物料夾持臺(tái)、上下料裝置等。鍵合頭是其核心部件。鍵合頭的Z向運(yùn)動(dòng)部分要達(dá)到極高的加速度和很好的動(dòng)態(tài)性能，一般用音圈電機(jī)做Z向驅(qū)動(dòng)。工作中，音圈電機(jī)的發(fā)熱量極大，常規(guī)的安裝于鍵合頭上的冷卻裝置不能很好的對(duì)其冷卻，鍵合頭工作一段時(shí)間后，大電流而造成的高溫就會(huì)燒毀Z向電機(jī)的動(dòng)子線圈，使其失效。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種保證Z向電機(jī)長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行的，冷卻效率較高的鍵合機(jī)上的Z向電機(jī)的冷卻裝置及冷卻方法。本發(fā)明要解決的另一技術(shù)問(wèn)題是提供一種安裝冷卻效率較高的Z向電機(jī)的冷卻裝置的，工作效率高的鍵合機(jī)。本發(fā)明的鍵合機(jī)上的Z向電機(jī)的冷卻裝置，包括分別設(shè)置于所述Z向電機(jī)的Z電機(jī)動(dòng)子兩側(cè)的第一氣體導(dǎo)入裝置和第二氣體導(dǎo)入裝置，所述第一氣體導(dǎo)入裝置和第二氣體導(dǎo)入裝置分別與氣源通過(guò)管道連接，用以對(duì)所述Z電機(jī)動(dòng)子兩側(cè)分別導(dǎo)入冷卻氣體。本發(fā)明的鍵合機(jī)上的Z向電機(jī)的冷卻裝置，其中，所述第一氣體導(dǎo)入裝置和所述第二氣體導(dǎo)入裝置結(jié)構(gòu)相同，所述第一氣體導(dǎo)入裝置和所述第二氣體導(dǎo)入裝置以所述Z電機(jī)動(dòng)子所在平面為對(duì)稱面對(duì)稱。本發(fā)明的鍵合機(jī)上的Z向電機(jī)的冷卻裝置，其中，所述第一氣體導(dǎo)入裝置上靠近所述Z電機(jī)動(dòng)子的面上、所述第二氣體導(dǎo)入裝置靠近所述Z電機(jī)動(dòng)子的面上分別設(shè)置有出氣部。本發(fā)明的鍵合機(jī)上的Z向電機(jī)的冷卻裝置，其中，所述出氣部是分別開(kāi)在所述第一氣體導(dǎo)入裝置上靠近所述Z電機(jī)動(dòng)子的面上、第二氣體導(dǎo)入裝置靠近所述Z電機(jī)動(dòng)子的面上的呈豎直直線排列且均勻排列的出氣小孔。本發(fā)明的鍵合機(jī)上的Z向電機(jī)的冷卻裝置，其中，所述第一氣體導(dǎo)入裝置上、所述第二氣體導(dǎo)入裝置上分別安裝有進(jìn)氣管接頭，所述第一氣體導(dǎo)入裝置、所述第二氣體導(dǎo)入裝置分別通過(guò)所述進(jìn)氣管接頭與連接所述氣源的進(jìn)氣管連接，所述進(jìn)氣管上安裝有氣體流量計(jì)。本發(fā)明的鍵合機(jī)上的Z向電機(jī)的冷卻方法，所述冷卻方法包括以下步驟A、通過(guò)設(shè)置在所述Z向電機(jī)的Z電機(jī)動(dòng)子一側(cè)的第一氣體導(dǎo)入裝置向所述Z電機(jī)動(dòng)子一側(cè)導(dǎo)入用以冷卻的氣體；B、步驟A進(jìn)行同時(shí)，通過(guò)設(shè)置在所述Z向電機(jī)的Z電機(jī)動(dòng)子另一側(cè)的第二氣體導(dǎo)入裝置向所述Z電機(jī)動(dòng)子另一側(cè)導(dǎo)入用以冷卻的氣體。本發(fā)明的鍵合機(jī)上的Z向電機(jī)的冷卻方法，其中，所述氣體分別直接吹進(jìn)所述第一 Z電機(jī)定子與所述Z電機(jī)動(dòng)子之間的縫隙、所述第二 Z電機(jī)定子與所述Z電機(jī)動(dòng)子之間的縫隙中。 本發(fā)明的鍵合機(jī)上的Z向電機(jī)的冷卻方法，其中，所述氣體的流動(dòng)方向相對(duì)所述Z電機(jī)動(dòng)子的旋轉(zhuǎn)中心呈放射狀，所述氣體為經(jīng)過(guò)過(guò)濾的壓縮空氣，所述氣體的流量設(shè)置為可調(diào)。本發(fā)明的鍵合機(jī)，包括XY平臺(tái)支座和Z向電機(jī)，所述Z向電機(jī)的Z電機(jī)動(dòng)子兩側(cè)分別設(shè)置第一氣體導(dǎo)入裝置和第二氣體導(dǎo)入裝置，所述第一氣體導(dǎo)入裝置和第二氣體導(dǎo)入裝置分別與氣源通過(guò)管道連接，用以對(duì)所述Z電機(jī)動(dòng)子兩側(cè)分別導(dǎo)入冷卻氣體。本發(fā)明鍵合機(jī)，其中，所述第一氣體導(dǎo)入裝置和所述第二氣體導(dǎo)入裝置分別固定于所述XY平臺(tái)支座上或分別固定于所述Z向電機(jī)的第一電機(jī)側(cè)板和第二電機(jī)側(cè)板上。本發(fā)明的冷卻裝置和冷卻方法克服了傳統(tǒng)冷卻裝置和冷卻方法的不足，由于冷卻時(shí)向Z電機(jī)動(dòng)子兩側(cè)同時(shí)導(dǎo)入冷卻氣體,使冷卻效率大為提高,鍵合機(jī)的Z向電機(jī)可以長(zhǎng)時(shí)間工作。由于冷卻效率的大幅提高，Z向電機(jī)可以驅(qū)動(dòng)鍵合頭運(yùn)動(dòng)部分在更高的速度、加速度下運(yùn)行，提高了鍵合機(jī)的工作效率。本發(fā)明的鍵合機(jī)由于安裝了冷卻效率較高的Z向電機(jī)的冷卻裝置，Z向電機(jī)可以驅(qū)動(dòng)鍵合頭運(yùn)動(dòng)部分在更高的速度、加速度下運(yùn)行，鍵合機(jī)的工作效率大幅度提高。


圖I是安裝本發(fā)明的冷卻裝置的一種實(shí)施例的Z向電機(jī)的立體圖；圖2是圖I實(shí)的結(jié)構(gòu)分解圖；圖3是本發(fā)明的鍵合機(jī)上的Z向電機(jī)的冷卻裝置的一種實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是安裝本發(fā)明的冷卻裝置的一種實(shí)施例的Z向電機(jī)的安裝示意圖。
具體實(shí)施例方式下面將結(jié)合實(shí)施例附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳述參見(jiàn)圖I、圖4所示，安裝本發(fā)明的冷卻裝置的一種實(shí)施例的Z向電機(jī)包括第一電機(jī)定子、第二電機(jī)定子、第一電機(jī)定子、第二電機(jī)定子之間的Z電機(jī)動(dòng)子。第一電機(jī)側(cè)板4與第一磁鐵組5粘結(jié)組合成第一電機(jī)定子；第二電機(jī)側(cè)板9與第二磁鐵組8粘結(jié)組合成第二電機(jī)定子。動(dòng)子線圈7與動(dòng)子支架6粘結(jié)組合成Z電機(jī)動(dòng)子。第一電機(jī)定子與第二電機(jī)定子通過(guò)安裝螺釘11分別與鍵合機(jī)的XY平臺(tái)支座14固定連接。Z電機(jī)動(dòng)子通過(guò)固定過(guò)固定螺釘12與鍵合頭的Z動(dòng)臂13連接。當(dāng)Z向電機(jī)工作時(shí)，Z電機(jī)動(dòng)子帶動(dòng)Z動(dòng)臂13作Z Θ向旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。當(dāng)Z電機(jī)動(dòng)子運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，動(dòng)子線圈7的溫度升高很快，本發(fā)明的冷卻方法為向Z電機(jī)動(dòng)子的兩側(cè)同時(shí)導(dǎo)入用以冷卻的氣體。具體來(lái)講，冷卻方法包括以下步驟A、通過(guò)設(shè)置在Z向電機(jī)的Z電機(jī)動(dòng)子一側(cè)的第一氣體導(dǎo)入裝置向Z電機(jī)動(dòng)子一側(cè)導(dǎo)入用以冷卻的氣體；B、步驟A進(jìn)行同時(shí)，通過(guò)設(shè)置在Z向電機(jī)的Z電機(jī)動(dòng)子另一側(cè)的第二氣體導(dǎo)入裝置向Z電機(jī)動(dòng)子另一側(cè)導(dǎo)入用以冷卻的氣體。這種氣體分別直接吹進(jìn)第一 Z電機(jī)定子與Z電機(jī)動(dòng)子之間的縫隙、第二 Z電機(jī)定子與Z電機(jī)動(dòng)子之間的縫隙中。這種氣體流動(dòng)方向相對(duì)Z電機(jī)動(dòng)子的旋轉(zhuǎn)中心呈放射狀。這種氣體最好為經(jīng)過(guò)過(guò)濾的壓縮空氣。冷卻氣體的流量最好設(shè)置為可調(diào)。通過(guò)高速流動(dòng)的 氣體可以同時(shí)帶走Z電機(jī)動(dòng)子兩側(cè)的熱量，因此其冷卻效率較高，可保證Z向電機(jī)長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行。本發(fā)明的鍵合機(jī)上的Z向電機(jī)的冷卻裝置，包括分別設(shè)置于Z向電機(jī)的Z電機(jī)動(dòng)子兩側(cè)的第一氣體導(dǎo)入裝置和第二氣體導(dǎo)入裝置，第一氣體導(dǎo)入裝置和第二氣體導(dǎo)入裝置分別與氣源通過(guò)管道連接，用以對(duì)Z電機(jī)動(dòng)子兩側(cè)分別導(dǎo)入氣體。結(jié)合圖2、圖3所示，本發(fā)明的冷卻裝置的一種實(shí)施例包括分別通過(guò)螺栓I固定于第一電機(jī)側(cè)板4和第二電機(jī)側(cè)板9上的第一氣體導(dǎo)入裝置2和第二氣體導(dǎo)入裝置10。第一氣體導(dǎo)入裝置2和第二氣體導(dǎo)入裝置10分別設(shè)置于Z電機(jī)動(dòng)子的兩側(cè)。第一氣體導(dǎo)入裝置2和第二氣體導(dǎo)入裝置10結(jié)構(gòu)相同，且以Z電機(jī)動(dòng)子所在平面(即與Z回轉(zhuǎn)軸垂直的面)為對(duì)稱面對(duì)稱。第一氣體導(dǎo)入裝置2上靠近Z電機(jī)動(dòng)子的面上、第二氣體導(dǎo)入裝置10靠近Z電機(jī)動(dòng)子的面上分別設(shè)置有出氣部15。本實(shí)施例中，出氣部15是分別開(kāi)在第一氣體導(dǎo)入裝置2上靠近Z電機(jī)動(dòng)子的面上、第二氣體導(dǎo)入裝置10靠近Z電機(jī)動(dòng)子的面上的呈豎直直線排列且均勻排列的出氣小孔。第一氣體導(dǎo)入裝置2上、第二氣體導(dǎo)入裝置10上分別安裝有用于連接進(jìn)氣管的進(jìn)氣管接頭3。通過(guò)各自的進(jìn)氣管接頭3，第一氣體導(dǎo)入裝置2、第二氣體導(dǎo)入裝置10分別和連接氣源(圖中未示出)的進(jìn)氣管(圖中未示出)連接。當(dāng)本發(fā)明的冷卻裝置工作時(shí)，氣源提供的經(jīng)過(guò)過(guò)濾的壓縮空氣通過(guò)輸氣管分別導(dǎo)入第一氣體導(dǎo)入裝置2、第二氣體導(dǎo)入裝置10中，然后分別通過(guò)出氣部15排出，排出的氣體分別直接吹進(jìn)第一 Z電機(jī)定子與Z電機(jī)動(dòng)子之間的縫隙、第二 Z電機(jī)定子與Z電機(jī)動(dòng)子之間的縫隙，由于出氣部15是分別開(kāi)在第一氣體導(dǎo)入裝置2上靠近Z電機(jī)動(dòng)子的面上、第二氣體導(dǎo)入裝置10靠近Z電機(jī)動(dòng)子的面上的呈豎直直線排列且均勻排列的出氣小孔，所以氣流方向相對(duì)Z電機(jī)動(dòng)子Z Θ旋轉(zhuǎn)中心呈放射狀，以此實(shí)現(xiàn)對(duì)電機(jī)動(dòng)子線圈7的高效冷卻。本實(shí)施例中，分別和第一氣體導(dǎo)入裝置2、第二氣體導(dǎo)入裝置10相連的進(jìn)氣管上可以安裝氣體流量計(jì)，以對(duì)導(dǎo)入的氣流大小進(jìn)行控制。本發(fā)明的其他實(shí)施例中，第一氣體導(dǎo)入裝置2和第二氣體導(dǎo)入裝置10也可以通過(guò)螺栓或其他連接部件分別固定于鍵合機(jī)的XY平臺(tái)支座14上。本發(fā)明的鍵合機(jī)，包括XY平臺(tái)支座和Z向電機(jī)，Z向電機(jī)的Z電機(jī)動(dòng)子兩側(cè)分別設(shè)置第一氣體導(dǎo)入裝置和第二氣體導(dǎo)入裝置，第一氣體導(dǎo)入裝置和第二氣體導(dǎo)入裝置分別與氣源通過(guò)管道連接，用以對(duì)Z電機(jī)動(dòng)子兩側(cè)分別導(dǎo)入冷卻氣體。本發(fā)明鍵合機(jī)，其中，第一氣體導(dǎo)入裝置和第二氣體導(dǎo)入裝置分別固定于XY平臺(tái)支座上或分別固定于Z向電機(jī)的第一電機(jī)側(cè)板和第二電機(jī)側(cè)板上。本發(fā)明的鍵合機(jī)由于安裝了冷卻效率較高的Z向電機(jī)的冷卻裝置，Z向電機(jī)可以驅(qū)動(dòng)鍵合頭運(yùn)動(dòng)部分在更高的速度、加速度下運(yùn)行，鍵合機(jī)的工作效率大幅度提高。本發(fā)明的冷卻裝置和冷卻方法克服了傳統(tǒng)冷卻裝置和冷卻方法的不足，使得鍵合機(jī)的Z向電機(jī)可以長(zhǎng)時(shí)間工作。由于冷卻效率的大幅提高，Z向電機(jī)可以驅(qū)動(dòng)鍵合頭運(yùn)動(dòng)部分在更高的速度、加速度下運(yùn)行，提高了鍵合機(jī)的工作效率。以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以作出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng) 視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種鍵合機(jī)上的Z向電機(jī)的冷卻裝置，其特征在于，包括分別設(shè)置于所述Z向電機(jī)的Z電機(jī)動(dòng)子兩側(cè)的第一氣體導(dǎo)入裝置和第二氣體導(dǎo)入裝置，所述第一氣體導(dǎo)入裝置和第二氣體導(dǎo)入裝置分別與氣源通過(guò)管道連接，用以對(duì)所述Z電機(jī)動(dòng)子兩側(cè)分別導(dǎo)入冷卻氣體。
2.如權(quán)利要求I所述的鍵合機(jī)上的Z向電機(jī)的冷卻裝置，其特征在于，所述第一氣體導(dǎo)入裝置和所述第二氣體導(dǎo)入裝置結(jié)構(gòu)相同，所述第一氣體導(dǎo)入裝置和所述第二氣體導(dǎo)入裝置以所述Z電機(jī)動(dòng)子所在平面為對(duì)稱面對(duì)稱。
3.如權(quán)利要求I所述的鍵合機(jī)上的Z向電機(jī)的冷卻裝置，其特征在于，所述第一氣體導(dǎo)入裝置上靠近所述Z電機(jī)動(dòng)子的面上、所述第二氣體導(dǎo)入裝置靠近所述Z電機(jī)動(dòng)子的面上分別設(shè)置有出氣部。
4.如權(quán)利要求3所述的鍵合機(jī)上的Z向電機(jī)的冷卻裝置，其特征在于，所述出氣部是分別開(kāi)在所述第一氣體導(dǎo)入裝置上靠近所述Z電機(jī)動(dòng)子的面上、第二氣體導(dǎo)入裝置靠近所述Z電機(jī)動(dòng)子的面上的呈豎直直線排列且均勻排列的出氣小孔。
5.如權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的鍵合機(jī)上的Z向電機(jī)的冷卻裝置，其特征在于，所述第一氣體導(dǎo)入裝置上、所述第二氣體導(dǎo)入裝置上分別安裝有進(jìn)氣管接頭，所述第一氣體導(dǎo)入裝置、所述第二氣體導(dǎo)入裝置分別通過(guò)所述進(jìn)氣管接頭與連接所述氣源的進(jìn)氣管連接，所述進(jìn)氣管上安裝有氣體流量計(jì)。
6.一種鍵合機(jī)上的Z向電機(jī)的冷卻方法，其特征在于，所述冷卻方法包括以下步驟 A、通過(guò)設(shè)置在所述Z向電機(jī)的Z電機(jī)動(dòng)子一側(cè)的第一氣體導(dǎo)入裝置向所述Z電機(jī)動(dòng)子一側(cè)導(dǎo)入用以冷卻的氣體； B、步驟A進(jìn)行同時(shí)，通過(guò)設(shè)置在所述Z向電機(jī)的Z電機(jī)動(dòng)子另一側(cè)的第二氣體導(dǎo)入裝置向所述Z電機(jī)動(dòng)子另一側(cè)導(dǎo)入用以冷卻的氣體。
7.如權(quán)利要求6所述的鍵合機(jī)上的Z向電機(jī)的冷卻方法,其特征在于,所述氣體分別直接吹進(jìn)所述第一 Z電機(jī)定子與所述Z電機(jī)動(dòng)子之間的縫隙、所述第二 Z電機(jī)定子與所述Z電機(jī)動(dòng)子之間的縫隙中。
8.如權(quán)利要求6或7任一項(xiàng)所述的鍵合機(jī)上的Z向電機(jī)的冷卻方法，其特征在于，所述氣體的流動(dòng)方向相對(duì)所述Z電機(jī)動(dòng)子的旋轉(zhuǎn)中心呈放射狀，所述氣體為經(jīng)過(guò)過(guò)濾的壓縮空氣，所述氣體的流量設(shè)置為可調(diào)。
9.一種鍵合機(jī)，包括XY平臺(tái)支座和Z向電機(jī)，其特征在于，所述Z向電機(jī)的Z電機(jī)動(dòng)子兩側(cè)分別設(shè)置第一氣體導(dǎo)入裝置和第二氣體導(dǎo)入裝置，所述第一氣體導(dǎo)入裝置和第二氣體導(dǎo)入裝置分別與氣源通過(guò)管道連接，用以對(duì)所述Z電機(jī)動(dòng)子兩側(cè)分別導(dǎo)入冷卻氣體。
10.如權(quán)利要求9所述的鍵合機(jī)，其特征在于，所述第一氣體導(dǎo)入裝置和所述第二氣體導(dǎo)入裝置分別固定于所述XY平臺(tái)支座上或分別固定于所述Z向電機(jī)的第一電機(jī)側(cè)板和第二電機(jī)側(cè)板上。
全文摘要
本發(fā)明提供的鍵合機(jī)上的Z向電機(jī)的冷卻裝置和冷卻方法，包括分別設(shè)置于Z向電機(jī)的Z電機(jī)動(dòng)子兩側(cè)的第一氣體導(dǎo)入裝置和第二氣體導(dǎo)入裝置，第一氣體導(dǎo)入裝置和第二氣體導(dǎo)入裝置用以對(duì)Z電機(jī)動(dòng)子兩側(cè)分別導(dǎo)入冷卻氣體。冷卻方法包括通過(guò)第一氣體導(dǎo)入裝置向Z電機(jī)動(dòng)子一側(cè)導(dǎo)入的氣體；同時(shí)，通過(guò)第二氣體導(dǎo)入裝置向Z電機(jī)動(dòng)子另一側(cè)導(dǎo)入氣體。本發(fā)明的鍵合機(jī)的Z電機(jī)動(dòng)子兩側(cè)分別設(shè)置第一氣體導(dǎo)入裝置和第二氣體導(dǎo)入裝置。由于冷卻時(shí)向Z電機(jī)動(dòng)子兩側(cè)同時(shí)導(dǎo)入冷卻氣體，使冷卻效率大為提高，鍵合機(jī)的Z向電機(jī)可以長(zhǎng)時(shí)間工作。由于冷卻效率的大幅提高，Z向電機(jī)可以驅(qū)動(dòng)鍵合頭運(yùn)動(dòng)部分在更高的速度、加速度下運(yùn)行，提高了鍵合機(jī)的工作效率。
文檔編號(hào)H02K1/32GK102810922SQ20111014771
公開(kāi)日2012年12月5日 申請(qǐng)日期2011年6月2日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月2日
發(fā)明者陳文 , 李朝軍 申請(qǐng)人:北京中電科電子裝備有限公司