專利名稱：表面聲波裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明一般涉及一種表面聲波(SAW)裝置。更具體地，本發(fā)明涉及這樣一種表面聲波濾波器(SAW諧振器濾波器)，即，其被構(gòu)成為使用在VHF和UHF頻帶具有諧振特性的表面聲波諧振器(SAW諧振器)或諧振器的諧振器濾波器。
背景技術(shù)：
近來，在電信行業(yè)中廣泛使用SAW器件。特別地，SAW諧振器或SAW諧振器濾波器(以下稱為SAW諧振器器件)可以被小型化，損耗較低，并且在移動電話、車輛的遙控車門開關(guān)系統(tǒng)等中大量使用。
SAW諧振器器件由設(shè)置在壓電基片上的至少一個叉指換能器(IDT)電極以及通常設(shè)置在其兩側(cè)上的反射器構(gòu)成。在該SAW諧振器器件中，通過反射因激勵I(lǐng)DT而在壓電基片上傳播的SAW，將能量限定在反射器之間。在這種情況下，主傳播模式是將能量垂直分配到SAW的傳播方向的模式中的基本模式(以下稱為橫向模式)。另一方面，也存在二次或更高次橫向模式，并且盡管消除了由偶數(shù)次模式的振蕩激勵的電荷，但是由奇數(shù)次模式激勵的電荷沒有被消除并且在諧振器特性中表現(xiàn)為亂真(spurious)響應。
由于更高次橫向模式導致的該亂真產(chǎn)生有害影響，如在SAW諧振器的情況下在振蕩電路中的振蕩跳頻現(xiàn)象或者在SAW諧振器濾波器中的帶內(nèi)紋波(in-band ripple)。因為SAW的激勵強度分布呈矩形，所以生成更高次橫向模式。
圖1表示使用具有設(shè)置在一對反射器2a、2b之間的一個(1個)IDT1的單端口SAW諧振器的示例，如何由于更高次橫向模式而產(chǎn)生亂真。盡管在圖中只顯示了基本橫向模式10a和三次橫向模式10b，但是取決于IDT的開口長度(aperture length)，還存在五次、七次和更高次橫向模式。
為了對更高次橫向模式的亂真采取對策，如圖2所示，已知的是通過使用余弦(COS)函數(shù)作為交疊長度加權(quán)(weight)包絡(luò)曲線，來對與共用電極1a、1b相連接的多個梳形電極1c交錯的交疊部分進行加權(quán)，而用基本橫向模式10a匹配或逼近SAW的激勵強度分布10，以限制更高次橫向模式(例如參見日本專利申請?zhí)毓?-28195、日本專利申請?zhí)亻_平9-270667和7-22898)。
在傳統(tǒng)示例中，當沿著表面聲波的方向觀看交疊長度加權(quán)包絡(luò)曲線時，盡管交疊長度逐漸增加，但是交疊長度在一定改變點處向下轉(zhuǎn)。該改變點僅作為一個點存在。
交疊長度加權(quán)包絡(luò)曲線相對于作為表面聲波的傳播方向的軸線鏡像對稱。嚴格地檢查該對稱性質(zhì)，例如在實心電極結(jié)構(gòu)中，產(chǎn)生與相鄰電極指之間的距離(即，1/2表面聲波波長)相對應的差異，然而，這不限于在實心電極結(jié)構(gòu)中，從表面聲波裝置的結(jié)構(gòu)也可以明顯看出由于電極結(jié)構(gòu)導致在表面聲波波長的對稱性質(zhì)中的1/2偏移，這并不是本發(fā)明的本質(zhì)部分，因此在稍后利用交疊長度加權(quán)包絡(luò)曲線所作的描述中并沒有提及。
然而，如圖2所示，如果利用余弦函數(shù)作為交疊長度加權(quán)包絡(luò)曲線對梳形電極1c的交疊部分進行加權(quán)，則沿著IDT 1的梳形電極的交疊長度的傳播方向的分布11改變了，因此在傳播方向上，SAW的激勵強度分布10也改變了。
特別地，因為濾波器特性是使用具有沿著傳播方向的分布的模式(縱向模式)獲得的，所以SAW諧振器濾波器受到顯著的影響。
在具有一致交疊長度的IDT電極(正常(非切趾)IDT電極)的情況下，盡管可以獲得期望特性，例如帶寬或期望頻率下的衰減量，但是由于橫向模式而產(chǎn)生了亂真。如果利用余弦函數(shù)對IDT電極進行加權(quán)，則盡管可以抑制亂真，但是卻不能非常頻繁地獲得期望特性。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的是提供一種表面聲波裝置，其具有抑制更高次橫向模式的亂真的結(jié)構(gòu)，并且該結(jié)構(gòu)不改變傳播方向上的SAW激勵強度分布。
為了實現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的一個方面，提供了一種表面聲波裝置，其具有至少一個叉指換能器，其中，所述叉指換能器被設(shè)置成分別與共用電極相連接的多個梳形電極相交錯，其中，具有所述多個交錯的梳形電極的區(qū)域具有第一交疊區(qū)域和形成在該第一交疊區(qū)域的至少一側(cè)的第二交疊區(qū)域，該第一交疊區(qū)域在沿著表面聲波的傳播方向的整個區(qū)域上具有恒定的交疊長度，而該第二交疊區(qū)域沿著所述表面聲波的傳播方向具有加權(quán)的交疊長度，并且其中，所述第二交疊區(qū)域中的交疊長度加權(quán)包絡(luò)曲線在所述表面聲波的傳播方向上具有至少兩個改變點。所述第二交疊區(qū)域可以形成在所述第一交疊區(qū)域的兩側(cè)，并且所述第二交疊區(qū)域中的交疊長度加權(quán)包絡(luò)曲線可以具有這樣的形狀，即，在所述第一交疊區(qū)域的兩側(cè)與所述表面聲波傳播方向相垂直地平行移動后的形狀。所述第二交疊區(qū)域可以形成在所述第一交疊區(qū)域的兩側(cè)，并且所述第二交疊區(qū)域中的其中一條交疊長度加權(quán)包絡(luò)曲線可以具有這樣的形狀，即，將所述第二交疊區(qū)域中的另一條交疊長度加權(quán)包絡(luò)曲線與所述傳播方向相垂直地并沿著所述傳播方向平行移動后的形狀。所述第二交疊區(qū)域可以形成在所述第一交疊區(qū)域的兩側(cè)，并且所述第二交疊區(qū)域中的交疊長度加權(quán)包絡(luò)曲線可以具有這樣的形狀，即，在所述第一交疊區(qū)域的兩側(cè)相對于所述表面聲波的傳播方向的軸線鏡像對稱的形狀。所述第二交疊區(qū)域可以形成在所述第一交疊區(qū)域的兩側(cè)，并且所述第二交疊區(qū)域中的交疊長度加權(quán)包絡(luò)曲線可以在所述第一交疊區(qū)域的兩側(cè)具有彼此不同的形狀。
為了實現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種表面聲波裝置，其具有至少一個叉指換能器，其中，所述叉指換能器被設(shè)置成分別與共用電極相連接的多個梳形電極相交錯，其中，具有所述多個交錯的梳形電極的區(qū)域具有第一交疊區(qū)域和形成在該第一交疊區(qū)域的兩側(cè)的第二交疊區(qū)域，該第一交疊區(qū)域具有在沿著表面聲波的傳播方向的整個區(qū)域上恒定的交疊長度，而該第二交疊區(qū)域具有沿著所述表面聲波的傳播方向加權(quán)的交疊長度，并且其中，所述第二交疊區(qū)域中的交疊長度加權(quán)包絡(luò)曲線沿著所述表面聲波的傳播方向僅具有一個改變點，并且具有這樣的形狀，即，在所述第一交疊區(qū)域的兩側(cè)與所述表面聲波傳播方向相垂直地平行移動后的形狀。
所述第二交疊區(qū)域中的其中一條交疊長度加權(quán)包絡(luò)曲線可以具有這樣的形狀，即，將所述第二交疊區(qū)域中的另一條交疊長度加權(quán)包絡(luò)曲線與所述傳播方向相垂直地并沿著所述傳播方向平行移動后的形狀。所述第二交疊區(qū)域中的交疊長度加權(quán)包絡(luò)曲線可以形成這樣的形狀，即，當所述表面聲波的傳播方向為變量x時，該形狀由周期函數(shù)f(x)表示。優(yōu)選地將所述第二交疊區(qū)域的尺寸設(shè)定為所述叉指換能器的開口長度的5％或更大。對于在所述第二交疊區(qū)域中加權(quán)的交疊長度的尺寸，優(yōu)選地將最小加權(quán)交疊長度設(shè)定為所述IDT的開口長度的95％或更小。所述共用電極具有與所述第二交疊區(qū)域中的交疊長度加權(quán)包絡(luò)曲線相對應的形狀。
根據(jù)本發(fā)明，抑制了橫向模式亂真，從而獲得與正常(非切趾)電極相同的特性。


結(jié)合附圖，從下面的詳細描述中將更清楚本發(fā)明的上述和其它目的、方面、特征和優(yōu)點，在附圖中圖1是表示單端口(one-port)SAW諧振器的視圖；圖2是表示對更高次橫向模式的亂真采取對策的傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)的視圖；圖3是表示本發(fā)明的一實施例的視圖；圖4A是表示這樣的示例的視圖，其中將匯流線(bus bar)1a、1b自身設(shè)定為具有與交疊區(qū)域B中的梳形電極1c的交疊量的加權(quán)相對應的實心圖案形狀；圖4B是表示其中匯流線1a、1b并不具有假電極(dummy electrode)且設(shè)定為具有間隙的示例的視圖；圖5是一曲線圖，表示通過下面等式獲得的值(其為第二交疊區(qū)域B(加權(quán)區(qū)域)的寬度百分比)與在將表面聲波裝置用作帶通濾波器時通帶中的紋波大小之間的測量關(guān)系；圖6是表示在第二交疊區(qū)域B中存在通過加權(quán)生成的最小峰和最大峰的示例的視圖；圖7表示當改變峰之間的最小交疊長度時對濾波器的通帶中的紋波的測量結(jié)果；圖8A是表示作為本發(fā)明實施例，第二交疊區(qū)域B中的加權(quán)的各種改變圖案(部分1)的示例的視圖；圖8B是表示作為本發(fā)明實施例，第二交疊區(qū)域B中的加權(quán)的各種改變圖案(部分2)的示例的視圖；圖9A和圖9B是表示在Li2B4O7基片上試驗制成的器件的特性的視圖，該器件具有級聯(lián)連接的3IDT諧振器濾波器和單端口諧振器；以及圖9B是圖9A的頻帶內(nèi)的放大視圖。
具體實施例方式
下面將參照附圖描述本發(fā)明的實施例。該實施例用于描述本發(fā)明，本發(fā)明的技術(shù)范圍不限于此。
圖3是表示本發(fā)明實施例的構(gòu)成的視圖。
如以上圖1和圖2所示，在具有一對反射電極2a、2b以及設(shè)置在所述反射電極2a、2b之間的叉指換能器1的表面聲波裝置中，反射電極2a、2b和叉指換能器1形成在未示出的壓電基片(例如LiTaO3、LiNbO3、Li2B4O7和石英基片)上。
作為特征，通過交錯地設(shè)置分別與公共電極(匯流線)1a、1b相連接的多個梳形電極1c而構(gòu)成叉指換能器1。對于其中多個梳形電極1c交錯的區(qū)域，該區(qū)域具有第一交疊區(qū)域A和形成在該第一交疊區(qū)域A的兩側(cè)的第二交疊區(qū)域B，在該第一交疊區(qū)域，在沿著表面聲波的傳播方向(圖中的箭頭方向)的整個區(qū)域上交疊長度恒定，而在該第二交疊區(qū)域B，在表面聲波的傳播方向上交疊長度被加權(quán)。
通過該結(jié)構(gòu)，由于圖中交疊區(qū)域A以與正常(非切趾)IDT相同的方式工作，所以表面聲波的激勵強度分布呈矩形，這與中央附近相對應。在交疊區(qū)域B(以下稱為加權(quán)的交疊區(qū)域B)中，執(zhí)行加權(quán)以使激勵強度在與IDT 1的SAW傳播相垂直的方向上向外側(cè)逐漸減弱。因此，當結(jié)合交疊區(qū)域A和交疊區(qū)域B時，表面聲波的激勵強度分布呈與基本橫向模式10a相近的形狀。這樣，只生成基本橫向模式10a而抑制了更高次橫向模式。
另一方面，沿著表面聲波的傳播方向的交疊長度分布11由于第一交疊區(qū)域A而呈矩形，而由于第二交疊區(qū)域B出現(xiàn)的交疊長度11a形成與交疊長度分布11相交疊的圖案。換言之，在第二交疊區(qū)域B中，進行加權(quán)，從而使交疊長度加權(quán)包絡(luò)線垂直于表面聲波傳播方向平行移動。這樣，盡管交疊長度11a在相鄰交疊長度之間不均勻，但是由于該不均勻性的差異相對于交疊區(qū)域A的交疊長度一般較小，所以分布11沿著交疊長度的傳播方向大致保持了矩形形狀。
結(jié)果，激勵強度在表面聲波的傳播方向上保持了與正常(非切趾)IDT相近的矩形形狀。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明，抑制了由于更高次橫向模式導致的亂真，從而可以獲得與正常(非切趾)電極相同的特性。
盡管在匯流線1a、1b上通常設(shè)有假電極，但是即使如圖4A和圖4B的實施例所示在交疊區(qū)域B中不設(shè)假電極，也同樣可以獲得抑制更高次橫向模式的效果。
在圖4A中，匯流線1a、1b并不具有假電極，并且匯流線1a、1b自身被設(shè)定為具有與交疊區(qū)域B中的梳形電極1c的交疊量的加權(quán)相對應的實心圖案形狀。圖4B是這樣的示例，即，匯流線1a、1b并不具有假電極并被設(shè)定為具有間隙(gap)。
接下來將討論當將表面聲波裝置用作帶通濾波器時，第一交疊區(qū)域A的寬度方向尺寸與第二交疊區(qū)域B的寬度方向尺寸的百分比的優(yōu)選值，在第一交疊區(qū)域A處，在沿著表面聲波的傳播方向的整個區(qū)域上交疊長度恒定，而第二交疊區(qū)域B形成在第一交疊區(qū)域A的兩側(cè)，并且在該處，交疊長度沿著表面聲波的傳播方向被加權(quán)。
圖5是通過下面等式獲得的值(其為第二交疊區(qū)域B(加權(quán)區(qū)域)的寬度百分比)，與在將該表面聲波裝置用作帶通濾波器時的通帶中紋波大小之間的測量關(guān)系的曲線圖。
加權(quán)區(qū)域的寬度＝第二交疊區(qū)域B/(第一交疊區(qū)域A+第二交疊區(qū)域B)×100應注意，(第一交疊區(qū)域A+第二交疊區(qū)域B)與IDT的開口長度相對應。
如果第二交疊區(qū)域B(即，加權(quán)區(qū)域)的寬度百分比為5％或更大，則可以將通帶中的紋波大小抑制為3db或更小。
這樣，應理解，為使根據(jù)本發(fā)明的表面聲波裝置獲得帶通濾波器所需的特性，加權(quán)區(qū)域的寬度(％)可以是IDT開口長度的5％或更大。
接下來，將討論第二交疊區(qū)域中的加權(quán)的變化圖案和在將該表面聲波裝置用作帶通濾波器時的特性。
圖6表示一示例，其中第二交疊區(qū)域B中的交疊長度加權(quán)包絡(luò)曲線相對于作為表面聲波的傳播方向的軸線在第一交疊區(qū)域的兩側(cè)鏡像對稱，并且在第二交疊區(qū)域B中存在通過加權(quán)而生成的最小峰和最大峰。在最小峰P1與最大峰P2之間的最小交疊長度的大小可以由對最小峰P1的IDT開口長度的百分比(％)來表示。在交疊長度分布中各峰之間的最小交疊長度在該最小交疊長度是最大交疊長度的95％或更小時有效。這是因為，如果最小交疊長度大于95％，則加權(quán)對更高次橫向模式的限制幾乎沒有效果。
圖7是當峰之間的最小交疊長度改變時對濾波器的通帶中的紋波的測量結(jié)果。根據(jù)該結(jié)果，可以理解的是，如果峰之間的最小交疊長度是95％或更小，則對更高次橫向模式施加了抑制效果，從而可以呈指數(shù)地減少通帶中的紋波。
在上述實施例中，作為第二交疊區(qū)域B中的加權(quán)的變化圖案，已經(jīng)顯示了沿著圖3所示的正弦(SIN)曲線改變的示例。然而，本發(fā)明的應用并不限于該實施例。
在圖8A和圖8B中，作為本發(fā)明的實施例(部分1和部分2)，顯示了在第二交疊區(qū)域中加權(quán)的各種示例作為其包絡(luò)曲線圖案。
在圖8A中，(a)的交疊長度加權(quán)包絡(luò)曲線是余弦(或正弦)周期函數(shù)f(x)，并與圖3中所示的實施例相同。
(b)是三角波周期函數(shù)。(c)是1和0值交替的周期函數(shù)。(d)是對IDT的一部分(而不是其全部區(qū)域)進行加權(quán)的示例。(e)是不同函數(shù)組合的示例。(f)是一個(1個)周期(而不是多個周期)的示例，并且在該示例中，盡管只存在一個(1個)變化點，但是由于交疊長度加權(quán)包絡(luò)曲線相對于作為表面聲波的傳播方向的軸線并不鏡像對稱，所以沿著傳播方向，交疊長度的分布形成了大致矩形的形狀。
在圖8B中，(g)是這樣的圖案示例，即，其具有(f)的圖案和作為其一部分不存在加權(quán)的區(qū)域。(h)是在第二交疊區(qū)域B中交疊長度加權(quán)包絡(luò)曲線彼此不同的示例。
(i)是這樣的示例，即，其中一條交疊長度加權(quán)包絡(luò)曲線是將另一條交疊長度加權(quán)包絡(luò)曲線垂直于所述傳播方向并沿著所述傳播方向任意地平行移動得到的。在(h)或(i)中的任一情況下，由于交疊長度的分布形成了大致矩形形狀，所以可以獲得相同的效果。
(j)是只在第一交疊區(qū)域的一側(cè)形成第二交疊區(qū)域的示例。盡管與在第一交疊區(qū)域的兩側(cè)形成第二交疊區(qū)域的情況相比效果有所降低，但是與圖2中所示的傳統(tǒng)的正常(非切趾)結(jié)構(gòu)相比可以獲得更好的效果。
在這種加權(quán)的任一情況下，存在對本發(fā)明的需要，并且可以獲得本發(fā)明的效果。
圖9A表示通過試驗在Li2B4O7基片上制成的器件的特性，該器件具有級聯(lián)連接的3IDT諧振器濾波器和單端口諧振器。圖9B是圖9A的頻帶內(nèi)的放大視圖。在這些圖中，虛線是正常(非切趾)IDT的實際測量特性，而實線是在應用本發(fā)明的情況下的特性。
使用余弦函數(shù)進行加權(quán)，并且由于IDT對的數(shù)量為100或更多(這對于3IDT諧振器濾波器和該單端口諧振器來說足夠大)，所以如圖6所示的加權(quán)對于IDT的上下兩側(cè)鏡像對稱。如在正常(非切趾)IDT情況下一樣，可以抑制亂真，從而可以獲得帶寬和帶外衰減特性(dampingcharacteristic)。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明，可以抑制橫向模式亂真，從而可以獲得與正常(非切趾)電極相同的特性。這樣，可以以高自由度和良好的特性設(shè)計SAW諧振器和SAW諧振器濾波器。
盡管這里詳細地描述了本發(fā)明的說明性的且是當前優(yōu)選的實施例，但是應理解本發(fā)明的原理可以以其它各種方式體現(xiàn)和實施，并且所附權(quán)利要求應被解釋為包括這種改變，但由現(xiàn)有技術(shù)限制的除外。
本申請基于2005年7月6日提交的在先日本專利申請No.2005-197364并要求其優(yōu)先權(quán)，通過引用并入其全部內(nèi)容。
權(quán)利要求
1.一種表面聲波裝置，其具有至少一個叉指換能器，所述叉指換能器被設(shè)置成分別與共用電極相連接的多個梳形電極相交錯，其中，具有所述多個交錯的梳形電極的區(qū)域包括第一交疊區(qū)域和形成在該第一交疊區(qū)域的至少一側(cè)的第二交疊區(qū)域，該第一交疊區(qū)域具有在沿著表面聲波的傳播方向的整個區(qū)域上恒定的交疊長度，而該第二交疊區(qū)域具有沿著所述表面聲波的傳播方向加權(quán)的交疊長度，并且其中，所述第二交疊區(qū)域中加權(quán)的交疊長度的包絡(luò)曲線在所述表面聲波的傳播方向上具有至少兩個改變點。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面聲波裝置，其中，所述第二交疊區(qū)域形成在所述第一交疊區(qū)域的兩側(cè)，并且其中，所述第二交疊區(qū)域中的交疊長度加權(quán)包絡(luò)曲線具有這樣的形狀，即，在所述第一交疊區(qū)域的兩側(cè)與所述表面聲波傳播方向相垂直地平行移動后的形狀。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面聲波裝置，其中，所述第二交疊區(qū)域形成在所述第一交疊區(qū)域的兩側(cè)，并且其中，所述第二交疊區(qū)域中的其中一條交疊長度加權(quán)包絡(luò)曲線具有這樣的形狀，即，將所述第二交疊區(qū)域中的另一條交疊長度加權(quán)包絡(luò)曲線與所述傳播方向相垂直地并沿著所述傳播方向平行移動后的形狀。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面聲波裝置，其中，所述第二交疊區(qū)域形成在所述第一交疊區(qū)域的兩側(cè)，并且其中，所述第二交疊區(qū)域中的交疊長度加權(quán)包絡(luò)曲線具有這樣的形狀，即，在所述第一交疊區(qū)域的兩側(cè)相對于所述表面聲波的傳播方向的軸線鏡像對稱的形狀。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面聲波裝置，其中，所述第二交疊區(qū)域形成在所述第一交疊區(qū)域的兩側(cè)，并且其中，所述第二交疊區(qū)域中的交疊長度加權(quán)包絡(luò)曲線在所述第一交疊區(qū)域的兩側(cè)具有彼此不同的形狀。
6.一種表面聲波裝置，其具有至少一個叉指換能器，所述叉指換能器被設(shè)置成分別與共用電極相連接的多個梳形電極相交錯，其中，具有所述多個交錯的梳形電極的區(qū)域具有第一交疊區(qū)域和形成在該第一交疊區(qū)域的兩側(cè)的第二交疊區(qū)域，該第一交疊區(qū)域具有在沿著表面聲波的傳播方向的整個區(qū)域上恒定的交疊長度，而該第二交疊區(qū)域具有沿著所述表面聲波的傳播方向加權(quán)的交疊長度，并且其中，所述第二交疊區(qū)域中的交疊長度加權(quán)包絡(luò)曲線沿著所述表面聲波的傳播方向僅具有一個改變點，并且具有這樣的形狀，即，在所述第一交疊區(qū)域的兩側(cè)與所述表面聲波傳播方向相垂直地平行移動后的形狀。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的表面聲波裝置，其中，所述第二交疊區(qū)域中的其中一條交疊長度加權(quán)包絡(luò)曲線具有這樣的形狀，即，將所述第二交疊區(qū)域中的另一條交疊長度加權(quán)包絡(luò)曲線與所述傳播方向相垂直地并沿著所述傳播方向平行移動后的形狀。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面聲波裝置，其中，所述第二交疊區(qū)域中的交疊長度加權(quán)包絡(luò)曲線形成這樣的形狀，即，當所述表面聲波的傳播方向為變量x時，該形狀由周期函數(shù)f(x)表示。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的表面聲波裝置，其中，所述第二交疊區(qū)域中的交疊長度加權(quán)包絡(luò)曲線形成這樣的形狀，即，當所述表面聲波的傳播方向為變量x時，該形狀由周期函數(shù)f(x)表示。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面聲波裝置，其中，所述第二交疊區(qū)域的尺寸被設(shè)定為所述叉指換能器的開口長度的5％或更大。
11.根據(jù)權(quán)利要求6所述的表面聲波裝置，其中，所述第二交疊區(qū)域的尺寸被設(shè)定為所述叉指換能器的開口長度的5％或更大。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面聲波裝置，其中，對于在所述第二交疊區(qū)域中加權(quán)的交疊長度的尺寸，將最小的加權(quán)的交疊長度設(shè)定為所述叉指換能器的開口長度的95％或更小。
13.根據(jù)權(quán)利要求6所述的表面聲波裝置，其中，對于在所述第二交疊區(qū)域中加權(quán)的交疊長度的尺寸，將最小的加權(quán)的交疊長度設(shè)定為所述叉指換能器的開口長度的95％或更小。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面聲波裝置，其中，所述共用電極具有與所述第二交疊區(qū)域中的交疊長度加權(quán)包絡(luò)曲線相對應的形狀。
15.根據(jù)權(quán)利要求6所述的表面聲波裝置，其中，所述共用電極具有與所述第二交疊區(qū)域中的交疊長度加權(quán)包絡(luò)曲線相對應的形狀。
全文摘要
一種表面聲波裝置，其具有可以抑制更高次橫向模式的亂真的結(jié)構(gòu)，并且該結(jié)構(gòu)不會改變傳播方向上的SAW激勵強度分布。該表面聲波裝置具有至少一個叉指換能器，所述叉指換能器被設(shè)置成分別與共用電極相連接的多個梳形電極相交錯，其中，具有所述多個交錯的梳形電極的區(qū)域具有第一交疊區(qū)域和形成在該第一交疊區(qū)域的至少一側(cè)的第二交疊區(qū)域，該第一交疊區(qū)域具有在沿著表面聲波傳播方向的整個區(qū)域上恒定的交疊長度，而該第二交疊區(qū)域具有沿著所述表面聲波傳播方向加權(quán)的交疊長度，并且其中，所述第二交疊區(qū)域中的交疊長度加權(quán)包絡(luò)曲線在所述表面聲波傳播方向上具有至少兩個改變點。
文檔編號H03H9/00GK1893268SQ20061005774
公開日2007年1月10日 申請日期2006年2月27日 優(yōu)先權(quán)日2005年7月6日
發(fā)明者和田剛一, 水戶部整一, 井上將吾 申請人:富士通媒體部品株式會社, 富士通株式會社